JPS5942432A - 光散乱式浮遊粒子計数装置 - Google Patents
光散乱式浮遊粒子計数装置Info
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- JPS5942432A JPS5942432A JP57152084A JP15208482A JPS5942432A JP S5942432 A JPS5942432 A JP S5942432A JP 57152084 A JP57152084 A JP 57152084A JP 15208482 A JP15208482 A JP 15208482A JP S5942432 A JPS5942432 A JP S5942432A
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- Japan
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- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 title claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/1434—Optical arrangements
- G01N15/1436—Optical arrangements the optical arrangement forming an integrated apparatus with the sample container, e.g. a flow cell
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- Pathology (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、光散乱式浮遊粒子計数装置に関するもので
あり、さらに詳しくいうと、光の波長より十分率さい浮
遊粒子の大きさと個数の計測に供するための光散乱式浮
遊粒子計数装置に関するものである。
あり、さらに詳しくいうと、光の波長より十分率さい浮
遊粒子の大きさと個数の計測に供するための光散乱式浮
遊粒子計数装置に関するものである。
従来、この種の装置は、放物面鏡や楕円面鏡のような焦
点を有する曲面鏡を用い、レンズでは小可能な広角度範
囲の散乱光を集光する構成が採られていた。このような
光学系で、た吉えは第１図に示す楕円面鏡１について考
察するに、散乱光源２から発した散乱光のうち可捕捉範
囲Ａ内に散乱された光αは楕円面鏡１の鏡面で反射され
、光電変換器３に集光されるが、非捕捉範囲Ｂ内の光β
は、ごく一部のみが光電変換器：３に到達し、大部分は
測定系以外へ放散してしまう。もし、この非捕捉範囲Ｉ
３内の散乱光βを光電変換器３に有効に集光しようとす
ると、第２図に示すように、楕円面鏡Ｊのほかに球面鏡
４、球面レンズ５を組合わぜた、きわめて複雑な光学系
を構成する必要かあ。た。
点を有する曲面鏡を用い、レンズでは小可能な広角度範
囲の散乱光を集光する構成が採られていた。このような
光学系で、た吉えは第１図に示す楕円面鏡１について考
察するに、散乱光源２から発した散乱光のうち可捕捉範
囲Ａ内に散乱された光αは楕円面鏡１の鏡面で反射され
、光電変換器３に集光されるが、非捕捉範囲Ｂ内の光β
は、ごく一部のみが光電変換器：３に到達し、大部分は
測定系以外へ放散してしまう。もし、この非捕捉範囲Ｉ
３内の散乱光βを光電変換器３に有効に集光しようとす
ると、第２図に示すように、楕円面鏡Ｊのほかに球面鏡
４、球面レンズ５を組合わぜた、きわめて複雑な光学系
を構成する必要かあ。た。
この発明は、以上の事情に着目してなされたもので、複
雑な補助光学系を要せすしてきわめて高い散乱光集光率
を有する光散乱式浮遊粒子計数装置を提供することを目
的とするものである。
雑な補助光学系を要せすしてきわめて高い散乱光集光率
を有する光散乱式浮遊粒子計数装置を提供することを目
的とするものである。
また、この発明の目的は、光の波長より十分率さな微粒
子の光散乱特性を利用し、光源にガスレーザを用いた光
散乱式浮遊粒子計数装置を提供することである。
子の光散乱特性を利用し、光源にガスレーザを用いた光
散乱式浮遊粒子計数装置を提供することである。
ここで、この発明の説明に先行して、この発明イガ
の基本的な原理へ光散乱パタ／について説明する。
一般に、光は第３図に示すように横波であって、光の電
界Ｅと磁界Ｈはそれぞれ波の進む方向りに対して直角て
、かつ、互いに直角方向に振動している。ところで、第
４図に示すように、光の波長の数分の１程度以下の微粒
子６に光を照射した場合、この微粒子６によって散乱さ
れる光の強度分布は、電界の振動する方向Ｅから見ると
どの方向に対しても平等な円７てあり、磁界の振動する
方向Ｈから見ると横Ｘ字形８となって、３次元的にはド
ーナツに似た形状の散乱パタンとなる。
界Ｅと磁界Ｈはそれぞれ波の進む方向りに対して直角て
、かつ、互いに直角方向に振動している。ところで、第
４図に示すように、光の波長の数分の１程度以下の微粒
子６に光を照射した場合、この微粒子６によって散乱さ
れる光の強度分布は、電界の振動する方向Ｅから見ると
どの方向に対しても平等な円７てあり、磁界の振動する
方向Ｈから見ると横Ｘ字形８となって、３次元的にはド
ーナツに似た形状の散乱パタンとなる。
この発明は、以上のような微粒子による光散乱特性に着
目し、てなされたもので、以下、第５図に示す一実施例
について説明する。図２こおいて、試料空気］０をノズ
ル９によって楕円面鏡１の焦点である照射領域１１に流
し、この照射領域１１を照射するための連続光の光源と
して電界、磁界の振動方向を安定に一定に保持しろるＨ
ｅ−（’ＪＣレーザのごときガスレーザ１２を用いる。
目し、てなされたもので、以下、第５図に示す一実施例
について説明する。図２こおいて、試料空気］０をノズ
ル９によって楕円面鏡１の焦点である照射領域１１に流
し、この照射領域１１を照射するための連続光の光源と
して電界、磁界の振動方向を安定に一定に保持しろるＨ
ｅ−（’ＪＣレーザのごときガスレーザ１２を用いる。
そうしてガスレーザ１２から発するレーザ光１２Ａの電
界振切方向Ｅさ楕円面鏡１の２つの焦点を通る軸すなわ
ち軸線とが一致するようにガスレーザ１２を定置する。
界振切方向Ｅさ楕円面鏡１の２つの焦点を通る軸すなわ
ち軸線とが一致するようにガスレーザ１２を定置する。
もっとも必ずしも一致せねば有効てないという訳ではな
く、略一致していれは若干散乱パタンの角度がずれるた
けで、その有効性については問題ない。Ｊ３は外部反射
鏡である。
く、略一致していれは若干散乱パタンの角度がずれるた
けで、その有効性については問題ない。Ｊ３は外部反射
鏡である。
以上の構成により、第６図に示すように、照射領域１］
で散乱した光の散乱パタンはレーザ光］、２Ａの磁界の
振動方向Ｈから見た散乱パタン８、すなわち横Ｘ字形と
なり、楕円面鏡１の非捕捉範囲Ｉ３に放射される散乱光
の全散乱光量に占める割合は著しく低減され、光電変換
器３への散乱光集光率はきわめて高くなるっ 尚、上記実施例は楕円面鏡を使用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく他の焦点を有す
る曲面鏡、たとえば放物面鏡であっても本発明の有効性
はいささかも損なわれるものでない。ただ放物面鏡を使
用した場合には、当然のことながら放物面鏡に反射した
散乱光を光電変換器に集光する為の集光レンズが必要と
なる。
で散乱した光の散乱パタンはレーザ光］、２Ａの磁界の
振動方向Ｈから見た散乱パタン８、すなわち横Ｘ字形と
なり、楕円面鏡１の非捕捉範囲Ｉ３に放射される散乱光
の全散乱光量に占める割合は著しく低減され、光電変換
器３への散乱光集光率はきわめて高くなるっ 尚、上記実施例は楕円面鏡を使用した場合について説明
したが、これに限定されるものではなく他の焦点を有す
る曲面鏡、たとえば放物面鏡であっても本発明の有効性
はいささかも損なわれるものでない。ただ放物面鏡を使
用した場合には、当然のことながら放物面鏡に反射した
散乱光を光電変換器に集光する為の集光レンズが必要と
なる。
以上述べたごとく本発明は、レーザ光の電界振動方向吉
楕円面鏡もしくは放物面鏡等の焦点を有する曲面鏡の軸
線とが一致もしくは略一致するようにしたものであり、
構成簡単にして、しかも測定上の性能、精度を向上する
効果を有するものであろう
楕円面鏡もしくは放物面鏡等の焦点を有する曲面鏡の軸
線とが一致もしくは略一致するようにしたものであり、
構成簡単にして、しかも測定上の性能、精度を向上する
効果を有するものであろう
第１図、第２図はそれぞれ従来の装置の要部構成断面図
、第３図はこの発明の詳細な説明するための波形図、第
４図は同じく光散乱特性図、第５図はこの発明の一実施
例の要部構成斜視図、第６図は同じく動作説明図である
。 ■ 楕円面鏡、３ 光電変換器、９・・・ノズノペ１０
試料空気、１１ 照射領域、１２ ガスレーザ
、］、２Ａ レーザ光。 ２ 第３図 第４図 Ｅ 第６図
、第３図はこの発明の詳細な説明するための波形図、第
４図は同じく光散乱特性図、第５図はこの発明の一実施
例の要部構成斜視図、第６図は同じく動作説明図である
。 ■ 楕円面鏡、３ 光電変換器、９・・・ノズノペ１０
試料空気、１１ 照射領域、１２ ガスレーザ
、］、２Ａ レーザ光。 ２ 第３図 第４図 Ｅ 第６図
Claims (1)
- 焦点を有する曲面鏡の１つの焦点を光の照射領域とし、
前記照射領域を通る微粒子による散乱光レーザ光の電界
振動方向と前記曲面鏡の軸線とが一致もしくは略一致す
るように配設されたガスレーザを備えてなるこ々を特徴
さする光散乱式浮遊粒子計数装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57152084A JPS5942432A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 光散乱式浮遊粒子計数装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57152084A JPS5942432A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 光散乱式浮遊粒子計数装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5942432A true JPS5942432A (ja) | 1984-03-09 |
| JPH0231817B2 JPH0231817B2 (ja) | 1990-07-17 |
Family
ID=15532696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57152084A Granted JPS5942432A (ja) | 1982-09-01 | 1982-09-01 | 光散乱式浮遊粒子計数装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5942432A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214238A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Hitachi Ltd | 微粒子検出装置 |
| JPS62112034A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Canon Inc | 粒子解析装置 |
| JPS639848A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Shimizu Constr Co Ltd | 微粒子検知装置 |
| JPS63133041A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Rion Co Ltd | 光散乱式微粒子計 |
| JPH03117748U (ja) * | 1990-03-15 | 1991-12-05 | ||
| EP3036771A4 (en) * | 2013-03-15 | 2018-01-03 | Theranos, Inc. | Femtowatt non-vacuum tube detector assembly |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6688966B2 (ja) | 2015-07-27 | 2020-04-28 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 粒子検出センサ |
-
1982
- 1982-09-01 JP JP57152084A patent/JPS5942432A/ja active Granted
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214238A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-26 | Hitachi Ltd | 微粒子検出装置 |
| JPS62112034A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Canon Inc | 粒子解析装置 |
| JPS639848A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-16 | Shimizu Constr Co Ltd | 微粒子検知装置 |
| JPH0523709B2 (ja) * | 1986-06-30 | 1993-04-05 | Shimizu Kensetsu Kk | |
| JPS63133041A (ja) * | 1986-11-25 | 1988-06-04 | Rion Co Ltd | 光散乱式微粒子計 |
| JPH03117748U (ja) * | 1990-03-15 | 1991-12-05 | ||
| EP3036771A4 (en) * | 2013-03-15 | 2018-01-03 | Theranos, Inc. | Femtowatt non-vacuum tube detector assembly |
| US10014837B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-07-03 | Theranos Ip Company, Llc | Femtowatt non-vacuum tube detector assembly |
| US10778167B2 (en) | 2013-03-15 | 2020-09-15 | Labrador Diagnostics Llc | Femtowatt non-vacuum tube detector assembly |
| US11309856B2 (en) | 2013-03-15 | 2022-04-19 | Labrador Diagnostics Llc | Femtowatt non-vacuum tube detector assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0231817B2 (ja) | 1990-07-17 |
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