JP3493208B2 - 平坦な主面を持つ板の製造方法および、平行な二つの主面を持つ板の製造方法 - Google Patents
平坦な主面を持つ板の製造方法および、平行な二つの主面を持つ板の製造方法Info
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/07—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
- B24B37/08—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for double side lapping
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- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、平坦な主面を持つ板
を前記板の前記主面を研磨することによって製造する方
法に関し、また、平行な二つの主面を持つ板を前記二つ
の主面を同時に研磨することによって製造する方法にも
関するものである。
を前記板の前記主面を研磨することによって製造する方
法に関し、また、平行な二つの主面を持つ板を前記二つ
の主面を同時に研磨することによって製造する方法にも
関するものである。
【０００２】なお、この特許出願明細書における「研
磨」という語は、高精度に機械加工された表面を有する
板を製造するのに適する、またそれによって前記板の前
記表面で研摩剤と研摩面とによる張出部削減処理が行わ
れる、研削加工やバフ加工やラップ仕上げの如き精密機
械加工技術のための、包括的な用語として用いられてい
る。
磨」という語は、高精度に機械加工された表面を有する
板を製造するのに適する、またそれによって前記板の前
記表面で研摩剤と研摩面とによる張出部削減処理が行わ
れる、研削加工やバフ加工やラップ仕上げの如き精密機
械加工技術のための、包括的な用語として用いられてい
る。
【０００３】
【従来の技術】板を研磨するのに適した方法および装置
は、例えば米国特許US-A-4940507号明細書によって知ら
れ、かかる方法および装置はなかんずく、例えばシリコ
ンやガラスの薄片の如き比較的薄い板の研磨に用いられ
ており、この既知の装置では、板が、二つの研摩面の間
に介挿され、研摩剤が、その研摩面の孔から研摩面と前
記板との間に供給され、それらの研摩面に対する前記板
の移動によって、その板から材料が除去される。
は、例えば米国特許US-A-4940507号明細書によって知ら
れ、かかる方法および装置はなかんずく、例えばシリコ
ンやガラスの薄片の如き比較的薄い板の研磨に用いられ
ており、この既知の装置では、板が、二つの研摩面の間
に介挿され、研摩剤が、その研摩面の孔から研摩面と前
記板との間に供給され、それらの研摩面に対する前記板
の移動によって、その板から材料が除去される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
従来既知の装置では、その研磨工程の成果は上記孔の形
状と研摩面における位置とに依存しており、それゆえ、
その既知の方法および装置によって達成され得る、平坦
度および二つの主面の平行度に関する精度は、限られた
ものであった。
従来既知の装置では、その研磨工程の成果は上記孔の形
状と研摩面における位置とに依存しており、それゆえ、
その既知の方法および装置によって達成され得る、平坦
度および二つの主面の平行度に関する精度は、限られた
ものであった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、板の主面の
平坦度を高める方法を提供することを目的とするもので
あり、この発明の平坦な主面を持つ板の製造方法は、先
ず、前記板の主面が、それが凸形状もしくは凹形状の初
期形状を有するまで研磨によって準備され、次いで、少
なくとも一回の張出部削減サイクルが行われ、前記初期
形状が凹形状の場合は、その張出部削減サイクルの間
に、前記主面が、それが実質的に平坦な形状と、凸形状
と、再び実質的に平坦な形状とを連続的に与えられるよ
うに研磨され、また前記初期形状が凸形状の場合は、そ
の張出部削減サイクルの間に、前記主面が、それが実質
的に平坦な形状と、凹形状と、再び実質的に平坦な形状
とを連続的に与えられるように研磨されることを特徴と
するものである。
平坦度を高める方法を提供することを目的とするもので
あり、この発明の平坦な主面を持つ板の製造方法は、先
ず、前記板の主面が、それが凸形状もしくは凹形状の初
期形状を有するまで研磨によって準備され、次いで、少
なくとも一回の張出部削減サイクルが行われ、前記初期
形状が凹形状の場合は、その張出部削減サイクルの間
に、前記主面が、それが実質的に平坦な形状と、凸形状
と、再び実質的に平坦な形状とを連続的に与えられるよ
うに研磨され、また前記初期形状が凸形状の場合は、そ
の張出部削減サイクルの間に、前記主面が、それが実質
的に平坦な形状と、凹形状と、再び実質的に平坦な形状
とを連続的に与えられるように研磨されることを特徴と
するものである。
【０００６】かかる、凸形状の面を凹形状の面に研磨す
る間あるいはその逆の間、前記板の主面は、ある瞬間に
おいて、実質的に平坦な形状を有することになる。従っ
て研磨は、その平坦になった瞬間に停止しても良い。し
かしながら、主面が、それが凹形状を有している間にさ
らに研磨され、次いで、それが凸形状を有するであろう
ように研磨された時、正確に平坦な形状からの主面の偏
差は減少する、ということが確認されている。そしてこ
の工程中でも、主面は、ある瞬間に、実質的に正確に平
坦な形状を有するであろう。しかしてこの工程におけ
る、正確に平坦な形状からの主面の偏差は、従来の平坦
な形状におけるそれよりも小さなものとなる。なお、主
面の形状が凸形状と凹形状との間で変化する回数が多け
れば多いほど、凸形状から凹形状へ遷移する瞬間あるい
はその逆の瞬間の平坦な形状の、正確な平坦さからの偏
差は、より小さくなるであろう。
る間あるいはその逆の間、前記板の主面は、ある瞬間に
おいて、実質的に平坦な形状を有することになる。従っ
て研磨は、その平坦になった瞬間に停止しても良い。し
かしながら、主面が、それが凹形状を有している間にさ
らに研磨され、次いで、それが凸形状を有するであろう
ように研磨された時、正確に平坦な形状からの主面の偏
差は減少する、ということが確認されている。そしてこ
の工程中でも、主面は、ある瞬間に、実質的に正確に平
坦な形状を有するであろう。しかしてこの工程におけ
る、正確に平坦な形状からの主面の偏差は、従来の平坦
な形状におけるそれよりも小さなものとなる。なお、主
面の形状が凸形状と凹形状との間で変化する回数が多け
れば多いほど、凸形状から凹形状へ遷移する瞬間あるい
はその逆の瞬間の平坦な形状の、正確な平坦さからの偏
差は、より小さくなるであろう。
【０００７】この発明はまた、板の二つの主面の平行度
を高める方法を提供することも目的とするものであり、
この発明の平行な二つの主面を持つ板の製造方法は、先
ず、前記板の二つの主面が、それらが凸形状もしくは平
坦な形状もしくは凹形状の初期形状を有するまで研磨に
よって準備され、次いで、少なくとも一回の張出部削減
サイクルが行われ、前記板が周縁部に囲繞された中央部
よりも厚い前記周縁部を有する場合は、その張出部削減
サイクルの間に、前記二つの主面が、前記中央部と比較
して前記周縁部が実質的に同一の厚さと、より薄い厚さ
と、再び実質的に同一の厚さとを連続的に与えられるよ
うに研磨され、また前記板が周縁部に囲繞された中央部
よりも薄い前記周縁部を有する場合は、その張出部削減
サイクルの間に、前記二つの主面が、前記中央部と比較
して前記周縁部が実質的に同一の厚さと、より厚い厚さ
と、再び実質的に同一の厚さとを連続的に与えられるよ
うに研磨されることを特徴とするものである。
を高める方法を提供することも目的とするものであり、
この発明の平行な二つの主面を持つ板の製造方法は、先
ず、前記板の二つの主面が、それらが凸形状もしくは平
坦な形状もしくは凹形状の初期形状を有するまで研磨に
よって準備され、次いで、少なくとも一回の張出部削減
サイクルが行われ、前記板が周縁部に囲繞された中央部
よりも厚い前記周縁部を有する場合は、その張出部削減
サイクルの間に、前記二つの主面が、前記中央部と比較
して前記周縁部が実質的に同一の厚さと、より薄い厚さ
と、再び実質的に同一の厚さとを連続的に与えられるよ
うに研磨され、また前記板が周縁部に囲繞された中央部
よりも薄い前記周縁部を有する場合は、その張出部削減
サイクルの間に、前記二つの主面が、前記中央部と比較
して前記周縁部が実質的に同一の厚さと、より厚い厚さ
と、再び実質的に同一の厚さとを連続的に与えられるよ
うに研磨されることを特徴とするものである。
【０００８】かかる方法は、共に平坦な二つの主面を有
する板を製造する場合や、互いに等しい曲率を持ちそれ
ゆえ互いに平行な二つの主面を有する比較的薄い板を製
造する場合に適している。
する板を製造する場合や、互いに等しい曲率を持ちそれ
ゆえ互いに平行な二つの主面を有する比較的薄い板を製
造する場合に適している。
【０００９】比較的薄い（約２mmまでの厚さの）板に関
し、その板の弾性変形能力は、主面の平坦度を定義困難
にする一方、二つの主面の平行度を明確に決定するとい
うことを意味する。すなわち、もしも薄い板が、凸形状
の一つの主面と凹形状のもう一つの主面とを有してお
り、それらの形状の曲率が等しい場合には、その曲がっ
た板が、平坦な面を有する比較的厚い支持ブロック上に
装着されることによるその板の弾性変形によって、完全
に平坦な二つの主面を有する板が得られる。
し、その板の弾性変形能力は、主面の平坦度を定義困難
にする一方、二つの主面の平行度を明確に決定するとい
うことを意味する。すなわち、もしも薄い板が、凸形状
の一つの主面と凹形状のもう一つの主面とを有してお
り、それらの形状の曲率が等しい場合には、その曲がっ
た板が、平坦な面を有する比較的厚い支持ブロック上に
装着されることによるその板の弾性変形によって、完全
に平坦な二つの主面を有する板が得られる。
【００１０】この発明の方法によれば、曲がった主面
は、それが所望の大きさより小さい曲率半径と、所望の
大きさに等しい曲率半径と、所望の大きさより大きい曲
率半径とを連続的に与えられるように研磨され、そして
その張出部削減サイクルは、主面が所望の曲率半径を有
した瞬間に停止される。なお、かかる張出部削減サイク
ルを繰り返す回数が多ければ多いほど、主面の全体にわ
たる寸法の、理想的な曲率からの偏差は、より小さくな
るであろう。
は、それが所望の大きさより小さい曲率半径と、所望の
大きさに等しい曲率半径と、所望の大きさより大きい曲
率半径とを連続的に与えられるように研磨され、そして
その張出部削減サイクルは、主面が所望の曲率半径を有
した瞬間に停止される。なお、かかる張出部削減サイク
ルを繰り返す回数が多ければ多いほど、主面の全体にわ
たる寸法の、理想的な曲率からの偏差は、より小さくな
るであろう。
【００１１】上述したこの発明の二つの方法では、いず
れも、凸形状や平坦な形状や凹形状を有する主面を得る
ために、材料が、板の周縁部と中央部とから交互に除去
される。
れも、凸形状や平坦な形状や凹形状を有する主面を得る
ために、材料が、板の周縁部と中央部とから交互に除去
される。
【００１２】また、上述したこの発明の二つの方法の実
施態様は、所要の削減が実現され得る種々の主面の研磨
方法に関連するものである。
施態様は、所要の削減が実現され得る種々の主面の研磨
方法に関連するものである。
【００１３】この発明の二つの方法の一実施態様は、張
出部削減サイクルの間に、研磨面の形状が、主面の中央
部に比較してその周縁部で張出部のより多い削減もしく
はより少ない削減が得られるように変えられることを特
徴としている。ここで、その研磨面の形状は、板の所望
の最終形状が平坦であるか曲がったものであるかに応じ
て、凸形状と、平坦な形状と、凹形状との間で変化させ
ても良く、あるいは所望の大きさよりも小さい曲率半径
を有する形状と、所望の大きさに等しい曲率半径を有す
る形状と、所望の大きさより大きい曲率半径を有する形
状との間で変化させても良い。
出部削減サイクルの間に、研磨面の形状が、主面の中央
部に比較してその周縁部で張出部のより多い削減もしく
はより少ない削減が得られるように変えられることを特
徴としている。ここで、その研磨面の形状は、板の所望
の最終形状が平坦であるか曲がったものであるかに応じ
て、凸形状と、平坦な形状と、凹形状との間で変化させ
ても良く、あるいは所望の大きさよりも小さい曲率半径
を有する形状と、所望の大きさに等しい曲率半径を有す
る形状と、所望の大きさより大きい曲率半径を有する形
状との間で変化させても良い。
【００１４】この発明の二つの方法の参考態様は、張出
部削減サイクルの間に、板の主面に対する研磨面の相対
速度が、主面の中央部に比較してその周縁部でより多い
削減もしくはより少ない削減が得られるように変えられ
ることを特徴としている。
部削減サイクルの間に、板の主面に対する研磨面の相対
速度が、主面の中央部に比較してその周縁部でより多い
削減もしくはより少ない削減が得られるように変えられ
ることを特徴としている。
【００１５】実験した結果では、主面の形状は、相対速
度の変化によって変えられ得ることが明らかになってい
る。
度の変化によって変えられ得ることが明らかになってい
る。
【００１６】この発明の二つの方法の、さらに他の一実
施態様は、張出部削減サイクルの間に、研磨面が板の主
面に対して押し付けられる力が、それが比較的弱い力の
際に主面の中央部に比較してその周縁部でより多い削減
が得られ、またそれが比較的強い力の際に主面の中央部
に比較してその周縁部でより少ない削減が得られるよう
に変えられることを特徴としている。
施態様は、張出部削減サイクルの間に、研磨面が板の主
面に対して押し付けられる力が、それが比較的弱い力の
際に主面の中央部に比較してその周縁部でより多い削減
が得られ、またそれが比較的強い力の際に主面の中央部
に比較してその周縁部でより少ない削減が得られるよう
に変えられることを特徴としている。
【００１７】実験した結果では、板の表面は、研磨の間
に、押し付け力を強めると凸形状から凹形状へ変えら
れ、押し付け力を弱めると凹形状から凸形状へ変えられ
得ることが明らかになっている。かかる効果の原因は、
おそらく以下のようなものであろう。すなわち、押し付
け力が弱いときには、研磨剤の比較的多い補充が、特に
板の周縁部付近で生じ、その結果として、周縁部での削
減が中央部でのそれより多くなって、板の表面が凸形状
になり、次いで押し付け力が強められると、板の表面に
おける押し付け力は中央部で最も強くなるので、中央部
での削減が最も多くなって、板の表面が凹形状になるも
のと思われる。
に、押し付け力を強めると凸形状から凹形状へ変えら
れ、押し付け力を弱めると凹形状から凸形状へ変えられ
得ることが明らかになっている。かかる効果の原因は、
おそらく以下のようなものであろう。すなわち、押し付
け力が弱いときには、研磨剤の比較的多い補充が、特に
板の周縁部付近で生じ、その結果として、周縁部での削
減が中央部でのそれより多くなって、板の表面が凸形状
になり、次いで押し付け力が強められると、板の表面に
おける押し付け力は中央部で最も強くなるので、中央部
での削減が最も多くなって、板の表面が凹形状になるも
のと思われる。
【００１８】
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基づき詳
細に説明する。図１は、この発明の板の製造方法に用い
られる装置の一例を示す縦断面図、図２（ａ）は、この
発明の板の製造方法に用いられる装置の他の一例を示す
図２（ｂ）のＡ−Ａ線〜Ｅ−Ｅ線に沿う縦断面図、図２
（ｂ）は、上記他の一例の装置を示す図２（ａ）の矢印
Ａ方向から見た平面図、図３（ａ）〜（ｇ）は、この発
明の一方の製造方法の一実施例における張出部削減サイ
クル中の種々の段階の間の第１の板の状態を示す説明
図、図４（ａ）〜（ｅ）は、上記実施例の方法における
張出部削減サイクル中の種々の段階の間の平坦な形状か
らの偏差の計測結果を示す説明図、図５（ａ）〜（ｇ）
は、この発明の他方の製造方法の一実施例における張出
部削減サイクル中の種々の段階の間の第２の板の状態を
示す説明図、そして図６（ａ）および（ｂ）は、従来の
装置を示す縦断面図および（ａ）のＦ−Ｆ線に沿う横断
面図である。
細に説明する。図１は、この発明の板の製造方法に用い
られる装置の一例を示す縦断面図、図２（ａ）は、この
発明の板の製造方法に用いられる装置の他の一例を示す
図２（ｂ）のＡ−Ａ線〜Ｅ−Ｅ線に沿う縦断面図、図２
（ｂ）は、上記他の一例の装置を示す図２（ａ）の矢印
Ａ方向から見た平面図、図３（ａ）〜（ｇ）は、この発
明の一方の製造方法の一実施例における張出部削減サイ
クル中の種々の段階の間の第１の板の状態を示す説明
図、図４（ａ）〜（ｅ）は、上記実施例の方法における
張出部削減サイクル中の種々の段階の間の平坦な形状か
らの偏差の計測結果を示す説明図、図５（ａ）〜（ｇ）
は、この発明の他方の製造方法の一実施例における張出
部削減サイクル中の種々の段階の間の第２の板の状態を
示す説明図、そして図６（ａ）および（ｂ）は、従来の
装置を示す縦断面図および（ａ）のＦ−Ｆ線に沿う横断
面図である。
【００２２】図６に示す従来の装置１は、既述した米国
特許US-A-4940507号明細書によって知られるものであ
り、保持部材９，11上に装着された研磨面５，７によっ
て板３の両面研磨を行うのに適したものである。この装
置１には、中心軸線13周りに回動可能なピン15が設けら
れ、そのピン15には、円盤17が装着され、その円盤17に
は、ローターと呼ばれる複数の環状要素23の歯21と噛合
する外周歯19が設けられており、それらのローター23の
歯21は、中心軸線13周りに回動可能なリング27の歯25と
も噛合している。ここで、リング27と円盤17とは、別個
の駆動機構（図示せず）により駆動されて互いに独立に
回動することができ、それゆえ、各ローター23は、円盤
17およびリング27の周方向速度Ｖ1 ，Ｖ2 とそれらの回
動方向とに基づいて、そのローター23の軸線29および上
記中心軸線13の少なくとも一方の周りに回動することに
なる。また各ローター23には、研磨される板３がその中
に置かれる少なくとも一つの孔31が設けられている。
特許US-A-4940507号明細書によって知られるものであ
り、保持部材９，11上に装着された研磨面５，７によっ
て板３の両面研磨を行うのに適したものである。この装
置１には、中心軸線13周りに回動可能なピン15が設けら
れ、そのピン15には、円盤17が装着され、その円盤17に
は、ローターと呼ばれる複数の環状要素23の歯21と噛合
する外周歯19が設けられており、それらのローター23の
歯21は、中心軸線13周りに回動可能なリング27の歯25と
も噛合している。ここで、リング27と円盤17とは、別個
の駆動機構（図示せず）により駆動されて互いに独立に
回動することができ、それゆえ、各ローター23は、円盤
17およびリング27の周方向速度Ｖ1 ，Ｖ2 とそれらの回
動方向とに基づいて、そのローター23の軸線29および上
記中心軸線13の少なくとも一方の周りに回動することに
なる。また各ローター23には、研磨される板３がその中
に置かれる少なくとも一つの孔31が設けられている。
【００２３】かかる従来の装置１の作動について概説す
ると、先ず、研磨面５を持つ保持部材９が取り除かれ
て、複数の研磨される板３が複数のローター23の孔31内
にそれぞれ置かれ、ここで、それらの研磨される板３の
外径は孔31の内径よりも小さくされる一方、それらの板
３の厚さはローター23の厚さよりも大きくされている。
次いで、研磨面５を持つ保持部材９が、それらの研磨さ
れる板３上に横置きされる。しかる後、研摩剤が、保持
部材９，11の孔33を通って、板３の主面35，37へ供給さ
れてから、上記駆動機構によって円盤17およびリング27
が回動されて、各ローター23が移動される。
ると、先ず、研磨面５を持つ保持部材９が取り除かれ
て、複数の研磨される板３が複数のローター23の孔31内
にそれぞれ置かれ、ここで、それらの研磨される板３の
外径は孔31の内径よりも小さくされる一方、それらの板
３の厚さはローター23の厚さよりも大きくされている。
次いで、研磨面５を持つ保持部材９が、それらの研磨さ
れる板３上に横置きされる。しかる後、研摩剤が、保持
部材９，11の孔33を通って、板３の主面35，37へ供給さ
れてから、上記駆動機構によって円盤17およびリング27
が回動されて、各ローター23が移動される。
【００２４】従って、ローター23内に存在している板３
は、ローター23の孔31の周辺部により引き回されて、固
定された位置にある研摩面に対し移動され、かかる固定
された研摩面５，７と板３の二つの主面との間の相対移
動は、それらの表面間の摩擦を生じさせる。そしてその
板３の二つの主面35，37と二つの研摩面５，７との間の
摩擦はまた、ローター23に対する板３の移動をも生じさ
せ、それゆえ、板３の全体としての移動は、ローター23
の移動と摩擦とに基づいており、材料は、板３から、上
記表面間に存在する摩擦と研摩剤の化学的作用とによ
り、摩擦化学的に除去される。
は、ローター23の孔31の周辺部により引き回されて、固
定された位置にある研摩面に対し移動され、かかる固定
された研摩面５，７と板３の二つの主面との間の相対移
動は、それらの表面間の摩擦を生じさせる。そしてその
板３の二つの主面35，37と二つの研摩面５，７との間の
摩擦はまた、ローター23に対する板３の移動をも生じさ
せ、それゆえ、板３の全体としての移動は、ローター23
の移動と摩擦とに基づいており、材料は、板３から、上
記表面間に存在する摩擦と研摩剤の化学的作用とによ
り、摩擦化学的に除去される。
【００２５】図１に縦断面にて示すこの発明の方法に用
いられる装置41には、上記従来の装置１の回動可能な円
盤17および回動可能なリング27と同様の、回動可能な円
盤および回動可能なリングが設けられており、複数のロ
ーター23およびそれらの中にそれぞれ存在する複数の研
摩される板３は、上記円盤およびリングによって回動さ
れることができる。この実施例の装置41にはまた、二つ
の保持部材９’，11’も設けられており、それらの保持
部材９’，11’は互いに同一ゆえ、それらの構成および
作動は保持部材９’について代表して説明する。保持部
材９’は、フレーム43と、そのフレーム43に装着された
環状の支持部材45とを具え、その支持部材45上には、研
摩面５を持つ磨き布47がぴったりと貼着されている。ま
た支持部材45には、二つの支持リング49，51が設けら
れ、支持部材45は、それらの支持リングによってフレー
ム43に装着されている。さらに支持部材45には、環状の
支持板53が設けられ、その支持板53は二つの環状の弾性
ヒンジ55, 57を介してフレーム43に連結されている。そ
してその支持板53には、補助リング59が設けられ、その
補助リング59は環状の弾性ヒンジ61を介して支持板53に
連結されている。
いられる装置41には、上記従来の装置１の回動可能な円
盤17および回動可能なリング27と同様の、回動可能な円
盤および回動可能なリングが設けられており、複数のロ
ーター23およびそれらの中にそれぞれ存在する複数の研
摩される板３は、上記円盤およびリングによって回動さ
れることができる。この実施例の装置41にはまた、二つ
の保持部材９’，11’も設けられており、それらの保持
部材９’，11’は互いに同一ゆえ、それらの構成および
作動は保持部材９’について代表して説明する。保持部
材９’は、フレーム43と、そのフレーム43に装着された
環状の支持部材45とを具え、その支持部材45上には、研
摩面５を持つ磨き布47がぴったりと貼着されている。ま
た支持部材45には、二つの支持リング49，51が設けら
れ、支持部材45は、それらの支持リングによってフレー
ム43に装着されている。さらに支持部材45には、環状の
支持板53が設けられ、その支持板53は二つの環状の弾性
ヒンジ55, 57を介してフレーム43に連結されている。そ
してその支持板53には、補助リング59が設けられ、その
補助リング59は環状の弾性ヒンジ61を介して支持板53に
連結されている。
【００２６】支持板53とフレーム43との間には、溝67に
よって互いに連通された室63と室65とが存在し、その室
63は通路69を介して、それ自身知られた圧力調節器71に
連通している。従って、支持板53は、圧力調節器71によ
って液圧もしくは気体圧が室63内および溝67を介し室65
内に供給されることにより変形され、これにより支持板
53は、環状の弾性ヒンジ55, 57の作用で、その全幅に亘
り撓むことができる。この一方、その支持板53の変形の
間、補助リング59はフレーム43から離間する方向へ移動
され、かかる移動を計測するためこの実施例の装置41に
は、補助リング59の孔に装着された計測用プローブ73が
設けられており、その計測用プローブ73の移動量は、マ
イクロメーター（図示せず）によって計測することがで
きる。
よって互いに連通された室63と室65とが存在し、その室
63は通路69を介して、それ自身知られた圧力調節器71に
連通している。従って、支持板53は、圧力調節器71によ
って液圧もしくは気体圧が室63内および溝67を介し室65
内に供給されることにより変形され、これにより支持板
53は、環状の弾性ヒンジ55, 57の作用で、その全幅に亘
り撓むことができる。この一方、その支持板53の変形の
間、補助リング59はフレーム43から離間する方向へ移動
され、かかる移動を計測するためこの実施例の装置41に
は、補助リング59の孔に装着された計測用プローブ73が
設けられており、その計測用プローブ73の移動量は、マ
イクロメーター（図示せず）によって計測することがで
きる。
【００２７】なお、圧力調節器71によって室63と室65内
に負圧が供給されれば、支持板53はフレーム43へ向けて
変形されることになる。
に負圧が供給されれば、支持板53はフレーム43へ向けて
変形されることになる。
【００２８】図２（ａ）には、図面の数を限るため同図
（ｂ）中のＡ−Ａ線〜Ｅ−Ｅ線の断面位置の全てについ
て縦断面が示されており、これら図２（ａ），（ｂ）に
は、上記装置における保持部材９’の代わりとなる、こ
の発明の方法に用いられる他の装置における保持部材
９''が示されている。ここで、断面Ａ−Ａは、図１に示
す圧力調節器に対応する圧力調節器71と、計測用プロー
ブ73とを示しており、フレーム43へ向かう方向およびフ
レーム43から離間する方向への支持板53の撓み変形は、
圧力調節器71によって得られ、その支持板53の撓み変形
により計測用プローブ73は、例えば半径方向に105mm の
幅を持つ環状の支持板53の場合に、例えば10μm に亘っ
て移動される。
（ｂ）中のＡ−Ａ線〜Ｅ−Ｅ線の断面位置の全てについ
て縦断面が示されており、これら図２（ａ），（ｂ）に
は、上記装置における保持部材９’の代わりとなる、こ
の発明の方法に用いられる他の装置における保持部材
９''が示されている。ここで、断面Ａ−Ａは、図１に示
す圧力調節器に対応する圧力調節器71と、計測用プロー
ブ73とを示しており、フレーム43へ向かう方向およびフ
レーム43から離間する方向への支持板53の撓み変形は、
圧力調節器71によって得られ、その支持板53の撓み変形
により計測用プローブ73は、例えば半径方向に105mm の
幅を持つ環状の支持板53の場合に、例えば10μm に亘っ
て移動される。
【００２９】また断面Ｂ−Ｂは、孔81と、その内部に設
けられて研摩面５まで貫通する通路85とが設けられた、
研摩剤のための供給構造81を示しており、研摩剤は、こ
の供給構造81により、研摩される板３と研摩面５との間
に供給されることができる。さらに、断面Ｃ−Ｃおよび
Ｄ−Ｄは、ボルト87および89を示しており、支持リング
49, 51は、これらのボルト87, 89により、フレーム43に
連結されている。そして、断面Ｅ−Ｅは、排気孔を示し
ている。
けられて研摩面５まで貫通する通路85とが設けられた、
研摩剤のための供給構造81を示しており、研摩剤は、こ
の供給構造81により、研摩される板３と研摩面５との間
に供給されることができる。さらに、断面Ｃ−Ｃおよび
Ｄ−Ｄは、ボルト87および89を示しており、支持リング
49, 51は、これらのボルト87, 89により、フレーム43に
連結されている。そして、断面Ｅ−Ｅは、排気孔を示し
ている。
【００３０】次に、この発明の製造方法の一実施例を、
図３，４および５を参照して説明する。図３は、この実
施例の製造方法の原理を示しており、その精密加工作業
の開始前に、研摩される板３には、ガラスやシリコンの
板の製造技術に用いられているそれ自身知られた加工方
法によって、曲率半径Ｒを持つ曲面がもたらされる。な
お、その板３の初期形状が凸形状であるか凹形状である
かという点と同様、その曲率半径Ｒの正確な値も、ここ
ではほとんど重要な意味を持たない。
図３，４および５を参照して説明する。図３は、この実
施例の製造方法の原理を示しており、その精密加工作業
の開始前に、研摩される板３には、ガラスやシリコンの
板の製造技術に用いられているそれ自身知られた加工方
法によって、曲率半径Ｒを持つ曲面がもたらされる。な
お、その板３の初期形状が凸形状であるか凹形状である
かという点と同様、その曲率半径Ｒの正確な値も、ここ
ではほとんど重要な意味を持たない。
【００３１】その精密加工作業の開始前の、正確に平坦
な形状からの偏差は、10cmの直径に対して概略５μm で
あり、この実施例の方法では、図３（ａ）に示す、凹形
状である初期表面の状態から開始されて、板３の主面35
が、先ず、それが常に増加する曲率半径（Ｒ＜Ｒ1 ＜Ｒ
2 ）をその半径が無限大になるまで与えられるように逐
次研摩され、その後、その主面35が、その曲率半径が減
少して（Ｒ3 ＞Ｒ4 ＞Ｒ5 ）凸形状となるように研摩さ
れる。そして、正確に平坦な形状からの絶対的な偏差が
概略 0.1μm になったと計測された時に、上記研摩工程
は反転され、主面35は、図３（ｇ），同図（ｆ），同図
（ｅ），同図（ｄ），同図（ｃ），同図（ｂ），同図
（ａ），同図（ｂ），同図（ｃ）および同図（ｄ）に示
す形状を連続的に呈するように研摩される。かかる研摩
工程の度毎に、板３の主面35は、図３（ｄ）に示す形状
に到達し、その板の表面のより広い領域が、完全に平坦
な形状に近づく。
な形状からの偏差は、10cmの直径に対して概略５μm で
あり、この実施例の方法では、図３（ａ）に示す、凹形
状である初期表面の状態から開始されて、板３の主面35
が、先ず、それが常に増加する曲率半径（Ｒ＜Ｒ1 ＜Ｒ
2 ）をその半径が無限大になるまで与えられるように逐
次研摩され、その後、その主面35が、その曲率半径が減
少して（Ｒ3 ＞Ｒ4 ＞Ｒ5 ）凸形状となるように研摩さ
れる。そして、正確に平坦な形状からの絶対的な偏差が
概略 0.1μm になったと計測された時に、上記研摩工程
は反転され、主面35は、図３（ｇ），同図（ｆ），同図
（ｅ），同図（ｄ），同図（ｃ），同図（ｂ），同図
（ａ），同図（ｂ），同図（ｃ）および同図（ｄ）に示
す形状を連続的に呈するように研摩される。かかる研摩
工程の度毎に、板３の主面35は、図３（ｄ）に示す形状
に到達し、その板の表面のより広い領域が、完全に平坦
な形状に近づく。
【００３２】10cmの直径と３mmの厚さとを有する石英ガ
ラス板が、上述の方法で研摩され、その板の一つの表面
は、幾何学的に定義された平坦な表面からの偏差が、研
摩前は５μm あったが、研摩後には0.02μm となった。
この板の表面は、その研摩工程の間に、凸形状から凹形
状へそしてその逆へ三回繰り返し研摩され、その凸形状
から凹形状への遷移には、概略50分かかった。なお、そ
の研摩は、板の主面の曲率の達成度を検査するため、定
期的に停止させた。また、凸形状から凹形状への研摩か
ら、凹形状から凸形状への研摩への切換えは、その主面
が、完全に平坦な形状に対し0.1 μm の偏差を有するに
至った時に行われた。
ラス板が、上述の方法で研摩され、その板の一つの表面
は、幾何学的に定義された平坦な表面からの偏差が、研
摩前は５μm あったが、研摩後には0.02μm となった。
この板の表面は、その研摩工程の間に、凸形状から凹形
状へそしてその逆へ三回繰り返し研摩され、その凸形状
から凹形状への遷移には、概略50分かかった。なお、そ
の研摩は、板の主面の曲率の達成度を検査するため、定
期的に停止させた。また、凸形状から凹形状への研摩か
ら、凹形状から凸形状への研摩への切換えは、その主面
が、完全に平坦な形状に対し0.1 μm の偏差を有するに
至った時に行われた。
【００３３】ここで、板の表面の凸形状から凹形状への
研摩およびその逆の研摩を実現するには、何通りかの方
法があり、それらのうちの第１の方法は、研摩面５，７
が主面35，37へ押し付けられる力を変化させるものであ
る。その押し付け力は、所要の押し付け力に応じて環状
の重りを保持部材９（図６参照）上に置くことにより変
化させることができ、あるいは、保持部材９を調節可能
な液圧力で保持部材11へ向けて押圧することによっても
変化させることができる。
研摩およびその逆の研摩を実現するには、何通りかの方
法があり、それらのうちの第１の方法は、研摩面５，７
が主面35，37へ押し付けられる力を変化させるものであ
る。その押し付け力は、所要の押し付け力に応じて環状
の重りを保持部材９（図６参照）上に置くことにより変
化させることができ、あるいは、保持部材９を調節可能
な液圧力で保持部材11へ向けて押圧することによっても
変化させることができる。
【００３４】実験した結果では、板の表面は、研磨の間
に、押し付け力を強めると凸形状から凹形状へ変えら
れ、押し付け力を弱めると凹形状から凸形状へ変えられ
得ることが明らかになっている。かかる効果の原因は、
おそらく以下のようなものであろう。すなわち、押し付
け力が弱いときには、摩擦化学的研磨液の比較的多い補
充が、特に板の周縁部付近で生じ、その化学的作用によ
り、周縁部での削減が中央部でのそれより多くなって、
板の表面が凸形状になり、一方、押し付け力が強められ
ると、板の表面における押し付け力は中央部で最も強く
なるので、その強くなった押し付け力により機械的な研
摩が主力になるとともに、その機械的な研摩がおそらく
中央部で最も強く生じて、中央部での削減が最も多くな
り、板の表面が凹形状になるものと思われる。
に、押し付け力を強めると凸形状から凹形状へ変えら
れ、押し付け力を弱めると凹形状から凸形状へ変えられ
得ることが明らかになっている。かかる効果の原因は、
おそらく以下のようなものであろう。すなわち、押し付
け力が弱いときには、摩擦化学的研磨液の比較的多い補
充が、特に板の周縁部付近で生じ、その化学的作用によ
り、周縁部での削減が中央部でのそれより多くなって、
板の表面が凸形状になり、一方、押し付け力が強められ
ると、板の表面における押し付け力は中央部で最も強く
なるので、その強くなった押し付け力により機械的な研
摩が主力になるとともに、その機械的な研摩がおそらく
中央部で最も強く生じて、中央部での削減が最も多くな
り、板の表面が凹形状になるものと思われる。
【００３５】上述した実施例の製造方法はまた、片面研
摩機にも適用され、そこでは、固定配置された支持ブロ
ック上にシリコンの薄片が装着され、研摩面がそのシリ
コンの薄片上で移動された。そして、凸形状から凹形状
への遷移およびその逆の遷移は、 9.5cmの直径の薄片表
面の全体に亘り0.05μm 以下の偏差の平坦度が得られる
まで、複数回完遂された。
摩機にも適用され、そこでは、固定配置された支持ブロ
ック上にシリコンの薄片が装着され、研摩面がそのシリ
コンの薄片上で移動された。そして、凸形状から凹形状
への遷移およびその逆の遷移は、 9.5cmの直径の薄片表
面の全体に亘り0.05μm 以下の偏差の平坦度が得られる
まで、複数回完遂された。
【００３６】両面研摩機に適用された、板の表面を凸形
状から凹形状へおよびその逆へ研摩する第２の方法は、
円盤17およびリング27（図６参照）の回動速度を変化さ
せるものであり、実験した結果では、リング27の回動速
度Ｖ2 が一定の状態で円盤17の回動速度Ｖ1 を上昇させ
ると板の表面は凹形状となる傾向がある一方、円盤17の
回動速度Ｖ1 を低下させると板の表面は凸形状となる傾
向があることが明らかになった。
状から凹形状へおよびその逆へ研摩する第２の方法は、
円盤17およびリング27（図６参照）の回動速度を変化さ
せるものであり、実験した結果では、リング27の回動速
度Ｖ2 が一定の状態で円盤17の回動速度Ｖ1 を上昇させ
ると板の表面は凹形状となる傾向がある一方、円盤17の
回動速度Ｖ1 を低下させると板の表面は凸形状となる傾
向があることが明らかになった。
【００３７】かかる実験は、10cmの直径と３mmの厚さと
を有する石英の薄片について実施され、その薄片は、研
摩処理の開始時には、完全に平行な二枚の板に対する平
行さからの絶対的な偏差が概略 0.5μm であり、周縁部
よりも中央部が厚いものであったが、上述した方法によ
って研摩した結果、その平行からの偏差が、９cmの直径
の薄片表面の全体に亘り 0.1μm まで減少した。この実
験の際には、回動速度Ｖ2 が一定に維持されるとともに
回動速度Ｖ1 が変えられ、その回動速度Ｖ1 の最も速い
速度は、最も遅い速度の三倍とされた。
を有する石英の薄片について実施され、その薄片は、研
摩処理の開始時には、完全に平行な二枚の板に対する平
行さからの絶対的な偏差が概略 0.5μm であり、周縁部
よりも中央部が厚いものであったが、上述した方法によ
って研摩した結果、その平行からの偏差が、９cmの直径
の薄片表面の全体に亘り 0.1μm まで減少した。この実
験の際には、回動速度Ｖ2 が一定に維持されるとともに
回動速度Ｖ1 が変えられ、その回動速度Ｖ1 の最も速い
速度は、最も遅い速度の三倍とされた。
【００３８】板の表面を凸形状から凹形状へおよびその
逆へ研摩する第３の方法は、研摩面５，７（図１，図２
参照）の形状を変化させるものであり、支持板53ひいて
は研摩面５は、圧力調節器71によって液圧もしくは気体
圧が室63内および室65内に供給されることにより変形さ
れ、研摩面７も、同様の方法で変形される。かくして研
摩面５，７の形状は、ドーナツ状に、すなわち環状の研
摩面の各半径方向断面が凸形状もしくは凹形状となるよ
うに変化する。
逆へ研摩する第３の方法は、研摩面５，７（図１，図２
参照）の形状を変化させるものであり、支持板53ひいて
は研摩面５は、圧力調節器71によって液圧もしくは気体
圧が室63内および室65内に供給されることにより変形さ
れ、研摩面７も、同様の方法で変形される。かくして研
摩面５，７の形状は、ドーナツ状に、すなわち環状の研
摩面の各半径方向断面が凸形状もしくは凹形状となるよ
うに変化する。
【００３９】図４は、10cmの直径と３mmの厚さとを有す
るシリコン薄片の研摩試験結果を示し、この試験の際
の、板の表面における圧力は7.5g/cm2であり、研摩面の
形状は２時間毎に適合された。図４中、ｘ軸方向は薄片
上の位置を、またｙ軸方向は平坦な面からの絶対的な偏
差をそれぞれ示し、その偏差の単位はμm である。図４
（ａ）は初期状態、同図（ｂ）〜（ｅ）は連続した試験
結果をそれぞれ示し、計測用プローブ73によって計測し
た研摩面の撓み量はそれぞれ、３，５，７そして９μm
であった。
るシリコン薄片の研摩試験結果を示し、この試験の際
の、板の表面における圧力は7.5g/cm2であり、研摩面の
形状は２時間毎に適合された。図４中、ｘ軸方向は薄片
上の位置を、またｙ軸方向は平坦な面からの絶対的な偏
差をそれぞれ示し、その偏差の単位はμm である。図４
（ａ）は初期状態、同図（ｂ）〜（ｅ）は連続した試験
結果をそれぞれ示し、計測用プローブ73によって計測し
た研摩面の撓み量はそれぞれ、３，５，７そして９μm
であった。
【００４０】図５は、比較的薄い板３が張出部削減サイ
クル中の種々の段階の間に呈する種々の形状を示し、そ
の板３の初期形状は、曲がったものである。かかる板３
の表面が平坦か否かを確定するのは、その板が弾性変形
可能であるゆえ困難である。従って、比較的薄い板にと
ってより重要なことは、その二つの主面35，37が平行な
ことであり、その二面が平行な板は、平坦な主面を持つ
比較的厚い支持部材上にその板が、継ぎ目なしにかつ接
着剤なしに、圧着やファンデルワールス吸着や直接接着
により装着された時に、平坦な主面を有することになる
であろう。図５（ａ）〜（ｇ）中、板３の主面35の曲率
半径Ｒは逐次減少しており、図５（ｄ）では、主面35の
曲率半径Ｒは主面37のそれに等しくなっている。この図
５（ｄ）に示された板３も、その板の弾性変形下で平坦
な表面上に装着されれば、平坦な二つの主面を持つこと
になるであろう。
クル中の種々の段階の間に呈する種々の形状を示し、そ
の板３の初期形状は、曲がったものである。かかる板３
の表面が平坦か否かを確定するのは、その板が弾性変形
可能であるゆえ困難である。従って、比較的薄い板にと
ってより重要なことは、その二つの主面35，37が平行な
ことであり、その二面が平行な板は、平坦な主面を持つ
比較的厚い支持部材上にその板が、継ぎ目なしにかつ接
着剤なしに、圧着やファンデルワールス吸着や直接接着
により装着された時に、平坦な主面を有することになる
であろう。図５（ａ）〜（ｇ）中、板３の主面35の曲率
半径Ｒは逐次減少しており、図５（ｄ）では、主面35の
曲率半径Ｒは主面37のそれに等しくなっている。この図
５（ｄ）に示された板３も、その板の弾性変形下で平坦
な表面上に装着されれば、平坦な二つの主面を持つこと
になるであろう。
【００４１】以上、図示例に基づき説明したが、この発
明は上述の例に限定されるものでなく、例えば、研摩さ
れる板は、上述した実施例では全て円形のものであった
が、例えば方形等の、異なる形状のものであっても良
く、かかる方形の板の、ローター内での回動を可能にす
るためには、ローターの孔内に配置されるとともに円形
の外周形状と上記板を収容し得る方形の内周形状とを持
つ補助ローターを用いても良い。
明は上述の例に限定されるものでなく、例えば、研摩さ
れる板は、上述した実施例では全て円形のものであった
が、例えば方形等の、異なる形状のものであっても良
く、かかる方形の板の、ローター内での回動を可能にす
るためには、ローターの孔内に配置されるとともに円形
の外周形状と上記板を収容し得る方形の内周形状とを持
つ補助ローターを用いても良い。
【００４２】また、例えば、一種類だけの方法を用いた
時に可能な程度よりもさらに突出もしくは陥没した形状
を得るためには、板の表面を凸形状から凹形状へおよび
その逆へ研摩する種々の方法を組み合わせて用いても良
い。すなわち例えば、回動速度Ｖ1 ，Ｖ2 の変化の程度
は、装置が許容し得る回動速度によって制限されるの
で、それによる板の達成可能な曲率もまた制限される
が、回動速度の変化に押し付け力の変化を組み合わせれ
ば、主面の達成可能な曲率をさらに高めることができ
る。
時に可能な程度よりもさらに突出もしくは陥没した形状
を得るためには、板の表面を凸形状から凹形状へおよび
その逆へ研摩する種々の方法を組み合わせて用いても良
い。すなわち例えば、回動速度Ｖ1 ，Ｖ2 の変化の程度
は、装置が許容し得る回動速度によって制限されるの
で、それによる板の達成可能な曲率もまた制限される
が、回動速度の変化に押し付け力の変化を組み合わせれ
ば、主面の達成可能な曲率をさらに高めることができ
る。
【図１】 この発明の板の製造方法に用いられる装置の
一例を示す縦断面図である。
一例を示す縦断面図である。
【図２】 （ａ），（ｂ）は、この発明の板の製造方法
に用いられる装置の他の一例を示す、（ｂ）のＡ−Ａ線
〜Ｅ−Ｅ線に沿う縦断面図および（ａ）の矢印Ａ方向か
ら見た平面図である。
に用いられる装置の他の一例を示す、（ｂ）のＡ−Ａ線
〜Ｅ−Ｅ線に沿う縦断面図および（ａ）の矢印Ａ方向か
ら見た平面図である。
【図３】 （ａ）〜（ｇ）は、この発明の一方の製造方
法の一実施例における張出部削減サイクル中の種々の段
階の間の第１の板の状態を示す説明図である。
法の一実施例における張出部削減サイクル中の種々の段
階の間の第１の板の状態を示す説明図である。
【図４】 （ａ）〜（ｅ）は、上記実施例の方法におけ
る張出部削減サイクル中の種々の段階の間の平坦な形状
からの偏差の計測結果を示す説明図である。
る張出部削減サイクル中の種々の段階の間の平坦な形状
からの偏差の計測結果を示す説明図である。
【図５】 （ａ）〜（ｇ）は、この発明の他方の製造方
法の一実施例における張出部削減サイクル中の種々の段
階の間の第２の板の状態を示す説明図である。
法の一実施例における張出部削減サイクル中の種々の段
階の間の第２の板の状態を示す説明図である。
【図６】 （ａ），（ｂ）は、従来の装置を示す、縦断
面図および（ａ）のＦ−Ｆ線に沿う横断面図である。
面図および（ａ）のＦ−Ｆ線に沿う横断面図である。
フロントページの続き
(72)発明者 ヤン ハイスマ
オランダ国 5621 ベーアー アインド
ーフェン フルーネヴァウツウェッハ
１
(72)発明者 ペテル ウィルヘルムス デ ハース
オランダ国 5621 ベーアー アインド
ーフェン フルーネヴァウツウェッハ
１
(72)発明者 フランシスカス ヨセフス ヘンリ マ
リア ファン デル クルイス
オランダ国 5621 ベーアー アインド
ーフェン フルーネヴァウツウェッハ
１
(72)発明者 ヤコブ フェイフフィンケル
オランダ国 5621 ベーアー アインド
ーフェン フルーネヴァウツウェッハ
１
(56)参考文献 特開 平５−123965（ＪＰ，Ａ)
特開 昭51−151890（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−22570（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−20436（ＪＰ，Ａ)
特開 昭56−9161（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−82033（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 1/04
B24B 7/14
B24B 37/00
B24B 37/04
H01L 21/304
Claims (4)
- 【請求項１】 平坦な主面を持つ板を前記板の前記主面
を研磨することによって製造するに際し、 先ず、前記板の主面が、それが凸形状もしくは凹形状の
初期形状を有するまで研磨によって準備され、 次いで、少なくとも一回の張出部削減サイクルが行わ
れ、前記初期形状が凹形状の場合は、その張出部削減サ
イクルの間に、前記主面が、平坦な形状と、凸形状と、
再び平坦な形状とを連続的に与えられるように研磨さ
れ、また前記初期形状が凸形状の場合は、その張出部削
減サイクルの間に、前記主面が、平坦な形状と、凹形状
と、再び平坦な形状とを連続的に与えられるように研磨
されることを特徴とする、平坦な主面を持つ板の製造方
法。 - 【請求項２】 平行な二つの主面を持つ板を前記二つの
主面を同時に研磨することによって製造するに際し、 先ず、前記板の二つの主面が、それらが凸形状もしくは
平坦な形状もしくは凹形状の初期形状を有するまで研磨
によって準備され、 次いで、少なくとも一回の張出部削減サイクルが行わ
れ、前記板が周縁部に囲繞された中央部よりも厚い前記
周縁部を有する場合は、その張出部削減サイクルの間
に、前記二つの主面が、前記中央部と比較して前記周縁
部が同一の厚さと、より薄い厚さと、再び同一の厚さと
を連続的に与えられるように研磨され、また前記板が周
縁部に囲繞された中央部よりも薄い前記周縁部を有する
場合は、その張出部削減サイクルの間に、前記二つの主
面が、前記中央部と比較して前記周縁部が同一の厚さ
と、より厚い厚さと、再び同一の厚さとを連続的に与え
られるように研磨されることを特徴とする、平行な二つ
の主面を持つ板の製造方法。 - 【請求項３】 前記研摩が研摩面によって行われ、前記
張出部削減サイクルの間に、その研磨面の形状が、前記
主面の中央部に比較してその周縁部で張出部のより多い
削減もしくはより少ない削減が得られるように変えられ
ることを特徴とする、請求項１もしくは２記載の板の製
造方法。 - 【請求項４】 前記研摩が研摩面によって行われ、その
研磨面が前記板に対して押し付けられる力が、その板の
中央部に比較して周縁部でより多い削減が得られる時に
第一の値をもち、またその板の周縁部に比較して中央部
でより多い削減が得られる時に第二の値をもち、前記第
一の値が前記第二の値よりも小さいことを特徴とする、
請求項１から請求項３までの何れか記載の板の製造方
法。
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