JPS6134279B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6134279B2 JPS6134279B2 JP55166937A JP16693780A JPS6134279B2 JP S6134279 B2 JPS6134279 B2 JP S6134279B2 JP 55166937 A JP55166937 A JP 55166937A JP 16693780 A JP16693780 A JP 16693780A JP S6134279 B2 JPS6134279 B2 JP S6134279B2
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- JP
- Japan
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- polarization
- piezoelectric ceramic
- electrodes
- piezoelectricity
- shear vibration
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- Expired
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/04—Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分極処理した圧電磁器素子を加工す
るときに熱処理の際に起こる圧電磁器の圧電性の
劣化を低減する圧電磁器素子の製造方法に関す
る。
るときに熱処理の際に起こる圧電磁器の圧電性の
劣化を低減する圧電磁器素子の製造方法に関す
る。
圧電磁器は、焼結した状態では自発分極の分極
軸が任意の方向を向いていて、全体として圧電性
を示さないが、直流高電界を加えて分極処理を行
うと、分極軸の方向が電界の方向に配向して圧電
性を示す。この圧電性は、温度がキユリー点に達
すると、残留分極がなくなることによつて消滅す
る。しかし、圧電性の劣化はキユリー点より低い
温度より徐々に起こる。
軸が任意の方向を向いていて、全体として圧電性
を示さないが、直流高電界を加えて分極処理を行
うと、分極軸の方向が電界の方向に配向して圧電
性を示す。この圧電性は、温度がキユリー点に達
すると、残留分極がなくなることによつて消滅す
る。しかし、圧電性の劣化はキユリー点より低い
温度より徐々に起こる。
圧電磁器素子の加工工程において、分極処理し
た素子を、切断時の樹脂による貼合せ、接着剤の
硬化、真空蒸着、ハンダ付等で加熱することが多
い。そこで、熱による圧電性の劣化が問題となつ
ていた。また、加工上は高温を要求されても、圧
電性の劣化の問題でより低い温度に抑えなければ
ならないことが多かつた。
た素子を、切断時の樹脂による貼合せ、接着剤の
硬化、真空蒸着、ハンダ付等で加熱することが多
い。そこで、熱による圧電性の劣化が問題となつ
ていた。また、加工上は高温を要求されても、圧
電性の劣化の問題でより低い温度に抑えなければ
ならないことが多かつた。
本発明は、厚みすべり振動を用いる圧電磁器素
子の分極処理後の加熱を伴なう加工において、従
来の欠点であつた圧電磁器素子の圧電性の劣化を
低減することを目的とし、分極に用いた両電極を
残し、素子の温度変化の際に焦電効果により発生
した電荷で分極が弱められるのを防ぐため、分極
に用いた両電極間を厚みすべり振動を利用すると
きの電極により焦電効果で発生した電荷を打消す
方法である。
子の分極処理後の加熱を伴なう加工において、従
来の欠点であつた圧電磁器素子の圧電性の劣化を
低減することを目的とし、分極に用いた両電極を
残し、素子の温度変化の際に焦電効果により発生
した電荷で分極が弱められるのを防ぐため、分極
に用いた両電極間を厚みすべり振動を利用すると
きの電極により焦電効果で発生した電荷を打消す
方法である。
以下、実施例をもとに本発明の効果を説明す
る。Pb（Mg1/3Nb2/3）O3−PbTiO3−PbZrO3の
三成分系の圧電磁器材料を用いて、100℃のシリ
コンオイル中で3KV／mmの直流電界で分極した第
１図ａで示す圧電磁器素子１のブロツクから、分
極時に用いた電極２を残して第１図ｂのように切
り出し、同図ｃのように厚みすべり振動を用いる
場合の電極３を全面につけた場合（この全面電極
３により分極時の両電極２間を短絡している）
と、従来行われていたように分極時に用いた電極
２を落として厚みすべり振動を用いる場合の電極
３をつけた場合（すなわち分極時の両電極間を開
放している）とについて、熱処理による圧電性の
劣化の度合を調べた。熱処理は恒温槽を用いて行
い、熱処理後の圧電性の測定は、熱処理後十分に
安定させてから行つた。分極時の電極２を残した
本発明の試料については、測定前にこの電極２を
落して測定を行つた。実際に利用する場合も熱処
理後に分極時の電極２を落す。第２図に、分極時
の両電極２間を短絡して熱処理した本発明方法の
場合Ａと開放して熱処理（ただし、ここで熱処理
とは昇温・降温も含む）した従来方法の場合Ｂの
K15（厚みすべり振動の電気機械結合係数、熱処
理後の係数K15′）の劣化の程度を示す。なお、こ
の材料のキユリー点は326℃、抗電場は1KV／
mm、K15は0.70である。
る。Pb（Mg1/3Nb2/3）O3−PbTiO3−PbZrO3の
三成分系の圧電磁器材料を用いて、100℃のシリ
コンオイル中で3KV／mmの直流電界で分極した第
１図ａで示す圧電磁器素子１のブロツクから、分
極時に用いた電極２を残して第１図ｂのように切
り出し、同図ｃのように厚みすべり振動を用いる
場合の電極３を全面につけた場合（この全面電極
３により分極時の両電極２間を短絡している）
と、従来行われていたように分極時に用いた電極
２を落として厚みすべり振動を用いる場合の電極
３をつけた場合（すなわち分極時の両電極間を開
放している）とについて、熱処理による圧電性の
劣化の度合を調べた。熱処理は恒温槽を用いて行
い、熱処理後の圧電性の測定は、熱処理後十分に
安定させてから行つた。分極時の電極２を残した
本発明の試料については、測定前にこの電極２を
落して測定を行つた。実際に利用する場合も熱処
理後に分極時の電極２を落す。第２図に、分極時
の両電極２間を短絡して熱処理した本発明方法の
場合Ａと開放して熱処理（ただし、ここで熱処理
とは昇温・降温も含む）した従来方法の場合Ｂの
K15（厚みすべり振動の電気機械結合係数、熱処
理後の係数K15′）の劣化の程度を示す。なお、こ
の材料のキユリー点は326℃、抗電場は1KV／
mm、K15は0.70である。
この実施例のように、厚みすべり振動で使う電
極が全面電極３の場合は、分極時の電極２を残し
ておいて、厚みすべり振動で使う電極３をつける
ことにより分極時の両電極２間を導通できる。分
極時の両電極２間を短絡した場合のときの劣化
が、純粋にその熱処理温度による残留分極の一部
の消滅による圧電性の劣化であり、この場合と分
極時の両電極２間を開放した場合のときの劣化と
の差が、焦電効果のための圧電性の劣化である。
本発明の方法によれば、この焦電効果による圧電
性の劣化を防ぐことができる。なお、第１図ａ，
ｂ，ｃおよび第３図でイは分極の方向、ロは切断
面である。
極が全面電極３の場合は、分極時の電極２を残し
ておいて、厚みすべり振動で使う電極３をつける
ことにより分極時の両電極２間を導通できる。分
極時の両電極２間を短絡した場合のときの劣化
が、純粋にその熱処理温度による残留分極の一部
の消滅による圧電性の劣化であり、この場合と分
極時の両電極２間を開放した場合のときの劣化と
の差が、焦電効果のための圧電性の劣化である。
本発明の方法によれば、この焦電効果による圧電
性の劣化を防ぐことができる。なお、第１図ａ，
ｂ，ｃおよび第３図でイは分極の方向、ロは切断
面である。
以上のように、本発明の方法によれば厚みすべ
り振動を利用する圧電磁器素子で、これまでは分
極処理後は必要ないために落されていた分極時の
電極を残し、加熱を伴なう加工時にこの両電極間
を導通することにより、熱処理による圧電性の劣
化を大きく低減することができ、厚みすべり振動
を利用する圧電磁器素子の加熱を伴なう加工にお
いて極めて有用である。特に、焦電効果の大きい
材料、抗電場の低い材料では効果が大きいもので
ある。
り振動を利用する圧電磁器素子で、これまでは分
極処理後は必要ないために落されていた分極時の
電極を残し、加熱を伴なう加工時にこの両電極間
を導通することにより、熱処理による圧電性の劣
化を大きく低減することができ、厚みすべり振動
を利用する圧電磁器素子の加熱を伴なう加工にお
いて極めて有用である。特に、焦電効果の大きい
材料、抗電場の低い材料では効果が大きいもので
ある。
第１図ａは本発明方法を説明する分極処理後の
圧電磁器ブロツクの断面図、第１図ｂは同じく第
１図ａのブロツクから切り出した厚みすべり振動
を利用する圧電磁器素子の断面図、第１図ｃは同
じく第１図ｂの圧電磁器素子に厚みすべり振動を
利用するときの全面電極をつけた断面図、第２図
は熱処理温度による圧電性の劣化の様子を示す図
である。 １……圧電磁器素子、２……分極時の電極、３
……厚みすべり振動を利用するときの電極。
圧電磁器ブロツクの断面図、第１図ｂは同じく第
１図ａのブロツクから切り出した厚みすべり振動
を利用する圧電磁器素子の断面図、第１図ｃは同
じく第１図ｂの圧電磁器素子に厚みすべり振動を
利用するときの全面電極をつけた断面図、第２図
は熱処理温度による圧電性の劣化の様子を示す図
である。 １……圧電磁器素子、２……分極時の電極、３
……厚みすべり振動を利用するときの電極。
Claims (1)
- １ 厚みすべり振動を用いる圧電磁器素子の製造
において、分極処理に用いた電極を残し、厚みす
べり振動を利用するときの電極を形成することに
より、加熱を伴う加工時に分極処理に用いた両電
極間を導通して熱処理を行うことを特徴とする圧
電磁器素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55166937A JPS5790986A (en) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Fabrication of piezo electric ceramic element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55166937A JPS5790986A (en) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Fabrication of piezo electric ceramic element |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5790986A JPS5790986A (en) | 1982-06-05 |
| JPS6134279B2 true JPS6134279B2 (ja) | 1986-08-06 |
Family
ID=15840409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55166937A Granted JPS5790986A (en) | 1980-11-26 | 1980-11-26 | Fabrication of piezo electric ceramic element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5790986A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4815743B2 (ja) * | 2004-01-14 | 2011-11-16 | パナソニック株式会社 | 圧電素子の製造方法 |
| KR100567744B1 (ko) * | 2004-06-18 | 2006-04-07 | 송혁진 | 뒷목 햇빛가리개 |
| JP4900066B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2012-03-21 | ミツミ電機株式会社 | 超音波センサの製造方法 |
| JP7191519B2 (ja) | 2017-03-03 | 2022-12-19 | キヤノン株式会社 | 圧電素子の製造方法、振動波モータの製造方法、光学機器の製造方法および電子機器の製造方法 |
-
1980
- 1980-11-26 JP JP55166937A patent/JPS5790986A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5790986A (en) | 1982-06-05 |
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