JPH04204361A - 回折電子検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は、電子線回折装置において、特定の回折斑点の
信号強度を継続的に観察する場合に利用される回折電子
検出装置に関する。

【従来の技術】

多結晶の単一物質試料面を電子線で走査しながら、試料
からの回折電子像を観察すると、回折パターンは全体と
して一定であるが、試料各部の結晶の方位により、成る
回折スポットが強くなり、他の成る回折スボ・ソトか弱
くなったりする。一つの回折スポットにおける輝度が、
電子線の走査によって変化するのは、試料面各部におい
て結晶の方位が違っていることを表している。従って、
試料面の各部について一つの回折スポットの輝度の変化
を観察することにより、試料を構成している結晶の大き
さ、ａ合状態等が判明する。このような観察のため、従
来の回折電子検出装置では、蛍光スクリーン上に現れる
回折像を、直接或はＴＶカメラ等を通して観察しながら
、第２図に示すように、検出器１１を蛍光スクリーン２
の前面で、目的とする回折斑点を捕らえる様に移動させ
る。 しかし、検出器１１や検出器１１を移動させる機構部分
く不図示）が、蛍光スクリーン２主に現れた回折像を覆
うようになるために、検出器１１を回折斑点の位置に正
確に合わせることが難しく、また、正確に合っているの
かどうかを確かめることが難しいと云う問題があった。 また、検出器１１を機械的に移動させるために、検出器
１１を高速で移動させることができないために、回折斑
点から回折斑点までの移動を速やかに行うことができな
いので、試料面の結晶の集合状態や大きさ等を調べるの
に、長時間かかると云う問題があった

【発明が解決しようとする課題】

本発明は、検出器を回折斑点の位置に正確に配置させ得
るようにすると共に、回折斑点の切り替えを高速で行え
るようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段１ 回折電子検出装置を、試料に電子線を照射する手段と、
電子線を走査する手段と、試料に照射された電子の試料
による回折電子を光信号に変換する蛍光スクリーンと、
蛍光スクリーン撮像用撮像管と、同撮像管から出力され
た映像信号を画像表示する表示手段と、同表示手段で表
示された回折電子像上で任意の画素位置を指定する手段
と、上記撮像管から出力する映像信号から上記指定画素
位置に相当するタイミングにおける映像信号を抽出する
手段と、上記抽出された信号を試料面の電子線の走査に
同期させて映像表示する表示手段とで構成した。 【作　用】 蛍光スクリーンに映し出される回折像を撮像管で撮像し
ＣＲＴに表示させ、ＣＲＴの回折像上で目的とする回折
斑点をカーソル等で指定する指定手段を設けることで、
目的とする回折斑点の画素位置に対応する映像信号を上
記撮像管の映像信号から抽出することにより、指定した
回折斑点の輝度信号の継続的変化を得ることができる。 この輝度信号を電子線の走査信号に同期させてＣＲＴに
表示することで走査型ＲＨＥＥＤ像を正確に且つ容易に
得ることができる。 また、回折斑点の指定の切り替えも、ＣＲＴ上でもカー
ソルの指定変更によるだけなので、速く行うことができ
る。

【実施例】

第１図に本発明の一実施例を示す。第１図は本発明を走
査型ＲＨＥＥＤＩＩ微鏡に実施した例であり、この実施
例では、細く絞った電子線を電子銃１から試料Ｓに表面
にすれすれに入射させ、試料表面で回折した電子を蛍光
スクリーン２に衝突させ、光に転換している。３は蛍光
スクリーン２の前面に配置した撮像管で、走査信号回路
５から送られる走査信号により回折像を走査して撮像信
号を得る。得られた撮像信号は、回折像表示用のＣＲＴ
４に映し出される。ＣＲＴ４に映し出された回折電子像
上で目的とする回折斑点位置をマウス７を使ってカーソ
ルで指定すると、ＣＰＵ６で指定された位置の画素に対
応する映像信号の走査タイミングを求め、同走査タイミ
ングにおいてゲート８が開くようにゲート開信号を発信
し、撮像管３の映像信号から指定された回折斑点の画素
の輝度信号を抽出して走査ＲＨＥＥＤ像用ＣＲＴ９に継
続的に送る。ＣＲＴ９では送られた輝度信号を、電子線
の走査制御を行う走査制御回路１０の走査信号に同期さ
せて一つの回折斑点の試料面における輝度分布の走査像
（走査ＲＨＥＥＤ像）を映し出す、このようにして得ら
れた走査ＲＨＥＥＤ像は、試料面において特定の方位を
向いた結晶粒の分布を示している。 目的とする回折斑点の切り替えは、マウス７でカーソル
を指定しようとする回折斑点に移動するだけで速やかに
行われ、撮像管３の映像信号から抽出されてＣＲＴ９に
送られる輝度信号の画素の位！は指定された画素の位置
に変更される。

【効　果】

本発明によれば、回折斑点指定装置によって回折像が隠
されることなく、回折斑点を正確に検知し、その輝度信
号を高精度で検出できるようになったことで、走査ＲＨ
ＥＥＤ像が高精度で得られるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は従来例の
構成図である。 Ｓ・・・試料、１・・電子銃、２・・・蛍光スクリーン
、３・・・撮像管、４・・ＣＲＴ、５・・走査信号回路
、６９．′ＣＰ　Ｌｌ、７・・マウス、８・・・ゲート
、９・・・ＣＲＴ、１０・走査制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　試料に電子線を照射する手段と、電子線を走査する手
   段と、試料に照射された電子の試料による回折電子を光
   信号に変換する蛍光スクリーンと、蛍光スクリーン撮像
   用撮像管と、同撮像管から出力された映像信号を画像表
   示する表示手段と、同表示手段で表示された回折電子像
   上で任意の画素位置を指定する手段と、上記撮像管から
   出力する映像信号から上記指定画素位置に相当するタイ
   ミングにおける映像信号を抽出する手段と、上記抽出さ
   れた信号を試料面の電子線の走査に同期させて映像表示
   する表示手段とを設けたことを特徴とする回折電子検出
   装置。