JPS5935857U - 表面欠陥検査装置 - Google Patents

表面欠陥検査装置

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Publication number
JPS5935857U
JPS5935857U JP13102582U JP13102582U JPS5935857U JP S5935857 U JPS5935857 U JP S5935857U JP 13102582 U JP13102582 U JP 13102582U JP 13102582 U JP13102582 U JP 13102582U JP S5935857 U JPS5935857 U JP S5935857U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
inspection object
optical fiber
image sensor
side facing
Prior art date
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Pending
Application number
JP13102582U
Other languages
English (en)
Inventor
旭 鈴木
桜井　止水城
深谷　良男
Original Assignee
豊田工機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 豊田工機株式会社 filed Critical 豊田工機株式会社
Priority to JP13102582U priority Critical patent/JPS5935857U/ja
Publication of JPS5935857U publication Critical patent/JPS5935857U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は本考案装
置を示す斜視図、第２図は投光用光ファ　　−イバを示
す斜視図、第３図は受光用光ファイバを示す斜視図、第
４図および第５図は光の反射状態を説明する説明図、第
６図はイメージセンサの出力を示す図である。 Ｗ・・・検査物体、Ａ・・・走査方向、１０・・・光源
、１１・・・イメージセンサ、１２・・・投光用光ファ
イバ、１３・・・受光用光ファイバ、１４・・・光取入
ヘッド、１５・・・投光ヘッド、１６・・・光取出ヘッ
ド、１７・・・受光ヘッド、２０・・・光電変換素子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 光源からの光を、所定の走査方向に相対移動する検査物
    体の表面に照射し、この表面からの反射光をイメージセ
    ンサにて検出して検査物体め表面欠陥を検査する表面欠
    陥検査装置において、前記光源と検査物体間ならびにそ
    の検査物体と前記イメージセンサとの間に多数の素線を
    結束してなる投光用光ファイバならびに受光用光ファイ
    バをそれぞれ配置し、この投光用光ファイバなは光源に
    対向する側において前記各素線の一端を一箇所に集めて
    結束して光取入ヘッドを形成しかつ前記検査物体に対向
    する側において前記各素線の他端を前記走査方向と直角
    をなす方向に直線状に結束して投光用ヘッドを形成し、
    前記受光用光ファイバには前記検査物体と対向する側に
    おいて前記各素線の先端を前記走査方向と直角をなす方
    向に直線状に結束して受光ヘッドを構成しかつ前記イメ
    ージセンサと対向する側において前記各素線の他端を前
    記イメージセンサの各光電変換素子と対向させて光取出
    ヘッドを形成したことを特徴とする表面欠陥検査装置。
JP13102582U 1982-08-30 1982-08-30 表面欠陥検査装置 Pending JPS5935857U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002277406A (ja) * 2001-03-14 2002-09-25 Saki Corp:Kk 外観検査方法および装置
JP2007047017A (ja) * 2005-08-10 2007-02-22 Systems Engineering Inc 多芯光ファイバプローブ

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JPS5886680A (ja) * 1981-08-11 1983-05-24 デ・ラ・ル−・システムズ・リミテイド 紙葉上のテ−プを検出する装置

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