JPS5948560B2 - 圧電磁器素子の製造方法 - Google Patents
圧電磁器素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS5948560B2 JPS5948560B2 JP55163097A JP16309780A JPS5948560B2 JP S5948560 B2 JPS5948560 B2 JP S5948560B2 JP 55163097 A JP55163097 A JP 55163097A JP 16309780 A JP16309780 A JP 16309780A JP S5948560 B2 JPS5948560 B2 JP S5948560B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- heat treatment
- piezoelectricity
- deterioration
- ceramic element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分極処理した圧電磁器素子を加工するときに
、熱処理の際に起こる圧電磁器の圧電性の劣化を低減す
る圧電磁器素子の製造方法に関する。
、熱処理の際に起こる圧電磁器の圧電性の劣化を低減す
る圧電磁器素子の製造方法に関する。
圧電磁器は、焼結した状態では自発分極の分極。
軸が任意の方向を向いていて、全体として圧電性を示さ
ないが、直流高電界を加えて分極処理を行うと、分極軸
の方向が電界の方向に配向して圧電性を示す。この圧電
性は、温度がキューリー点に達すると、残留分極がなく
なることによつて消滅。する。しかし、圧電性の劣化は
キユリーーー点より低い温度より除々に起こる。
ないが、直流高電界を加えて分極処理を行うと、分極軸
の方向が電界の方向に配向して圧電性を示す。この圧電
性は、温度がキューリー点に達すると、残留分極がなく
なることによつて消滅。する。しかし、圧電性の劣化は
キユリーーー点より低い温度より除々に起こる。
圧電磁器素子の加工工程において、分極処理した素子を
、切断時の樹脂による貼合せ、接着剤の硬化、真空蒸着
、ハンダ付等で加熱することが多、い。
、切断時の樹脂による貼合せ、接着剤の硬化、真空蒸着
、ハンダ付等で加熱することが多、い。
そこで、熱による圧電性の劣化が問題となつていた。ま
た、加工上は高温を要求されても、圧電性の劣化の問題
でより低い温度に押えなければならないことが多かつた
。本発明は、分極処理した圧電磁器素子の加熱をフ伴な
う加工において、従来の欠点であつた圧電磁器素子の圧
電性の劣化を低減することを目的とし、素子の温度変化
の際に焦電効果により発生した電荷で分極が弱められる
のを防ぐため、分極処理に用いた両電極間を外部回路で
導通して焦電効果で発生した電荷を打消す方法である。
た、加工上は高温を要求されても、圧電性の劣化の問題
でより低い温度に押えなければならないことが多かつた
。本発明は、分極処理した圧電磁器素子の加熱をフ伴な
う加工において、従来の欠点であつた圧電磁器素子の圧
電性の劣化を低減することを目的とし、素子の温度変化
の際に焦電効果により発生した電荷で分極が弱められる
のを防ぐため、分極処理に用いた両電極間を外部回路で
導通して焦電効果で発生した電荷を打消す方法である。
すなわち、、本発明は第１図に示すように分極処理した
圧電磁器素子１の加熱を伴なう加工において、上記圧電
磁器素子１の両電極２間を外部回路にの実施例では導線
）３で短絡もしくは抵抗を通して導通して熱処理するこ
とを特徴とする。
圧電磁器素子１の加熱を伴なう加工において、上記圧電
磁器素子１の両電極２間を外部回路にの実施例では導線
）３で短絡もしくは抵抗を通して導通して熱処理するこ
とを特徴とする。
第１図でイは分極方向である。以下、実施例をもとに本
発明の効果を説明する。
発明の効果を説明する。
Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ、−ＰｂＴｉ０。−Ｐ
ｂＺｒＯ、の三成分系の圧電磁器材料で、直径２０ｍｍ
、厚み０．２４ｍｍに焼成・加工・電極付けして、１０
０℃のシリコンオイル中で３ＫＶ／ｍｍの直流電界で分
極した試料を用いた。なお、この材料のキューリー点は
３２６℃、抗電場はＩＫＶ／ｍｍ、Ｋｐは０．５８であ
る。そして、恒温槽を用いて、熱処理温度による圧電性
の劣化の度合を調べた。ただし、熱処理後の特性の測定
は、熱処理後十分に安定させてから測定した。第２図に
、普通に熱処理（電極間開放）した従来方法の場合Ａと
、電極間を外部回路で短絡して熱処理（ただし、ここで
熱処理とは昇温、降温を含む）した本発明方法の場合Ｂ
Ｃ７）Ｋｐ（熱処理前の径方向振動の電気機械結合係数
、熱処理後の係数Ｋｐ’）の劣化の程度を示す。また、
両電極間を抵抗を通じて導通した場合でも抵抗値が小さ
ければ短絡の場合と同様の結果が得られるものであつた
。両電極間を短絡した場合のときの劣化が、純粋にその
熱処理温度による残留分極の一部の消滅による圧電性の
劣化であり、この場合と両電極間を開放した場合のとき
の劣化との差が、焦電効果のための圧電性の劣化である
。本発明の方法によれば、この焦電効果による圧電性の
劣化を防ぐことができる。以上のように、本発明の方法
によれば、簡単に熱処理による圧電性の劣化を第２図に
示すように大きく低減することができ、圧電磁器素子の
加熱を伴なう加工において極めて有用である。
ｂＺｒＯ、の三成分系の圧電磁器材料で、直径２０ｍｍ
、厚み０．２４ｍｍに焼成・加工・電極付けして、１０
０℃のシリコンオイル中で３ＫＶ／ｍｍの直流電界で分
極した試料を用いた。なお、この材料のキューリー点は
３２６℃、抗電場はＩＫＶ／ｍｍ、Ｋｐは０．５８であ
る。そして、恒温槽を用いて、熱処理温度による圧電性
の劣化の度合を調べた。ただし、熱処理後の特性の測定
は、熱処理後十分に安定させてから測定した。第２図に
、普通に熱処理（電極間開放）した従来方法の場合Ａと
、電極間を外部回路で短絡して熱処理（ただし、ここで
熱処理とは昇温、降温を含む）した本発明方法の場合Ｂ
Ｃ７）Ｋｐ（熱処理前の径方向振動の電気機械結合係数
、熱処理後の係数Ｋｐ’）の劣化の程度を示す。また、
両電極間を抵抗を通じて導通した場合でも抵抗値が小さ
ければ短絡の場合と同様の結果が得られるものであつた
。両電極間を短絡した場合のときの劣化が、純粋にその
熱処理温度による残留分極の一部の消滅による圧電性の
劣化であり、この場合と両電極間を開放した場合のとき
の劣化との差が、焦電効果のための圧電性の劣化である
。本発明の方法によれば、この焦電効果による圧電性の
劣化を防ぐことができる。以上のように、本発明の方法
によれば、簡単に熱処理による圧電性の劣化を第２図に
示すように大きく低減することができ、圧電磁器素子の
加熱を伴なう加工において極めて有用である。
特に、焦電効果の大きい材料、抗電場の低い材料ではそ
の効果が大きいものである。
の効果が大きいものである。
第１図は本発明方法における圧電磁器素子の電極間の短
絡の様子を示す図、第２図は熱処理温度による圧電性の
劣化の様子を示ＴＰである。 １ ・・・・・・圧電磁器素子、２・・・・・・電極、
３・・・・・・外部”回路（導線）。
絡の様子を示す図、第２図は熱処理温度による圧電性の
劣化の様子を示ＴＰである。 １ ・・・・・・圧電磁器素子、２・・・・・・電極、
３・・・・・・外部”回路（導線）。
Claims (1)
- １ 分極処理した圧電磁器素子の加熱を伴なう加工にお
いて、外部回路で上記圧電磁器素子の分極処理に用いた
両電極間を導通して熱処理することを特徴とする圧電磁
器素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55163097A JPS5948560B2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 | 圧電磁器素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55163097A JPS5948560B2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 | 圧電磁器素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5785274A JPS5785274A (en) | 1982-05-27 |
| JPS5948560B2 true JPS5948560B2 (ja) | 1984-11-27 |
Family
ID=15767118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55163097A Expired JPS5948560B2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 | 圧電磁器素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5948560B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6114620A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Fujitsu Ltd | ホログラムデイスク |
| JPH0668582B2 (ja) * | 1984-05-14 | 1994-08-31 | 富士通株式会社 | 光走査方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7191519B2 (ja) | 2017-03-03 | 2022-12-19 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法、振動波モータの製造方法、光学機器の製造方法および電子機器の製造方法 |
| WO2018159772A1 (en) * | 2017-03-03 | 2018-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing piezoelectric element |
-
1980
- 1980-11-18 JP JP55163097A patent/JPS5948560B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0668582B2 (ja) * | 1984-05-14 | 1994-08-31 | 富士通株式会社 | 光走査方法 |
| JPS6114620A (ja) * | 1984-06-29 | 1986-01-22 | Fujitsu Ltd | ホログラムデイスク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5785274A (en) | 1982-05-27 |
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