JPS59197144A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS59197144A JPS59197144A JP7236283A JP7236283A JPS59197144A JP S59197144 A JPS59197144 A JP S59197144A JP 7236283 A JP7236283 A JP 7236283A JP 7236283 A JP7236283 A JP 7236283A JP S59197144 A JPS59197144 A JP S59197144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- belt
- belts
- conveyor
- constituted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、特にウェハの熱処理１］程に使用されるウェ
ハ搬送装設ＩＬ関する。
ハ搬送装設ＩＬ関する。
一般に、半滌体製造工程には、ウェハに対する各種の熱
処理工程がちる。夕ｉ！ん１ば、ベーキング（ｂａｋｉ
ｎｇ）工程では、第１図に示すように、谷；数のウェハ
１０が順次ヒートブロックｌｌ上に間欠移動され、この
ヒートブロック１１で高温加ｉ１＋’ｋ （ｆ！ｌえば
１２０〜１２５°０５９ Ｊｉ ） ’Ｊ ｔｌ−７）
。
処理工程がちる。夕ｉ！ん１ば、ベーキング（ｂａｋｉ
ｎｇ）工程では、第１図に示すように、谷；数のウェハ
１０が順次ヒートブロックｌｌ上に間欠移動され、この
ヒートブロック１１で高温加ｉ１＋’ｋ （ｆ！ｌえば
１２０〜１２５°０５９ Ｊｉ ） ’Ｊ ｔｌ−７）
。
このような工程では、第２図に示すように耐熱性ゴム材
料（◇１１えば弗緊ゴムからなるバＩＪ ｌ−ン）から
なるリング状のベルト （通常＋；：ｂｆいロープ状の
もの）１２ａ、Ｊｏｂにθ：置され°たウェハ１０が、
ヒートブロック１１上に搬送きれるようにオＩＩゴ１ｔ
でいる。ペルー・１２ａ、 ｌ ２ｂ（・ま、モータ
ー３の回４云１察更■てより、まず位１人のウェハｌＯ
を位ＵｒＢまで千９ねさせると、一時ト 停止さ、＋１．る。このとき、ヒートブロック１１が第
３図（Ｂ）に示すように上昇して、接近したウェハ１０
が一定時間加熱さ釣る。その後、第３図ト （５）に示すように、ヒートブロック１１．は下降しト て、ウェハ１０から船ｆ′１．る。この場合、こ−チブ
ロック１１には第３図ｃ〜、（Ｂ）に示すように、予め
上昇した際にベルト１２ａ、１２ｂが入る１ｑ１４ａ、
１４ｂが形成され°Ｃいる。そして、ウェハ１０け、位
置Ｃさらに位ＭＤへと移動さｆする。
料（◇１１えば弗緊ゴムからなるバＩＪ ｌ−ン）から
なるリング状のベルト （通常＋；：ｂｆいロープ状の
もの）１２ａ、Ｊｏｂにθ：置され°たウェハ１０が、
ヒートブロック１１上に搬送きれるようにオＩＩゴ１ｔ
でいる。ペルー・１２ａ、 ｌ ２ｂ（・ま、モータ
ー３の回４云１察更■てより、まず位１人のウェハｌＯ
を位ＵｒＢまで千９ねさせると、一時ト 停止さ、＋１．る。このとき、ヒートブロック１１が第
３図（Ｂ）に示すように上昇して、接近したウェハ１０
が一定時間加熱さ釣る。その後、第３図ト （５）に示すように、ヒートブロック１１．は下降しト て、ウェハ１０から船ｆ′１．る。この場合、こ−チブ
ロック１１には第３図ｃ〜、（Ｂ）に示すように、予め
上昇した際にベルト１２ａ、１２ｂが入る１ｑ１４ａ、
１４ｂが形成され°Ｃいる。そして、ウェハ１０け、位
置Ｃさらに位ＭＤへと移動さｆする。
このようにして、耐熱性ゴム材料のベルトｘｚａ、ｉ２
ｂを備えた搬送装置により、ウェハ１０は間欠移動され
て、ベーキング処理等の熱処理が施される。しかしなが
ら、上記のような従来のウェハ搬送装置では、ベルト１
２ａ。
ｂを備えた搬送装置により、ウェハ１０は間欠移動され
て、ベーキング処理等の熱処理が施される。しかしなが
ら、上記のような従来のウェハ搬送装置では、ベルト１
２ａ。
１２ｂの寿命が短く、搬送装置の動作中に切断すること
が多発していた。また、劣化のため、ベルト１２ａ、１
２ｂの材料であるゴムの粉が発生し、これがウェハ１０
０表面に付着して、ウェハ１０が汚染される原因になる
などの欠点があった。
が多発していた。また、劣化のため、ベルト１２ａ、１
２ｂの材料であるゴムの粉が発生し、これがウェハ１０
０表面に付着して、ウェハ１０が汚染される原因になる
などの欠点があった。
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、高温の雰囲気中においても、劣化、切断等による悪
影響を防止して、ウェハを汚染することなく、確実に搬
送することができるウェハ搬送装置を提供することにあ
る。
は、高温の雰囲気中においても、劣化、切断等による悪
影響を防止して、ウェハを汚染することなく、確実に搬
送することができるウェハ搬送装置を提供することにあ
る。
本発明においては、ウェハを保持して搬送させる手段と
して、耐熱性金属の帯状薄板からなりリング状に形成さ
れた複数の搬送ベルトが使用される。この各搬送ベルト
には、−足間隔ごとに複数のスプロケット孔が形成され
ている。
して、耐熱性金属の帯状薄板からなりリング状に形成さ
れた複数の搬送ベルトが使用される。この各搬送ベルト
には、−足間隔ごとに複数のスプロケット孔が形成され
ている。
このスプロケット孔を利用して、搬送駆動手段により搬
送ベルトが駆動され、ウェハが所定の進行方向へ搬送さ
れる。このような構成により、高温加熱を行なう熱処理
工程において、ウェハを汚染することなく、確実に搬送
することができるものである。
送ベルトが駆動され、ウェハが所定の進行方向へ搬送さ
れる。このような構成により、高温加熱を行なう熱処理
工程において、ウェハを汚染することなく、確実に搬送
することができるものである。
以下図面を参照して本発明の一実施例について説明する
。第４図は一実施例に係るウェハ搬送装置の構成を示す
もので、２０ａ、２０ｂは搬送ベルトで、耐熱性金属（
例えばステンレス）からなる帯状薄板がリング状に形成
されたものである。この各搬送ベルト２０ａ、２０ｂに
は、舶５５図に示すように一定間隔ごとに複数のスプロ
ケット孔２１が形成されているＯ各搬送ベルト２０ａ、
２０ｂは、スズロケット孔２１に対応する間隔で複数ピ
ン２２を備えたローラ２３ａ〜２３ｄの回転駆動により
、駆動される。この場合、各搬送ベルト２０ａ、２０ｂ
は、例えばＩｔ＠ ６ｍｍ ＠度の平面が水平面に対し
て直角になるように縦方向で駆動される。即ち、第５図
に示すようにウェハ１０が、各搬送ベルト２０ａ。
。第４図は一実施例に係るウェハ搬送装置の構成を示す
もので、２０ａ、２０ｂは搬送ベルトで、耐熱性金属（
例えばステンレス）からなる帯状薄板がリング状に形成
されたものである。この各搬送ベルト２０ａ、２０ｂに
は、舶５５図に示すように一定間隔ごとに複数のスプロ
ケット孔２１が形成されているＯ各搬送ベルト２０ａ、
２０ｂは、スズロケット孔２１に対応する間隔で複数ピ
ン２２を備えたローラ２３ａ〜２３ｄの回転駆動により
、駆動される。この場合、各搬送ベルト２０ａ、２０ｂ
は、例えばＩｔ＠ ６ｍｍ ＠度の平面が水平面に対し
て直角になるように縦方向で駆動される。即ち、第５図
に示すようにウェハ１０が、各搬送ベルト２０ａ。
２０ｂのルみ（例えばｌ ７＋１’ｌＡ程鹿）である側
面で保持されるように構成されている。妊らに、各ロー
ラ２３ａ〜２３ｄは、図示しないモータで回転駆動され
る。
面で保持されるように構成されている。妊らに、各ロー
ラ２３ａ〜２３ｄは、図示しないモータで回転駆動され
る。
このような構成の搬送装Ｗにおいて、その作用効釆を説
明する。例えば、ベーキング処理工程において、ウェハ
１０は第４図に示すように左方向（矢印２４）から搬送
ベルト２０ａ。
明する。例えば、ベーキング処理工程において、ウェハ
１０は第４図に示すように左方向（矢印２４）から搬送
ベルト２０ａ。
２０ｂ上に伝送されたとする。ウエノｚｌＱは、端部を
搬送ベルｌ−２（７ａ、２０ｂの側面で保持され、所定
の位置即ちヒートブロック１１上まで搬送さｈ−る。そ
して、ヒートブロック１１上で、ウェハ１０は一時搬送
を停止される。このとき、ヒートブロック１１が従来と
同様に、上昇してウェハｌＯの表面に接近する。これに
より、ウェハｌＯは所定の期間に高温加熱（例えば１２
０〜１２５°Ｃ）が施される。その後、ヒートブロック
１ノが下降してウェハ１０から離れると、再度搬送ベル
ト２０ａ、２０ｂが駆動されてウェハ１０は次の工程へ
搬送てれる（矢印２５の方向）０ このようにして、ウェハ１θは順次ヒートブロックｌｌ
上に間欠移動され、ベーキング処理が施されることにな
る。この場合、本発明のウェハ搬送装置は以下のような
利点を有している。
搬送ベルｌ−２（７ａ、２０ｂの側面で保持され、所定
の位置即ちヒートブロック１１上まで搬送さｈ−る。そ
して、ヒートブロック１１上で、ウェハ１０は一時搬送
を停止される。このとき、ヒートブロック１１が従来と
同様に、上昇してウェハｌＯの表面に接近する。これに
より、ウェハｌＯは所定の期間に高温加熱（例えば１２
０〜１２５°Ｃ）が施される。その後、ヒートブロック
１ノが下降してウェハ１０から離れると、再度搬送ベル
ト２０ａ、２０ｂが駆動されてウェハ１０は次の工程へ
搬送てれる（矢印２５の方向）０ このようにして、ウェハ１θは順次ヒートブロックｌｌ
上に間欠移動され、ベーキング処理が施されることにな
る。この場合、本発明のウェハ搬送装置は以下のような
利点を有している。
第１に、搬送ベルト２０ａ、２０ｂは上記のようにステ
ンレス等の耐熱性金属であるため、ヒートブロック１１
ｖＣよる高温雰囲気中においても比較的長寿命であに
ツ、劣化による切断等の状態を防止することができる。
ンレス等の耐熱性金属であるため、ヒートブロック１１
ｖＣよる高温雰囲気中においても比較的長寿命であに
ツ、劣化による切断等の状態を防止することができる。
丑た、従来のようにベルトの劣化によるゴムの粉等が発
生するなどの状態を防止できるため、ウニ゛ハ１０が汚
染されるようなことは確実に防止できる。第２に、ウェ
ハ１０は搬送ベルｌ−２０ａ、２０ｂの側面（例えばＱ
、 ｌ ｆｆ１Ｗ）でその端部が保持されるため、ベー
キング処理の必要な表面が十分に加熱され、。
生するなどの状態を防止できるため、ウニ゛ハ１０が汚
染されるようなことは確実に防止できる。第２に、ウェ
ハ１０は搬送ベルｌ−２０ａ、２０ｂの側面（例えばＱ
、 ｌ ｆｆ１Ｗ）でその端部が保持されるため、ベー
キング処理の必要な表面が十分に加熱され、。
確実な処理がなされることになる。なお、この実施例で
は、搬送ベルト２０ａ、２０ｂが縦方向に駆動されてい
るが、幅が比較的小さい薄板のベルトであれば横方向に
駆動されてもよい。
は、搬送ベルト２０ａ、２０ｂが縦方向に駆動されてい
るが、幅が比較的小さい薄板のベルトであれば横方向に
駆動されてもよい。
即ち、搬送ベルト２θａ、２０ｂの平面でウェハｌＯの
端部が保持されて、搬送される場合である。第３に、搬
送ベルｌ−２０ａ、、２０ｂにはスプロケット孔２１が
形成されるため、このスプロケット孔２１がローラ２３
ａ〜２３ｄのピン２２にかみ合うようにして搬送ベルト
２０ａ、２０ｂが確実に駆動されることになる。
端部が保持されて、搬送される場合である。第３に、搬
送ベルｌ−２０ａ、、２０ｂにはスプロケット孔２１が
形成されるため、このスプロケット孔２１がローラ２３
ａ〜２３ｄのピン２２にかみ合うようにして搬送ベルト
２０ａ、２０ｂが確実に駆動されることになる。
以上詳述したように本発明によれば、例えばベーキング
処理等の熱処理工程に使用されるウェハ搬・送装置にお
いて、高温雰囲気中においても搬送ベルトの寿命を長く
保つことができ、劣化によるゴム粉等の汚染物の発生を
確実に防止することができる。したがって、ウニ／’％
を汚染することなく、確実に搬送することができ、結果
的にウェハに対する熱処理を確実に施すことができるも
のである。
処理等の熱処理工程に使用されるウェハ搬・送装置にお
いて、高温雰囲気中においても搬送ベルトの寿命を長く
保つことができ、劣化によるゴム粉等の汚染物の発生を
確実に防止することができる。したがって、ウニ／’％
を汚染することなく、確実に搬送することができ、結果
的にウェハに対する熱処理を確実に施すことができるも
のである。
第１図は従来のウェハのベーキング工程を説明するだめ
の図、第２図は従来のウェハ搬送装置の構成を示す斜視
図、第３図（５）、の）はそれぞれ第２図のヒートブロ
ックの動作を説明するための側面図、第４図は本発明の
一実施例に係るウェハ搬送装置の構成を示す斜視図、第
５図は第４図の搬送ベルトを拡大した図である。 １０・・・ウェハ、１１・・・ヒートブロック、２０ａ
、２０ｂ・・・搬送ベルト、２１・・・スプロケット孔
、２３＆〜２３ｄ・・・ローラ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
の図、第２図は従来のウェハ搬送装置の構成を示す斜視
図、第３図（５）、の）はそれぞれ第２図のヒートブロ
ックの動作を説明するための側面図、第４図は本発明の
一実施例に係るウェハ搬送装置の構成を示す斜視図、第
５図は第４図の搬送ベルトを拡大した図である。 １０・・・ウェハ、１１・・・ヒートブロック、２０ａ
、２０ｂ・・・搬送ベルト、２１・・・スプロケット孔
、２３＆〜２３ｄ・・・ローラ。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 耐熱性金属の帯状薄板で一定間ｉ′７ごとに複数のスプ
ロケット孔を有しリング状に形成された複数の搬送ベル
トと、こ、−の各搬送ベルトでウェハの端部を保持し、
上記スプロケット孔を利用してウェハを所定の進行方向
へ搬送するように上記各搬送ベルト８駆拘する搬送駆動
手段とを具φｊ１１シてなるウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7236283A JPS59197144A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7236283A JPS59197144A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59197144A true JPS59197144A (ja) | 1984-11-08 |
Family
ID=13487124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7236283A Pending JPS59197144A (ja) | 1983-04-25 | 1983-04-25 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59197144A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60169148A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の搬送方法及びその装置 |
-
1983
- 1983-04-25 JP JP7236283A patent/JPS59197144A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60169148A (ja) * | 1984-02-13 | 1985-09-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の搬送方法及びその装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5915525A (en) | Parts processing system with notched conveyor belt transport | |
| JPS61166037A (ja) | 半導体ウエハ−移送装置 | |
| US5423411A (en) | Cleaning apparatus and cleaning method | |
| SE8501935D0 (sv) | Anordning vid maskin for hantering av forpackningsenheter | |
| JPS59197144A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| DE59408406D1 (de) | Vorrichtung zum Fördern geschichteter Ware | |
| JPS56132353A (en) | Transfer material conveyor | |
| JPH01209216A (ja) | 反転搬送装置 | |
| JPS62238636A (ja) | 半導体ウエ−ハ搬送装置 | |
| DE3777667D1 (de) | Folientransportvorrichtung. | |
| JPH09132309A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP5454935B2 (ja) | 連続式熱処理炉 | |
| JP2002221390A (ja) | 両面熱処理用コンベア | |
| JPH0375489A (ja) | 加熱炉 | |
| JPS6132888Y2 (ja) | ||
| JP3675565B2 (ja) | 板材の搬送装置 | |
| JP2000016554A (ja) | 搬送装置とこれが具備されたリフロー装置 | |
| JPS6240431Y2 (ja) | ||
| JPS594042A (ja) | 階段式ベルト | |
| JPH053477Y2 (ja) | ||
| JPH02159049A (ja) | 半導体基板搬送機構 | |
| SU1368278A1 (ru) | Установка дл закалки листового стекла | |
| JP4163290B2 (ja) | 真空成膜装置および真空成膜方法 | |
| JPS63128637A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
| JPH0437874Y2 (ja) |