JPS5949537B2 - 欠陥検出装置 - Google Patents
欠陥検出装置Info
- Publication number
- JPS5949537B2 JPS5949537B2 JP7925375A JP7925375A JPS5949537B2 JP S5949537 B2 JPS5949537 B2 JP S5949537B2 JP 7925375 A JP7925375 A JP 7925375A JP 7925375 A JP7925375 A JP 7925375A JP S5949537 B2 JPS5949537 B2 JP S5949537B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- light
- lens
- light beam
- polygon mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、円錐面鏡を適用した欠陥検出装置における光
ビームの改良に関する。
ビームの改良に関する。
回転多面鏡を用いて光ビームを走査させる欠陥検出装置
において、平板上での走査軌跡は多面鏡の反射面のいず
れのものでも同一軌跡をえがくことが望ましい。
において、平板上での走査軌跡は多面鏡の反射面のいず
れのものでも同一軌跡をえがくことが望ましい。
しかしながら、実際には多面鏡の反射面と回転軸とのな
す角が、それぞれの面で少しずつ異なつているため、従
来、軌跡が同一にならなかつた。
す角が、それぞれの面で少しずつ異なつているため、従
来、軌跡が同一にならなかつた。
このような原因により走査線がフラつくため、被検査体
である走行シート材の表面検査を行なわせるときに、重
復しない全面走査を行なわせても走査しない部分が生じ
て欠陥を見逃してしまうことになる。このような不都合
を是正する方法としては、多面鏡の製作精度を向上させ
ること、あるいは回転に伴う振動を小さくすることなど
により、走査線のフラツキをできるだけ小さくしようと
する試みがなされるが、かなり小さなフラツキを問題に
する場合には、製作技術の限界の壁にぶつかり、これを
乗り越えるには、技術の飛躍的な革新、もしくははなは
だしく多くの経済的負担を伴うことになる。
である走行シート材の表面検査を行なわせるときに、重
復しない全面走査を行なわせても走査しない部分が生じ
て欠陥を見逃してしまうことになる。このような不都合
を是正する方法としては、多面鏡の製作精度を向上させ
ること、あるいは回転に伴う振動を小さくすることなど
により、走査線のフラツキをできるだけ小さくしようと
する試みがなされるが、かなり小さなフラツキを問題に
する場合には、製作技術の限界の壁にぶつかり、これを
乗り越えるには、技術の飛躍的な革新、もしくははなは
だしく多くの経済的負担を伴うことになる。
ここにおいて、本発明は、そのような製作精度の限界は
認めたうえで、走査光ビームのバラツキを光学的に補正
する装置を提供しようとするものである。
認めたうえで、走査光ビームのバラツキを光学的に補正
する装置を提供しようとするものである。
すなわち、本発明は、円錐面鏡を用いた欠陥検出装置に
おいて、レンズなどを使つた結像光学系により、物点の
一点から出た光は、その方向がどうであつても、像点の
一点に集まるという特性を適用することから、走査方法
と受光方法を工夫し高精度・高感度での被検査体の表面
欠陥の検出を行なえるようにしたものである。
おいて、レンズなどを使つた結像光学系により、物点の
一点から出た光は、その方向がどうであつても、像点の
一点に集まるという特性を適用することから、走査方法
と受光方法を工夫し高精度・高感度での被検査体の表面
欠陥の検出を行なえるようにしたものである。
では、図を追つて本発明の構成・作用を説明しよう。
第１図は従来の欠陥検出装置のプロツクダイヤグラムを
表わし、光ビームを発射する装置１から出た光ビームは
、被検査材（走行シート材）７の面上で光スポツトが結
ばれるように配置されたレンズ系（第１のレンズ２およ
び第２のレンズ４、スリツト３からなる）を通つて、回
転多面鏡５へ達し、この図示しない駆動源により回転さ
れている回転多面鏡５で走査された光ビームは、半透明
鏡９（第２の平面反射鏡）を通つて、円錐面鏡６で光路
を直角に曲げられ、Ａ点からＢ点、Ｃ点へと、一方向を
円弧状に走査する。
表わし、光ビームを発射する装置１から出た光ビームは
、被検査材（走行シート材）７の面上で光スポツトが結
ばれるように配置されたレンズ系（第１のレンズ２およ
び第２のレンズ４、スリツト３からなる）を通つて、回
転多面鏡５へ達し、この図示しない駆動源により回転さ
れている回転多面鏡５で走査された光ビームは、半透明
鏡９（第２の平面反射鏡）を通つて、円錐面鏡６で光路
を直角に曲げられ、Ａ点からＢ点、Ｃ点へと、一方向を
円弧状に走査する。
走行シート材で反射した光（透明シートの場合は第１の
平面反射鏡８で反射した光）は、再度円錐面鏡６を通り
、かつ第２の反射鏡のハーフミラ９で反射して、受光器
１０に集まる。
平面反射鏡８で反射した光）は、再度円錐面鏡６を通り
、かつ第２の反射鏡のハーフミラ９で反射して、受光器
１０に集まる。
受光器１０で光電変換された信号は、図示しない公知の
信号処理系で、傷の大小、長さ、グレード、座標などの
判別が行なわれる。
信号処理系で、傷の大小、長さ、グレード、座標などの
判別が行なわれる。
このような装置において、回転多面鏡５の各反射面の回
転軸とのなす角度のバラツキによる振れによる走査線の
フラつきが生ずることが多い。
転軸とのなす角度のバラツキによる振れによる走査線の
フラつきが生ずることが多い。
第２図・第３図および第４図は本発明の一実施例におけ
る平面図・側面図およびこれらの配置を鳥敢的に示した
図を表わし、説明を容易にするために各部品の配置を同
一平面上で示している。円筒レンズ２１は、たとえばレ
ーザ光のような光ビームを回転多面鏡５の反射面位置で
、側面図（第３図）でできるだけ小さくなるようにする
ためのものであり、回転多面鏡５は、この光ビームを平
面図（第２図）で走査させる。走査された光ビームは、
反射面が焦点距離の位置になるように配置された第１の
レンズ２によつて、その光軸をレンズ２の光軸と平行に
なるようにし、第２の円筒レンズ４１にいずれの場所で
も同一の条件で入射する。
る平面図・側面図およびこれらの配置を鳥敢的に示した
図を表わし、説明を容易にするために各部品の配置を同
一平面上で示している。円筒レンズ２１は、たとえばレ
ーザ光のような光ビームを回転多面鏡５の反射面位置で
、側面図（第３図）でできるだけ小さくなるようにする
ためのものであり、回転多面鏡５は、この光ビームを平
面図（第２図）で走査させる。走査された光ビームは、
反射面が焦点距離の位置になるように配置された第１の
レンズ２によつて、その光軸をレンズ２の光軸と平行に
なるようにし、第２の円筒レンズ４１にいずれの場所で
も同一の条件で入射する。
第２の円筒レンズ４１を通過した光ビームはレンズ２に
よつて、点０を走査の中心として走査され、点０に回転
中心軸をもつ円錐面鏡６を介して、走行シート材７の上
を走査される。
よつて、点０を走査の中心として走査され、点０に回転
中心軸をもつ円錐面鏡６を介して、走行シート材７の上
を走査される。
走行シート材Ｔが透明体の場合には、第１の平面反射鏡
８により反射され、さらに再び円錐面鏡６で反射され、
半透明の第２の平面反射鏡９で分離される。
８により反射され、さらに再び円錐面鏡６で反射され、
半透明の第２の平面反射鏡９で分離される。
光学的位置が第２の平面反射鏡９を対称面として、点０
の位置になるような位置に、光入射窓をもつ受光器１０
に反射光が入射する。
の位置になるような位置に、光入射窓をもつ受光器１０
に反射光が入射する。
走査光と反射光の光軸は一致していても良いし、わずか
にずらしてもよい。
にずらしてもよい。
入射光軸をわずかにずらす場合には、第２の反射平面鏡
９は必ずしもハーフミラの必要はなく、反射光のみをほ
とんどすべて受光器１０へ反射するような全反射的な反
射鏡でよい。第２図（平面図）について、回転多面鏡５
の反射面における光ビームは第３図（側面図）では非常
に小さな点となつており、この点をレンズ径の物点と考
え、この物点から出た光は、走行シート材７または第１
の平面反射鏡８において結像されるように配置されてい
るから、回転多面鏡５の各反射面が回転軸に対する角度
が、ばらついていても物点は変らず、第３図（側面図）
における物点から出る光の方向が変わるだけなので、像
点においては反射面が回転軸に対する角度のばらつきが
あつても、走査軌跡のばらつきはない。
９は必ずしもハーフミラの必要はなく、反射光のみをほ
とんどすべて受光器１０へ反射するような全反射的な反
射鏡でよい。第２図（平面図）について、回転多面鏡５
の反射面における光ビームは第３図（側面図）では非常
に小さな点となつており、この点をレンズ径の物点と考
え、この物点から出た光は、走行シート材７または第１
の平面反射鏡８において結像されるように配置されてい
るから、回転多面鏡５の各反射面が回転軸に対する角度
が、ばらついていても物点は変らず、第３図（側面図）
における物点から出る光の方向が変わるだけなので、像
点においては反射面が回転軸に対する角度のばらつきが
あつても、走査軌跡のばらつきはない。
走行シート材７または第１の平面反射鏡８で反射された
光の光軸は、入射光軸と同じになる。
光の光軸は、入射光軸と同じになる。
したがつて、半透明の第２の平面反射鏡を用いることに
より、受光器１０で点状で受光することができる。かく
て本発明により、円錐面鏡を適用した走査光学系に、走
査軌跡のバラツキを補正する光学系を結合させることか
ら、重複走査や飛越し走査などによる欠陥の見逃しや同
一欠陥部分を重複して検出するという不都合がなくなり
、安定な検査ができる。
より、受光器１０で点状で受光することができる。かく
て本発明により、円錐面鏡を適用した走査光学系に、走
査軌跡のバラツキを補正する光学系を結合させることか
ら、重複走査や飛越し走査などによる欠陥の見逃しや同
一欠陥部分を重複して検出するという不都合がなくなり
、安定な検査ができる。
さらに、受光器窓位置での反射光軸の振れが小さくなり
、微***をもつマスクを受光器窓に設けられ、非常に高
感度の検査を行なうことができる。
、微***をもつマスクを受光器窓に設けられ、非常に高
感度の検査を行なうことができる。
第１図は従来の欠陥検査装置のプロツクダイアグラム、
第２図・第３図・第４図は本発明の一実施例における平
面図・側面図・プロツクダイアグラムを表わす。 １・・・・・・光ビームを発射する装置、２，４・・・
・・・第１・第２のレンズ、３・・・・・・スリツト、
５・・・・・・回転多面鏡、６・・・・・・円錐面鏡、
７・・・・・・被検査材（走行シート材）、８，９・・
・・・・第１・第２の反射平面鏡、１０・・・・・・受
光器、２１，４１・・・・・・第１・第２の円筒レンズ
。
第２図・第３図・第４図は本発明の一実施例における平
面図・側面図・プロツクダイアグラムを表わす。 １・・・・・・光ビームを発射する装置、２，４・・・
・・・第１・第２のレンズ、３・・・・・・スリツト、
５・・・・・・回転多面鏡、６・・・・・・円錐面鏡、
７・・・・・・被検査材（走行シート材）、８，９・・
・・・・第１・第２の反射平面鏡、１０・・・・・・受
光器、２１，４１・・・・・・第１・第２の円筒レンズ
。
Claims (1)
- １ 光ビームを発射する装置と、この光ビームを回転多
面鏡の反射面で多面鏡回転軸方向の大きさを極小にする
ような第１の円筒レンズと、回転によつて光ビームを走
査する回転多面鏡と、回転多面鏡の反射面位置を焦点位
置とするように配置される第１のレンズと、この第１の
レンズと光軸を同一にする第２の円筒レンズおよび第２
のレンズと、この第２のレンズの焦点位置に回転中心軸
をもつ円錐面鏡と、円錐面鏡で反射された光を再び円錐
面鏡へ反射する第１の平面反射鏡と、第１の平面反射鏡
からの反射光を円錐面鏡を介して分離するための第２の
平面反射鏡と、ここで分離された光を受光検出するよう
にした受光器とをそれぞれ備えたことを特徴とする欠陥
検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7925375A JPS5949537B2 (ja) | 1975-06-25 | 1975-06-25 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7925375A JPS5949537B2 (ja) | 1975-06-25 | 1975-06-25 | 欠陥検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS522783A JPS522783A (en) | 1977-01-10 |
| JPS5949537B2 true JPS5949537B2 (ja) | 1984-12-03 |
Family
ID=13684679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7925375A Expired JPS5949537B2 (ja) | 1975-06-25 | 1975-06-25 | 欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5949537B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60257417A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 光ビ−ム走査装置 |
| JPH07111788B2 (ja) * | 1987-01-23 | 1995-11-29 | 株式会社日立製作所 | 光情報記録媒体 |
-
1975
- 1975-06-25 JP JP7925375A patent/JPS5949537B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS522783A (en) | 1977-01-10 |
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