JPS59200910A - スポツト状欠陥判定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はシート状物体の表面に現れるスポット状欠陥の
判定装置に係り、％に印刷物を検査して微小な印刷欠陥
の判定を行う装置に関する。

印刷物を例にとれば絵柄印刷物つまり絵柄を含んだ画像
が印刷された印刷物の検査は目視検査が簡便かつ確実な
方法であり広く行われている。しかし、検査速度に限界
があり能率が悪いことと、検査作業員の能力の個人差、
体Ｍ’ｓ疲労度による検査精度のばらつきがあること等
の不具合がある。

一方、原反つまり印刷前の紙や単純な模様の印刷物の汚
れを検査するには、イメージセンサによってこれら被検
査物の面から取込んだ信号中のピーク（主として極小点
）を検出するものがある（特公昭４６−２１５１４号公
報）。しかし、これは欠陥部分の信号レベル変動が他の
部分のそれに比べて充分大きいことを条件にして成立す
るもので、この条件が成立たない絵柄印刷物は検査でき
ｒｊい。

また、イメージセンサ出力中の微小ｔ【ピークの検出に
は浮動閾値による方法（特公昭５４−３６３８号公報〕
等のアナログ信号処理で行うのが一般的である。しかし
、アナログ信号処理はノイズの影響を受は易く誤動作し
易い。また絵柄のような複雑な信号中からピークを検出
することはアナログ処理ではできない。

本発明は上述の点を考慮してなされたもので、絵柄印刷
物とか原反における微小欠陥を正確に検出し得る装置を
提供することを目的とする。

この目的達成のため、本発明では、絵柄印刷物とか原反
等の被検査物から取出したデータに弗線形量子化処理を
施して微小欠陥を増幅すると共にスパイク状ノイズとか
画像中のエツジ成分の抑圧を行い、次いで所定の飽和レ
ベル範囲内で積分することにより被検査物の表面に現れ
た欠陥を含む特徴を取出し、必要に応じて基準パターン
と照合して欠陥判定を行うようにしたものである。

以下添付図面を参照して本発明を実施例につき説明する
。

第１図は本発明における絵柄印刷物の欠陥検出動作を概
括的に説明するためのフローチャートである。

まずイメージセンサ等を用いて印刷物の画像データを取
込んだ上で（標準・被検査双方を含む）サンプリングを
行い所要のデータを取出す。取出されたデータにおける
第ｎ番目の画素のデータはレベルＳｎであるとする（Ｋ
１）。サンプリングにより取出されたデータは差分（ｓ
ｎ＋　８ｎ−１）を取出して更Ｋ　Ａ／Ｄ変換（Ｋ２）
シ、Ｆｎを得る。これは次に行うピーク検出処理の前処
理になる。

Ｆｎを積分してピークを検出する。　ピークを検出した
位置でＫ１他の点でＬとなる信号Ｋｎを形成する（Ｋ３
）。これにより２値化化号Ｉｎが形成される。

上記に□乃至に３の処理はまず標進刷本について行い、
これにより得られたＥｎは基準２値化データＦｉｓｎと
してメモリに書込む’　”ａ　＊　Ｋ５　）。次に被検
査刷本についても同様の処理を行い、検査２値化データ
”Ｉｎを得る（Ｋ４）。この検査２値化データれる。

第２図乃至第４図は本発明における画像信号の処理方式
の原理を説明するための図である。まず第２図は第１図
の７０−チャートにおける差分量子化（Ｋ２）の特性を
示したもので、サンプリングにより取出された差分（ｓ
ｎ　＋　５ｎ−１）を−”ｊｌ山１０１・・・、Ｎの（
２Ｎ＋１）の範囲内の値に変換する特性を表している。

この特性はＭｉｄｔｒｅａｄ型の非線形発子化特性とな
っていて、差分（Ｓｎ−８ｎ−１）が小さな値であると
きはその差に対応した値を持つが、差分（ａｎ−８ｎ−
１）がある程度以上大きな値に７．ｍつても最大限でＮ
または−Ｎの値しか持たない出力を生じる。

この結果、低レベル変動が強調され高レベル変動が抑圧
された入出力特性となる。これは、低レベル変動に相当
する印刷物の微小な欠陥が浮き彫りにされる一方、高レ
ベル変動に相当するスパイク状ノイズや画像のエツジ成
分は抑圧されることを意味する。

次に第３図（ａ）、（ｂ）は被検査印刷物の画像信号と
第２図の特性により得られた量子化出力Ｆｎの積分値’
ｒｎとを対比して示したものである。同図（ａｌの画像
信号においてＰｏはスパイク状ノイズ、Ｐｌ、Ｐ４はピ
ークである。この画像信号を微分しく２Ｂ＋＋１）の範
囲で童子化したものを±（Ｎ＋１）の飽和レベルを設け
て積分することにより同図（１））　Ｋ示す出力が得ら
れる。そして同図（ｂ）のＡは同図（ＩＬ）のスパイク
状ノイズＰｏＫ相当する部分である。スパイク状ノイズ
Ｐｏは量子化時に−Ｎの値をとるが、積分に当ってはそ
の飽和値を±（Ｎ＋１）Ｋとっているから積分出力は０
レベルまで下らない。

これに対しピークＰ１〜Ｐ４に対応するＢ、Ｏ。

ＤＳＥの各点はθレベルに達している。そして０レベル
に達したこと、もしくはθレベルを通過したことを検出
してピーク検出を行う。スパイク状ノイズを検出せずに
ピークを検出するということは、急峻で大きな画像信号
の変化よりも緩漫で比較的小さな画像信号の変化を検出
すること、つまり絵柄の特徴とともに欠陥の％徴を表わ
すピークを利用して絵柄の検査を行うということを意味
しを有しているかという判断を行うものである。

θレベルを利用してピーク検出を行うために、積分値Ｔ
ｎがθレベルに達したらそのときの値の変化方向に沿っ
て飽和レベルまで値をずらす。Ｂ点の場合で言えば積分
値は土方向からＯＫ向っているから−（Ｎ＋１）　　ま
で値をずらし、０点の場合で言えば一方向から増加して
θレベルに達したので＋（Ｎ＋１）までずらす。この値
をずらすことにより次のピーク検出が的確に行われる。

そしてずらし幅を０レベルから飽和信士（Ｎ＋１）とし
たのは、次の絵柄特徴が検出されず見落されるのを避け
るためである。

このθレベルを利用したピーク検出において、例えば０
レベルを「１」、飽和レベルをｒｏＪ　Ｋすることによ
って２値化出力を得ることができ、これを画素単位で取
出す。

そして第４図は第３図の方式により取出した２値化ピー
ク検出出力を利用するパターン照合方法ンＢ工とを照合
するのであるが、この場合に基剤パターンのＫｓｎを例
にとると対応する検査パターン”Ｉｎだけを調べるので
な（、その前後２番地つまりＩＤｘｎ＋２、ｉ工ｎ＋１
、Ｆｉｘｎ−１，１ｘｎ−２の４番地についてもＫｓｎ
と対比する。このように基率パターンと検査パターンと
の照合は１対複数というように行い、何れを１としても
よい。

このよう［１対複数の照合を行なうのは検査刷本の印刷
位置すれとかノイズの影響ニよるピーク位置のずれがあ
るとき誤った検査結果が出ることを防ぐためである。

第５図（ａ）　〜（（１）および第６図（ａ）　〜（ｄ
）は第２図および第３図により示した信号処理の様子を
より具体的に示したものである。いま同図（ａ）　Ｋ示
すように画像信号を詔画素でサンプリングし、ｈ−２と
して（２Ｎ＋１）の範囲で差分量子化およびＡ／Ｄ変換
を施すことにより同図（１）１　Ｋ示す出力Ｆｎが得ら
れる。

この出力Ｆｎは＋２．＋１．０．−１．−２の範囲の値
を有する。

この出力Ｆｎを±（Ｎ＋１）つまり＋３を飽和値として
積分することにより同図（Ｃ）Ｋ示す積分出方Ｔｎが得
られる。そして積分値Ｔｎが０し只ルになったときもし
くは通過したときＨ（または１）、それ以外はＬ（また
は０）として２値化することにより同図（（１）の出力
が得られる。この場合、９番目、１２番目、１７７番目
２００番目よび２６番目の画素の位置にピークがあり、
１４番目の画素位置にあるスパイク状ノイズは検出され
ない。

第６図（ａ）〜（ｄ）は同図（ａ）のような被検査画像
信号を第５図（ａ）〜（ｄ）と同様に２８画素でサンプ
リングし、ピークを検出する過程を示したものである。

第６図（ａ）は第５図（ａ）を基憔画像信号とする被検
査画像信号で、同図に示されているようＫあ４番目付近
の画素の位置にスポット状欠陥がある。

第６図（Ｃ１）と第５図（ｄｉを比較すると、第６図（
ａ）のスポット状欠陥に相当する位置（第４番目と第６
番目の画素の位置）に余分なピークが検出される。

従って第５図（ａ）と第６図（（１）とを照合すること
により、スポット状欠陥を検出できる。

第７図乃至第９図は本発明に係る装置を構成する各回路
の具体的構成例を示したもので、第７図は第１図におけ
る差分量子化およびＡ／Ｄ変換（Ｋ２）の動作つまり第
２図の特性にしたがう動作でＮ＝２とした場合を行なう
回路を、第８図（ａ）および（１））は第１図における
ピーク検出（Ｋ３）の動作つまり第３図の特性にしたが
う動作でＮ−２とした場合を行なう回路およびその動作
を、第９図は第１図におけるパターン照合（Ｋ６）つま
り第４図により示した動作を行なう回路をそれぞれ示し
ている。

このうち第７図の回路は、差分（”ｎ−８ｎ−１）を検
出するための差動増幅器１と、との差動増幅器１１７）
出力を得て基準値Ｖ＋２、Ｖ＋、、ｖ−、、Ｖ−２ト比
較を行なう４つの比較器２．３．４および５、それにこ
れら比較器の出力に応動するエクスクル−シブノア回路
６およびオア回路７とからなる。

ここでエクスクル−シブノア回路６およびオア回路７は
エンコード回路を構成するが、このエンコード回路との
関係上比較器４は反転型を用いている。また、基進値は
、 が成立するように選ぶ。そしてＶ＋２、Ｖ−４−１は例
えば信号のピーク・ピークレベルの１％、０．５％程度
に選ぶ。

差動増幅器１から差分（Ｓｎ−８ｎ−ｘ）が島えられた
比較器２〜５は上記基準値との比較によりＨ（１）、Ｌ
（０）出力を生じ、この出力はエクスクル−シブノア回
路６およびオア回路７を介して出力端子ＤＯｓＤｌ、Ｄ
２に寿えられる。これにより差分（Ｂｎ−８ｚｉ−□）
は３ピツト５値化され量子化信号Ｆｎとなる。

第８図（ａｌは量子化信号Ｆｎが与えられてピーク検出
出力凡ｎを生じる回路を示している。この回路の動作は
基本的には士（Ｎ＋１）の範囲で積分し積分値がＯレベ
ルになったときにピーク検出することで、Ｄ＋イ’、Ｉ
ｈ−、ピ・−り締出へ・助艮・ノ４ｉ　／こめＩ（８５
月ニー（ｈ九〇レベルになったときに積分値をずらす動
作も併せて行う。このために回路要素としてレジスタ１
０゜加算器８、データ修正器９、符号チェック回路１１
、データチェック回路１３、オーバフロー処理回路１２
およびピーク通過処理回路２１等が設けられて（する。

この回路につき動作に基き説明する。まず初期状態にす
るためレジスタ１０およびラッチ回路１５がリセットさ
れ、レジスタ１０は（０，０，０）でラッチ回路１５は
ＳＷ−オフとなっている。　この状態で５値化データＦ
ｎ−１が加算器８に与えられるとレジスタｌＯの出力’
ｒｎ−１と５値化データＦｎ−１とが加算される訳であ
るが、肖初レジスタ１０の出力は（０゜０．０）である
から加算器８の出力は５値化データＦｎ−１そのもので
ある。ここでは既Ｋｌ／’ジスタ１０が出力Ｔｎ−１を
生じる状態になったものとして以下の説明を行なう。

加算器８の出力はデータ修正器９に与えられる。

加算器８によりＦｎ−１と’Ｉ’ｎ−ｉとの加算を行な
うとその結果飽和レベル±３をオーバー７０する場合が
６通りあり、これは下表に示す通りである。

（注）３ビツトの加算による４ビツト目への桁上げは無
視する。

上記のように±（Ｎ＋１）の飽和レベルを超える場合は
この場合の飽和レベル±３に戻す。ａ、　ｂ。

Ｃの場合は３に、ｄ、ｅ、ｆの場合は−３に戻す。

これにより積分仙Ｔｎが得られるが、Ｔｎは−３〜＋３
の７つの値しかとり得ないので「−４」の状態をなくし
て＋３に修正するものである。第８図（１））は上記表
におけるａ　％　ｆの各場合の’ｒｎ−１、Ｆｎ−１お
よびＴｎの関係を示したもので、ａ−ｆの倒れも正また
は負の飽和レベルを超えているため、＋３または−３に
修正する。

ここまでは第８図（ａ）の加算器８およびデータ修正器
９の説明であり、以下再び第８図（ａ）の他の回路部分
の説明に戻る。

上述のよ５に修正された積分値Ｔｎは符号チェック回路
１１、オーバーフロー処理回路１２およびデータチェッ
ク回路１３等に与えられる。このうち符号チェック回路
１１は積分値’ｒｎ、　５値化データＦｎ＝１およびレ
ジスタ１０の出力Ｔｎ、１が与えられてＴｎとＴｎ−１
，Ｆｎ−１とＴｎ−１の符号関係を調べる。符号チェッ
クはＭＳＥ　Ｋより行いＯ（０，０，０）は正の符号を
持つとする。Ｔｎと’ｒｎ−１との関係については符号
が異っていれば次のチェックを行い、符号が同じであれ
ば向も行なわない。

’ｒｎとＴｎ−１との符号が異っている場合、ＦＤ−１
とＴｎ−１との関係を調べて符号が異っていればθレベ
ルを交差しているからピーク通過信号６１ｐをオア回路
ｉｓＫ与え、符号が同じであれば桁あふれであるからオ
ーバーフロー信号Ｓｏｆをオーバーフロー処理回路１３
、オア回路１４およびインバータ１６を介しアンド回路
１９に与える。

次にオーバーフロー処理回路１２では符号チェック回路
１１からオーバーフロー信号８ｏｆが４えられたとき積
分値Ｔｎが正ならば−３を、Ｔｎが負ならば＋３をオア
回路２２に出力する。

またデータチェック回路１３では積分値ＴｎがＯｌ、＋
３の何れかになっていないか調べ、０であればピーク通
過信号Ｓｐをオア回路１８に与え、ｉ：３になっていれ
ば飽和信号Ｓ第３をオア回路１４に与える。

符号チェック回路１１またはデータチェック回路１３で
オーバーフロー信号Ｓｏｆまたは飽和信号Ｓす３が出る
とオア回路１４を介してラッチ回路１５のセットが行な
われるＳＷ　ｘ　ＯＮとなる。符号チェック回路１１ま
たはデータチェック回路１３でピーク通過信号Ｂｐが出
ていてラッチ回路１５がｓｗ　−ＯＮ　Ｋ　：Ａってい
ればアンド回路２０の２人力が共に与えられるからピー
ク通過処理回路２１を動作させ、同時にインバータ１７
を介してアンド回路１９に出力を与えると共に出力端子
ＦｉｎＫ出力する。

ピーク通過処理回路２１は５値化データＦｎ−□　の符
号により正ならば＋３を、負ならば−３をオア回路２２
に出力する。オア回路２２にはこの外にオーバーフロー
処理回路１２およびアンド回路１９の出力が与えられ、
オーバーフロー処理またはピーク通過処理を行なった場
合は＋３を、どちらも行なわない場合はデータ修正器９
の出力Ｔｎをレジスタ１０に書込む。

これによりレジスタ１０には第３図（ｂ）、第５図（０
）および、第６図（Ｃ）Ｋ示すように＋３を飽和値とし
、０レベルに達するかＯレベル通過により飽和値まで値
をずらした特性の出力が得られる。

このような動作により出力端子ＢｎＫは第５図（ｄ）に
示すようなピーク通過に対応した２値化出力が与えられ
る。

そして、第９図は第８図の回路により取出した２値化信
号を利用してパターン照合を行なう回路られるシフトレ
ジスタ２３と、基准印刷物から取出した信号（Ｅｓｎ）
が与えられるシフトレジスタ２５の各出力を照合回路２
４に与えて照合を行ない、マッチング不良回数膓をカウ
ンタ２７で計数すると共に、欠陥個数をカウンタ２６で
計数する。

この回路において、いまシフトレジスタ２３Ｋ”Ｉｎ＋
２　ｓ　　”Ｉｎ＋１　ｓ　　”Ｉｎ　ｓ　　”Ｉｎ−
１、Ｂｘｎ−２カー、　またシフトレジスタ２５ｉＣＥ
ｓｎ−Ｈｌ”８１］＋１　ｓ　”８ｎが入っているとす
る。そして、１ｎｓｎが１のときシフトレジスタ２３の
パテレル出力ＰＯｓをＬＳＢ　　側から調べ、１があっ
たらＯＫ変え、１が複数あったらＬＳＥ側の１のみをＯ
Ｋ変える。１つもＯがなかったらマツチング不良信号Ｎ
Ｍを出す。　Ｅ８ｎが００ときはシフトレジスタ２３の
書き換えならびにマツチング不良信号ＮＭの出力を行な
わない。

これらの動作に伴い、カウンタ２７は照合回路Ｕから出
るマツチング不良信号ＮＭを計数し、またカウンタ２６
はシフトレジスタ２３のシリアル出力ＳＯｓ中の１の数
をカウントして基臨側Ｋｔｘいピークつまり欠陥の個数
を計数する。

不良信号ＮＭが生じるのは （１）顕著な位置ずれが起った場合で、マツチング不良
回数が多く、欠陥個数に等しい場合がこれであり、いわ
ゆる欠陥とは異なる。

（２）ハイライト部に生じた白っぽい欠陥とシャドウ部
に生じた黒っぽい欠陥の場合で、欠陥がなくてもピーク
が検出されるところで欠陥が生じるとピーク検出点がず
れる。この場合、マツチング不良は部分的に起こるので
回数が少ない。これはいわゆる欠陥である。

このことから、カウンタ２６．２７の計数値比較により
欠陥判別を行なえることが分る。

第１０図は第７図乃至第９図により部分的に示した回路
を組合わせた装置全体の構成を示したもので、一点鎖線
により上記各図の部分が示され、その他の部分が更に付
加された回路である。この回路図においては上記各図に
よる説明［９しては示さなかったゲート信号０１〜Ｇ６
、ライト信号Ｗｌ〜Ｗ３、リード信号Ｒ０〜Ｒ３、クロ
ック信号’ＣＴ−におよびリセット信号Ｒｅが示されて
おり、これら各信号は各回路の動作タイミングをとるた
めに図示しない制御回路から与えられる。

第１１図（ａ３、（１））はこれら信号の発生タイミン
グを示したもので同図（ａ）は基準データの摺゛込み時
、同図（ｂ）は検査動作時のものである。以下第１０図
および第１１図に基いて説明を行なう。

この回路の入力ＡＩＩＩはアナログ信号であり、ゲート
信号Ｇ１を与えることによってホールド回路路にデータ
が入る。ホールド回路２８にデータを入れる前にゲート
信号　を与えてホールド回路２８に既に入っていたデー
タをホールド回路２９に退避させてお（、この結果、ホ
ールド回路２８にはＳｎ、ホールド回路２９には５ｎ−
１が入っていることになる。

これらのデータｓｎ、５ｎ−１はＡ／Ｄ変換器３０（第
７図）Ｋ与えられる。’／Ｄ変換器カで符号化されて５
値化データＦｎが形成されるまで信号処理のために時間
τｌを要するとするとゲート信号０３によってピーク検
出器３１（第８図（ａ）　）　Ｋ　５値化データＦｎを
入力するのはゲート信号Ｇ１を与えてからτ１後にすれ
ばよい。ピーク検出器３１に５値化データｙｎを入力す
ると同時にレジスタ１０からデータをピーク検出器３１
に入力する必要があり、このためにゲート信号Ｇ３と同
時にリード信号Ｒ１を出す。これによりピーク検出に対
応した２値化信号Ｉｎが得られる。

この２値化信号ＩｎはセレクタＳを介して取出される。

セレクタは基準側と検査側の２つの位置選択を行い得る
もので、基準側は基準データ書込み時に、検査側は検査
動作等に用いられる。そこで、セレクタＳの位置が基準
側、検査側の各々にある場合について各別に説明する。

（ａ）　　セレクタＳが基準側のとき ピーク検出器３１にデータが入力されてから処理時間τ
２の経過後にピーク検出器３１からレジスタ１０にデー
タを書込むようライト信４ｗ１を出す。同時にライト信
号Ｗ３を出してＲＡＭ３９に２値化データＢｎを書込む
と共に、ゲート信号Ｇ６を出してカウンタ３２に２値化
データｌ１ｉｎを入れピーク数を計数する。

この計数値は、検査対象が無地表面の傷である場合等は
そのまま欠陥便数となる。このような検査のみを行なう
のであれば第８図の回路は不要となる。

（ｂ）　　セレクタＳが検査側のとき これはセレクタＳが基準側にされて基準データの書込み
が行なわれた後に、基準データを利用して検査データを
検査する場合である。

この場合、ピーク検出器３１にデータが入力されてから
処理時間τ２が経過する前にリード信号Ｒ３を出してＲ
ＡＭ　３３からデータを読み、ゲート信号Ｇ４を与えて
カウンタ２６にシフトレジスタ２３のＬＥＩＢを送り欠
陥個数を計数する。時間τ２が経過した後にクロック信
号ＣＬＫを与えてシフトレジスタ２３０ＭＯＢに検査デ
ータを、またシフトレジスタ２５０Ｍ５Ｂ　Ｋ基準デー
タを与える。

次にリード信号Ｒ２を出し照合回路２４にシフトレジス
タ２３のデータを入れる。時間τ４が経過し照合回路２
４で処理が終ったらライト信号Ｗ２が与えられ照合回路
２４からシフトレジスタ２３にデータを書込む。同時に
ゲート信号Ｇ５を与えてマツチング不良信号ＤＩＭをカ
ウンタ２７ニ送る。カウンタ２６の計数値およびカウン
タ２７の計数値を利用して検査印刷物の検査ができる。

この検査に要する時間は、Ａ／Ｄ変換器３０、ピーク検
査器３１、パターン照合回路Ｕの処理所要時間を合計し
ただけ少くともかかり、　Ａ／Ｄ変換器３θでτ１、ピ
ーク検査器３１でτ２、照合回路２４でτ４だけ時間を
要するとして１ビツトのデータを検査する時間は（τ１
＋τ２＋τ４）となる。

このことから、実用化にあたり処理時間短縮および処理
効率向上のため、Ａ／Ｄ変換器３（）、ピーク検出器３
１およびパターン照合回路Ｕを各々独立動作させる。つ
まり、ピーク検出器３１で処理中に次のデータを入力し
〜勺変換器３θで処理する。ピーク検出器３１での処理
終了後にパターン照合回路Ｕに移ると既ＩＬ　Ａ／Ｄ変
換器３（Ｊで処理されたデータがピーク検出５．３１で
処理される。これと同時ＫＡ／Ｄ変換器３０に新しいデ
ータが入り処理が行なわれる。

このような動作が第１Ｏ図の回路を第１１図の信号タイ
ミングで動作させることによって再伸となる。

この場合、サンプリング周期を最“も時間のかかるピー
ク検出器３１の処理時間τ２に合わせれば足も効率のよ
い検査ができる。

このような検査な行なうに先立って回路各部に終る毎に
カウンタを除く他の回路のリセットを行なう。

本発明は上述のように、被検査印刷物からサンプリング
により取出した画像信号に非線形量子化処理を施し、次
いで所定の飽和レベル範囲内で積分して絵柄中の特徴検
出を行なうようにしたため、従来のアナログ処理方式に
よる欠陥検査に比べて誤差少く高能率の検査を行なうこ
とができる。

また印刷物の特徴検出を行なうようにしたから絵柄印刷
物についても基準印刷物から取出した基準データと被検
査印刷物から取出した検査データとを照合することによ
り正確に欠陥の程度を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明における絵柄印刷物の欠陥検出動作を示
すフローチャート、第２図は第１図のフローチャートに
おける差分量子化の特性を示す図、第３図（ａ）、（ｂ
）は画像信号と第２図の特性による量子化出力の積分値
とを対比して示した図、第４図は第３図の方式により取
出した２値化ピーク検出出力を利用するパターン照合方
法の説明図、第５図（ａ）〜（ｄ）および第６図（ａ）
〜（（１）は第２図および第３図により示した信号処理
の様子をより具体的に示した図、第７図は第２図の特性
による動作を行なう回路を示す図、第８図（ａ）、（１
））は第３図の特性による動作を行なう回路およびその
動作を示す図、第９図は第８図の回路の出力を利用して
パターン照合を行なう回路を示す図、第１Ｏ図は第７図
乃至第９図に示した回路を組合わせてなる本発明装置の
構成を示すブロック線図、第１１図（ａｌ、（１））は
第１０図の回路に与えられる各種信号を示すタイムチャ
ートである。 ｓｎ、　５ｎ−１”・サンプリング値、Ｆｎ　Ｉ　Ｆｎ
−１”’差分量子化信号（５値化データ）、Ｅｎ、都−
１・・・ピーク検出信号。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検査物の表面を光学的に走査することにより取出
   した画像信号をサンプリングして一連の画素における各
   画素に対応した信号を順次取出すサンプルホールド回路
   と、このサンプルホールド回路の出力を得て前記一連の
   画素中の隣接する画素間の差分に応じた信号を、小振幅
   部分を鉱太し大裾幅部分を抑圧するように非線形量子化
   してなるディジタル信号を形成する’／Ｄ変換回路と、
   この’／Ｄ変換回路の出力を得て所定の飽和レベル範囲
   内で積分した上でレベル判定することにより前記画像信
   号中の極大値、極小値を示す画素で２値化出力を生じる
   ピーク検出回路となぞなえ、前記２値化出力によって被
   検査物の表面の欠陥を判定するようにしたスポット状欠
   陥判定装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の装置において、前記ピ
   ーク検出回路は、前記ｚ（ｉｉ’ｊ化出力化生力たとき
   積分信号を飽和レベルまで値をずらすようにしたスポッ
   ト状欠陥判定装γｅ。 ３、被検査物の表面を光学的に走査することにより取出
   した画像信号をサンプリングして一連の画素における各
   画素に対応した信号を順次取出すサンプルホールド回路
   と、このサンプルホールド回路の出力を得て前記一連の
   画素中の隣接する画素間の差分に応じた信号を、小振幅
   部分を拡大し大黒幅部分を抑圧するように非線形量子化
   してなるディジタル信号を形成するＡ／Ｄ変換回路と、
   このＡ、／Ｄ変換回路の出力を得て所定の飽和レベル範
   囲内で積分した上でレベル判定することにより前記画像
   信号中の極大値、極小値を示す画素で２値化出力を生じ
   るピーク検出回路と、基準印刷物の検査により前記ピー
   ク検出回路から与えられた２値化データを記憶する第１
   の回路と、被検査印刷物の検査により前記ピーク検出回
   路から与えられた２値化データを記憶する第２の回路と
   、前記第１および第２の回路の記憶データを照合してそ
   れらの異同妊応じた出力を生じる照合回路とをそなえ、
   この照合回路の出力に基づいて絵柄印刷物の欠陥を判定
   するようにしたスポット状欠陥判定装置。 ４、特許請求の範囲第３項記載の装置において、前記照
   合回路は、前記第１および第２の回路の記憶データの照
   合を行うにつき、一方の記憶データのある画素のデータ
   と他方の記憶データにおけるこれに対応する画素および
   その近傍の画素のデータとを照合するようにしたスポッ
   ト状欠陥判定装置。