JPS603457U - 欠点検出装置 - Google Patents

欠点検出装置

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JPS603457U
JPS603457U JP9421983U JP9421983U JPS603457U JP S603457 U JPS603457 U JP S603457U JP 9421983 U JP9421983 U JP 9421983U JP 9421983 U JP9421983 U JP 9421983U JP S603457 U JPS603457 U JP S603457U
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JP
Japan
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light
detection device
defect detection
optical fiber
end surface
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Pending
Application number
JP9421983U
Other languages
English (en)
Inventor
隈井　文生
宮野　光男
Original Assignee
株式会社安川電機
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Publication date
Application filed by 株式会社安川電機 filed Critical 株式会社安川電機
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは、従来の欠点検出装置の構成図、第１図すは
、第１図ａのＡからみた光学繊維め光出射端面の説明端
面図、第１図Ｃは、第１図ａのＢからみた受光素子の受
光面の端面図、第２図ａは、本考案の一実施例の構成図
、第２図すは、第２図ａの受光素子により検知される光
量と時間のグラフである。 １・・・・・・走査光、２・・・・・・被検査材、３・
・・・・・光学繊維、４・・・・・・受光素子、７・・
・・・・光結合器。 第１図 第２図

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 走査光を被検査材に照射し、この被検査材からの透過光
    あるいは反射光を、光学繊維の一端面で受光し、該光学
    繊維の他端面から出射した光を受光器で受光する前記被
    検査材の欠点検出装置において、 前記光学繊維の他端面と前記受光器の受光面との間に、
    光結合器を備え、該光結合器は、前記光学繊維の他端面
    からの光を拡散均一化して、前記受光器の受光面に導く
    ようにしたことを特徴とする欠点検出装置。
JP9421983U 1983-06-21 1983-06-21 欠点検出装置 Pending JPS603457U (ja)

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JPS603457U true JPS603457U (ja) 1985-01-11

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ID=30225631

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003502634A (ja) * 1999-06-10 2003-01-21 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 可変角度のデザインを用いた光検査の方法及び装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50151590A (ja) * 1974-05-27 1975-12-05
JPS5137684A (ja) * 1974-09-27 1976-03-30 Yaskawa Denki Seisakusho Kk Ketsukankenshutsusochi

Patent Citations (2)

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