JPS6055250A - ルミネッセンス検出装置 - Google Patents
ルミネッセンス検出装置Info
- Publication number
- JPS6055250A JPS6055250A JP58163649A JP16364983A JPS6055250A JP S6055250 A JPS6055250 A JP S6055250A JP 58163649 A JP58163649 A JP 58163649A JP 16364983 A JP16364983 A JP 16364983A JP S6055250 A JPS6055250 A JP S6055250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photomultiplier tube
- lens
- sample
- crt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/08—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission incident electron beam and measuring cathode luminescence (U.V.)
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/50—Detectors
- G01N2223/507—Detectors secondary-emission detector
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）発明の利用分野
この発明は、物質から発生するルミネッセンス光を検出
するルミネッセンス検出装置に関する。
するルミネッセンス検出装置に関する。
（ロ）従来技術
物質から発生する光のスペクトルを用いて分析を行う場
合の精度を高めるため、高速に加速した電子を物質に照
射し、この結果、結晶の価電子帯にある電子が励起され
てそれが再結合する過程で。
合の精度を高めるため、高速に加速した電子を物質に照
射し、この結果、結晶の価電子帯にある電子が励起され
てそれが再結合する過程で。
発生するカソードルミネッセンス光が利用されている。
第１図は、従来使用されているカソードルミネッセンス
装置の概略構成図を示し、同図中１は真空鏡筒で、この
真空鏡筒１内の真空空間中央部にはミラー２がその反射
面を下方に向は傾斜して設けられ、ミラー２の中央部に
は孔２ａが形成されている。さらに、真空鏡筒ｊ内のミ
ラー２と対向した側部には光学系の凸レンズ３．４が所
定距離離間して設けられている。また、真空鏡筒１の頂
部には走査型の電子銃５が設置されている。この電子銃
５から発生する電子線は電磁レンズ６によって走査され
る。前記真空鏡筒】の外部であって凸レンズ４と対向し
た所定距離離間した位置には、光電子増倍管７が配置さ
れている。この光電子増倍管７はへラドオン形箱形ダイ
ノード光電子増倍管で、その光電面７ａが凸レンズ４と
対向しており、その内部にグリッド７ｂ、ダイノード７
ｃ。
装置の概略構成図を示し、同図中１は真空鏡筒で、この
真空鏡筒１内の真空空間中央部にはミラー２がその反射
面を下方に向は傾斜して設けられ、ミラー２の中央部に
は孔２ａが形成されている。さらに、真空鏡筒ｊ内のミ
ラー２と対向した側部には光学系の凸レンズ３．４が所
定距離離間して設けられている。また、真空鏡筒１の頂
部には走査型の電子銃５が設置されている。この電子銃
５から発生する電子線は電磁レンズ６によって走査され
る。前記真空鏡筒】の外部であって凸レンズ４と対向し
た所定距離離間した位置には、光電子増倍管７が配置さ
れている。この光電子増倍管７はへラドオン形箱形ダイ
ノード光電子増倍管で、その光電面７ａが凸レンズ４と
対向しており、その内部にグリッド７ｂ、ダイノード７
ｃ。
アノード７ｄを備えている。光電子増倍管７のアノード
からの検出電流は増幅・同期回路８に入力。
からの検出電流は増幅・同期回路８に入力。
される。増幅・同期回路８には電罎レンズ６に印加され
る走査信号も印加されており、この走査信号と検出信号
の同期をとると共に、検出電流を増幅してＯＲ，Ｔ （
Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ） ９に送出される
。ＣＲＴ ９は入力された検出信号を前記走査信号に従
って表示する。
る走査信号も印加されており、この走査信号と検出信号
の同期をとると共に、検出電流を増幅してＯＲ，Ｔ （
Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ） ９に送出される
。ＣＲＴ ９は入力された検出信号を前記走査信号に従
って表示する。
前述の装置を使用して、例えばＧ ａ Ａ ｓの結晶特
性が均一か否か調べる場合には、ＧａＡｌ１の試料１０
を真空鏡筒１内でミラー２の下方に配置する。そして、
電子銃５から放射される電子線はミラー２の孔２ａを介
して試料１０に照射され、この結果、カソードルミネッ
センス光が発生する。このカソードルミネッセンス光は
ミラー２によって反射され、凸レンズ３，４を夫々介し
て光電子増倍管７の光電面７ａに照射される。光電面７
ａからは受光量に比例して光電子が放出され、この光電
子がグリッド７ｂの電磁界により集束されてダイノード
７Ｃに順次衝突して増倍され、アノード７ｄから検出電
流が得られる。この検出電流は増幅・同期回路８を介し
てＣＲＴ９において表示され、この結果、ＧａＡｓのカ
ソードルミネッセンス像が表われる。
性が均一か否か調べる場合には、ＧａＡｌ１の試料１０
を真空鏡筒１内でミラー２の下方に配置する。そして、
電子銃５から放射される電子線はミラー２の孔２ａを介
して試料１０に照射され、この結果、カソードルミネッ
センス光が発生する。このカソードルミネッセンス光は
ミラー２によって反射され、凸レンズ３，４を夫々介し
て光電子増倍管７の光電面７ａに照射される。光電面７
ａからは受光量に比例して光電子が放出され、この光電
子がグリッド７ｂの電磁界により集束されてダイノード
７Ｃに順次衝突して増倍され、アノード７ｄから検出電
流が得られる。この検出電流は増幅・同期回路８を介し
てＣＲＴ９において表示され、この結果、ＧａＡｓのカ
ソードルミネッセンス像が表われる。
（ハ） この発明が解決しようとする問題点ところで、
前記凸レンズ４は光電子増倍管７の光電面７ａの全面に
わたってカソードルミネッセンス光が照射されるように
焦点距離が短かく形成されている。このため、光電面７
ｆａを透過したカソードルミネッセンス光がグリッド７
ｂ面で反射しさらにこの反射光が光電面７乙に照射して
ノイズ光を発生し、このノイズ光が簿電子増倍管７によ
って検出されてＣＲＴＱ上にゴースト像Ａが表われ、結
晶特性の検出が正常に行えない問題があった。特に、カ
ソードルミネッセンス光が長波長の場合には、散乱によ
ってノイズ光が均一化しにくいことと、長波長に感度の
良い光電子増倍管はグリッド等が太くて太きいためゴー
スト像Ａが表われ易いと考えられる。そこで、光電子増
倍管の光電面とグリッドの間にピンホール、分光器のス
リット、反射光を散乱するフィルター等を使用してノイ
ズ光を除去すると、カソードルミネッセンス光の像が暗
くなる欠点があった〇 この発明は前記事情に基づいてなされたもので、その目
的とするところは、ルミネッセンス光を正確に検出し得
、ルミネッセンス光による像の鮮明な再現が可能なルミ
ネッセンス検出装置を提供することである。
前記凸レンズ４は光電子増倍管７の光電面７ａの全面に
わたってカソードルミネッセンス光が照射されるように
焦点距離が短かく形成されている。このため、光電面７
ｆａを透過したカソードルミネッセンス光がグリッド７
ｂ面で反射しさらにこの反射光が光電面７乙に照射して
ノイズ光を発生し、このノイズ光が簿電子増倍管７によ
って検出されてＣＲＴＱ上にゴースト像Ａが表われ、結
晶特性の検出が正常に行えない問題があった。特に、カ
ソードルミネッセンス光が長波長の場合には、散乱によ
ってノイズ光が均一化しにくいことと、長波長に感度の
良い光電子増倍管はグリッド等が太くて太きいためゴー
スト像Ａが表われ易いと考えられる。そこで、光電子増
倍管の光電面とグリッドの間にピンホール、分光器のス
リット、反射光を散乱するフィルター等を使用してノイ
ズ光を除去すると、カソードルミネッセンス光の像が暗
くなる欠点があった〇 この発明は前記事情に基づいてなされたもので、その目
的とするところは、ルミネッセンス光を正確に検出し得
、ルミネッセンス光による像の鮮明な再現が可能なルミ
ネッセンス検出装置を提供することである。
に）実施例
以下、この発明の一実施例につき第２図に基づいて説明
する。第２図はこの発明の要部構成図を示し、第１図と
同一部分は同一符号を附して示し、詳しい説明は省略す
る。第２図において、真空鏡筒１内にはミラー２からの
カソードルミネッセンス光を通過する凸レンズ１１が設
けられ、この凸レンズ１１と対向して凸レンズ１１から
入射するカソードルミネッセンス光を前記光電子増倍管
７のグリッド７ｂに結像する凸レンズ１２が設けられて
いる。この凸レンズ１２は焦点がグリッド７ｂの面上に
できるように従来の短焦点距離の凸レンズ４に比して長
焦点距離にしたもので、かつ凸レンズ１１と光電面７ａ
との間を移動可能にして、その焦点の位置を調節できる
ようにしてい葛。
する。第２図はこの発明の要部構成図を示し、第１図と
同一部分は同一符号を附して示し、詳しい説明は省略す
る。第２図において、真空鏡筒１内にはミラー２からの
カソードルミネッセンス光を通過する凸レンズ１１が設
けられ、この凸レンズ１１と対向して凸レンズ１１から
入射するカソードルミネッセンス光を前記光電子増倍管
７のグリッド７ｂに結像する凸レンズ１２が設けられて
いる。この凸レンズ１２は焦点がグリッド７ｂの面上に
できるように従来の短焦点距離の凸レンズ４に比して長
焦点距離にしたもので、かつ凸レンズ１１と光電面７ａ
との間を移動可能にして、その焦点の位置を調節できる
ようにしてい葛。
また、光電子増倍管７の光電面７乙の直前には通過する
光の波長を選択するための波長選択フィルタ１３が配置
されている。なお、電磁レンズ６に印加される走査信号
および光電子増倍管７からの検出信号は前記増幅・同期
回路８に送出され、同回路８からの出力はＣＲＴ９に送
られる。
光の波長を選択するための波長選択フィルタ１３が配置
されている。なお、電磁レンズ６に印加される走査信号
および光電子増倍管７からの検出信号は前記増幅・同期
回路８に送出され、同回路８からの出力はＣＲＴ９に送
られる。
上述のように構成したルミネッセンス検出装置を使用し
て試料１００表面から発生するカソードルミネッセンス
光をグリッド７ｂの面上に結像すると、この反射光は常
にほぼ一定であるから、光電面７ａから出力されるノイ
ズ光はほぼ一定となり、この結果、ＣＲＴＱ上にはノイ
ズ光による異常な像は現われずに鮮明な試料固有のカソ
ードルミネッセンスの明暗像が描かれる。
て試料１００表面から発生するカソードルミネッセンス
光をグリッド７ｂの面上に結像すると、この反射光は常
にほぼ一定であるから、光電面７ａから出力されるノイ
ズ光はほぼ一定となり、この結果、ＣＲＴＱ上にはノイ
ズ光による異常な像は現われずに鮮明な試料固有のカソ
ードルミネッセンスの明暗像が描かれる。
なお、前記実施例においてはこの発明のルミネッセンス
検出装置をカソードルミネッセンス光を検出する場合に
ついて説明したが、これに限らず、フォトルミネッセン
ス光、エレクトロルミネッセンス光を検出する場合にも
使用できる。
検出装置をカソードルミネッセンス光を検出する場合に
ついて説明したが、これに限らず、フォトルミネッセン
ス光、エレクトロルミネッセンス光を検出する場合にも
使用できる。
に）効果
以上説明したようにこの発明は、試料から発生したルミ
ネッセンス光を光電子増倍管の集中電極面上の小領域に
のみ集光する光学レンズを備えたから、集中電極からの
反射光の妨害を受けずにルミネッセンス光を検出でき、
これをＣＲＴ上に表示した場合には鮮明なルミネッセン
ス光の像を描くことができる。また、特に集中電極の前
面に反射光を散乱するフィルター等を備える必要は無い
から、検出信号が強り、シたがって明るい検出像を得る
ことができる。
ネッセンス光を光電子増倍管の集中電極面上の小領域に
のみ集光する光学レンズを備えたから、集中電極からの
反射光の妨害を受けずにルミネッセンス光を検出でき、
これをＣＲＴ上に表示した場合には鮮明なルミネッセン
ス光の像を描くことができる。また、特に集中電極の前
面に反射光を散乱するフィルター等を備える必要は無い
から、検出信号が強り、シたがって明るい検出像を得る
ことができる。
本装置はカソードルミネッセンス像観察装置、フォトル
ミネッセンス像観察装置、エレクトロルミネッセンス像
観察装置、光電子増倍管を使用した各種映像観察装置に
応用することができる。
ミネッセンス像観察装置、エレクトロルミネッセンス像
観察装置、光電子増倍管を使用した各種映像観察装置に
応用することができる。
第１図は従来のルミネッセンス検出装置を使用したカソ
ードルミネッセンス像観察装置の概略構成図、第２図は
この発明の実施例を示す概略構成図である。 １・・・・真空鏡筒、 ２・・・・ミラー、５・・・・
電子銃、 ６・・・・電磁レンズ、７・・・・光電子増
倍管、７ｂ・・・・グリッド、９・・・・ＣＲＴ、 １
０・・・・試料、１１．１２１．、、凸レンズ。 特許出願人 住友電気工業株式会社 （外４名）
ードルミネッセンス像観察装置の概略構成図、第２図は
この発明の実施例を示す概略構成図である。 １・・・・真空鏡筒、 ２・・・・ミラー、５・・・・
電子銃、 ６・・・・電磁レンズ、７・・・・光電子増
倍管、７ｂ・・・・グリッド、９・・・・ＣＲＴ、 １
０・・・・試料、１１．１２１．、、凸レンズ。 特許出願人 住友電気工業株式会社 （外４名）
Claims (1)
- 試料からルミネッセンス光を発生する手段と、入射する
ルミネッセンス光に応じた電流信号を検出する光電子増
倍管と、前記発生したルミネッセンス光な前記光電子増
倍管の集中電極面上の小領域にのみ集光する光学レンズ
とを備えてなるルミネッセンス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163649A JPS6055250A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | ルミネッセンス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58163649A JPS6055250A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | ルミネッセンス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6055250A true JPS6055250A (ja) | 1985-03-30 |
Family
ID=15777949
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58163649A Pending JPS6055250A (ja) | 1983-09-06 | 1983-09-06 | ルミネッセンス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6055250A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05275051A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-22 | Hiroshima Univ | 逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器 |
| US5356272A (en) * | 1990-09-05 | 1994-10-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel supply device and method of assembling same |
-
1983
- 1983-09-06 JP JP58163649A patent/JPS6055250A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5356272A (en) * | 1990-09-05 | 1994-10-18 | Nippondenso Co., Ltd. | Fuel supply device and method of assembling same |
| JPH05275051A (ja) * | 1992-03-26 | 1993-10-22 | Hiroshima Univ | 逆光電子分光用帯域フィルター型光検出器 |
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