JPS5940137A - リ−クテスト装置 - Google Patents
リ−クテスト装置Info
- Publication number
- JPS5940137A JPS5940137A JP15144282A JP15144282A JPS5940137A JP S5940137 A JPS5940137 A JP S5940137A JP 15144282 A JP15144282 A JP 15144282A JP 15144282 A JP15144282 A JP 15144282A JP S5940137 A JPS5940137 A JP S5940137A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leak
- leakage
- standard
- amount
- valve
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/207—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material calibration arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はスニファ法によりリーク検出を行うようにし
たリークテスト装置に関し、特にリーク量のリアルタイ
ムでの測定を可能とし、測定における装置の感度校正を
容易に行なうことができるリークテスト装置に関するも
のである。
たリークテスト装置に関し、特にリーク量のリアルタイ
ムでの測定を可能とし、測定における装置の感度校正を
容易に行なうことができるリークテスト装置に関するも
のである。
従来のスニファ法によりリーク量の測定を行なうように
した装置では、ヘリウム等の試験ガスを封入した被試験
物に一定容爪のフードを施し、このフード内の試験ガス
の濃度の上昇を測定してリーク量の測定を行なってきた
。このような従来法でのリーク量の測定ではフード内へ
の試験ガスのため込みのため暑こ時間を要しリアルタイ
ムでのリーク量の測定ができないという欠点があった。
した装置では、ヘリウム等の試験ガスを封入した被試験
物に一定容爪のフードを施し、このフード内の試験ガス
の濃度の上昇を測定してリーク量の測定を行なってきた
。このような従来法でのリーク量の測定ではフード内へ
の試験ガスのため込みのため暑こ時間を要しリアルタイ
ムでのリーク量の測定ができないという欠点があった。
そこで、スニファプローブの吸込量とスニファプローブ
より吸込んだ試験ガスをリークデテクタ番こより測定し
たリーク量とがｌ対ｌで対応しないことより、吸込量が
多く周囲の空気と共にリーク個所からの試験ガスを１０
０％吸込めるように排気系を構成したスニファプローブ
を使用するようにして、スニファプローブの吸込量を測
定算出するとともに、濃度のわかった試験ガスと試験ガ
スを含まないガスをスニファプローブよりそれぞれ吸込
ませ、このときの各リークインジケータの振れ量を測定
し最小可換リーク量を算出してリークデテクタの感度校
正を行ない、その上で被試験物のリーク個所にスニファ
プローブを近づけたときのリークインジケータの振れの
増加量を測定することによってリアルタイムでリーク量
を求めるようにするスニファ法によるリークテスト方法
が提案されている。この方法を従来装置を用いて実施す
る場合はリークデテクタの感度校正の操作に手間を要す
ることになる。
より吸込んだ試験ガスをリークデテクタ番こより測定し
たリーク量とがｌ対ｌで対応しないことより、吸込量が
多く周囲の空気と共にリーク個所からの試験ガスを１０
０％吸込めるように排気系を構成したスニファプローブ
を使用するようにして、スニファプローブの吸込量を測
定算出するとともに、濃度のわかった試験ガスと試験ガ
スを含まないガスをスニファプローブよりそれぞれ吸込
ませ、このときの各リークインジケータの振れ量を測定
し最小可換リーク量を算出してリークデテクタの感度校
正を行ない、その上で被試験物のリーク個所にスニファ
プローブを近づけたときのリークインジケータの振れの
増加量を測定することによってリアルタイムでリーク量
を求めるようにするスニファ法によるリークテスト方法
が提案されている。この方法を従来装置を用いて実施す
る場合はリークデテクタの感度校正の操作に手間を要す
ることになる。
この発明は、上記スニファ法によるリークテスト方法の
リアルタイムでのリーク量の定量測定が容易に行なえる
ようにしたリークテスト装置の提供を目的としてなされ
たものである。すなわち。
リアルタイムでのリーク量の定量測定が容易に行なえる
ようにしたリークテスト装置の提供を目的としてなされ
たものである。すなわち。
スニファプローブとリークデテクタとを絞り機構を有し
真空ポンプと接続される試料導入バルブを介して接続す
るとともに、スニファプローブを被試験物の検査面近傍
の空間に沿って移動し、リーク個所のリーク量の定量測
定を行なうようにしｔ装置において、前記スニファプロ
ーブと試料導入バルブとの間にバルブを介して一定のリ
ーク量を切替的に供給する標準リーク機構を設けてなる
リークテスト装置に関するものである。
真空ポンプと接続される試料導入バルブを介して接続す
るとともに、スニファプローブを被試験物の検査面近傍
の空間に沿って移動し、リーク個所のリーク量の定量測
定を行なうようにしｔ装置において、前記スニファプロ
ーブと試料導入バルブとの間にバルブを介して一定のリ
ーク量を切替的に供給する標準リーク機構を設けてなる
リークテスト装置に関するものである。
以下図面に基づいてこの発明の実施例であるリークテス
ト装置について説明する。
ト装置について説明する。
図はこの発明の実施例であるリークテスト装置の構成を
示す説明図である。被試験物（１）には試験ガスとして
ヘリウムが封入されている。スニファブロ−ブ（２日こ
けサンプルガスキャリアチューブ（３）が接続され、試
料導入バルブ（６）を介してリークデテクタ（７）に接
続されている。試料導入バルブ（６）のサンプルガスキ
ャリアチューブ（３）側には図示しないオリフィス等の
絞りが設置されており、この絞りに対してたとえば油回
転真空ポンプ（８）が接続されている。スニファプロー
ブ（２）と試料導入バルブ（６）とを接続するサンプル
ガスキャリアチューブ（３）には、さらに標準リークバ
ルブ（４）を介して標準リーク手段（５）が接続されて
いる。標準リーク手段（５）は石英ガラスにヘリウムを
透過させて一定量のヘリウムを供給するよう構成されて
いるが１石英ガラス式のものに限定されるものではない
。
示す説明図である。被試験物（１）には試験ガスとして
ヘリウムが封入されている。スニファブロ−ブ（２日こ
けサンプルガスキャリアチューブ（３）が接続され、試
料導入バルブ（６）を介してリークデテクタ（７）に接
続されている。試料導入バルブ（６）のサンプルガスキ
ャリアチューブ（３）側には図示しないオリフィス等の
絞りが設置されており、この絞りに対してたとえば油回
転真空ポンプ（８）が接続されている。スニファプロー
ブ（２）と試料導入バルブ（６）とを接続するサンプル
ガスキャリアチューブ（３）には、さらに標準リークバ
ルブ（４）を介して標準リーク手段（５）が接続されて
いる。標準リーク手段（５）は石英ガラスにヘリウムを
透過させて一定量のヘリウムを供給するよう構成されて
いるが１石英ガラス式のものに限定されるものではない
。
次に上記構成の実施例装置を使用して行なうリークテス
トについて説明する。被試験物ｆｉ＋のり−クチストを
行なう前（こ、油回転真空ポンプ（８）を起動し標準リ
ークバルブ（４）と試料導入バルブ（６）を開き、標準
リーク手段（５）のリークを検出したり一りデテクタ（
７）の図示しないリークインジケータの振れの増加ｆｉ
Ｄｓ（ｄｉｖ）を測定する。こＱ用膜れの増加量とは大
気中に含まれる約５１１ｉｒｎのヘリウムの検知に対し
てのリークインジケータの振れの増加量いう。標準リー
ク手段（５）のリーク（９）をＱｓ （ａ ｔｕｔｃ（
Ａｅｃ ）とすれば、リークデテクタの最小可換リーク
ｆｆｉＱｍ ｉ ｎは１式Ｑｍｉｎ＝Ｑｓ／Ｄｓ（ａｔ
ｍｃｃ／ｓｅｅ／ｄ ｉ ｖ ）で算出される。この最
小可換リーク量Ｑｍｉｎを算出しリークデテクタ（７）
の感度校正を行なった上で、標準バルブ（４）を閉じ、
スニファプローブ（２）を被試験物（１）のリーク個所
に近づけたときのり一クイレジケータの振れの増加１Ｄ
ｘ（ｄｉｖ）を測定する。この増加量も空気中に含まれ
るヘリウムの検出に対する振れの増加をいう。被試験物
（１）のリーク量Ｑは９式Ｑ＝Ｑｍｉｎ ＸＤｘ（ａｉ
ｍ ｃｃ／ｓｅｃ ）で算出される。尚この発明におい
ては被試験物のリーク個所において。
トについて説明する。被試験物ｆｉ＋のり−クチストを
行なう前（こ、油回転真空ポンプ（８）を起動し標準リ
ークバルブ（４）と試料導入バルブ（６）を開き、標準
リーク手段（５）のリークを検出したり一りデテクタ（
７）の図示しないリークインジケータの振れの増加ｆｉ
Ｄｓ（ｄｉｖ）を測定する。こＱ用膜れの増加量とは大
気中に含まれる約５１１ｉｒｎのヘリウムの検知に対し
てのリークインジケータの振れの増加量いう。標準リー
ク手段（５）のリーク（９）をＱｓ （ａ ｔｕｔｃ（
Ａｅｃ ）とすれば、リークデテクタの最小可換リーク
ｆｆｉＱｍ ｉ ｎは１式Ｑｍｉｎ＝Ｑｓ／Ｄｓ（ａｔ
ｍｃｃ／ｓｅｅ／ｄ ｉ ｖ ）で算出される。この最
小可換リーク量Ｑｍｉｎを算出しリークデテクタ（７）
の感度校正を行なった上で、標準バルブ（４）を閉じ、
スニファプローブ（２）を被試験物（１）のリーク個所
に近づけたときのり一クイレジケータの振れの増加１Ｄ
ｘ（ｄｉｖ）を測定する。この増加量も空気中に含まれ
るヘリウムの検出に対する振れの増加をいう。被試験物
（１）のリーク量Ｑは９式Ｑ＝Ｑｍｉｎ ＸＤｘ（ａｉ
ｍ ｃｃ／ｓｅｃ ）で算出される。尚この発明におい
ては被試験物のリーク個所において。
スニファプローブより周囲の空気とともにリーク個所か
らのヘリウムを１００％吸込ませることが必要なので、
吸込量は充分に余裕のもてるよう〔こスニファプローブ
のキャピラリの外径、油回転真空ポンプの排気力を設定
する。ただしあまり吸込量を大きくすると、最小可換リ
ーク量が大きくなって小さな翻れが検出できなくなるの
で注意を要する。
らのヘリウムを１００％吸込ませることが必要なので、
吸込量は充分に余裕のもてるよう〔こスニファプローブ
のキャピラリの外径、油回転真空ポンプの排気力を設定
する。ただしあまり吸込量を大きくすると、最小可換リ
ーク量が大きくなって小さな翻れが検出できなくなるの
で注意を要する。
この発明の実施例装置は上記のように構成、使用される
ので、スニ”ノア法によるリークテノ、トのリーク量の
定量測定において、簡単容易に装置の感度校正を行なう
ことができ、スニファプローブを被試験物のリーク個所
に近づけたときのリークインジケータの振れの増加量を
測定することによってリーク量のリアルタイムでの定量
測定を可能とすることができる。
ので、スニ”ノア法によるリークテノ、トのリーク量の
定量測定において、簡単容易に装置の感度校正を行なう
ことができ、スニファプローブを被試験物のリーク個所
に近づけたときのリークインジケータの振れの増加量を
測定することによってリーク量のリアルタイムでの定量
測定を可能とすることができる。
この発明によれば、スニファ法によるリークテストにお
いて、装置の感度校正が容易に行なえ。
いて、装置の感度校正が容易に行なえ。
リーク個所のリーク量のリアルタイムでの定量測定が可
能となるリークテスト装置の提供を図ることができる。
能となるリークテスト装置の提供を図ることができる。
の構成を示す説明図である。
（１）・・・・・・被試験物 （２）・・・・・・
スニファプローブ（４）・・・・・・標準リークバルブ
（５）・・・・・・標準リーク手段（６）・・・・・
・試料導入バルブ （７）・・・・・・リークデテク
タ（８）・・・・・・油回転真空ポンプ 第１図
スニファプローブ（４）・・・・・・標準リークバルブ
（５）・・・・・・標準リーク手段（６）・・・・・
・試料導入バルブ （７）・・・・・・リークデテク
タ（８）・・・・・・油回転真空ポンプ 第１図
Claims (1)
- スニファプローブとり一りデテクタとを絞り機構を有し
真空ポンプと接続される試料導入バルブを介して接続す
るとともに、スニフアプローブを被試験物の検査面近傍
の空間に沿って移動し、リーク個所のリーク量の定量測
定を行なうようにした装置において、前記スニファプロ
ーブと試料導入バルブとの間にバルブを介して一定のリ
ーク量を切替的に供給する標準リーク機構を設けてなる
リークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15144282A JPS5940137A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | リ−クテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15144282A JPS5940137A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | リ−クテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5940137A true JPS5940137A (ja) | 1984-03-05 |
Family
ID=15518691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15144282A Pending JPS5940137A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | リ−クテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940137A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0240519A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Ulvac Corp | ガス洩れ検査装置 |
| JP2016528509A (ja) * | 2013-08-20 | 2016-09-15 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | ピコ漏洩試験器 |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP15144282A patent/JPS5940137A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0240519A (ja) * | 1988-08-01 | 1990-02-09 | Ulvac Corp | ガス洩れ検査装置 |
| JP2016528509A (ja) * | 2013-08-20 | 2016-09-15 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | ピコ漏洩試験器 |
| JP2019066489A (ja) * | 2013-08-20 | 2019-04-25 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | ピコ漏洩試験器 |
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