JPS5954160A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線装置Info
- Publication number
- JPS5954160A JPS5954160A JP57165366A JP16536682A JPS5954160A JP S5954160 A JPS5954160 A JP S5954160A JP 57165366 A JP57165366 A JP 57165366A JP 16536682 A JP16536682 A JP 16536682A JP S5954160 A JPS5954160 A JP S5954160A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- integrator
- sample
- charged particle
- particle beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料面が凹か凸かの判別を可能にした走査電子
顕微鏡やＸ線マイクロアナライザー等の荷電粒子線装置
に関するものである。
顕微鏡やＸ線マイクロアナライザー等の荷電粒子線装置
に関するものである。
走査電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライデーにおいては
試お１面の状態観察を行なうため、軸対称配置の２個の
検出器を用いて凹凸像の観察を行なっている。第１図は
その装置の概略を示すもので、１は観察しようとする試
料である。該試料には図示外の電子銃から発射されて電
子レンズにより集束された電子線２が照射されでおり、
該電子線は偏向器３によって試料１の上を一次元的、又
は二次元的に走査される。４ａ及び４ｂは前記電子線の
光軸に対称的に置かれた２個（それ以上であっても良い
）の反射電子検出器であり、雨検出器の出力は増幅器５
ａ、５ｂを介して減算増幅器６に導入されている。この
減算増幅器の出力は例えば前記電子線２の走査と同期し
た陰極線管７に輝度変調信号として導入されている。
試お１面の状態観察を行なうため、軸対称配置の２個の
検出器を用いて凹凸像の観察を行なっている。第１図は
その装置の概略を示すもので、１は観察しようとする試
料である。該試料には図示外の電子銃から発射されて電
子レンズにより集束された電子線２が照射されでおり、
該電子線は偏向器３によって試料１の上を一次元的、又
は二次元的に走査される。４ａ及び４ｂは前記電子線の
光軸に対称的に置かれた２個（それ以上であっても良い
）の反射電子検出器であり、雨検出器の出力は増幅器５
ａ、５ｂを介して減算増幅器６に導入されている。この
減算増幅器の出力は例えば前記電子線２の走査と同期し
た陰極線管７に輝度変調信号として導入されている。
斯かる装置において、金型子線を第１図中矢印で示す如
く走査した場合、検出器４ａ及び４ｂには第２図（ａ）
、（ｂ）に示すような出力信号が現われる。（ａ＞、（
ｂ）図は丁度信号の向きが逆になっており、これを減算
増幅器６により相互に減算すると、第２図（Ｃ）の如く
（ａ）図における凹凸による信号のみが２倍になった信
号、即ち、試お１面の凹凸のみが強調され元素による影
響の除去された信号が１１ｊられる。そこＣ１該仏弓を
陰極線管に導入し、ｌ！！！ｉ像表示覆れば試別表面の
凹凸像が得られるわ（）である。
く走査した場合、検出器４ａ及び４ｂには第２図（ａ）
、（ｂ）に示すような出力信号が現われる。（ａ＞、（
ｂ）図は丁度信号の向きが逆になっており、これを減算
増幅器６により相互に減算すると、第２図（Ｃ）の如く
（ａ）図における凹凸による信号のみが２倍になった信
号、即ち、試お１面の凹凸のみが強調され元素による影
響の除去された信号が１１ｊられる。そこＣ１該仏弓を
陰極線管に導入し、ｌ！！！ｉ像表示覆れば試別表面の
凹凸像が得られるわ（）である。
しかし乍ら、上記装置“Ｃは第２図（Ｃ）から解るよう
にこの信号は第１図の試料面の形状に対応していイヱい
ため、画像表示づ−る場合はまだしも、該凹凸の形状や
大きさ等を測定しようどしＣ第２図（Ｃ）の信号をライ
ン表示、又は記録するような場合にはイの信号から凹の
部分か凸の部分かの判別が困難であり、実用に供しえな
い。
にこの信号は第１図の試料面の形状に対応していイヱい
ため、画像表示づ−る場合はまだしも、該凹凸の形状や
大きさ等を測定しようどしＣ第２図（Ｃ）の信号をライ
ン表示、又は記録するような場合にはイの信号から凹の
部分か凸の部分かの判別が困難であり、実用に供しえな
い。
而して、本発明は上記従来の欠点を解消覆ることを目的
とＪるもので、凹部と凸部とを完全に判別し一〇表示又
は記録できるようになしたものである。
とＪるもので、凹部と凸部とを完全に判別し一〇表示又
は記録できるようになしたものである。
本発明の構成は荷電粒子線を試ネ３１上に照川する手段
、該荷電粒子線を試料上で走査する手段、該荷電粒子線
の照射にＪ：り試料より散乱リ−る反射粒子又は試別よ
り発生するＸ線等を検出する前記荷電粒子線の光軸に対
称的に設置された少なくとも２個の検出器、該各検出器
からの信号を減算（る回路及び該減算された信号を表示
又は記録する手段を備えた装置において、前記減算回路
の後段に積分器を設置した荷電粒子線装置に特徴を右り
る。
、該荷電粒子線を試料上で走査する手段、該荷電粒子線
の照射にＪ：り試料より散乱リ−る反射粒子又は試別よ
り発生するＸ線等を検出する前記荷電粒子線の光軸に対
称的に設置された少なくとも２個の検出器、該各検出器
からの信号を減算（る回路及び該減算された信号を表示
又は記録する手段を備えた装置において、前記減算回路
の後段に積分器を設置した荷電粒子線装置に特徴を右り
る。
以下本発明の一実施例を添付図面に基づき訂）ホする。
第３図は本発明の主要部を示ｉノ、第１図の従来装置と
比較して異なる点は減算増幅器６の後段に倍量積分器８
を設置したことである。この積分器を通すことにＪ、り
第４図（Ｃ）に示づ減算増幅器６の出力信号は第４図（
ｄ ）に示す如き波形どなる。この信号波形は第３図の
試料表面の形状と対応したものであり、該信号を陰極線
管７に導入づれば該陰極線管画面上には凹凸の直接判別
できる画像が表示されることになる。又、該積分器から
の信号を陰極線管のＹ偏向信号として加えれば、或いは
該信号をＸ−Ｙ記録計に導入すると、前記（ｄ ）図の
信号のラインプロファイルが表示され、これらより試料
面の四部、凸部の正確な測定が可能である。尚、第３図
において第１図と同一符号１よ同一の構成要素を示して
あり、又第４図の（ａ）、 （ｂ ＞、 （ｃ ）
１１第２図と夫々対応しでいる。
比較して異なる点は減算増幅器６の後段に倍量積分器８
を設置したことである。この積分器を通すことにＪ、り
第４図（Ｃ）に示づ減算増幅器６の出力信号は第４図（
ｄ ）に示す如き波形どなる。この信号波形は第３図の
試料表面の形状と対応したものであり、該信号を陰極線
管７に導入づれば該陰極線管画面上には凹凸の直接判別
できる画像が表示されることになる。又、該積分器から
の信号を陰極線管のＹ偏向信号として加えれば、或いは
該信号をＸ−Ｙ記録計に導入すると、前記（ｄ ）図の
信号のラインプロファイルが表示され、これらより試料
面の四部、凸部の正確な測定が可能である。尚、第３図
において第１図と同一符号１よ同一の構成要素を示して
あり、又第４図の（ａ）、 （ｂ ＞、 （ｃ ）
１１第２図と夫々対応しでいる。
以上説明したように本発明においては、２個又はぞ−れ
以上の検出器の出力を減算したのち、その伯母を積分器
により積分り−るので得られた信号は試わ］面の凹凸に
対応したものどなり、従って凹部と凸部のとを完全に区
別してｇｊ側でき、試料の微小部８１す定に極めて有効
である。
以上の検出器の出力を減算したのち、その伯母を積分器
により積分り−るので得られた信号は試わ］面の凹凸に
対応したものどなり、従って凹部と凸部のとを完全に区
別してｇｊ側でき、試料の微小部８１す定に極めて有効
である。
尚、上記は本発明の実施例であり、実際には種々の変更
が可能である。例えば、実施例は反射電子を検出するよ
うになしたが、これに限らずＸ線等ら利用できる。又、
走査電子顕微鏡やＸ線マイク［］アナライザー等の電子
線装置に限らず、イオン顕微鏡等信の荷電粒子線装置に
も同様に適用できるものである。
が可能である。例えば、実施例は反射電子を検出するよ
うになしたが、これに限らずＸ線等ら利用できる。又、
走査電子顕微鏡やＸ線マイク［］アナライザー等の電子
線装置に限らず、イオン顕微鏡等信の荷電粒子線装置に
も同様に適用できるものである。
第１図は従来の装置の主要部を示４図、第２図はその動
作説明図、第３図は本発明の主要部を示す図、第４図は
その動作説明図である。 １：試料、 ２：電子線、 ３：偏向器、４ａ 、 ４
ｂ ：反射電子検出器、 ５ａ 、 ５ｂ ：増幅器、 ６：減算増幅器、７：陰
極線管、 ８：積分器。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 ９藤 −夫
作説明図、第３図は本発明の主要部を示す図、第４図は
その動作説明図である。 １：試料、 ２：電子線、 ３：偏向器、４ａ 、 ４
ｂ ：反射電子検出器、 ５ａ 、 ５ｂ ：増幅器、 ６：減算増幅器、７：陰
極線管、 ８：積分器。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 ９藤 −夫
Claims (1)
- 荷電粒子線を試料上に照射する手段、該荷電粒子線を試
料上で走査する手段、該荷電粒子線の照射により試料よ
り散乱する反射粒子又は試料より発生するＸ線等を検出
する前記荷電粒子線の光軸に対称的に設置された少なく
とも２個の検出器、該各検出器からの信号を減算する回
路及び該減算された信号を表示又は記録する手段を備え
た装置において、前記減算回路の後段に積分器を設置し
たことを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165366A JPS5954160A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165366A JPS5954160A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 荷電粒子線装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954160A true JPS5954160A (ja) | 1984-03-28 |
Family
ID=15810999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57165366A Pending JPS5954160A (ja) | 1982-09-22 | 1982-09-22 | 荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954160A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4733074A (en) * | 1985-04-17 | 1988-03-22 | Hitachi, Ltd. | Sample surface structure measuring method |
| US4835385A (en) * | 1986-07-25 | 1989-05-30 | Hitachi, Ltd. | Method of measuring sectional shape and a system therefor |
-
1982
- 1982-09-22 JP JP57165366A patent/JPS5954160A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4733074A (en) * | 1985-04-17 | 1988-03-22 | Hitachi, Ltd. | Sample surface structure measuring method |
| US4835385A (en) * | 1986-07-25 | 1989-05-30 | Hitachi, Ltd. | Method of measuring sectional shape and a system therefor |
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