JPS59207253A - 電子光学式プリンタ - Google Patents

電子光学式プリンタ

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JPS59207253A
JPS59207253A JP59066607A JP6660784A JPS59207253A JP S59207253 A JPS59207253 A JP S59207253A JP 59066607 A JP59066607 A JP 59066607A JP 6660784 A JP6660784 A JP 6660784A JP S59207253 A JPS59207253 A JP S59207253A
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light
image
electro
modulator
electrode
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JP59066607A
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ジヨセフ・ジヨン・ダニエル
クオ−・リユン・イ−プ
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Original Assignee
Xerox Corp
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Publication date
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    • G02F1/29Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、高速電気光学式プリンタとスキャナ、より詳
細にはそのようなプリンタとスキャナのための改良型変
調器に関するものである。
発明の背景 電気光学式プリンタやスキャナは、一般に、強力な光源
(通常はレーザー)、印字する像を表わす像信号にした
がってレーザーから発射された光線束を変調する変調器
、記録部側の一方から反対側に変調された光線束の焦点
を合わせて、ラスター走査をする光学@置、および記録
部材上に形成された像を処理して像コピーを得るための
像処理装置を備えている。
一般に、記録部材は、ゼログラフィー形像処理装置に作
用上一体化された感光性ドラムまたはウェブである。ゼ
ログラフィー装置においては、変調された光線束で露光
される前に、感光性記録部材が一様なレベルに帯電され
、光線束が記録部側を横切って掃引するとその上に静電
潜像が生じる。
そのようにして生じた潜像は、そのあと、現像され、適
当なコピー材料、通常は紙に転写され、永久コピーを得
るため定着され、放出される。
前述の光学装置は、一般に、走査要素、たとえば、その
外周まわりに光線束が当る複数の鐘状反射表面、または
切り子面をもつ多面体を有している。多面体の鏡面ば光
線束を記録部材へ反射し、多面体が回転すると、光線は
記録部制の一方から反対側まで通常X走査方向と呼ばれ
る向きに掃引する。記録部材の動作により、別の方向す
なわちX走査方向に沿った必要な移動が行なわれる。
変調器は、たとえば音響光学式変調器でもよいが、レー
ザーからの強力な光線束を選択的に偏向、すなわち曲げ
て少なくともゼロ次と一次の光線束が得られるように動
作する。一方の光線束、すなわちゼロ次の光線束は光線
東絞りの上に集束されて、阻止さね、他方の光線束、す
なわち−次の光線束は多面体によって記録部材の端から
端まで掃引され、前述のように、選択的な露光が行なわ
れる。
現在の変調器、たとえば前述の音響光学式変調器は、同
右の動作上の制限を有1−1それが高速度、高解像度装
置への使用を妨げている。これに関して、装置の動作速
度と距離増分当りの印字すべきス?ット数は、変調器の
能力における重要な要素である。もし解像度が低ければ
、全体として時間増分当りの像の数が変調器の性能内に
あるから、変調器は比較的亮速の装置を処理することで
ある。
同様に、比較的高い解像度を有する低速の装置も同様な
性能が可能である。しかし、高速度と高解像度の双方を
要求された場合には、現在の変調器では不十分である。
発明の概要 本発明は、強力な光線束を発生する手段とその上に像を
記録するための記録部材とを有し、高速度と高解像を兼
ね備えた電気光学式プリンタを提供することKより前述
の課題を解決することを目的としており、露光光線束の
各々について少なくとも7個の光弁を備えた変調部を有
し像信号の個個の線に応じて記録部材の上に一度に検数
の保線を露光するために光線束な複数の露光光線束に変
調する変調器、複数の変調された露光光線束を同時に得
るために像信号の個々の線に応じて各変調部の光弁を個
別に動作させる制御手段、および記録部材の上に複数の
像線を同時に書き込むために記録部材の端から端まで一
度に複数の変調された露光光線束を走査する手段、を備
えていることが特徴である。
好ましい実施例の説明 第1図は、本発明のマルチ・チャンネル変調器12を糾
み入れた冑気光学式プリンタ10を示す。
容易にわかるように、変調器12は像データすなわち画
素の複数の線を同時に変調することができ、それにより
極めて高いグリンタ動作速度を可能にしている。
プリンタ10において、偏光レーザー14は強力な放射
源として佛jき、レーザー14で出力された光線束15
はルンズ光線東拡大器16によって拡大されることが好
まじり・。拡大された光線束15−1はアパーチュア付
きプレート17の直線ア/(’−チュアすなわちスリッ
ト17′  を通炉する。
プレート17から出たシート状光線束15−2は非球面
レンズ系20を通消し、そこで平行にされた不均一な光
のシート15−2がエネルギーの損失なしに、一様な強
度と所定の幅Wをもつ平行光線束15−3に変換される
。光線束の暖、Wば、変調器12内の変調チャンネル数
nによって決まり、その変調チャンネル数nは変調ずべ
き像約の数によって決まることがわかる。像線の数、し
たがって変調器12内の変調チャンネル6日はさまざ牙
にできるが、32個の変調チャンネルをもつ変訣1器1
2を想定することができる。したがって、その場合には
、光線束15−30輻Wは、最′?i4.3.2線の像
データを一度に十分処理することができる。
非球面レンズ系20から出たシート状の平行光線束15
−3は円柱レンズ22を通溝して所定の角度で変調器1
2に当る。入射光は、変調器のX17晶の光軸に沿って
直線的に偏光される。あとでより児全にわかるように、
変調器12は、有効に、光線束15−3を処理する目的
でn個の個々の光線束に分け、個々の光線束は、それぞ
れ変調器12に対する像信号入力に応じてゼロ次光線束
15−4または一次光線束15−5を得るために個別に
変調される。7本または複数のゼロ次光線束(一度に、
最高n本のゼロ次光線束が存在できることがわかる)は
、図示した典型的な配置において、適当な絞り25に衝
突し、同時に、7本または検数の一次光線束15−5(
一度に、最高n本の一次光線束が存在できることがわか
る)は、第1の像形成レンズ27を通過し、レンズ27
は各光線束を多面体300鍔状表面上の点に焦点を合わ
せる。理解されるように、−次光線束15−5の焦点の
軌跡は、7本の線から成っている。
多面体30は、その外周囲に複数の鎖状表面または切り
子面32を有し、そこに当る7本または複数の一次光線
束15−5を所定の円弧の端から端まで走査する。多面
体30は、適当な軸受(図示せず)で回転できるように
支持され、モータ34は多匣体を央線の矢印で示した方
向に回転させる役目をする。多面体30の鏡状表面に当
った7本また複数の一次光線束15−5は、像形成レン
ズ37並びにプリンタの記録部材40へ向けて反射され
る。ここでは、多面体形の走揄−勿素を図示して説明す
るが、代りに他の形式の走査扱素、たとえばホログラフ
円板、検#引ミラー等を想像することができる。
記録部材40は、ステップ・モータ41によって矢印の
方向に回転、すなわちステップさねる光導市性被膜付き
ゼログラフィー・ドラムとして描いである。しかしなが
ら、ウェブまたはカットシート材制として供給すること
ができる感光性フィルムや塗工紙のほか光導電性被膜伺
きゼログラフ   ゛イー・ベルトやプレートを含め、
この目的のため使用することができる、その仙のゼログ
ラフィーおよび非ゼログラフィー記録部材があることは
わかるであろう。したがって、記録部拐ば、変調器12
に対し横断方向すなわち行ピツチ方向に進行するとき像
の形状に露光される感光体のように、    □一般化
された場合において可視化すべぎである。
次に1第β図−第3図について説明する。変調器12は
、適当な軍1気光学素子、たとえばタンタル酸リチウム
(LiTa03)  の全体に長方形のベースすなわち
結晶45に複数の電極セラ)46−1 。
46−2.・・・・・・・・・46−n(第5図参照)
が蒸着されたものから成っている。理解されるように、
電極セット46−1.46−2.・・・・・・・・・4
6−nは、その両端にプリセット電位が印加されると、
全内面反射(TIR)の状態で光線束15−3と相互作
用をする。各’It’1lriセツ)46−1.46−
2゜・・・・・・・・・46−nは、7本の像線に対応
し、したがって、典型的な構成においては、n=32で
ある。
結晶45ば、反射面47と光学窓面48・49から成る
3つのみがかれた面を有している。面47.48.49
は適当な反射防止被膜5またとえばフッ化マグネシウム
(M7F2)で林覆されており、面47.48.49は
、反射面470面に対しある角度で入射した平行光線束
15−3が窓面4B、49で屈拍し、それKより面47
で全内面反射を起すように配置されている。図示したも
の以外の結晶形状を使って全内面反射を生じさせうるこ
とは理解されよう。
各電極セット46−1.46−2.・・・・・・・・・
46−nは、複数対の電w150で構成されており、各
電極対は共同して光弁を有効に形成している。電極50
は、たとえばアルミニウムでもよく、結晶450面47
の上に置かれ、電I’y 50の軸線は入射光線束15
−3の軸線に対しブラッグ角θ8 をなしている。電′
Iij、50の外面には、適当な反射被膜54、たとえ
ばクロム(Cr)  が施されている。
第左図に最もわかくよく示されているように、各電極セ
ント46−1.46−2.・・・・曲・46−nの電v
ji5oは相互に組み合ったパターンで配置され、各電
極セット内の1つおきの電@L、50は、共通の線52
.53に結合されている。各電極セント46−1.46
−2.・・・・・・・・・46−nの線52は制御ゲー
ト55−1.55−2.・・・・・・・・・55−nを
介して第1電位源56に結合されているが、線53は、
全電極セット46−1.46−2.・曲・46−nに対
し共通にすることがき、第2脂1位諒57に結合されて
いる。
適当な像信号、すなわち画素源60、たとえば記憶装部
、または入力スキャナ、通信線等が設はうしている。像
信号源60は、マルチビット出力62−1.62−2.
・・・・・・・・・62−nを有し、各出力は対応する
制御グー1−55−1 、55−2 、・・・・・・・
・・ 55−nの制御端子に結合されていて、像信号源
60の多重線−進像信号出力が像信号内容にしたがって
関連する制御ダートを選択的に作動させるようになって
いる。n線を7組にして像信号源60の像データをアド
レスするために、適白な制御装置65が設げられている
。制御装置65は、そのほかに、制御線65を介してス
テップ・モータ41、多面体モータ34、および像処理
装置(第3図に、番号66で示す)の詩作用構成要素の
動作を制御する。ゼログラフィー技術に詳しい人にはわ
かるであろうが、上記の像処理装置の構成要素には、通
常、記録部材40に静電荷を置く帯電装置、記録部材4
0上の像を現像する現像機構、現像された像が記録部材
40からコピーシートへ転写される像転写個所へコピー
シートを供給する付属コピーシート給送装置付きの/イ
固またをま複数のコピーシート供給トレイ、像をコピー
シートへ固着させる定着機構等が含まれる。ステップ・
モータ41ば、作動すると、像信号地60による像信号
°出力に同期して、ステップ状に記1釘・部組440を
進める。
7例として、変調器の結晶45は、長さL=7mm 、
:薗W = 3 mm、高さH= i 3 ymrtの
YカットLITa03  である。′電極50の幅=t
μm、電極間隔=tμm、1屯1所長さ=3.Sμm、
電極ピッチ−/乙μm、チャンネル当りのピッチ数= 
3 、  チャンネル当りの電極幅=gθμm、チャン
ネル数−3Ω、および全′電極幅= 、2. !r t
 ynxである。レーザーはHeNe  レーザー、入
射角(壁中)−//11.!回折角(空中)=、2.、
.2g0、Qパラメータの値−久ヲ3・および駆動′亀
王=、20汐■である。
動作について説明すると、制御装置65から出される諸
信号により、1象信号源60.記;−δ部材40、多面
体30、および像処理装置が動作を開始する。したがっ
て、像信号は像信号源60によって出力される。豚信号
の種数の線nは、同時にかつ相互に同期して、出カフ6
2−1,62−2、・・・・62−nを+llして電極
セット46−1.46−2、・・・・46−nの制御ゲ
ート55−1.55−21.、、.55−*へ出力され
ることがわかるOステップ、モータ41は各n像線につ
き/同記録部材40をステップさせ、記録部組40がス
テップされる距離は7組のn像線の全1−・、Aに空し
い。
制 7オJ ダ − ト  5 5 − 1 、  5
 5 − 2 、   、、、  5  5  −  
 nは、トリが−されると、それに関フ更する電)クセ
ッ)46−1.  46−2  、  、、、.4  
6  −   n  の 市う:i+i  5  0を
電位源56.57に結合する。作動した電画セットの隣
接する’H1f、 4間に電位差が生じると、その電極
セットに当る入射光線束15−3の部分が開面されて、
−次光、線束15−5が生じる゛。説明したように、7
本または種数の一次光、「ヒメ采15−5は像形成レン
ズ27.37および多lI体30を経て記録部ト第40
へ至り、光線家に当てられた部材40の部分を露光する
。制御グー)55−1.55−21.、、.55− n
がトリガーされながった場合には、それに関連する市:
覗セッ)46−1.46−2.、、、.46−nは非動
作のままであり、その電極セットに当った入射光線束1
5−3の部分は偏向されずゼロ次光線束15−4として
そのまま進む。したがって、記録部材400対応する部
分は露光されない。
記γk 、ilI材40の選択的4尤によって部材40
の上に形成された1浄′la潜1象は、そのあと現像さ
れ、コピーシートへ転写され、前述のように永久的コぎ
−にするためVt着される。
第4図に示す実施例では、同じ部品には同じ参照有′r
号がf」t、てあり、変1i”l器70は電気光学式導
波層・変調器から成っている。この実施例では、電極5
0の七ツl−46−1,46−21,、、,46−nは
、それらの操作回路と共に、平らな電気光学導波管73
の表面にある比較的薄いバッファ層72の上に作られて
いる。入カブリズム75は入射光線束15−3を導波管
と電極セラ)46−1.46−21.、、.46− n
へ結合するのに対し、出カブリズム76はゼロ次光線束
15−4を光線束絞り25へ1mし、−次光線束15−
5を前述のよ5に像形成レンズ27.37および多面体
30を介して記録部材40へ通す。
動作について説明すると、゛電極セット46−1.46
−21.、、.46− nの組合せ電極500間に電圧
が印ガ■されると、入射光線束工5−3は、ゼロ次光線
束15−4からユθB (θB はブラッグ角)の角度
で回折されて、−次光オ、4束15−5が得られる。
第7図に示した回折類を雨の代りに、変126”4器1
2と記録部材40との間に、シュリーレン中央暗視野像
形成光学装置を使うこともできる。その装置、)15は
、この分野の専門家ならばわかるであろうが、7本また
は複数のゼロ次光7線東15−4をフ〜り工変換面にあ
る中央紋りの上に集束さぜる’% jt7レンズと、7
本または複数の一次光=↓7z1s−sを記録部材40
の上に像形成するための像形成レンズと多面体な0.J
えている。
第7図に示す実施例では、同じ部品には同じ参照番号が
利してあり、ツC弁は一連の+jJ’ l晃fil:フ
ィンガー91−1.91−2. 、、、.91−nかも
成りており、フィンガー91−1.91−211111
.。
91−nの数は、同時に処理される印、蝙L−1゜L−
21,、、、L −nの数に等しい。フィンガー91 
 −1. gl−2,、、’、、、91−nは、それぞ
れ全体に長方形のベース94の上に片苛ちはり状に支持
された金属鏡状被膜93付きのシリコン、ウェーハ92
から成っている。ベース94は950所が凹んでおり、
その上方に、フィンガ〜91−1.91−21.、、.
91−nの自由り116が突き出ている。ベース94は
、同様にシリコンから製作することもでき、一体にされ
た変調器操作回路を有することが好ましく、そのような
操作回路は、各フィンガー用の制う41スイッチ97−
1.97−2、・・・97−nを有する個々の励起リー
ド線96−1、’96−2. 、、、.96− nと、
共通のリード、腺98を有する。リード線96−1.9
6−21.。
・・・96−n、および98は適当な電位源(図示せず
)に結合されており、他方制御スイッチ97−1、97
−2、 、、、 9 7− nは、 リード線99−1
.99−21.、、99− nによって、像信号源、た
とえば第51Δに示した像信号源60の像信号7腺出力
に結合されている。
入射光線束15−3は、所定の入射角で変調器90のフ
ィンガーの列91−1.91−2 、、、、、。
91−nへ向けられ、フィンガー91−1.91−21
.、、.91−nの鏡面は、像信号の内容に1;6じて
、光、涼束15−3を一連のゼロ次光線束15−4また
は一次光線束15−5として反射する。制御スイッチ9
7−1.97−21.、、97−nが像信号入力でトリ
ガーされた場合には、それに関連するフィンガーが電位
源の両端に結合される。電位が印加されると、第7図の
点線で示すようにフィンガーがたわみ、すなわち曲がり
、この結果、入射光線束15−3のフィンガ゛−に当っ
た部分は一次光線束15−5として反射され、7本また
は複数の一次元114束15−5は前述のように、像形
成レンズ27.37と多rIn体30を介して記録部材
40へ進む。制御スイッチ97−1.97−2、+++
 97− nがトリガーされなかった場合には、それに
関連するフィンガーはまっすぐのままであり、入射光線
束15−3のフィンガーに当った部分はゼロ次光線束1
5−4として双り25に向って反射される。
以上開示した構造について発明を説明したが、発明は記
述した細部に限定されるものではなく。
特許ハ谷求のTdi囲に入ると思われる全ての修正また
は針更を含むものとする。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の改良型マルチ、チャンネル変調器を
組み入れた電気光学式プリンクを示す斜視図、 第2図は、第1図に示したマルチ、チャンネル変調器の
7」1部を示す拡大斜視図、 第、3図は、第、21でに示した変調器の断面図、第1
1−図は、第、2図に示した変調器の平面図、第S図は
、第1図の70リンク用の操作回路と本発明のマルチ。 チャンネル変調器用の操作回路の、1111部を示す略
部分回路、 第6図は、代替変調器の棉造の拡大斜視図、および 第7図は、第1の代替変ル′!器の拡大斜視図である。 10、、、、’上気光学式プリンタ、12.、、、マル
チ。 チャンネル変調、俯、14.。9.レーザー、15.、
。 光線束、15− ]、、、、、拡大された光、線束、1
5−2,00.シート状光線束、1.5−3 、、、、
平行光線束、15=−4°“°′ゼロ次光線束、15−
5”’−次光纏束、16°°°・λレンズ光課束拡大器
、17°°゛°゛アパーチュア付きプレート、17/・
・・・スリット、20・・・・非球面レンズ系、22・
・・・・円柱レンズ、25・・・・絞す、27・・・・
・合立彫成レンズ、30・・・・多面体、33・−・境
面(j#Jり子面)、34・・・・モータ、37・・・
・像形aレンズ、40・・・・記録部材、41・・・・
ステップ、モータ、45・・・・・ペース(結晶)、4
6−1.46−2、、.46−n・・・電極セット、4
7・・・・反射面、48.49・・・・光学窓面、50
・・・・電極、51・・・・反射防止イ少1漠、52.
53・・・・共通線、54・・・・反対被膜、55−1
 、55−2 、  *−*−55−jl・・・・ !
lr!j御ダート、5 6 、 5 7・ ・ ・ ・
パJLC位ンハ;(、60・ ・ ・ ・イ象 信 号
 ンxq  、  6 2−1.62−21.、、.6
2− n・・・・マルチピット出力、65・・・・1♂
]御装置、66・・・・像処」−1!!装置;シー、6
7・・・・1団御線、70・・・・変調器、72・・・
・・ぐツファ層、73・・・・′成気光学4波管、75
・・・・入カブリズム、76・・・・出カブリズム、9
0・1・変調器、91−1.91−2、・・・・・91
−n・・・・フィンガー、92・・・・シリコン、ウェ
ーハ、93・・・・金lく鏡状液I腐、94・・・・・
ペース。 95101.I!!J部、96−1.96−21.、.
96− n−−−励起リード線、97−1.97−21
.、.97− n・・・・制御スイッチ、98・・・・
共通リード線、99−1.99−2’、  、、、99
−n・・・・リード線、θB・・・・・ブラッグ角、L
−1、L−2、・・・L−n・・・・像塵。 FI6.2 −150 IG 4 F/θ6 R6,7

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 / 強力な光線束を発生する手段と像をその上に記録す
    るための記録部材とを有し、高速度と高解像度を兼ね備
    えている電、気光学式プリンタにおいて、 (イ)露光光線束の各々について少な(とも7個の光弁
    を有する変調部を有し、各々が個々の像線を表わす複数
    の像信号入力に応じて、前記記録部材の上に一度に複数
    の像線を露光するため、前記光線束を複数の露光光線束
    に変調する変調器、 (ロ)前記変調部に結合された像信号入力に応じて各変
    調部の光弁を個別に動作させる制御手段、および (ハ) 前記記録部材の上に複数の像線を同時に書き込
    むために前記記録部材の一方から反対側へ一度に前記複
    数の露光光線束を走査する手段、 を備えていることを特徴とする電体光学式プリンタ。 コ 前記光弁は、独立してたわむことができる反射フィ
    ンガーの配列で構成され、前記露光光線束の各々につい
    て少なくとも7個のフィン力゛−があることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の電気光学式プリンタ。 3 前記光弁は、電極対の配列で構成され、前記変調部
    の各々について少なくとも/偶の電極対があることを特
    徴とする特許請求の範囲2!g/項記載の電気光学式プ
    リンタ。 ク 前記制御手段は、前記電極対の各々についてスイッ
    チ手段と、前記像信号入力に応じて前記スイッチ手段の
    各々の動作を個別((制御する手段とを有しており、前
    記スイッチ手段は、作動したときそれに関連する電極対
    を電位源の両端に結合し、それにより前記電極対に当っ
    た前配光線束の部分が新しい通路へ回折されることを特
    徴とする特許請求の範囲第3項記載の電気光学式プリン
    タ。 左 前記電極対は、それぞれ相互に組み合わされて配置
    された複数の電極で構成されていることを特徴とする特
    許 光学式プリンタ。 乙 前記変調器は、電気光学素子を有し、前記電極は前
    記′市.気光学素子と一体構造になっていることを特徴
    とする特許請求の範囲第グ項記載の電気光学式プリンタ
    。 ク 前記変調器は、導波管を有し、前記電極は前記導波
    管と一体構造になっていることを特徴とする特許請求の
    範囲第グ項記載の電気光学式プリンタ。 g. (イ) 光源、 仲)前記光源からの光をほy平らなシート状の光線束に
    する光学手段、 (ハ) 前記光線束の通路内に作用を及ぼすように配信
    されていて、複数の像線を一度に■,き込む複数の平行
    な像形成光線束を得るために、像信号の個々の線に応じ
    て前記光線束の個々の部分を個別に変調する変調器、 (ニ)光による選択的露光によりその上に像カζ形成さ
    れる可動記録部材、 (ホ) 前記像信号に応じて前記部材を発光し、その上
    に複数の像線を同時に形成するために、前言上像形成光
    線束を前記記録部材の一方から反対側まで掃引する手段
    、および (ヘ) 前記像形成光線束の各掃引に同期させて、前記
    複数の像線を合わせた像幅にほy等し(・距離だけ前記
    記録部材をステップ状に進ませる手段、 の組合せから成ることを特徴とする高速度、高解像度ス
    キャナ。 9 前記変調器は、電気光学素子と、前記素子の所定の
    表面に形成された電g/4ターン配列とを有し、前記を
    極パターン配列は検数の箆,枠セットから構成され、前
    記像線の各々につし・て7個の電極セットがあり、前記
    電極セツ}&−1それぞれ少なくとも/対の電極を有1
    −、前記電析セット内の前記対の電極の一方はそれ一対
    し牝,圧レベルを選択的に加えるためそれに関連する像
    信号の線によってアドレス可能であり、前記対の電極の
    他方は共涌の電圧レベルに結合されており、前記像信号
    の線によって前記電極対に選択的に加えらわた電圧レベ
    ルにより前記所定の表面に隣接する市7極セット内に電
    界が誘起され、その結果、前記素子に入射した前記光線
    束の部分が回折さね、前記光線束の部分で前記記録部材
    が鮨光されることを特徴とする特許請求の範囲第g項記
    載のスキャナ。 /0前記電給セットは、それぞれ相互に組み合わされて
    配列された所定の数の電極対で構成され、前記電極の軸
    線は前記光線束の軸線にほy平行であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第9項記載のスキャナ。 // 前記素子は、光入力表面と光出力表面とを有する
    導波管と、前記光線束を前記入力表面力・ら入れて、前
    記出力表面から出すためσ〕プ1ノズム手段とを俯えて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第70項記載のス
    キャナ。
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