JPS59230103A - 表面粗さ計 - Google Patents
表面粗さ計Info
- Publication number
- JPS59230103A JPS59230103A JP10483483A JP10483483A JPS59230103A JP S59230103 A JPS59230103 A JP S59230103A JP 10483483 A JP10483483 A JP 10483483A JP 10483483 A JP10483483 A JP 10483483A JP S59230103 A JPS59230103 A JP S59230103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- high frequency
- discharge tube
- poles
- power source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は切削、？ｉｌｌ削、敢電加■等を行なった被７
１１１ ｊ ＩＡの表面粗さを間中に測定するこができ
る表面粗さム１に関りる。
１１１ ｊ ＩＡの表面粗さを間中に測定するこができ
る表面粗さム１に関りる。
従来の被測定体表面上を触釦を走らせてその動きを記録
紙にペン轡きする表面粗さバ１では表面上の成る直線上
の凹凸しか測定できない欠点があり、被測定表面上を数
回ｈ１測して平均しな【ノればなら４“簡単（−はなか
った。
紙にペン轡きする表面粗さバ１では表面上の成る直線上
の凹凸しか測定できない欠点があり、被測定表面上を数
回ｈ１測して平均しな【ノればなら４“簡単（−はなか
った。
本発明は前記欠点を改良し、面積として表面粗さ話測が
できるようにしたものである。即ち、所定の表面積を有
り−る板状の両極を被測定体表面に接触する同一平面に
絶縁して配設し、該両極間に高周波を加える高周波電源
を接続し、該高周波電源の回路に高周波インピーダンス
を測定する放電管回路を設けて成り、被測定体表面の凹
凸に応じた静電容量により面粗さを８１測するものであ
る。
できるようにしたものである。即ち、所定の表面積を有
り−る板状の両極を被測定体表面に接触する同一平面に
絶縁して配設し、該両極間に高周波を加える高周波電源
を接続し、該高周波電源の回路に高周波インピーダンス
を測定する放電管回路を設けて成り、被測定体表面の凹
凸に応じた静電容量により面粗さを８１測するものであ
る。
以下図面の一実施例により本発明を説明覆る。
第１図は側断面図、第２図は電極の正面図である。
１及び２は両極通電電。極で、中心円板電極１の周囲に
環状電極２を同心円板に配置して両者間に絶縁物３を介
在させて一体に形成し、被測定体４の表面に接触する同
一平面に配置して・ある。５は両極１．２間に高周波を
通電する高周波電源Ｃ高周波は通常５０〜１００ＫＨ２
程度のものを用いる。６は通電回路の高周波インピーダ
ンスを測定する放電管で、高周波回路に直列に挿入し、
放電管内の封入電極間に直流電源１と検流１ｉ１８の直
列回路を接続して放電管のプラズマ麿を測定する。
環状電極２を同心円板に配置して両者間に絶縁物３を介
在させて一体に形成し、被測定体４の表面に接触する同
一平面に配置して・ある。５は両極１．２間に高周波を
通電する高周波電源Ｃ高周波は通常５０〜１００ＫＨ２
程度のものを用いる。６は通電回路の高周波インピーダ
ンスを測定する放電管で、高周波回路に直列に挿入し、
放電管内の封入電極間に直流電源１と検流１ｉ１８の直
列回路を接続して放電管のプラズマ麿を測定する。
通電電極の両極面は同一平面に形成されており、これが
被測定体４の表面に接触せしめられる。表面は何らかの
加工によっ０図のように多数の凹凸が形成され、その四
部先端に両極１．２の面が接触づることにより、両極１
．２と被測定休４との間には凹凸の大きさに比例した空
間が形成される。
被測定体４の表面に接触せしめられる。表面は何らかの
加工によっ０図のように多数の凹凸が形成され、その四
部先端に両極１．２の面が接触づることにより、両極１
．２と被測定休４との間には凹凸の大きさに比例した空
間が形成される。
電極間に形成される静電容量Ｃは空隙の誘電率をεど４
れば、 Ｃ−ε □ ｃ表ねりことができる。Ａは両極１．２の面積であり一
定であるから、空隙の距［ｄによって静電容量が変化づ
る。したがって静電容量Ｃを測れば、これが反比例づる
被測定表面の凹凸の大きさｄを知ることができる。
れば、 Ｃ−ε □ ｃ表ねりことができる。Ａは両極１．２の面積であり一
定であるから、空隙の距［ｄによって静電容量が変化づ
る。したがって静電容量Ｃを測れば、これが反比例づる
被測定表面の凹凸の大きさｄを知ることができる。
両１４７間に形成される静電容量は次のようにして１１
１１＋られる。即ら両極１．２間には高周波電源５から
高周波が加えられ、両極１．２間に形成される静電容量
の変化に応じた高周波電流が流れる。そしてこの高周波
回路に放電管６が挿入してあり、放電管は高周波電流に
比例して励起される。放電管６はこの外部励起により内
部封入電極間抵抗変化づるので、これを直流電源７及び
検流泪 ８で測定する。放電管の特性として内部インピ
ーダンスが励起電源の周波数に対応して指数関数的に変
化し、電源５の周波数を適当に選択Ｊることによって放
電管内封入電極間の抵抗が大きく変化覆る。
１１＋られる。即ら両極１．２間には高周波電源５から
高周波が加えられ、両極１．２間に形成される静電容量
の変化に応じた高周波電流が流れる。そしてこの高周波
回路に放電管６が挿入してあり、放電管は高周波電流に
比例して励起される。放電管６はこの外部励起により内
部封入電極間抵抗変化づるので、これを直流電源７及び
検流泪 ８で測定する。放電管の特性として内部インピ
ーダンスが励起電源の周波数に対応して指数関数的に変
化し、電源５の周波数を適当に選択Ｊることによって放
電管内封入電極間の抵抗が大きく変化覆る。
したがって両極間の被測定表面の凹凸変化による静電容
量変化を検流ｔｉｔ ａによって増幅しＣ検出測定する
ことができ、その測定値から予め用意した対応グラフ等
から被測定表面の凹凸、即ち表面粗さを正確に測定覆る
ことができる。
量変化を検流ｔｉｔ ａによって増幅しＣ検出測定する
ことができ、その測定値から予め用意した対応グラフ等
から被測定表面の凹凸、即ち表面粗さを正確に測定覆る
ことができる。
しかも面粗さの測定は所定面積の両極１．２が接触する
面積として検出測定づることができるので、従来の線状
に測定していたものに比較して平均的に正確に而粗さ測
定することができる効果がある。
面積として検出測定づることができるので、従来の線状
に測定していたものに比較して平均的に正確に而粗さ測
定することができる効果がある。
第３図は電極１．２を同一面に配置した状態ｅプラスチ
ック等の絶縁部材９で周り全体を被覆し ゛電極面
が被測定面に直接接触しないようにしたものである。
ック等の絶縁部材９で周り全体を被覆し ゛電極面
が被測定面に直接接触しないようにしたものである。
なＪ３被測定面に接触づる両極は形状及び司法等が前記
実施例のものに限らず実施でき、同一平面に絶縁しＣ配
置した構造のものであれば同様に利用づることができる
。
実施例のものに限らず実施でき、同一平面に絶縁しＣ配
置した構造のものであれば同様に利用づることができる
。
本発明は以」ニのように高周波が加えられた同一平面に
配置された両極を被測定体表面に接触させることにより
表面の凹凸によって変化するインピータンス（静電容■
）を高周波電流にＪζつで検出測定りるにうにしたから
、所定面積の平均的面粗さを簡単に測定（ＪることがＣ
−き、測定値は従来のｔ５１状ｌ、測定りるものに比較
して正確に安定して測るととかく−さ、測定装置も極め
て安価に１′）ることができるなど効果が太さい。
配置された両極を被測定体表面に接触させることにより
表面の凹凸によって変化するインピータンス（静電容■
）を高周波電流にＪζつで検出測定りるにうにしたから
、所定面積の平均的面粗さを簡単に測定（ＪることがＣ
−き、測定値は従来のｔ５１状ｌ、測定りるものに比較
して正確に安定して測るととかく−さ、測定装置も極め
て安価に１′）ることができるなど効果が太さい。
第１図は本発明の一実施例側断面図、第２図はでのｉ■
−面図、第３図は仙の実施例の一部側断面図Ｃある。 １．２・・・・・・・・・両極 ３．９・・・・・・・・・絶縁物 ４・・・・・・・・・被測定体 ！】・・・・・・・・・高周波電源 ６・・・・・・・・・放電管 ７・・・・・・・・・直流電源 ８・・・・・・・・・検流計 特 許 出 願 人 株式会社井上シトパックス研究所 代表者 井 上 Ｍ 、（Ｊ 。 ；ｉｌｌ■ 才３Ｉ■ ２ ｆｊ
−面図、第３図は仙の実施例の一部側断面図Ｃある。 １．２・・・・・・・・・両極 ３．９・・・・・・・・・絶縁物 ４・・・・・・・・・被測定体 ！】・・・・・・・・・高周波電源 ６・・・・・・・・・放電管 ７・・・・・・・・・直流電源 ８・・・・・・・・・検流計 特 許 出 願 人 株式会社井上シトパックス研究所 代表者 井 上 Ｍ 、（Ｊ 。 ；ｉｌｌ■ 才３Ｉ■ ２ ｆｊ
Claims (1)
- 所定の表面積を右りる板状の両極を被測定体表面に１＆
触りる同一平面に絶縁して配設し、該両極間に高周波を
加える高周波電源を接続し、該高周波電源の回路に高周
波インピーダンスを測定づるｂｋ電？ス・回路を設りで
成る表面粗さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10483483A JPS59230103A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 表面粗さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10483483A JPS59230103A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 表面粗さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230103A true JPS59230103A (ja) | 1984-12-24 |
Family
ID=14391396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10483483A Pending JPS59230103A (ja) | 1983-06-10 | 1983-06-10 | 表面粗さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230103A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2010050607A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | 株式会社フジクラ | 静電容量型センサ |
| RU2612755C1 (ru) * | 2015-10-23 | 2017-03-13 | Владимир Викторович Белкин | Способ контроля шероховатости поверхности шахтных стволов в соляных породах |
-
1983
- 1983-06-10 JP JP10483483A patent/JPS59230103A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2010050607A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2012-03-29 | 株式会社フジクラ | 静電容量型センサ |
| RU2612755C1 (ru) * | 2015-10-23 | 2017-03-13 | Владимир Викторович Белкин | Способ контроля шероховатости поверхности шахтных стволов в соляных породах |
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