JP2817498B2 - 漏れ検査装置 - Google Patents
漏れ検査装置Info
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- JP2817498B2 JP2817498B2 JP4043638A JP4363892A JP2817498B2 JP 2817498 B2 JP2817498 B2 JP 2817498B2 JP 4043638 A JP4043638 A JP 4043638A JP 4363892 A JP4363892 A JP 4363892A JP 2817498 B2 JP2817498 B2 JP 2817498B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ラジェ−タ、ヒータ、
コンデンサ、エバポレータなどの中空被試験品の漏れを
検査する漏れ検査装置に関する。
コンデンサ、エバポレータなどの中空被試験品の漏れを
検査する漏れ検査装置に関する。
【0002】
【従来技術】従来の中空被試験品の漏れ検査装置を説明
すると、まず中空被試験品を真空室の中に入れた後、中
空被試験品の内部にトレースガスを充填する。次に真空
室から排気し、真空室中のトレースガス濃度を質量分析
計などのガスセンサで測定して中空被試験品の漏れを調
べる。
すると、まず中空被試験品を真空室の中に入れた後、中
空被試験品の内部にトレースガスを充填する。次に真空
室から排気し、真空室中のトレースガス濃度を質量分析
計などのガスセンサで測定して中空被試験品の漏れを調
べる。
【0003】しかしながら、上記した漏れ検査装置は、
環境温度その他、装置各部の微妙な変化により測定値が
影響を受けるので、従来では作業者が一定時間毎(例え
ば4時間毎)に中空被試験品の試験を中断して、中空被
試験品の代わりに中空被試験品の漏れ基準値と同等の漏
れ量を有するマスターリークと呼ばれる基準漏れ品を真
空室に入れ、このマスターリークから真空室への漏れを
ガスセンサで測定し、得た漏れ測定値(今回値)と前回
のマスターリークの漏れ測定値(前回値)とを比較し、
比較結果に応じて感度校正及び漏れ検査装置の良否のチ
ェックを行なっている。
環境温度その他、装置各部の微妙な変化により測定値が
影響を受けるので、従来では作業者が一定時間毎(例え
ば4時間毎)に中空被試験品の試験を中断して、中空被
試験品の代わりに中空被試験品の漏れ基準値と同等の漏
れ量を有するマスターリークと呼ばれる基準漏れ品を真
空室に入れ、このマスターリークから真空室への漏れを
ガスセンサで測定し、得た漏れ測定値(今回値)と前回
のマスターリークの漏れ測定値(前回値)とを比較し、
比較結果に応じて感度校正及び漏れ検査装置の良否のチ
ェックを行なっている。
【0004】このマスターリーク漏れ量の測定の順序
は、真空室を大気に開放し、マスターリークを真空室に
挿入し、マスターリークを真空室内のトレースガス封入
チューブ(中空被試験品の内部にトレースガスを充填す
るための配管)に接続してマスターリーク内部へトレー
スガスを充填し、真空室を密閉し、真空室を所定の真空
圧まで掃引し、漏れ測定を行い、真空室を大気に開放
し、マスターリークをトレースガス封入チューブから分
離し、マスターリークを真空室から取り出す一連の工程
からなる。
は、真空室を大気に開放し、マスターリークを真空室に
挿入し、マスターリークを真空室内のトレースガス封入
チューブ(中空被試験品の内部にトレースガスを充填す
るための配管)に接続してマスターリーク内部へトレー
スガスを充填し、真空室を密閉し、真空室を所定の真空
圧まで掃引し、漏れ測定を行い、真空室を大気に開放
し、マスターリークをトレースガス封入チューブから分
離し、マスターリークを真空室から取り出す一連の工程
からなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た漏れ検査装置の感度校正又は装置良否チェックのため
のマスターリーク漏れ量の測定においては、マスターリ
ークを保管場所から取り出して真空室に挿入し、通常は
上記トレースガス封入チューブに接続してマスターリー
ク内部にトレースガスを充填し、測定後、上記チューブ
からマスターリークを取り外し、真空室から取り出して
再び保管場所に保管するという一連の作業を必要とする
が、マスターリークは破損し易く汚れを嫌う精密部品で
ありその取扱いが作業者に大きな負担となっていた。
た漏れ検査装置の感度校正又は装置良否チェックのため
のマスターリーク漏れ量の測定においては、マスターリ
ークを保管場所から取り出して真空室に挿入し、通常は
上記トレースガス封入チューブに接続してマスターリー
ク内部にトレースガスを充填し、測定後、上記チューブ
からマスターリークを取り外し、真空室から取り出して
再び保管場所に保管するという一連の作業を必要とする
が、マスターリークは破損し易く汚れを嫌う精密部品で
ありその取扱いが作業者に大きな負担となっていた。
【0006】また、マスターリークはフィルタは備える
ものの極めて小さい漏れ孔を有する部品であるので、こ
れら作業中及び保管中においてフィルタを透過して漏れ
孔付近に塵や結露が付着すると、マスターリークの漏れ
量が変動してしまうという不具合があった。なお、強力
なフィルタをマスターリークに装着することによりその
漏れ孔への塵の到達を妨害することができるが、余りに
強力な(目の細かい)フィルタの採用はマスターリーク
の漏れ量に影響を与えるとともに、その汚れの進行が加
速されるので頻繁なフィルタ交換が必要となるという新
たな不具合を生じた。
ものの極めて小さい漏れ孔を有する部品であるので、こ
れら作業中及び保管中においてフィルタを透過して漏れ
孔付近に塵や結露が付着すると、マスターリークの漏れ
量が変動してしまうという不具合があった。なお、強力
なフィルタをマスターリークに装着することによりその
漏れ孔への塵の到達を妨害することができるが、余りに
強力な(目の細かい)フィルタの採用はマスターリーク
の漏れ量に影響を与えるとともに、その汚れの進行が加
速されるので頻繁なフィルタ交換が必要となるという新
たな不具合を生じた。
【0007】本発明は上記の問題点に鑑みなされたもの
であり、感度校正などに用いるマスターリークの汚損を
防止するとともにその取扱いにおける作業者の負担軽減
が可能な漏れ検査装置を提供することを目的としてい
る。
であり、感度校正などに用いるマスターリークの汚損を
防止するとともにその取扱いにおける作業者の負担軽減
が可能な漏れ検査装置を提供することを目的としてい
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の漏れ検査装置
は、内部に所定圧力のトレースガスが注入される中空被
試験品を収容する真空室と、該真空室を所定の真空圧ま
で掃引する真空室排気ポンプと、前記真空室中のトレー
スガスを検出するガスセンサと、供給されるトレースガ
スを定期的に所定の漏れ流量でリークさせるマスターリ
ークと、前記マスターリークから前記真空室にトレース
ガスを供給する配管に設けられた第一のバルブと、トレ
ースガス供給源から前記マスターリークにトレースガス
を供給する配管に設けられた第二のバルブと、前記マス
ターリークから排気する配管に設けられた第三のバルブ
と、を備え、前記マスターリーク内の残留トレースガス
は、前記第一のバルブの開放前に前記第二のバルブが閉
じられた状態で前記第三のバルブを通じて掃引され、前
記真空室は、前記第一のバルブの開放前に前記真空室排
気ポンプにより予め所定の真空圧まで掃引されることを
特徴としている。
は、内部に所定圧力のトレースガスが注入される中空被
試験品を収容する真空室と、該真空室を所定の真空圧ま
で掃引する真空室排気ポンプと、前記真空室中のトレー
スガスを検出するガスセンサと、供給されるトレースガ
スを定期的に所定の漏れ流量でリークさせるマスターリ
ークと、前記マスターリークから前記真空室にトレース
ガスを供給する配管に設けられた第一のバルブと、トレ
ースガス供給源から前記マスターリークにトレースガス
を供給する配管に設けられた第二のバルブと、前記マス
ターリークから排気する配管に設けられた第三のバルブ
と、を備え、前記マスターリーク内の残留トレースガス
は、前記第一のバルブの開放前に前記第二のバルブが閉
じられた状態で前記第三のバルブを通じて掃引され、前
記真空室は、前記第一のバルブの開放前に前記真空室排
気ポンプにより予め所定の真空圧まで掃引されることを
特徴としている。
【0009】
【作用】この漏れ検査装置の感度校正及び装置良否チェ
ックのためのマスターリーク漏れ量の測定は、真空室排
気ポンプにより真空室を所定の真空圧まで掃引した後、
トレースガス供給源からマスターリークにより真空室へ
トレースガスを定流量で所定時間リークさせ、ガスセン
サにより真空室のトレースガス濃度を測定することによ
りなされる。
ックのためのマスターリーク漏れ量の測定は、真空室排
気ポンプにより真空室を所定の真空圧まで掃引した後、
トレースガス供給源からマスターリークにより真空室へ
トレースガスを定流量で所定時間リークさせ、ガスセン
サにより真空室のトレースガス濃度を測定することによ
りなされる。
【0010】なお、感度校正及び装置良否チェックは、
従来同様に人手により又は自動データ処理装置により測
定値の今回値をその前回値や所定の基準値と比較して実
施できる。
従来同様に人手により又は自動データ処理装置により測
定値の今回値をその前回値や所定の基準値と比較して実
施できる。
【0011】
【発明の効果】以上説明したように本発明の漏れ検査装
置は、トレースガスを定流量でリークさせるマスターリ
ークを配管及びバルブを通じてトレースガス供給源と真
空室との間に設けているので、感度校正などに用いるマ
スターリークの汚損を防止するとともにその取扱いにお
ける作業者の負担の格段の軽減が可能になるという優れ
た効果を奏することができる。また、マスターリークや
その近傍配管に残留するトレースガスを第三のバルブを
通じて真空室を経由することなく排気した後、第一のバ
ルブを開けてマスターリークを通じて真空室にトレース
ガスを供給するので、マスターリーク内部やその近傍配
管に残留するトレースガスが第一のバルブを開けた直後
に真空室に多量に流入して一時的に真空室のトレースガ
ス濃度が急上昇することがなく、第一のバルブ開放後、
校正時における真空室のトレースガス濃度測定を迅速か
つ正確に行うことができる。更に、真空室が、第一のバ
ルブの開放前に真空室排気ポンプにより予め所定の真空
圧まで掃引されるので、第一のバルブ開放前に真空室内
に残留するトレースガスを排気することができ、第一の
バルブ開放後、校正時における真空室のトレースガス濃
度測定を迅速かつ正確に行うことができる。
置は、トレースガスを定流量でリークさせるマスターリ
ークを配管及びバルブを通じてトレースガス供給源と真
空室との間に設けているので、感度校正などに用いるマ
スターリークの汚損を防止するとともにその取扱いにお
ける作業者の負担の格段の軽減が可能になるという優れ
た効果を奏することができる。また、マスターリークや
その近傍配管に残留するトレースガスを第三のバルブを
通じて真空室を経由することなく排気した後、第一のバ
ルブを開けてマスターリークを通じて真空室にトレース
ガスを供給するので、マスターリーク内部やその近傍配
管に残留するトレースガスが第一のバルブを開けた直後
に真空室に多量に流入して一時的に真空室のトレースガ
ス濃度が急上昇することがなく、第一のバルブ開放後、
校正時における真空室のトレースガス濃度測定を迅速か
つ正確に行うことができる。更に、真空室が、第一のバ
ルブの開放前に真空室排気ポンプにより予め所定の真空
圧まで掃引されるので、第一のバルブ開放前に真空室内
に残留するトレースガスを排気することができ、第一の
バルブ開放後、校正時における真空室のトレースガス濃
度測定を迅速かつ正確に行うことができる。
【0012】
【実施例】本発明の漏れ検査装置の一実施例を図面を参
照して説明する。図1は一部配管図を示し、図2はマス
ターリークの平面図を示し、図3はマスターリークの断
面図を示す。この漏れ検査装置は図1に示すように、6
台のテストチャンバー部(図1ではそのNo.1テスト
チャンバー部のみを示す)Aと、各テストチャンバー部
Aに圧力調整弁6を通じてトレースガス(ここではヘリ
ウムガス)を供給するトレースガスボンベ(本発明でい
うトレースガス供給源)7と、各テストチャンバー部A
から排気するマスターリーク排気ポンプ9及び真空室排
気ポンプ12、13と、各テストチャンバー部A内の真
空室1中のトレースガス濃度(漏れ量)を測定する質量
分析計(本発明でいうガスセンサ)5とを備えている。
照して説明する。図1は一部配管図を示し、図2はマス
ターリークの平面図を示し、図3はマスターリークの断
面図を示す。この漏れ検査装置は図1に示すように、6
台のテストチャンバー部(図1ではそのNo.1テスト
チャンバー部のみを示す)Aと、各テストチャンバー部
Aに圧力調整弁6を通じてトレースガス(ここではヘリ
ウムガス)を供給するトレースガスボンベ(本発明でい
うトレースガス供給源)7と、各テストチャンバー部A
から排気するマスターリーク排気ポンプ9及び真空室排
気ポンプ12、13と、各テストチャンバー部A内の真
空室1中のトレースガス濃度(漏れ量)を測定する質量
分析計(本発明でいうガスセンサ)5とを備えている。
【0013】以下、各テストチャンバー部Aの構成は同
一であるので、No.1テストチャンバー部の構成を説
明する。真空室1は一端開口の金属缶体とこの金属缶体
の開口を開閉する扉とからなり、この扉の閉鎖により真
空室1は外部から気密とされる。真空室1の天井部には
トレースガス封入チューブ16の先端部が突出してお
り、トレースガス封入チューブ16はトレースガス封入
バルブ15を通じて圧力調整弁6の出口に接続されてい
る。また真空室1は、縦続接続された真空室排気ポンプ
12、13に真空室排気バルブ10を通じて接続されて
おり、更に真空室1はテストバルブ11を通じて質量分
析計5に接続されている。
一であるので、No.1テストチャンバー部の構成を説
明する。真空室1は一端開口の金属缶体とこの金属缶体
の開口を開閉する扉とからなり、この扉の閉鎖により真
空室1は外部から気密とされる。真空室1の天井部には
トレースガス封入チューブ16の先端部が突出してお
り、トレースガス封入チューブ16はトレースガス封入
バルブ15を通じて圧力調整弁6の出口に接続されてい
る。また真空室1は、縦続接続された真空室排気ポンプ
12、13に真空室排気バルブ10を通じて接続されて
おり、更に真空室1はテストバルブ11を通じて質量分
析計5に接続されている。
【0014】トレースガスボンベ7には高圧ヘリウムガ
スが充填されており、この高圧ヘリウムガスは圧力調整
弁6で減圧されて各バルブ15に送られる。質量分析計
5はヘリウムを選択的に検出するガスセンサであって、
導入した被測定ガスをイオン化して静電加速、磁界偏向
して成分ガスの質量差による偏向程度により特定のイオ
ンを電極に集めるものであって、周知であるのでその詳
細説明は省略する。
スが充填されており、この高圧ヘリウムガスは圧力調整
弁6で減圧されて各バルブ15に送られる。質量分析計
5はヘリウムを選択的に検出するガスセンサであって、
導入した被測定ガスをイオン化して静電加速、磁界偏向
して成分ガスの質量差による偏向程度により特定のイオ
ンを電極に集めるものであって、周知であるのでその詳
細説明は省略する。
【0015】本発明の特徴部分を以下に説明する。圧力
調整弁6はトレースガス供給バルブ4を通じてマスター
リーク2の吸入口に接続され、マスターリーク2の漏出
口は校正バルブ3を通じて真空室1の天井部に接続され
ている。またマスターリーク2はトレースガス掃引バル
ブ8を通じてマスターリーク排気ポンプ9に接続されて
いる。
調整弁6はトレースガス供給バルブ4を通じてマスター
リーク2の吸入口に接続され、マスターリーク2の漏出
口は校正バルブ3を通じて真空室1の天井部に接続され
ている。またマスターリーク2はトレースガス掃引バル
ブ8を通じてマスターリーク排気ポンプ9に接続されて
いる。
【0016】マスターリーク2の詳細を図2及び図3に
より説明する。マスターリーク2は外部ハウジング20
及び内部ハウジング30を有し、外部ハウジング20
は、底板23、穴板24、中板25、穴板26及び天板
27を順番に積み重ねて長ボルト28で締結して構成さ
れている。底板23及び中板25で上下区画される穴板
24の内部空間S1はマスターリークの上流側空間とな
っており、同様に中板25及び天板27で上下区画され
る穴板26の内部空間S2はマスターリークの下流側空
間となっている。天板27に貫設された円孔には下端開
口の円缶状ケース28の下端部が嵌入、溶接され、上記
円孔により円缶状ケース28の内部は内部空間S2と連
通している。
より説明する。マスターリーク2は外部ハウジング20
及び内部ハウジング30を有し、外部ハウジング20
は、底板23、穴板24、中板25、穴板26及び天板
27を順番に積み重ねて長ボルト28で締結して構成さ
れている。底板23及び中板25で上下区画される穴板
24の内部空間S1はマスターリークの上流側空間とな
っており、同様に中板25及び天板27で上下区画され
る穴板26の内部空間S2はマスターリークの下流側空
間となっている。天板27に貫設された円孔には下端開
口の円缶状ケース28の下端部が嵌入、溶接され、上記
円孔により円缶状ケース28の内部は内部空間S2と連
通している。
【0017】また、中板25の中央部にも上下に貫通孔
が穿設されており、この貫通孔に内部ハウジング30が
立設されている。内部ハウジング30は、フィルタ抑え
筒31、フィルタ32、下筒33、リーク部34、上筒
35、フィルタ36、フィルタ抑え筒37を順番に重ね
て構成されている。すなわち、中板25の上記貫通孔に
は下筒33の下端部が螺入されており、下筒33の下端
開口にはフィルタ32が挿入された後、フィルタ抑え筒
31が螺入されている。リーク部34は下筒33の上端
に載置された後、上筒35の下端部が下筒33の上端部
に螺着され、リーク部34は下筒33と上筒35とによ
り挟持される。上筒35の上端開口にはフィルタ36が
挿入された後、フィルタ抑え筒37が螺入されている。
が穿設されており、この貫通孔に内部ハウジング30が
立設されている。内部ハウジング30は、フィルタ抑え
筒31、フィルタ32、下筒33、リーク部34、上筒
35、フィルタ36、フィルタ抑え筒37を順番に重ね
て構成されている。すなわち、中板25の上記貫通孔に
は下筒33の下端部が螺入されており、下筒33の下端
開口にはフィルタ32が挿入された後、フィルタ抑え筒
31が螺入されている。リーク部34は下筒33の上端
に載置された後、上筒35の下端部が下筒33の上端部
に螺着され、リーク部34は下筒33と上筒35とによ
り挟持される。上筒35の上端開口にはフィルタ36が
挿入された後、フィルタ抑え筒37が螺入されている。
【0018】リーク部34は下筒33と上筒35とによ
り挟持されるとともに中央に上下に貫通する中央孔(図
示せず)を有するベース34aと、ベース34aの中央
部から下方に伸びる先細のガラスチューブ34bとから
なり、ガラスチューブ34bの上端部はベース34aに
ハーメチックシールされている。更に図2に示すよう
に、内部空間S1はバルブ4及びバルブ5の出口に配管
接続され、内部空間S2はバルブ3の出口に配管接続さ
れている。ガラスチューブ34bの下端の微小孔(図示
せず)がこのマスターリーク2の漏れ量を決定する。
り挟持されるとともに中央に上下に貫通する中央孔(図
示せず)を有するベース34aと、ベース34aの中央
部から下方に伸びる先細のガラスチューブ34bとから
なり、ガラスチューブ34bの上端部はベース34aに
ハーメチックシールされている。更に図2に示すよう
に、内部空間S1はバルブ4及びバルブ5の出口に配管
接続され、内部空間S2はバルブ3の出口に配管接続さ
れている。ガラスチューブ34bの下端の微小孔(図示
せず)がこのマスターリーク2の漏れ量を決定する。
【0019】このマスターリークでは、トレースガスボ
ンベ7から、バルブ4、内部空間S1、フィルタ32、
ガラスチューブ34b、フィルタ36、内部空間S2、
バルブ3を通じて真空室1にトレースガスが定流量で漏
れ出る。また、バルブ3、4閉、バルブ5開としてマス
ターリーク排気ポンプ9を運転すると、マスターリーク
2内部のトレースガスは排気ポンプ9により外部に排出
される。
ンベ7から、バルブ4、内部空間S1、フィルタ32、
ガラスチューブ34b、フィルタ36、内部空間S2、
バルブ3を通じて真空室1にトレースガスが定流量で漏
れ出る。また、バルブ3、4閉、バルブ5開としてマス
ターリーク排気ポンプ9を運転すると、マスターリーク
2内部のトレースガスは排気ポンプ9により外部に排出
される。
【0020】以下、この漏れ検査装置による中空被試験
品の漏れ試験の手順を説明する。なお、真空室排気ポン
プ12、13及びマスターリーク排気ポンプ9は常時運
転しているものとする。まず中空被試験品14を真空室
1内に入れ、中空被試験品14のガス注入部(図示せ
ず)をトレースガス封入チュ−ブ16に接続する。次に
真空室1の扉を閉め、バルブ10を開いて真空室1内を
真空排気する。また、バルブ15を開いて中空被試験品
14内へトレースガスを封入する。なお、中空被試験品
14によってはその内部にトレースガスを封入してから
真空室1内へ投入する場合もある。
品の漏れ試験の手順を説明する。なお、真空室排気ポン
プ12、13及びマスターリーク排気ポンプ9は常時運
転しているものとする。まず中空被試験品14を真空室
1内に入れ、中空被試験品14のガス注入部(図示せ
ず)をトレースガス封入チュ−ブ16に接続する。次に
真空室1の扉を閉め、バルブ10を開いて真空室1内を
真空排気する。また、バルブ15を開いて中空被試験品
14内へトレースガスを封入する。なお、中空被試験品
14によってはその内部にトレースガスを封入してから
真空室1内へ投入する場合もある。
【0021】その結果、中空被試験品14に漏れがあれ
ば、トレースガスが真空室1内に漏出するので、バルブ
11を開けるとトレースガスが質量分析計5へ導入さ
れ、質量分析計5の検出イオン電流を所定時間積分する
ことによりその漏れ量が計測される。なおバルブ11は
測定に必要な時間だけ開くようになっている。このよう
な漏れ検査装置は、質量分析計5や真空系の微妙な変化
により測定感度が変動するので、以下に説明するマスタ
ーリーク漏れ量の測定を行い、この測定結果に基づいて
装置の性能確認と感度校正とを4時間毎に行う。
ば、トレースガスが真空室1内に漏出するので、バルブ
11を開けるとトレースガスが質量分析計5へ導入さ
れ、質量分析計5の検出イオン電流を所定時間積分する
ことによりその漏れ量が計測される。なおバルブ11は
測定に必要な時間だけ開くようになっている。このよう
な漏れ検査装置は、質量分析計5や真空系の微妙な変化
により測定感度が変動するので、以下に説明するマスタ
ーリーク漏れ量の測定を行い、この測定結果に基づいて
装置の性能確認と感度校正とを4時間毎に行う。
【0022】以下、このマスターリーク漏れ量の測定に
ついて説明する。なお、このマスターリーク漏れ量の測
定前にはバルブ3、4、10、11、15は閉じ、バル
ブ8は開いておく。まず測定済みの中空被試験品14を
真空室1から取り出して扉を閉鎖した後、バルブ10を
開けて真空室1を基準圧まで排気してバルブ10を閉
じ、次に、バルブ3、4を開き、バルブ8を閉じると、
ボンベ7からマスターリーク2を通じてトレースガスが
真空室1へ基準のタイミング、一定漏れ量で導入され
る。そこでバルブ11を開いて質量分析計5によりトレ
ースガスの漏れ量を測定する。
ついて説明する。なお、このマスターリーク漏れ量の測
定前にはバルブ3、4、10、11、15は閉じ、バル
ブ8は開いておく。まず測定済みの中空被試験品14を
真空室1から取り出して扉を閉鎖した後、バルブ10を
開けて真空室1を基準圧まで排気してバルブ10を閉
じ、次に、バルブ3、4を開き、バルブ8を閉じると、
ボンベ7からマスターリーク2を通じてトレースガスが
真空室1へ基準のタイミング、一定漏れ量で導入され
る。そこでバルブ11を開いて質量分析計5によりトレ
ースガスの漏れ量を測定する。
【0023】この測定後、バルブ3、4、10、11、
15を閉じ、バルブ8は開き、かつ図示しないバルブに
より真空室1に大気を導入し、扉を開いて次の中空被試
験品14を受け入れる。質量分析計5から出力されたマ
スターリーク漏れ量の今回値は不図示のデータ処理装置
により一定の許容範囲内にあるかどうかを調べ、その範
囲内にあればこのデータ処理装置は装置作動良好と判断
してその後の測定を許可し、もし範囲外であれば警報を
発報してその後の測定を中断させる。また、デ−タ処理
装置はマスターリーク漏れ量の前回値(4時間前に測
定)と今回値とを比較し、その比率を今後の測定値に掛
けることにより感度校正を行う。
15を閉じ、バルブ8は開き、かつ図示しないバルブに
より真空室1に大気を導入し、扉を開いて次の中空被試
験品14を受け入れる。質量分析計5から出力されたマ
スターリーク漏れ量の今回値は不図示のデータ処理装置
により一定の許容範囲内にあるかどうかを調べ、その範
囲内にあればこのデータ処理装置は装置作動良好と判断
してその後の測定を許可し、もし範囲外であれば警報を
発報してその後の測定を中断させる。また、デ−タ処理
装置はマスターリーク漏れ量の前回値(4時間前に測
定)と今回値とを比較し、その比率を今後の測定値に掛
けることにより感度校正を行う。
【0024】以上によりNo.1テストチャンバー部A
のマスターリーク漏れ量の測定及び感度校正について説
明したが、上記動作は他の5台のテストチャンバー部A
に対しても順番に行う。1台のテストチャンバー部Aに
対する上記作業は通常の中空被試験品に対する漏れ量測
定作業と同一時間範囲(たとえば20秒)に充分実施で
きるので、結局全テストチャンバー部Aに対して20×
6=120秒でマスターリーク漏れ量の測定作業を終了
することができる。
のマスターリーク漏れ量の測定及び感度校正について説
明したが、上記動作は他の5台のテストチャンバー部A
に対しても順番に行う。1台のテストチャンバー部Aに
対する上記作業は通常の中空被試験品に対する漏れ量測
定作業と同一時間範囲(たとえば20秒)に充分実施で
きるので、結局全テストチャンバー部Aに対して20×
6=120秒でマスターリーク漏れ量の測定作業を終了
することができる。
【0025】以上述べた実施例では、マスターリーク2
として微小な漏れ穴を有する部品を使用しているが、ガ
ラス壁のガス浸透等によっても一定の漏れ量を得ること
ができ、この場合でもマスターリーク2の汚損を防止す
ることができる。以上説明したように漏れ検査装置は、
トレースガスを定期的に定流量でリークさせるマスター
リーク2をボンベ7と真空室1との間に開閉可能に設け
ているので、マスターリーク2の汚損を防止することが
でき、またマスターリーク2の取扱いが不要となるので
作業者への負担軽減が可能となる。
として微小な漏れ穴を有する部品を使用しているが、ガ
ラス壁のガス浸透等によっても一定の漏れ量を得ること
ができ、この場合でもマスターリーク2の汚損を防止す
ることができる。以上説明したように漏れ検査装置は、
トレースガスを定期的に定流量でリークさせるマスター
リーク2をボンベ7と真空室1との間に開閉可能に設け
ているので、マスターリーク2の汚損を防止することが
でき、またマスターリーク2の取扱いが不要となるので
作業者への負担軽減が可能となる。
【0026】すなわち、本発明のマスターリークの両端
は配管及びバルブを通じてトレースガス供給源及び真空
室との間に接続されており、従来のように真空室外に保
管し、かつ人手により真空室に出し入れする場合に比べ
て格段に汚染されにくい。唯一の汚染源としては、真空
室の扉を開いたときに外部から真空室へ流入する空気中
の塵や水分であるが、真空室に流入した上記空気は扉閉
鎖後、真空室排気ポンプによりただちに排気されるの
で、真空室内に随伴したこれら塵や水分はこの排気気流
により外部に排出されまた直ちに蒸発し、真空室内は殆
どの時間において清潔である。 更に、作業者はマスタ
ーリーク漏れ量の測定に際して、マスターリークの取扱
いが不要となるのでその負担軽減が可能となり、マスタ
ーリークの保管場所も要らないので省スペースも実現で
きる。
は配管及びバルブを通じてトレースガス供給源及び真空
室との間に接続されており、従来のように真空室外に保
管し、かつ人手により真空室に出し入れする場合に比べ
て格段に汚染されにくい。唯一の汚染源としては、真空
室の扉を開いたときに外部から真空室へ流入する空気中
の塵や水分であるが、真空室に流入した上記空気は扉閉
鎖後、真空室排気ポンプによりただちに排気されるの
で、真空室内に随伴したこれら塵や水分はこの排気気流
により外部に排出されまた直ちに蒸発し、真空室内は殆
どの時間において清潔である。 更に、作業者はマスタ
ーリーク漏れ量の測定に際して、マスターリークの取扱
いが不要となるのでその負担軽減が可能となり、マスタ
ーリークの保管場所も要らないので省スペースも実現で
きる。
【0027】以下、本実施例の他の効果について説明す
る。 (1)まず、本実施例ではマスターリーク2と真空室1
とをバルブ3を通じて連結し、マスターリーク漏れ量の
測定時にのみバルブ3を開いている。このようにすれ
ば、真空室1を大気開放する期間に、真空室1から汚れ
た外気がマスターリーク2に侵入することが防止でき、
マスターリーク2の詰まりやフィルタ汚損を防止するこ
とができる。
る。 (1)まず、本実施例ではマスターリーク2と真空室1
とをバルブ3を通じて連結し、マスターリーク漏れ量の
測定時にのみバルブ3を開いている。このようにすれ
ば、真空室1を大気開放する期間に、真空室1から汚れ
た外気がマスターリーク2に侵入することが防止でき、
マスターリーク2の詰まりやフィルタ汚損を防止するこ
とができる。
【0028】(2)次に、本実施例ではマスターリーク
2と真空室1とをバルブ3を通じて連結し、マスターリ
ーク2とボンベ7とをバルブ4を通じて連結し、更にマ
スターリーク2とマスターリーク排気ポンプ9とをバル
ブ8を通じて連結し、マスターリーク漏れ量の測定終了
後は、バルブ3、4を閉じ、バルブ8を開いてマスター
リーク2の内部及びマスターリーク2に連結される配管
中の残存トレースガスを排気している。
2と真空室1とをバルブ3を通じて連結し、マスターリ
ーク2とボンベ7とをバルブ4を通じて連結し、更にマ
スターリーク2とマスターリーク排気ポンプ9とをバル
ブ8を通じて連結し、マスターリーク漏れ量の測定終了
後は、バルブ3、4を閉じ、バルブ8を開いてマスター
リーク2の内部及びマスターリーク2に連結される配管
中の残存トレースガスを排気している。
【0029】このようにすれば、次回のマスターリーク
漏れ量の測定に際してマスターリーク2の内部及びマス
ターリーク2に連結される配管中の残存トレースガスが
次回の漏れ量測定値に測定されるという不具合を回避す
ることができ、校正精度を向上することができる。な
お、上記実施例ではバルブ8はマスターリーク2の微小
孔より上流部に設けたが、下流部に設けてもよく、更に
両方に設けてもよい。
漏れ量の測定に際してマスターリーク2の内部及びマス
ターリーク2に連結される配管中の残存トレースガスが
次回の漏れ量測定値に測定されるという不具合を回避す
ることができ、校正精度を向上することができる。な
お、上記実施例ではバルブ8はマスターリーク2の微小
孔より上流部に設けたが、下流部に設けてもよく、更に
両方に設けてもよい。
【図1】本発明の漏れ検査装置の一実施例を示すブロッ
ク図、
ク図、
【図2】図1のマスターリークの平面図、
【図3】図1のマスターリークの断面図、
1は真空室、2はマスターリーク、5は質量分析計(ガ
スセンサ)、7はトレースガスボンベ(トレースガス供
給源)、14は中空被試験品、12、13は真空室排気
ポンプ、
スセンサ)、7はトレースガスボンベ(トレースガス供
給源)、14は中空被試験品、12、13は真空室排気
ポンプ、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01M 3/20 G01M 3/02
Claims (1)
- 【請求項1】 内部に所定圧力のトレースガスが注入さ
れる中空被試験品を収容する真空室と、 該真 空室を所定の真空圧まで掃引する真空室排気ポンプ
と、 前記真 空室中のトレースガスを検出するガスセンサと、 供給されるトレースガスを定期的に所定の漏れ流量でリ
ークさせるマスターリークと、 前記マスターリークから前記真空室にトレースガスを供
給する配管に設けられた第一のバルブと、 トレースガス供給源から前記マスターリークにトレース
ガスを供給する配管に設けられた第二のバルブと、 前記マスターリークから排気する配管に設けられた第三
のバルブと、 を備え、 前記マスターリーク内の残留トレースガスは、前記第一
のバルブの開放前に前記第二のバルブが閉じられた状態
で前記第三のバルブを通じて掃引され、 前記真空室は、前記第一のバルブの開放前に前記真空室
排気ポンプにより予め所定の真空圧まで掃引される こと
を特徴とする漏れ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043638A JP2817498B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 漏れ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4043638A JP2817498B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 漏れ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05240729A JPH05240729A (ja) | 1993-09-17 |
JP2817498B2 true JP2817498B2 (ja) | 1998-10-30 |
Family
ID=12669416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4043638A Expired - Lifetime JP2817498B2 (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 漏れ検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2817498B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4822106B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2011-11-24 | 株式会社デンソー | 流量測定装置およびその精度確認方法 |
DE102013215278A1 (de) | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem Drucksensor |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59180340A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-13 | Toshiba Corp | 漏洩試験装置 |
JPH0282131A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-22 | Ulvac Corp | 自動リークテスト方法 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043638A patent/JP2817498B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05240729A (ja) | 1993-09-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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