JPS5919844A - 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 - Google Patents
誘導結合プラズマ発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPS5919844A JPS5919844A JP12993482A JP12993482A JPS5919844A JP S5919844 A JPS5919844 A JP S5919844A JP 12993482 A JP12993482 A JP 12993482A JP 12993482 A JP12993482 A JP 12993482A JP S5919844 A JPS5919844 A JP S5919844A
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- JP
- Japan
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- light
- sample
- plasma
- light source
- plasma emission
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/73—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited using plasma burners or torches
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は誘導結合プラズマ発光分光分析装置に関し、特
に固体試料を前処理操作なしにプラズマ中に導入する機
能をもった発光分光分析装置に関するものである。
に固体試料を前処理操作なしにプラズマ中に導入する機
能をもった発光分光分析装置に関するものである。
周知の通り誘導結合プラズマを用いた分析装置は、試料
を溶液化し霧化器により霧化しその霧化試料をプラズマ
により加熱励起して発光させ、この発光した光を分光分
析して試料の分析を行なうものである。しかし上記のよ
うに試料の前処理に多くの時間を取られる欠点がある。
を溶液化し霧化器により霧化しその霧化試料をプラズマ
により加熱励起して発光させ、この発光した光を分光分
析して試料の分析を行なうものである。しかし上記のよ
うに試料の前処理に多くの時間を取られる欠点がある。
この−ため固体試料を前処理操作なしにプラズマ中に導
入する方法が考えられており、この種の装置としては第
１図に示す様なものがあり、符号１は強い発光光源であ
り、この光源１からの光りを受ける試料２と、試料２か
らの蒸発試料を逃さないようにする蓋３と、蒸発試料を
プラズマ５に導入するためのアルゴンガスＧを入れる口
４と、プラズマトーチ６などから構成されている。
入する方法が考えられており、この種の装置としては第
１図に示す様なものがあり、符号１は強い発光光源であ
り、この光源１からの光りを受ける試料２と、試料２か
らの蒸発試料を逃さないようにする蓋３と、蒸発試料を
プラズマ５に導入するためのアルゴンガスＧを入れる口
４と、プラズマトーチ６などから構成されている。
しかしながらこの様な従来の構成では光束りがガラス蓋
３を通過するため光強度が減衰し、かつ試料りに対し斜
照射するため光りの利用効率が悪いという欠点があった
。
３を通過するため光強度が減衰し、かつ試料りに対し斜
照射するため光りの利用効率が悪いという欠点があった
。
本発明は以上の欠点をすみやかに除失するための極めて
効果的な手段を提供するもので、プラズマ上部に試料照
射用の光源を配置し、試料に対し垂直に光束が照射され
ると共にガラスの通過による減衰のない照射光を得ると
いう構成である。
効果的な手段を提供するもので、プラズマ上部に試料照
射用の光源を配置し、試料に対し垂直に光束が照射され
ると共にガラスの通過による減衰のない照射光を得ると
いう構成である。
以下、図面と共に本発明による誘導結合プラズマ発光分
光分析装置について詳細に説明する。
光分析装置について詳細に説明する。
第２図は本発明の好適な実施例を示し、００゜レーザー
などの光強度の強く光束の細い光源である符号２０で示
される試料ガス化光源と、この光源２０の光り、が照射
される試料２１と、この試料２１を覆うガス密閉蓋２２
と、この密閉蓋２２に形成されたガス導入管２３と、密
閉蓋２２の上部に設けられたセンターチューブ２５を介
して形成されたプラズマトーチ２４と、このトーチ２４
内にプラズマ２６を形成するためのワークコイル２７と
、プラズマ２６内で発光した光り、を集光するレンズ２
８と、その光Ｌ２の強度を検知する測光系２９とから構
成されている。ブロアー３０はプラズマ２６から上昇し
てくる熱風を吹き飛ばし光源２０を保護するためのエア
ーシャッターを形成するためのものである。
などの光強度の強く光束の細い光源である符号２０で示
される試料ガス化光源と、この光源２０の光り、が照射
される試料２１と、この試料２１を覆うガス密閉蓋２２
と、この密閉蓋２２に形成されたガス導入管２３と、密
閉蓋２２の上部に設けられたセンターチューブ２５を介
して形成されたプラズマトーチ２４と、このトーチ２４
内にプラズマ２６を形成するためのワークコイル２７と
、プラズマ２６内で発光した光り、を集光するレンズ２
８と、その光Ｌ２の強度を検知する測光系２９とから構
成されている。ブロアー３０はプラズマ２６から上昇し
てくる熱風を吹き飛ばし光源２０を保護するためのエア
ーシャッターを形成するためのものである。
次に以上のような構成における本発明による誘導結合プ
ラズマ発光分光分析装置を作動させる場合について述べ
る。光源２０から出た光Ｌ１は、プラズマトーチ２４に
取り付けであるガス導入管３１と３２から導入されるＡ
ｒガスとワークコイル２７に印加された高周波電力によ
って形成された光学的に光Ｌ１に対して不活性なプラズ
マ２６を通り、プラズマトーチ２４のセンターチューブ
２５を貫通し、試料２１に垂直に照射され試料２１をガ
ス化する。このとき光Ｌ１はＡｒガスおよびプラズマ２
６内を貫通するのみであるがら強度が減衰することはな
く、又試料２１に対し垂直に照射されるのでガス化効率
が良い。発生した試料ガスは試料２１とガス密閉蓋２２
で形成される空間にたまり、ガス密閉蓋２２に取り付け
であるガス導入管２３から導入されるＡｒガスによって
セフタ−チューブ２５を通りプラズマ２６に導入される
。プラズマ２６に導入された試料ガスは周知のごとく発
光し、その先り、はレンズ２８によって集光され測光系
２９に入り強度測定される。
ラズマ発光分光分析装置を作動させる場合について述べ
る。光源２０から出た光Ｌ１は、プラズマトーチ２４に
取り付けであるガス導入管３１と３２から導入されるＡ
ｒガスとワークコイル２７に印加された高周波電力によ
って形成された光学的に光Ｌ１に対して不活性なプラズ
マ２６を通り、プラズマトーチ２４のセンターチューブ
２５を貫通し、試料２１に垂直に照射され試料２１をガ
ス化する。このとき光Ｌ１はＡｒガスおよびプラズマ２
６内を貫通するのみであるがら強度が減衰することはな
く、又試料２１に対し垂直に照射されるのでガス化効率
が良い。発生した試料ガスは試料２１とガス密閉蓋２２
で形成される空間にたまり、ガス密閉蓋２２に取り付け
であるガス導入管２３から導入されるＡｒガスによって
セフタ−チューブ２５を通りプラズマ２６に導入される
。プラズマ２６に導入された試料ガスは周知のごとく発
光し、その先り、はレンズ２８によって集光され測光系
２９に入り強度測定される。
以上の通り本発明によれば、プラズマトーチの上部に試
料照射用の光源を設け、ガラス部材を通ることなく試料
に対し垂直に光を照射できる構成としたので、固体試料
を前処理なしに誘導結合プラズマに導入できる装置にお
いて、従来のものに比較して試料をガス化するための光
の利用効率が向上するため、試料ガス化効率が向上しプ
ラズマへの試料導入効率が向上し、測定感度の向上が得
られるという効果を有する。
料照射用の光源を設け、ガラス部材を通ることなく試料
に対し垂直に光を照射できる構成としたので、固体試料
を前処理なしに誘導結合プラズマに導入できる装置にお
いて、従来のものに比較して試料をガス化するための光
の利用効率が向上するため、試料ガス化効率が向上しプ
ラズマへの試料導入効率が向上し、測定感度の向上が得
られるという効果を有する。
第１図は固体試料を測定するための誘導結合プラズマ発
光分光分析装置の従来例である。 第２図は本発明の実施例である。 ２０・・・・・・試料照射用光源 ２１・・・・・・試 料 ２２・・・・・・密閉蓋 ２３・・・・・・ガス導入管 ２４・・・・・・プラズマトーチ ２５・・・・・・センターチューブ ２６・・・・・・プラズマ ２７・・・・・・ワークコイル ２日・・・・・・レンズ ２９・・・・・・測光系 ３０・・・・・・ブロアー ３１．３２・・・・・・ガス導入管 り、・・・・・・照射光 Ｌ２・・・・・・発 光 以 上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図
光分光分析装置の従来例である。 第２図は本発明の実施例である。 ２０・・・・・・試料照射用光源 ２１・・・・・・試 料 ２２・・・・・・密閉蓋 ２３・・・・・・ガス導入管 ２４・・・・・・プラズマトーチ ２５・・・・・・センターチューブ ２６・・・・・・プラズマ ２７・・・・・・ワークコイル ２日・・・・・・レンズ ２９・・・・・・測光系 ３０・・・・・・ブロアー ３１．３２・・・・・・ガス導入管 り、・・・・・・照射光 Ｌ２・・・・・・発 光 以 上 出願人 株式会社第二精工舎 代理人 弁理士 最上 務 第１図 第２図
Claims (1)
- 試料照射用の光を発生する光源と、前記試料から発生す
る試料ガスを導入するセンターチューブと、このセンタ
ーチューブに接続されたプラズマトーチと、このトーチ
内にて前記試料ガスを発光させるためのプラズマと、こ
のプラズマからの光を分析するための測光系とからなる
誘導結合プラズマ発光分光分析装置において、前記光源
を前記プラズマトーチの上部に配置することにより、前
記試料照射用の光が試料に対し乎直に照射されると共に
前記センターチューブ内を貫通して光強度の減衰が無い
ように構成したことを特徴とする誘導結合プラズマ発光
分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12993482A JPS5919844A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12993482A JPS5919844A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919844A true JPS5919844A (ja) | 1984-02-01 |
Family
ID=15022034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12993482A Pending JPS5919844A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 誘導結合プラズマ発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919844A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107186A (ja) * | 1991-04-10 | 1993-04-27 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 固体発光分光分析装置 |
| US7397560B2 (en) * | 2006-04-04 | 2008-07-08 | Agilent Technologies, Inc. | Surface contamination detection |
-
1982
- 1982-07-26 JP JP12993482A patent/JPS5919844A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05107186A (ja) * | 1991-04-10 | 1993-04-27 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | 固体発光分光分析装置 |
| US7397560B2 (en) * | 2006-04-04 | 2008-07-08 | Agilent Technologies, Inc. | Surface contamination detection |
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