JPS5953151A - 研磨装置の研磨布張付け方法および装置 - Google Patents
研磨装置の研磨布張付け方法および装置Info
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- JPS5953151A JPS5953151A JP15962582A JP15962582A JPS5953151A JP S5953151 A JPS5953151 A JP S5953151A JP 15962582 A JP15962582 A JP 15962582A JP 15962582 A JP15962582 A JP 15962582A JP S5953151 A JPS5953151 A JP S5953151A
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- JP
- Japan
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- polishing
- cloth
- surface plate
- polishing cloth
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D9/00—Wheels or drums supporting in exchangeable arrangement a layer of flexible abrasive material, e.g. sandpaper
- B24D9/08—Circular back-plates for carrying flexible material
- B24D9/085—Devices for mounting sheets on a backing plate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は両面研磨装置の研磨布の張付は方法およびその
装置の改良に関する。
装置の改良に関する。
［発明の技術的背景およびその問題点］両面研磨装置に
おいては、上定盤と下定盤の加工面にそれぞれ研磨布が
張付けられているが研磨布は、しばしばこれを張替える
必要がある。上定盤に研磨布を張付けるときには、上定
盤を研磨装置から取外し、天地を反対にして別の平坦な
場所に置き、定盤面に接着剤を塗布してから研磨布をそ
の上に乗せて、研磨布と接着剤の間に空気の入った隙間
などが生じないように張付け、しごいていた。しか（−
この方法では、上定盤を研磨装置から取シ外すという作
業があり、定盤の重量が軽い盤を取り外す作業に大きな
労力を要し、しかも危険をともなう不都合があった。ま
た上定盤を取外さずに、そのままの状態で研磨布を張り
付けようとすると、上定盤装置の研磨布張付は面は下方
を向いているので、非常に不自然姿勢で研磨布を張り付
け、またその後研磨布をしごかなければならない。従っ
て上定盤を装置に取付けたままでは簡便に研磨布を張ル
付け、その表面をしごいて接着面を完全にし、かつ接着
剤塗布の凹凸をならす方法が切望されていた。
おいては、上定盤と下定盤の加工面にそれぞれ研磨布が
張付けられているが研磨布は、しばしばこれを張替える
必要がある。上定盤に研磨布を張付けるときには、上定
盤を研磨装置から取外し、天地を反対にして別の平坦な
場所に置き、定盤面に接着剤を塗布してから研磨布をそ
の上に乗せて、研磨布と接着剤の間に空気の入った隙間
などが生じないように張付け、しごいていた。しか（−
この方法では、上定盤を研磨装置から取シ外すという作
業があり、定盤の重量が軽い盤を取り外す作業に大きな
労力を要し、しかも危険をともなう不都合があった。ま
た上定盤を取外さずに、そのままの状態で研磨布を張り
付けようとすると、上定盤装置の研磨布張付は面は下方
を向いているので、非常に不自然姿勢で研磨布を張り付
け、またその後研磨布をしごかなければならない。従っ
て上定盤を装置に取付けたままでは簡便に研磨布を張ル
付け、その表面をしごいて接着面を完全にし、かつ接着
剤塗布の凹凸をならす方法が切望されていた。
［発明の目的コ
本発明は上定盤を取外すことなく研磨布を張シかえるこ
とができる研磨装置の研磨布張付は方法およびこれを実
施する装置を提供することを目的とする。
とができる研磨装置の研磨布張付は方法およびこれを実
施する装置を提供することを目的とする。
Ｕ発明の概要コ
本発明方法は、上定盤および下定盤に研磨布を接着剤に
より仮付けした後、上定盤と下定盤との間に回転自在に
軸支され九ローラを介在させ、測定盤でローラを押圧す
るとともに相対的に回転させて研磨布にしどきを与える
研磨装置の研磨布張付は方法である。
より仮付けした後、上定盤と下定盤との間に回転自在に
軸支され九ローラを介在させ、測定盤でローラを押圧す
るとともに相対的に回転させて研磨布にしどきを与える
研磨装置の研磨布張付は方法である。
また本発明装置は、上記発明方法を実施する装置で、下
定盤を半径方向にまたいで設けられて一端部が太陽歯車
と、他端部がインターナル歯車と一体回転可能な本体と
、この本体に回転自在に取付けられたローラとを具えて
、上下両定盤がローラを押圧して回転することによシ研
磨布をしごくことを特徴とした研磨装置の研磨布張付は
装置である。
定盤を半径方向にまたいで設けられて一端部が太陽歯車
と、他端部がインターナル歯車と一体回転可能な本体と
、この本体に回転自在に取付けられたローラとを具えて
、上下両定盤がローラを押圧して回転することによシ研
磨布をしごくことを特徴とした研磨装置の研磨布張付は
装置である。
［発明の実施例］
以下本発明方法および装置の詳細を図示の一実施例によ
り説明する。最初に装置につき説明し、その作動ととも
に本発明方法を説明する。
り説明する。最初に装置につき説明し、その作動ととも
に本発明方法を説明する。
本実施例が適用された研磨装置の概略を第１図を参照し
て説明すると、（１）はベッド（２）忙対して固定され
た主ブラケットで、これの外側にインターナル歯車（３
）が上下位置調節自在、かつ回転自在に取付けられてい
て、このインターナル歯車（３） ハ歯車（４）によシ
駆動される。また主ブラケット（１）の内側にフランジ
付きのスリーブ（５）が回転自在に取付けられていて、
このフランジ部（６）に下定盤（７）が固定されている
。そして歯車（８）によシ下定盤（力は回転駆動される
。一方中心部に中心回転軸Ｑｌが設けられていて、これ
は歯車αυにょ多回転駆動されるととも釦、上端部０３
はキー溝が設けられていて、上定盤ｆｉ３を回転駆動す
る。上定盤０３は図示しない油圧機構によシ適宜位置調
節自在に上下動し、下降によ）中心回転軸ａ〔の上部ａ
３に嵌合し歯車αυにより回転駆動される。この中心回
転軸α〔の外側−に内側スリーブＩが嵌合していて、こ
れの上部に太陽歯車（１５１が取付けられており、下部
に取付けられた歯車（１ｅによυ太陽歯車（１［有］は
回転される。また上定盤（１３１，下定盤（７）Ｋは対
向した加工面（ＩＩＥＩ 、 ａｓに研磨布−，０υが
張付けられている。詳細は図示されていないが、上定盤
ａ３は上下動して位置調節されるとともに、押圧力も適
宜調節される機構が設けられているが、これは一般公知
のものと同様である。そして図示していないが、外側が
歯車となり内部に被研磨物を収容したキャリヤが、太陽
歯車（Ｌりとインターナル歯車（３）とにかみ合った状
態で下定盤（力と上定盤ａ３との間に挾持され、両歯車
Ｑ！１９ 。
て説明すると、（１）はベッド（２）忙対して固定され
た主ブラケットで、これの外側にインターナル歯車（３
）が上下位置調節自在、かつ回転自在に取付けられてい
て、このインターナル歯車（３） ハ歯車（４）によシ
駆動される。また主ブラケット（１）の内側にフランジ
付きのスリーブ（５）が回転自在に取付けられていて、
このフランジ部（６）に下定盤（７）が固定されている
。そして歯車（８）によシ下定盤（力は回転駆動される
。一方中心部に中心回転軸Ｑｌが設けられていて、これ
は歯車αυにょ多回転駆動されるととも釦、上端部０３
はキー溝が設けられていて、上定盤ｆｉ３を回転駆動す
る。上定盤０３は図示しない油圧機構によシ適宜位置調
節自在に上下動し、下降によ）中心回転軸ａ〔の上部ａ
３に嵌合し歯車αυにより回転駆動される。この中心回
転軸α〔の外側−に内側スリーブＩが嵌合していて、こ
れの上部に太陽歯車（１５１が取付けられており、下部
に取付けられた歯車（１ｅによυ太陽歯車（１［有］は
回転される。また上定盤（１３１，下定盤（７）Ｋは対
向した加工面（ＩＩＥＩ 、 ａｓに研磨布−，０υが
張付けられている。詳細は図示されていないが、上定盤
ａ３は上下動して位置調節されるとともに、押圧力も適
宜調節される機構が設けられているが、これは一般公知
のものと同様である。そして図示していないが、外側が
歯車となり内部に被研磨物を収容したキャリヤが、太陽
歯車（Ｌりとインターナル歯車（３）とにかみ合った状
態で下定盤（力と上定盤ａ３との間に挾持され、両歯車
Ｑ！１９ 。
（３）の回転によシキャリャは自転しながら下定盤（力
上を公転し、回転する測定盤（７） 、 ＜１３に張付
けられた研磨布０１ 、 （２υにより鏡面に仕上げら
れる。
上を公転し、回転する測定盤（７） 、 ＜１３に張付
けられた研磨布０１ 、 （２υにより鏡面に仕上げら
れる。
次に本発明装置の第１の実施例につき述べる。
第２図〜第６図において０９は本体で、はぼ矩形板状部
材からな−・ていて、長手方向の長さは下定盤（７）の
半径方向の幅よシ長く両端部は突出しておシ一方端部弼
には太陽歯車α９にかみ合う歯が刻設されていて、他方
端部（５）にはインターナル歯車（３）にかみ合う歯が
刻設されている。また中央部には上下に貫通した矩形の
取付は孔（ハ）が設けられている。
材からな−・ていて、長手方向の長さは下定盤（７）の
半径方向の幅よシ長く両端部は突出しておシ一方端部弼
には太陽歯車α９にかみ合う歯が刻設されていて、他方
端部（５）にはインターナル歯車（３）にかみ合う歯が
刻設されている。また中央部には上下に貫通した矩形の
取付は孔（ハ）が設けられている。
この取付は孔弼の長手方向両端部近傍には一対の軸受体
（３０）、（３１）が取付けられている。これら軸受体
（３０）、（３１）にはステンレス鋼からなるローラ０
つが回転自在に軸支されていて、これは直径約５０〜６
０龍のステンレス鋼からなる円柱状部材（ハ）に支軸（
財）を突設して構成されている。ローラＯ邊は軸受体（
３０）、（３］ ）に取付けられた状態で本体＋２５１
の下方に約１〜５ Ｉ１１程度突出している。なお軸受
体（３０）、（３１）は第３図に拡大して示すように支
軸（ロ）を挿入する軸受スライド（至）と、これを案内
する案内溝（至）、弼をもった軸受ブロック休０７）と
、これらを固定する固定ねじ弼などから構成されていて
、上下に軸受スライド０Ｑを移動させることによシ種々
な径のローラ０つが適宜選択できるようになっている。
（３０）、（３１）が取付けられている。これら軸受体
（３０）、（３１）にはステンレス鋼からなるローラ０
つが回転自在に軸支されていて、これは直径約５０〜６
０龍のステンレス鋼からなる円柱状部材（ハ）に支軸（
財）を突設して構成されている。ローラＯ邊は軸受体（
３０）、（３］ ）に取付けられた状態で本体＋２５１
の下方に約１〜５ Ｉ１１程度突出している。なお軸受
体（３０）、（３１）は第３図に拡大して示すように支
軸（ロ）を挿入する軸受スライド（至）と、これを案内
する案内溝（至）、弼をもった軸受ブロック休０７）と
、これらを固定する固定ねじ弼などから構成されていて
、上下に軸受スライド０Ｑを移動させることによシ種々
な径のローラ０つが適宜選択できるようになっている。
次に本装置の作動とともに本発明方法の実施例を説明す
る１、まず第６図に示すように、下定盤（力の上に接着
剤を塗布して研磨布０υを載せ、その上に上定盤（ＩＳ
用の研磨布−を載せる。そして接着剤を塗布した上定盤
（１■を下降させ、適宜な圧力で研磨布（２１，１２υ
を押圧する。そして数分間経た後、上定盤０３）を上昇
させると、これとともに研磨布（イ）は−諸に上昇し、
両灯磨布（イ）、Ｑｌ）は仮接着された状態となる〇 次に下定盤（７）に上述した研磨布張付は装置を載置す
る。すなわち第４図および第５図に示すように、本体（
ハ）の両端部（ハ）、＠の歯車の一部が、太陽歯車（１
５１，インターナル歯車（３）にそれぞれかみ合うよう
に下定盤（力の半径方向に沿って取付ける。これにより
歯車（１５） 、 （３） Ｋ保持されることにより本
体（ハ）は傾くことなく所定の姿勢に維持され、ローラ
Ｇ３の下側面が下定盤（７）の研磨布０υに接した状態
で取付けられることになる。取付けが完了した後、太陽
歯車Ｑ５１．インターナル歯車（３）を固定したまま上
定盤ａ３を徐々に下降させ、ローラｃｌりに接触させ軽
く押し当てた状態にする。そこで上下両定盤時。
る１、まず第６図に示すように、下定盤（力の上に接着
剤を塗布して研磨布０υを載せ、その上に上定盤（ＩＳ
用の研磨布−を載せる。そして接着剤を塗布した上定盤
（１■を下降させ、適宜な圧力で研磨布（２１，１２υ
を押圧する。そして数分間経た後、上定盤０３）を上昇
させると、これとともに研磨布（イ）は−諸に上昇し、
両灯磨布（イ）、Ｑｌ）は仮接着された状態となる〇 次に下定盤（７）に上述した研磨布張付は装置を載置す
る。すなわち第４図および第５図に示すように、本体（
ハ）の両端部（ハ）、＠の歯車の一部が、太陽歯車（１
５１，インターナル歯車（３）にそれぞれかみ合うよう
に下定盤（力の半径方向に沿って取付ける。これにより
歯車（１５） 、 （３） Ｋ保持されることにより本
体（ハ）は傾くことなく所定の姿勢に維持され、ローラ
Ｇ３の下側面が下定盤（７）の研磨布０υに接した状態
で取付けられることになる。取付けが完了した後、太陽
歯車Ｑ５１．インターナル歯車（３）を固定したまま上
定盤ａ３を徐々に下降させ、ローラｃｌりに接触させ軽
く押し当てた状態にする。そこで上下両定盤時。
（力を等速度で逆回転させると、ローラＣ３３によって
上下両定盤（１３、（７）に張付けである研磨布（２１
，ｆｆｌυはしごかれて接着が十分良く行われ、また接
着時の凹凸もならされて、平坦な面ができ張付は作業が
完了する。
上下両定盤（１３、（７）に張付けである研磨布（２１
，ｆｆｌυはしごかれて接着が十分良く行われ、また接
着時の凹凸もならされて、平坦な面ができ張付は作業が
完了する。
なお本実施例においては、上下定盤（１：１ 、 （７
）は外径８４０ ｍｔｘ、内径２６５１１１１に対して
ローラ０４の円柱状部材（ハ）は外径５０１１ｍ、長さ
８５０１１１、本体（ハ）下面から円柱状部材（ハ）を
約３關突出した状態で、定盤０階。
）は外径８４０ ｍｔｘ、内径２６５１１１１に対して
ローラ０４の円柱状部材（ハ）は外径５０１１ｍ、長さ
８５０１１１、本体（ハ）下面から円柱状部材（ハ）を
約３關突出した状態で、定盤０階。
（力の回転速度をそれぞれ３Ｏｒ−ｐ−ｍで行ない、上
定盤側からの荷重を５０ｋｇとした場合、１分間のしご
きで研磨布（２Ｇ 、 （２１）の接着は完全になり、
また接着剤の凹凸による研磨布の凹凸もなくｋつだ。
定盤側からの荷重を５０ｋｇとした場合、１分間のしご
きで研磨布（２Ｇ 、 （２１）の接着は完全になり、
また接着剤の凹凸による研磨布の凹凸もなくｋつだ。
次に第７図に示すものは研磨布張付は装置の第２の実施
例である。本体（ハ）はほぼ第１の実施例と同様な形状
をしているが、下定盤（力の半径方向と一致する中心線
（至）に対しローラ（３２ａ ） 、 （３２ａ ）が
２個、中心線（至）に対して斜めに取付けられている。
例である。本体（ハ）はほぼ第１の実施例と同様な形状
をしているが、下定盤（力の半径方向と一致する中心線
（至）に対しローラ（３２ａ ） 、 （３２ａ ）が
２個、中心線（至）に対して斜めに取付けられている。
これらローラ（３２ａ ） 、 （３２ａ ）は下定盤
（力の円周方向に対して重なるように配設するとともに
、それらは下定盤（力の外周縁（７ａ）、内周縁（７ｂ
）よシ突出するようになっている。その、他に関しては
第１の実施例と同様なので説明を省略する。
（力の円周方向に対して重なるように配設するとともに
、それらは下定盤（力の外周縁（７ａ）、内周縁（７ｂ
）よシ突出するようになっている。その、他に関しては
第１の実施例と同様なので説明を省略する。
［発明の効果］
以上詳述したようＫ、本発明の研磨装置の研磨布張付は
方法は、上定盤および下定盤に研磨布を仮接着した後、
画定盤間にローラを介在させて押圧し、両定盤を回転さ
せるように構成したので、ローラが一様に上下の研磨布
をしごくため、上定盤を取外すことなく容易に、しかも
安全に研磨布の張かえができる。！、た第２の実施例の
ようにローラを定盤の半径方向に対し斜めに配置した場
合は、半径方向のしごきも加えられる効果がある。
方法は、上定盤および下定盤に研磨布を仮接着した後、
画定盤間にローラを介在させて押圧し、両定盤を回転さ
せるように構成したので、ローラが一様に上下の研磨布
をしごくため、上定盤を取外すことなく容易に、しかも
安全に研磨布の張かえができる。！、た第２の実施例の
ようにローラを定盤の半径方向に対し斜めに配置した場
合は、半径方向のしごきも加えられる効果がある。
さらにまだ、本発明の研磨装置の研磨布張付は装置は、
下定盤を半径方向にまたいで設けた本体に、円柱状部材
を回転自在に軸支して構成したので、常に上下の研磨布
をほぼ同じ圧力でしごくことができ、また上定盤の圧力
調節により最適の圧力でしごくことができる。
下定盤を半径方向にまたいで設けた本体に、円柱状部材
を回転自在に軸支して構成したので、常に上下の研磨布
をほぼ同じ圧力でしごくことができ、また上定盤の圧力
調節により最適の圧力でしごくことができる。
また本実施例のように本体を太陽歯車とインターナル歯
車に係合させたものは定盤に対して移動させながらしご
くこともでき作業能率を向上させる効果がある。
車に係合させたものは定盤に対して移動させながらしご
くこともでき作業能率を向上させる効果がある。
なお本実施例においては１個のローラを用いたが、複数
個のローラを例えば等配に設けてもよく本体の固定も歯
車のかみ合いに限らずにビンなどで係合してもよく、ま
た太陽歯車とインターナル歯車に限ることなく他の部位
に固定してもよいことはもちろんである。また本体は取
付は孔の代りに切欠きを設けてもよく、要はローラが上
下研磨布に接するように取付けられればよい。
個のローラを例えば等配に設けてもよく本体の固定も歯
車のかみ合いに限らずにビンなどで係合してもよく、ま
た太陽歯車とインターナル歯車に限ることなく他の部位
に固定してもよいことはもちろんである。また本体は取
付は孔の代りに切欠きを設けてもよく、要はローラが上
下研磨布に接するように取付けられればよい。
第１図は本発明を実施しだ研磨装置の要部を示す断面正
面図、第２図は本発明装置の第１の実施例の１部断面正
面図、第３図は第２図のＡ部拡大側面図、第４図は本発
明方法の実施例を説明する要部平面図、第５図は同じく
断面正面図、第６図は同じく説明図、第７図は本発明装
置の第２の実施例の平面図である。 （３）・・・インターナル歯車、（力・・・下定盤、（
１→・・上定盤、（＋５１・・・太陽歯車、翰、（２υ
・・・研磨布、（幻・・本体、（２Ｑ・・・一端部、＠
・・・他端部、（３０）・・・軸受体、Ｃ３２）・・ロ
ーラ、（至）・・円柱状部材、（３４）・・・支軸。
面図、第２図は本発明装置の第１の実施例の１部断面正
面図、第３図は第２図のＡ部拡大側面図、第４図は本発
明方法の実施例を説明する要部平面図、第５図は同じく
断面正面図、第６図は同じく説明図、第７図は本発明装
置の第２の実施例の平面図である。 （３）・・・インターナル歯車、（力・・・下定盤、（
１→・・上定盤、（＋５１・・・太陽歯車、翰、（２υ
・・・研磨布、（幻・・本体、（２Ｑ・・・一端部、＠
・・・他端部、（３０）・・・軸受体、Ｃ３２）・・ロ
ーラ、（至）・・円柱状部材、（３４）・・・支軸。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 付ける上記研磨布を上記両定盤に接着によりそれぞれ仮
張付けする工程と、上記画定盤間に配設されて回転自在
に支持されたローラを上記両定盤で抑圧挟持するととも
に上記両定盤を相対的に逆回転させ上記仮張付けされた
研磨布に上記ローラによりしごきを与えることを特徴と
する研磨装置の研磨布張付は方法。 （２）ローラを等配に複数個設けてしごくことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の研磨装置の研磨布張付
は方法。 （３）上下両定盤の半径方向に配設されかつ上記両定盤
の幅より長いローラでしごくことを特徴とする特許請求
の範囲第１項または第２項記載の研磨装置の研磨布張付
は方法。 （４）上下両定盤の半径方向に対し斜めに配設された複
数個のローラでしごくことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載または第２項記載の研磨装置の研磨布張付は
方法。 （５）研磨加工面に研磨布をとシつけた上定盤および下
定盤をもった研磨装置の上記画定盤間に上記下定盤をそ
の半径方向にまたいで配設されかつ一端部が上記太陽歯
車と他端部が上記インターナル歯車と一体回転可能に取
付けられた本体と、上記本体に互に離間して取付けられ
た少なくとも一対の軸受体と、両端に支持軸を突設した
円柱状部材からなり上記軸受体に回転自在に支持され上
側面が上記上定盤の研磨布Ｋまた下側面が上記下定盤の
研磨布にそれぞれ圧接するローラとを具備したことを特
徴とする研磨装置の研磨布張付は装置。 （６）ローラをもった本体は下定盤の回転中心に対し等
配に複数個設けられていることを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載の研磨装置の研磨布張付は装置。 （７）本体はその両端部には研磨装置の太陽歯車および
インターナル歯車にかみ合う歯形がそれぞれ刻設されて
いて上記両歯車と上記両歯形とのかみ合いにより上記両
歯車に対し固定されていることを特徴とする特許請求の
範囲第５項または第６項記載の研磨装置の研磨布張付は
装置。 （８）本体には複数個のローラが下定盤の半径方向に対
して斜めに取付けられていることを特徴とする特許請求
の範囲第５項ないし第７項のいずれかに記載の研磨装置
の研磨布張付は装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15962582A JPS5953151A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 研磨装置の研磨布張付け方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15962582A JPS5953151A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 研磨装置の研磨布張付け方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5953151A true JPS5953151A (ja) | 1984-03-27 |
Family
ID=15697804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15962582A Pending JPS5953151A (ja) | 1982-09-16 | 1982-09-16 | 研磨装置の研磨布張付け方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5953151A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1759811A1 (en) * | 2005-09-05 | 2007-03-07 | Fujikoshi Machinery Corp. | Method of adhering polishing pads and jig for adhering the same |
| EP1775068A1 (en) * | 2005-10-17 | 2007-04-18 | Fujikoshi Machinery Corp. | Method of adhering polishing pads and jig for adhering the same |
| DE102018119682A1 (de) | 2017-08-17 | 2019-02-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Bildverarbeitungsvorrichtung, bildverarbeitungsverfahren und nicht-vorübergehendes computerlesbares speichermedium |
| DE102018121039A1 (de) | 2017-08-31 | 2019-02-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Informationsverarbeitungsvorrichtung, verfahren zur steuerung von informationsverarbeitungsvorrichtung und speichermedium |
| EP4321298A1 (de) * | 2022-08-12 | 2024-02-14 | Siltronic AG | Vorrichtung und verfahren zum anpressen eines oberen poliertuchs gegen einen oberen polierteller einer maschine zum gleichzeitigen polieren einer vorderseite und einer rückseite einer halbleiterscheibe |
-
1982
- 1982-09-16 JP JP15962582A patent/JPS5953151A/ja active Pending
Cited By (10)
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