JPS5915922A - 走査装置 - Google Patents
走査装置Info
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- JPS5915922A JPS5915922A JP57126252A JP12625282A JPS5915922A JP S5915922 A JPS5915922 A JP S5915922A JP 57126252 A JP57126252 A JP 57126252A JP 12625282 A JP12625282 A JP 12625282A JP S5915922 A JPS5915922 A JP S5915922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deflection
- optical system
- plane
- acousto
- optic element
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
- G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数の光束を用いて被走査面上を高速且つ高
密度に走査する走査装置に関するものである。
密度に走査する走査装置に関するものである。
従来高速走査を実現する一方式として、回転多面鏡を偏
向器として使用しこれを高速度回転する方式は良く知ら
れている。
向器として使用しこれを高速度回転する方式は良く知ら
れている。
しかしながら上記方式を実施するに際しては、良好な結
像性能を安定して得る為に部品の加工、組立にあたって
厳しい条件が要求される。又多面鏡の鏡面数を増す試み
は、偏向する光束の径、偏向角等偏向効率との兼ね合い
も有り多面鏡を太きぐする必要が生じ、従って偏向装置
が大型化して好ましくない。
像性能を安定して得る為に部品の加工、組立にあたって
厳しい条件が要求される。又多面鏡の鏡面数を増す試み
は、偏向する光束の径、偏向角等偏向効率との兼ね合い
も有り多面鏡を太きぐする必要が生じ、従って偏向装置
が大型化して好ましくない。
更なる方式として、変調器として使用する音響光学素子
を複数の変調信号で同時に駆動して、それぞれが独立に
変調された複数の変調光を同時に発生し、被走査面上で
複数のビームスポットを同時に走査させることにより高
速化を企る方式も広く知られている。この方式に於いて
は一つの変調信号による変調光の強度が他の変調信号の
影響を受ける為に、変調信号数に応じて変調光の強度が
変化すると云う欠点を有する。
を複数の変調信号で同時に駆動して、それぞれが独立に
変調された複数の変調光を同時に発生し、被走査面上で
複数のビームスポットを同時に走査させることにより高
速化を企る方式も広く知られている。この方式に於いて
は一つの変調信号による変調光の強度が他の変調信号の
影響を受ける為に、変調信号数に応じて変調光の強度が
変化すると云う欠点を有する。
従ってそれ全補正する為の手段が必要と成り装置が複雑
化して好ましくない。
化して好ましくない。
更なる方式としては、第１偏向器として音響光学素子を
使用し、それにより形成される偏向面と直交する平面内
で回転鏡の如き第２偏向器を使用し、一本の走査用ビー
ムで複数の走査ラインを並行して走査することにより高
速化を計るものである。
使用し、それにより形成される偏向面と直交する平面内
で回転鏡の如き第２偏向器を使用し、一本の走査用ビー
ムで複数の走査ラインを並行して走査することにより高
速化を計るものである。
本発明の目的は高速で被走査面を走査出来、且つコンパ
クトな構成の走査装置を提供することにある。
クトな構成の走査装置を提供することにある。
本発明の更なる目的は、被走査面上を良好な結像スポッ
トで且つ高密度に走査することが出来る走査装置を提供
することにある。
トで且つ高密度に走査することが出来る走査装置を提供
することにある。
本発明に係る装置は、上記従来例の内、第１の偏向器と
して音響光学素子を、第２の偏向器とし機械的な偏向装
置を用いるタイプの走査装置を改良することにより、上
記目的を達成せんとしたもので、複数の光源部を前記走
査系と適切に組み合わせることにより、被走査面を高速
で走査し、且つコンパクトな４ｉ’＆成を達成したもの
である。
して音響光学素子を、第２の偏向器とし機械的な偏向装
置を用いるタイプの走査装置を改良することにより、上
記目的を達成せんとしたもので、複数の光源部を前記走
査系と適切に組み合わせることにより、被走査面を高速
で走査し、且つコンパクトな４ｉ’＆成を達成したもの
である。
第１図及び第２図には本発明に係る走査装置の一実施例
を示す図で、第１図は、第１偏向器による偏向走査面（
第１偏向器で偏向された光束が経時的に形成する面で、
本明細書では偏向走査面はこの面のことを意味する）に
於ける展開図、第２図は第２偏向器による偏向走査面に
於ける展開図を示す。
を示す図で、第１図は、第１偏向器による偏向走査面（
第１偏向器で偏向された光束が経時的に形成する面で、
本明細書では偏向走査面はこの面のことを意味する）に
於ける展開図、第２図は第２偏向器による偏向走査面に
於ける展開図を示す。
第１図に於いて１ ａ 、 １１）は情報信号に応じて
変調された信号光を発生する光源部を示し、例えばガス
レーザーと変調器の組合せ、或は自己変調可能な半導体
レーザーを用いる。２は図示する第１偏向走査面内で光
束を偏向する第１偏向器であり、音響光学素子である。
変調された信号光を発生する光源部を示し、例えばガス
レーザーと変調器の組合せ、或は自己変調可能な半導体
レーザーを用いる。２は図示する第１偏向走査面内で光
束を偏向する第１偏向器であり、音響光学素子である。
３は第２偏向走査面内で光束を偏向する第２偏向器であ
り、例えば回転鏡の如き機械的偏向器である。
り、例えば回転鏡の如き機械的偏向器である。
４は被走査面である。まず第１図に示す、第１偏向走査
面内での光束の振舞について述べる。
面内での光束の振舞について述べる。
光源部工から発生された変調光束はコリメート機能、ビ
ーノ、断面形状整形機能等を有する第１光学系１１を通
過した後、第１偏向走査面に於いてはパワーを有さない
シリンドリカル光学系である第２光学系１２を通過して
音響光学素子２にコリメート光の状態で入射する。音響
光学素子２により偏向された光束は第２光学系２と同様
に、第１偏向走査面に於いてはパワーを有さないシリン
ドリカル光学系である第３光学系１３を通過した後、第
１偏向走査面内にのみパワーを有するシリンドリカル光
学系である第４光学系１４により回転鏡３の鏡面近傍に
第１偏向面と直交する線状に一旦結像され、更にアナモ
フィックな第５光学系１５により被走査面４上に結像さ
れる。第５光学系１５は第１偏向走査面内に於いて、回
転！ａ、３の鏡面と被走査面４を光学的に共役な関係と
する事により鏡面の回転軸に対する角度誤差を補正する
機能を有する。
ーノ、断面形状整形機能等を有する第１光学系１１を通
過した後、第１偏向走査面に於いてはパワーを有さない
シリンドリカル光学系である第２光学系１２を通過して
音響光学素子２にコリメート光の状態で入射する。音響
光学素子２により偏向された光束は第２光学系２と同様
に、第１偏向走査面に於いてはパワーを有さないシリン
ドリカル光学系である第３光学系１３を通過した後、第
１偏向走査面内にのみパワーを有するシリンドリカル光
学系である第４光学系１４により回転鏡３の鏡面近傍に
第１偏向面と直交する線状に一旦結像され、更にアナモ
フィックな第５光学系１５により被走査面４上に結像さ
れる。第５光学系１５は第１偏向走査面内に於いて、回
転！ａ、３の鏡面と被走査面４を光学的に共役な関係と
する事により鏡面の回転軸に対する角度誤差を補正する
機能を有する。
上記配置に於いて、音響光学素子２が光束ｔ−第１偏向
走査面内で偏向する事により回転鏡３の鏡面付近の線像
は第１偏向走査面内で移動し、従って結像スポットは被
走査面４上を第１偏向方向に走査する。
走査面内で偏向する事により回転鏡３の鏡面付近の線像
は第１偏向走査面内で移動し、従って結像スポットは被
走査面４上を第１偏向方向に走査する。
次に第２図を用いて第２偏向器の偏向走査面内での光束
の挙動について説明する。光源部１ａから発生した変調
光束は、第１光学系１１、第２光学系１２を通過した後
、便宜上図示された平面ｐｉ上で結像する光束として音
響光学素子２へ入射する。その後光束は第３光学系１３
によりコリメート光束とされた後、第４光学系１４を通
過し、回転鏡３にコリメート光の状態で入射する。そし
て回転鏡３によって第２偏向方向に偏向されると共に第
５光学系１５によって被走査面４上にＡ点として結像さ
れる。第２偏向走査面内に於いて被走査面４上を等速走
査する為に、第４光学系１５には回転鏡３の回動特性に
応じた歪み特性を持たせる事も可能である。
の挙動について説明する。光源部１ａから発生した変調
光束は、第１光学系１１、第２光学系１２を通過した後
、便宜上図示された平面ｐｉ上で結像する光束として音
響光学素子２へ入射する。その後光束は第３光学系１３
によりコリメート光束とされた後、第４光学系１４を通
過し、回転鏡３にコリメート光の状態で入射する。そし
て回転鏡３によって第２偏向方向に偏向されると共に第
５光学系１５によって被走査面４上にＡ点として結像さ
れる。第２偏向走査面内に於いて被走査面４上を等速走
査する為に、第４光学系１５には回転鏡３の回動特性に
応じた歪み特性を持たせる事も可能である。
第１図に示す第１偏向面内に於いて音響光学素子２０へ
入射する光束は高密度化の目的の為には「１】広い光束
である事が望ましい。しかしながら入射光束径が広がれ
ばアクセス時間が増大し高速化の目的とは相反する。こ
の欠点を解消する為に本発明に於いては、光源部１ａと
は独立な変調信号により動作する更なる光源部１ｂを第
１偏向面とは直交する平面内に配置する。光源部１ｂか
ら発生される変調光束は破線で示す光路を通り前記光源
部１ａからの光束と同様の作用を受け、被走査面４上に
Ｂ点として結像され、回転鏡３の回転に伴ないＡ点と同
時に第２偏向方向へ被走査面を走査する。
入射する光束は高密度化の目的の為には「１】広い光束
である事が望ましい。しかしながら入射光束径が広がれ
ばアクセス時間が増大し高速化の目的とは相反する。こ
の欠点を解消する為に本発明に於いては、光源部１ａと
は独立な変調信号により動作する更なる光源部１ｂを第
１偏向面とは直交する平面内に配置する。光源部１ｂか
ら発生される変調光束は破線で示す光路を通り前記光源
部１ａからの光束と同様の作用を受け、被走査面４上に
Ｂ点として結像され、回転鏡３の回転に伴ないＡ点と同
時に第２偏向方向へ被走査面を走査する。
この様に複数の光源部（ｌａ、ｌｂ） を設け、各々
の光源部からの光束に、同じ様に偏向作用を与える必要
がある。特に、第１の偏向器である音響光学素子２では
、該素子に入射する位置によって、光束は偏向作用の受
は方を異にする。
の光源部からの光束に、同じ様に偏向作用を与える必要
がある。特に、第１の偏向器である音響光学素子２では
、該素子に入射する位置によって、光束は偏向作用の受
は方を異にする。
第２図に示す領域Ｐ２は、音響光学素子２に於いて、入
射光束に対し偏向作用を与える位置を示すものである。
射光束に対し偏向作用を与える位置を示すものである。
従って、各々の光源部（ｌａ。
ｌｂ）からの光束の主光線か、とのＰ２なる領域で交わ
る様に光学系を設定すれば、各々の光束は音響光学素子
２から等しく偏向作用を受けることになる。この為に第
２図に示す如く第２偏向器の偏向走査面内に於いては、
第１光学系１１と第２光学系１２との合成された糸の焦
点位置に、音響光学素子２の偏向作用領域Ｐ２が来る様
に、音響光学素子２は配されている。この様に音響光学
素子２を配することて、各々の光束に等しく偏向作用を
与える以外に、この事により音響光学素子の駆動パワー
を大きくする事なく、充分な光量を得る事が可能に成り
、駆動回路の簡便化に寄与できる。第３図には音響光学
素子２の偏向周波数（単位時間あたりの偏向回数）を回
転鏡３の偏向周波数よりも高く設定゛した場合に、被走
査面４上を結像スポットＡ。
る様に光学系を設定すれば、各々の光束は音響光学素子
２から等しく偏向作用を受けることになる。この為に第
２図に示す如く第２偏向器の偏向走査面内に於いては、
第１光学系１１と第２光学系１２との合成された糸の焦
点位置に、音響光学素子２の偏向作用領域Ｐ２が来る様
に、音響光学素子２は配されている。この様に音響光学
素子２を配することて、各々の光束に等しく偏向作用を
与える以外に、この事により音響光学素子の駆動パワー
を大きくする事なく、充分な光量を得る事が可能に成り
、駆動回路の簡便化に寄与できる。第３図には音響光学
素子２の偏向周波数（単位時間あたりの偏向回数）を回
転鏡３の偏向周波数よりも高く設定゛した場合に、被走
査面４上を結像スポットＡ。
Ｂが走査する様子全示す。音響光学素子２による第１偏
向でＩの位置にあるスポットは同時に走査線Ａ＋ Ｂ、
＋’を描く。第１偏向の帰線中に回転＃！３による第２
偏向でスポットは１１の位置に移動した後同時に走査線
Ａ２Ｂ、ｆ、描く。このように音響光学素子による１回
の偏向で光源部の数に応じた複数の走査線を同時に描く
事が可能であり、実効走査時間（単位面積を走査開始・
完了するのに必要な時間）ｆ：短縮し、且づ高密度な走
査を行なう事が可能である。
向でＩの位置にあるスポットは同時に走査線Ａ＋ Ｂ、
＋’を描く。第１偏向の帰線中に回転＃！３による第２
偏向でスポットは１１の位置に移動した後同時に走査線
Ａ２Ｂ、ｆ、描く。このように音響光学素子による１回
の偏向で光源部の数に応じた複数の走査線を同時に描く
事が可能であり、実効走査時間（単位面積を走査開始・
完了するのに必要な時間）ｆ：短縮し、且づ高密度な走
査を行なう事が可能である。
別な観点に立ち実効走査時間を同一として比較すれば、
音響光学素子の偏向周波数を低減する事が可能と成り１
．駆動回路の簡便化に寄与できる。
音響光学素子の偏向周波数を低減する事が可能と成り１
．駆動回路の簡便化に寄与できる。
上記目的の為に用いる複数の光源部として、半導体レー
ザーアレイ、ＬＥＤアレイは好適である。
ザーアレイ、ＬＥＤアレイは好適である。
上記実施例で示した様に、第２偏向器３の倒れを補正す
る場合に於いて、被走査面上で良好な結像スポットを得
る為に望ましい事は、第２図に示す第２偏向走査面内で
複数の光束が回転鏡３の近傍の同地点Ｐ３で交差するよ
うに第３光学系１３を配置する事である。即ち、第３光
学系１３は前記Ｐ１と２３点を光学的に共役な関係に保
っている。２３点は第５光学系１５にとって第２偏向走
査面内では入射瞳であると見做せる。然るに回転鏡３の
回転に伴ない第２偏向走査面内でＰ３が移動する場合が
有り、複数の光束がＰ３で交差していない場合には各光
束に対応する入射瞳が種々の移動を行ない、従って結像
性能が各光束毎に変化する。複数の光束の内任意の一つ
に対応した結像性能の変化に対しては、被走査面上で平
均して良好な結像性能が得られる位置に第５光学系１５
を配置する事は可能であるが、他の光束については良好
な結像性能が得られる保証は無い。各光束の交差する位
置が回転鏡３から遠ざかるにつれてこの欠点は一層顕著
になる。この欠点を解消する為に上述の如く第２偏向走
査面内で複数の光束が回転＠３の近傍の同地点Ｐ３で交
差する事が第２偏向走査面内で良好な結像性能を得る為
に重要な条件である。
る場合に於いて、被走査面上で良好な結像スポットを得
る為に望ましい事は、第２図に示す第２偏向走査面内で
複数の光束が回転鏡３の近傍の同地点Ｐ３で交差するよ
うに第３光学系１３を配置する事である。即ち、第３光
学系１３は前記Ｐ１と２３点を光学的に共役な関係に保
っている。２３点は第５光学系１５にとって第２偏向走
査面内では入射瞳であると見做せる。然るに回転鏡３の
回転に伴ない第２偏向走査面内でＰ３が移動する場合が
有り、複数の光束がＰ３で交差していない場合には各光
束に対応する入射瞳が種々の移動を行ない、従って結像
性能が各光束毎に変化する。複数の光束の内任意の一つ
に対応した結像性能の変化に対しては、被走査面上で平
均して良好な結像性能が得られる位置に第５光学系１５
を配置する事は可能であるが、他の光束については良好
な結像性能が得られる保証は無い。各光束の交差する位
置が回転鏡３から遠ざかるにつれてこの欠点は一層顕著
になる。この欠点を解消する為に上述の如く第２偏向走
査面内で複数の光束が回転＠３の近傍の同地点Ｐ３で交
差する事が第２偏向走査面内で良好な結像性能を得る為
に重要な条件である。
更に第１図に示す第１偏向走査面内に於いてＰ３は第５
光学系１５にとっては物点と見做せ、従ってこの面内に
注目すればＰ３の位置で各光束が線状に交差して結像す
るように第４光学系エ４を配置する事は、回転鏡３の回
転に伴なう第５光学系１５の物体距離の変化を各光束に
ついて同程度とし、第１偏向走査面内で良好な結像性能
を得る為に重要な条件である。
光学系１５にとっては物点と見做せ、従ってこの面内に
注目すればＰ３の位置で各光束が線状に交差して結像す
るように第４光学系エ４を配置する事は、回転鏡３の回
転に伴なう第５光学系１５の物体距離の変化を各光束に
ついて同程度とし、第１偏向走査面内で良好な結像性能
を得る為に重要な条件である。
本発明に於いて更に望ましい事は、第２図に示す第２偏
向走査面内に於いて、音響光学素子２を通過する光束の
径が充分小さい事である。
向走査面内に於いて、音響光学素子２を通過する光束の
径が充分小さい事である。
このことにより音響光学素子２の駆動パワーを大きくす
る事なく被走査面上を走査するのに充分な光量を得る事
が可能となり、駆動回路の簡便化と共に走査速度の高速
化に寄与できる。上記目的を実現する為には、例えば充
分小さい光束径を持つ平行光束を音響光学素子２へ入射
させても良いし、第１光学系１、第２光学系２の合成系
により便宜上図示された平面ｐｉ上へ集束する光束とし
て入射させても実現できる。
る事なく被走査面上を走査するのに充分な光量を得る事
が可能となり、駆動回路の簡便化と共に走査速度の高速
化に寄与できる。上記目的を実現する為には、例えば充
分小さい光束径を持つ平行光束を音響光学素子２へ入射
させても良いし、第１光学系１、第２光学系２の合成系
により便宜上図示された平面ｐｉ上へ集束する光束とし
て入射させても実現できる。
仮想の平面Ｐ１は音響光学素子２の入射側にあっても出
射側にあっても良い。
射側にあっても良い。
第２図には、第１光学系１１にコリメート機能を持たせ
、更に第３光学系１３の前側主点を上記仮想平面Ｐ１に
一致さぜる事により、第２光学系と第３光学系の合成系
をアフォーカル系として用いる一例を示している。
、更に第３光学系１３の前側主点を上記仮想平面Ｐ１に
一致さぜる事により、第２光学系と第３光学系の合成系
をアフォーカル系として用いる一例を示している。
本発明に係る走査装置に於いては、上記目的を達成する
為の光学系の配置は、第１図、第２図に示される配置に
限定されるもので−１ない事を説明する為に、以下に他
の実施例金示す。第４図及び第５図は、本発明に係る装
置の他の実施例を示す図で、第４図は第１偏向走査面内
に於ける展開図、第５図は第２偏向走査面内に於ける展
開図である。
為の光学系の配置は、第１図、第２図に示される配置に
限定されるもので−１ない事を説明する為に、以下に他
の実施例金示す。第４図及び第５図は、本発明に係る装
置の他の実施例を示す図で、第４図は第１偏向走査面内
に於ける展開図、第５図は第２偏向走査面内に於ける展
開図である。
尚、第１図及び第２図に示す部材と同一の部材には同じ
番号が付されている。第４図及び第５図に示す装置は、
第１偏向走査面に於ける光束の挙動はほぼ同じであるの
で、第４図に関しては説明を省く。第５図に於いて、購
数の光源部（ｌａ 、ｌｂ）からの光束は仮想平面Ｉ）
１上に結像する収れん光として音響光学素子２内部の同
地点Ｐ２を通過する。Ｐ２を通過した光束は第３光学系
１３によシ発散光として回転鏡３の近傍の同地点Ｐ３を
通過し、第５光学系１５により被走査面４上へ結像され
る。
番号が付されている。第４図及び第５図に示す装置は、
第１偏向走査面に於ける光束の挙動はほぼ同じであるの
で、第４図に関しては説明を省く。第５図に於いて、購
数の光源部（ｌａ 、ｌｂ）からの光束は仮想平面Ｉ）
１上に結像する収れん光として音響光学素子２内部の同
地点Ｐ２を通過する。Ｐ２を通過した光束は第３光学系
１３によシ発散光として回転鏡３の近傍の同地点Ｐ３を
通過し、第５光学系１５により被走査面４上へ結像され
る。
この実施例に於いては、仮想平面Ｐｌと第３光学系工３
との位置は一致し、更に第３光学系は、Ｐ２とＰ３とを
瞳共役な関係とするフィールドレンズとしての機能を持
つ事により光学系の小型化に寄与している。
との位置は一致し、更に第３光学系は、Ｐ２とＰ３とを
瞳共役な関係とするフィールドレンズとしての機能を持
つ事により光学系の小型化に寄与している。
尚、被走査面４上の結像スボツ）Ａ、Ｂの間隔を変化さ
せる為には、複数の光源部の互いの間隔を、設置されて
いる平面内で変化させる事によって可能であるし、第２
偏向走査面内でのみ角倍率が可変なシリンドリカル・ズ
ーム°エキスパンダーを導入して、回転鏡へ入射する複
数の光束が互いに成す角度を変化させる事によっても可
能である。
せる為には、複数の光源部の互いの間隔を、設置されて
いる平面内で変化させる事によって可能であるし、第２
偏向走査面内でのみ角倍率が可変なシリンドリカル・ズ
ーム°エキスパンダーを導入して、回転鏡へ入射する複
数の光束が互いに成す角度を変化させる事によっても可
能である。
第６図は、上述した本発明に係る走査装置を適用したレ
ーザ・ビーム・プリンターの一実施例を示す斜視図であ
る。第６図に用いた光学系は、上述した実施例で示した
走査装置と同じ光学系であり、同じ番号を伺した部材は
同じ部材を示しているので、ここでは説明を省く。
ーザ・ビーム・プリンターの一実施例を示す斜視図であ
る。第６図に用いた光学系は、上述した実施例で示した
走査装置と同じ光学系であり、同じ番号を伺した部材は
同じ部材を示しているので、ここでは説明を省く。
尚、３′はガルバノミラ−１４′は感光ドラムであり、
感光ドラム４′の周辺には図示してはいないが、感光ド
ラムに潜像を形成する為のプロセスに必要な部材、潜像
を顕画化する為の部材等が配置されており、これ等の部
材はやはり複写装置に於いては公知の部材であるので、
ここでは省いである。第６図に於いて、音響光学素子２
により光束が偏向される第１偏向走査面はＸ−ｚ平面、
ガルバノミラ−３′により光束が偏向される第２偏向走
査面はｘ −ｙ平面であり、感光ドラム４′の表面はｙ
−ｚ平面（第１偏向走査面と実質的に等価と見做せる
面）内で移動している。
感光ドラム４′の周辺には図示してはいないが、感光ド
ラムに潜像を形成する為のプロセスに必要な部材、潜像
を顕画化する為の部材等が配置されており、これ等の部
材はやはり複写装置に於いては公知の部材であるので、
ここでは省いである。第６図に於いて、音響光学素子２
により光束が偏向される第１偏向走査面はＸ−ｚ平面、
ガルバノミラ−３′により光束が偏向される第２偏向走
査面はｘ −ｙ平面であり、感光ドラム４′の表面はｙ
−ｚ平面（第１偏向走査面と実質的に等価と見做せる
面）内で移動している。
第１図及び第２図は本発明に係る走査装置の第１実施例
を示す図で、第１図は第１偏向走査面内での展開図、第
２図は第２偏向走査面内での展開図、第３図は本発明に
係る走査装置に於いて、被走査面上での走査線の軌跡を
示す図、第４図及び第５図は本発明に係る走査装置の第
２実施例を示す図で、第４図は第１偏向走査面内での展
開図、第５図は第２偏向走査面内での展開図、第６図は
本発明に係る走査装置を適用したレーザビームプリンタ
ーの斜視図。 ｌａ、ｌｂ・・・光源部、２・・・音響光学素子、３・
・・第２＠向器、４・・・被走査面、１１・・・第１光
学系、１２・・・第２光学系、１３・・・第３光学系、
１４・・・第４光学系、１５・・・第５光学系、Ｐ２・
・・偏向作用領域。 出願人 キャノン株式会社
を示す図で、第１図は第１偏向走査面内での展開図、第
２図は第２偏向走査面内での展開図、第３図は本発明に
係る走査装置に於いて、被走査面上での走査線の軌跡を
示す図、第４図及び第５図は本発明に係る走査装置の第
２実施例を示す図で、第４図は第１偏向走査面内での展
開図、第５図は第２偏向走査面内での展開図、第６図は
本発明に係る走査装置を適用したレーザビームプリンタ
ーの斜視図。 ｌａ、ｌｂ・・・光源部、２・・・音響光学素子、３・
・・第２＠向器、４・・・被走査面、１１・・・第１光
学系、１２・・・第２光学系、１３・・・第３光学系、
１４・・・第４光学系、１５・・・第５光学系、Ｐ２・
・・偏向作用領域。 出願人 キャノン株式会社
Claims (2)
- （１）音響光学素子で第１の偏向を与えた後、この第１
の偏向による偏向走査面とは直交する面内で第２の偏向
を与える偏向手段を有する走査装置に於いて、各々独立
した複数本の光束を供給可能な光源部が設けられており
、各々の光束の主光線が前記音響光学素子の偏向作用領
域で交わる様にした事を特徴とする走査装置。 - （２） 前記第２の偏向手段による偏向走査面内に於
いては、前記音響光学素子と第２の偏向を与える偏向手
段の間に配された光学系に関して、前記音響光学素子の
偏向作用領域と第２の偏向手段の偏向作用位置とはほぼ
共役である特許請求の範囲第１項記載の走査装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126252A JPS5915922A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57126252A JPS5915922A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5915922A true JPS5915922A (ja) | 1984-01-27 |
Family
ID=14930565
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57126252A Pending JPS5915922A (ja) | 1982-07-20 | 1982-07-20 | 走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5915922A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62257267A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-09 | Canon Inc | 画像記録装置 |
| WO2020200530A1 (en) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | Mycronic AB | Long sweep length duv microlithographic beam scanning acousto-optical deflector and optics design |
-
1982
- 1982-07-20 JP JP57126252A patent/JPS5915922A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62257267A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-09 | Canon Inc | 画像記録装置 |
| WO2020200530A1 (en) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | Mycronic AB | Long sweep length duv microlithographic beam scanning acousto-optical deflector and optics design |
| US11947241B2 (en) | 2019-03-29 | 2024-04-02 | Mycronic AB | Long sweep length DUV microlithographic beam scanning acousto-optical deflector and optics design |
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