JPS5915216A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
- Publication number
- JPS5915216A JPS5915216A JP57124776A JP12477682A JPS5915216A JP S5915216 A JPS5915216 A JP S5915216A JP 57124776 A JP57124776 A JP 57124776A JP 12477682 A JP12477682 A JP 12477682A JP S5915216 A JPS5915216 A JP S5915216A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- deflection
- image
- raw data
- light
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数の光束により同時に複数の走査線を形成
し、これらの走査線ピッチを可変とした光走査装置に関
するものである。
し、これらの走査線ピッチを可変とした光走査装置に関
するものである。
第1図(a)は本出願人による特開昭56−10431
5号公報における3つの光束により3木の走査線を描く
光走査装置を示し、偏向面内の様子を表している。第1
図(b)に示す複数の発光部1a、■b、1cを有する
半導体アレイレーザー1より発した複数の゛光束L1.
L2、L3は、集光々学系2により集光されイメージ
ローデータ3に入射される。このイメージローデータ3
により配置を回転させられた光束L1、L2、L3は、
回転多面鏡4の偏向反射面5により反射され、結像光学
系6を介して被走査媒体7上にスボッ)St、S2、S
3として結像される。第1図(c)に示すように、結像
されたスポットS1、S2、S3は回転多面鏡4の回転
に伴って被走査媒体7上に複数の走査線A1、A2、A
3を同時に形成する。第1図(d)はイメージローデー
タ3を出射した1自後の光束L1、A2、A3の断面図
であり、Oはイメージローデータ3により回転された光
束Ll、 A2、し3の列と偏向面とのなす回転角であ
る。このとき、βを半導体アレイレーザー1と被走査媒
体7との間の集光々学系2と結像光学系6による合成結
像倍率とすると、走査線A1、A2、A3同志のピッチ
pと発光部]、a、■b、IC同志の間隔dとの間には
、 □p=βd 5irl ・=(1)なる関係があ
る。この(1)式からも明らかなように、イメージロー
データ3の回転により、光束L1、A2、A3の回転角
θが変るため、走査線AI、A2、A3同志のピッチp
を任意の値に設定することが可能となる。
5号公報における3つの光束により3木の走査線を描く
光走査装置を示し、偏向面内の様子を表している。第1
図(b)に示す複数の発光部1a、■b、1cを有する
半導体アレイレーザー1より発した複数の゛光束L1.
L2、L3は、集光々学系2により集光されイメージ
ローデータ3に入射される。このイメージローデータ3
により配置を回転させられた光束L1、L2、L3は、
回転多面鏡4の偏向反射面5により反射され、結像光学
系6を介して被走査媒体7上にスボッ)St、S2、S
3として結像される。第1図(c)に示すように、結像
されたスポットS1、S2、S3は回転多面鏡4の回転
に伴って被走査媒体7上に複数の走査線A1、A2、A
3を同時に形成する。第1図(d)はイメージローデー
タ3を出射した1自後の光束L1、A2、A3の断面図
であり、Oはイメージローデータ3により回転された光
束Ll、 A2、し3の列と偏向面とのなす回転角であ
る。このとき、βを半導体アレイレーザー1と被走査媒
体7との間の集光々学系2と結像光学系6による合成結
像倍率とすると、走査線A1、A2、A3同志のピッチ
pと発光部]、a、■b、IC同志の間隔dとの間には
、 □p=βd 5irl ・=(1)なる関係があ
る。この(1)式からも明らかなように、イメージロー
データ3の回転により、光束L1、A2、A3の回転角
θが変るため、走査線AI、A2、A3同志のピッチp
を任意の値に設定することが可能となる。
このようにイメージローデータ3の回転により、容易に
精度良く走査線ピッチpを変更することができるが、同
時に形成される複数の走査線A1、A2、A3のピッチ
pを所望の値に設定しても、次の走査により形成される
複数の走査線A1、A2、A3との間のピッチは、回転
多面鏡4の偏向反射面5の倒れに起因してむ′らが生じ
一定値となるとは限らない。
精度良く走査線ピッチpを変更することができるが、同
時に形成される複数の走査線A1、A2、A3のピッチ
pを所望の値に設定しても、次の走査により形成される
複数の走査線A1、A2、A3との間のピッチは、回転
多面鏡4の偏向反射面5の倒れに起因してむ′らが生じ
一定値となるとは限らない。
このピッチむらを除去する方法として、第2図に示す特
開昭56−36622号公報の発明のように、光学系に
よって偏向反射面5の倒れの影響を補正する手段か提案
されている。この第2図において、光源を発した光束り
はシリンドリカルレンズ8により偏向面と直交する断面
内において回転多面鏡4の偏向反射面5」二に結像され
、この偏向反射面5により反射された光束りは、例えば
]・−リックレンズを有する結像光学系9により被走査
媒体7上に点状に結像される。このような手段によれば
、偏向反射面5により反射された光束りは、偏向反射面
5の倒れの如何に拘らず常に被走査媒体7上の同一場所
に結像されることになる。
開昭56−36622号公報の発明のように、光学系に
よって偏向反射面5の倒れの影響を補正する手段か提案
されている。この第2図において、光源を発した光束り
はシリンドリカルレンズ8により偏向面と直交する断面
内において回転多面鏡4の偏向反射面5」二に結像され
、この偏向反射面5により反射された光束りは、例えば
]・−リックレンズを有する結像光学系9により被走査
媒体7上に点状に結像される。このような手段によれば
、偏向反射面5により反射された光束りは、偏向反射面
5の倒れの如何に拘らず常に被走査媒体7上の同一場所
に結像されることになる。
第3図(a)〜(d)は第1図と第2図にそれぞれ示し
た手段を併用した場合の説明図であり、第3図(a)
、 (b)は偏向面内の様子を示し、第3図(c) 、
(d)は偏向面と直交する面内の様子を示している。
た手段を併用した場合の説明図であり、第3図(a)
、 (b)は偏向面内の様子を示し、第3図(c) 、
(d)は偏向面と直交する面内の様子を示している。
この第3図の光走査装頷によれは、先に説明した第1図
、第2図の2つの機能か同時に得られることは明らかで
あるが、また次のような欠点をも有している。
、第2図の2つの機能か同時に得られることは明らかで
あるが、また次のような欠点をも有している。
(1)式におびて、通常り走査線ピ・ンチpを細かくす
るため、pはβdに比して相当に小さいことが要求され
る。即ち、θは小さい角度となり、イメージローデータ
3を出射後の光束Ll、し2、A3は殆ど偏向面内を進
行するため、第3図(b) 、 (c)に示すように、
シリンドリカルレンズ8によって偏向反射面5に形成さ
れる複数の線像B1.82、B3が互いに離れた位置と
なる。このため、第3図(b)に示すように回転多面鏡
4が回転したとき、偏向反射面5による線像81. B
2、B3の鏡像Bl’、B2’ 、 B3’が結像光学
系9の光軸方向に移動し、偏向面と直交する面内で第3
図(d)に示すようにデフォーカスを生ずることになり
、被走査媒体7上の周辺部で特に結像性能が悪化する。
るため、pはβdに比して相当に小さいことが要求され
る。即ち、θは小さい角度となり、イメージローデータ
3を出射後の光束Ll、し2、A3は殆ど偏向面内を進
行するため、第3図(b) 、 (c)に示すように、
シリンドリカルレンズ8によって偏向反射面5に形成さ
れる複数の線像B1.82、B3が互いに離れた位置と
なる。このため、第3図(b)に示すように回転多面鏡
4が回転したとき、偏向反射面5による線像81. B
2、B3の鏡像Bl’、B2’ 、 B3’が結像光学
系9の光軸方向に移動し、偏向面と直交する面内で第3
図(d)に示すようにデフォーカスを生ずることになり
、被走査媒体7上の周辺部で特に結像性能が悪化する。
この現象はシリンドリカルレンズ8をイメージローデー
タ3よりも半導体アレイレーザー1側に配しても同様に
現れる。
タ3よりも半導体アレイレーザー1側に配しても同様に
現れる。
本発明の目的は、上述の欠点を改良し、イメージローデ
ータの回転により走査線ピッチの変更が可能で、しかも
回転多面鏡の偏向反射面の倒れに起因するピッチむらを
除去した光走査媒体を提供することにあり、その要旨は
、光束を走査すべき被走査媒体と、列状に並んだ複数の
発光部を有する光源部と、該光源部より発した複数の光
束を線状にそれぞれ結像する第1光学系と、該第1光学
系による線像の近傍に偏向反射面を有する偏向器と、該
偏向器により偏向された光束を前記被走査媒体にそれぞ
れ結像する第2光学系とを備え、前記第1光学系は、光
・i部側より順次に第1の集光々学系、イメージローデ
ータ、第2の集光々学系とを有し、前記光源部から発す
る複数光束のそれぞれの中心光線が第1の集光々学系を
通過後に交わる点の近傍に前記イメージローデータを配
置し、前記第2の集光々学系を前記交点と偏向器の偏向
反射面とを偏向面内において光学的に共役とするように
配置し、前記イメージローデータを回転Sせることによ
り、前記被走査媒体に結像する複数の光束の間隔を変え
るようにしたことを特徴とするものである。
ータの回転により走査線ピッチの変更が可能で、しかも
回転多面鏡の偏向反射面の倒れに起因するピッチむらを
除去した光走査媒体を提供することにあり、その要旨は
、光束を走査すべき被走査媒体と、列状に並んだ複数の
発光部を有する光源部と、該光源部より発した複数の光
束を線状にそれぞれ結像する第1光学系と、該第1光学
系による線像の近傍に偏向反射面を有する偏向器と、該
偏向器により偏向された光束を前記被走査媒体にそれぞ
れ結像する第2光学系とを備え、前記第1光学系は、光
・i部側より順次に第1の集光々学系、イメージローデ
ータ、第2の集光々学系とを有し、前記光源部から発す
る複数光束のそれぞれの中心光線が第1の集光々学系を
通過後に交わる点の近傍に前記イメージローデータを配
置し、前記第2の集光々学系を前記交点と偏向器の偏向
反射面とを偏向面内において光学的に共役とするように
配置し、前記イメージローデータを回転Sせることによ
り、前記被走査媒体に結像する複数の光束の間隔を変え
るようにしたことを特徴とするものである。
以下に本発明を第4図以下に図示の実施例に基づいて詳
細に説明する。ただし、第1図〜第3図と同一の符号は
同一の郵相を示している。
細に説明する。ただし、第1図〜第3図と同一の符号は
同一の郵相を示している。
第4図において、半導体アレイレーザー1を発した複数
の光束L1、L2、L3は、順次に第1の集光々学系1
0、イメージローデータ3、第2の集光々学系11、回
転多面鏡4、結像光学系9を経由して被走査媒体7に入
用するようになっている。
の光束L1、L2、L3は、順次に第1の集光々学系1
0、イメージローデータ3、第2の集光々学系11、回
転多面鏡4、結像光学系9を経由して被走査媒体7に入
用するようになっている。
そして、光束L1、L2、L3は第1の集光々学系1゜
によりコリメートされた後に、イメージローデータ3に
入射する。このとき、イメージローデータ3は複数光束
L1、L2、L3のそれぞれの中心光線の交点T、即ち
第1の集光々学系ioの射出瞳の中心近傍に配されてい
る。この交点Tは半導体アレイレーザーlのように互い
に平行な複数光束を発することのできる光源にあっては
、第1の集光々学系10の焦点に一致する。イメージロ
ーデータ3を通過した光束L1、l+2、L3は、第1
図(d)に示したように配置を回転され、第2の集光々
学系IJに入射する。この光束L1. L2、し3は第
2の集光々学系11により偏向面と直交する断面内にお
いて、回転多面鏡4の偏向反射面5の近傍に結像されで
複数の線像旧、B2、B3を形成し、偏向反射面5は第
1の集光々学系1oの射出瞳と偏向面内において共役に
なるように配置されている。従って、これらの線像日1
、B2、B3は偏向面内においては同一場所に形成され
、回転多面鏡4が回転しても鏡像Bl’ 、 82’
、 83′にデフォーカスを生ずることはない。このよ
うに形成された線像B1、B2、B3は結像光学系9を
介して被走査媒体7上に結像されることになる。
によりコリメートされた後に、イメージローデータ3に
入射する。このとき、イメージローデータ3は複数光束
L1、L2、L3のそれぞれの中心光線の交点T、即ち
第1の集光々学系ioの射出瞳の中心近傍に配されてい
る。この交点Tは半導体アレイレーザーlのように互い
に平行な複数光束を発することのできる光源にあっては
、第1の集光々学系10の焦点に一致する。イメージロ
ーデータ3を通過した光束L1、l+2、L3は、第1
図(d)に示したように配置を回転され、第2の集光々
学系IJに入射する。この光束L1. L2、し3は第
2の集光々学系11により偏向面と直交する断面内にお
いて、回転多面鏡4の偏向反射面5の近傍に結像されで
複数の線像旧、B2、B3を形成し、偏向反射面5は第
1の集光々学系1oの射出瞳と偏向面内において共役に
なるように配置されている。従って、これらの線像日1
、B2、B3は偏向面内においては同一場所に形成され
、回転多面鏡4が回転しても鏡像Bl’ 、 82’
、 83′にデフォーカスを生ずることはない。このよ
うに形成された線像B1、B2、B3は結像光学系9を
介して被走査媒体7上に結像されることになる。
第5図は第2の集光々学系11の好適な一実施例を示し
、(a)は偏向面内、(b)は偏向面と直交する面内を
図示している。この第2の集光々学系11はシリンドリ
カルレンズ12と球面レンズ13から成り、シリンドリ
カルレンズ12は偏向面内に正のパワーを有し、その物
体側焦点はイメージローデータ3内の光束L1. L2
、L3の交点Tと一致している。球面レンズ13は正の
パワーを有し、シリンドリカルレンズ12の像側に配置
されており、その物体側焦点はシリンドリカルレンズ1
2の像側焦点と一致してこの像側焦点は偏向反射面5上
に存在している。
、(a)は偏向面内、(b)は偏向面と直交する面内を
図示している。この第2の集光々学系11はシリンドリ
カルレンズ12と球面レンズ13から成り、シリンドリ
カルレンズ12は偏向面内に正のパワーを有し、その物
体側焦点はイメージローデータ3内の光束L1. L2
、L3の交点Tと一致している。球面レンズ13は正の
パワーを有し、シリンドリカルレンズ12の像側に配置
されており、その物体側焦点はシリンドリカルレンズ1
2の像側焦点と一致してこの像側焦点は偏向反射面5上
に存在している。
このような第2の集光々学系11により、線像旧、B2
、B3の形成と、第1の集光々学系10と第2の集光々
学系11を併せた光学系の射出瞳を、偏向反射面5上に
同時に形成することが可能となる。また、2つの正の球
面レンズを含むアフォーカルレンズ系に、偏向面と直交
する断面内で正のパワーを持つシリンドリカルレンズを
挿入して第2の集光々学系11としてもよい。更には、
第4図とは逆に第1の集光々学系10に線像旧、B2、
B3を形成する機能を持たせることも可能である。
、B3の形成と、第1の集光々学系10と第2の集光々
学系11を併せた光学系の射出瞳を、偏向反射面5上に
同時に形成することが可能となる。また、2つの正の球
面レンズを含むアフォーカルレンズ系に、偏向面と直交
する断面内で正のパワーを持つシリンドリカルレンズを
挿入して第2の集光々学系11としてもよい。更には、
第4図とは逆に第1の集光々学系10に線像旧、B2、
B3を形成する機能を持たせることも可能である。
第6図においては、第1の集光々学系10は偏向面と直
交する面内で正のパワーを持つ球面レンズ14と、正の
パワーを有するシリンドリカルレンズ15とから成り、
第2の集光々学系11の正の球面レンズ12.13は、
第5図(a)と同様に第1の集光々学系10の射出瞳を
偏向反射面5上に結像している。偏向面内の様子を示す
第6図(a)は第5図(a)と同様の作用を示し、偏向
面と直交する面内を示す第6図(b)においては、第1
の集光々学系11の偏向面内における射出瞳上にシリン
ドリカルレンズ15により光束L1、し2、L3を偏向
面と直交する面内で結像させることにより、偏向反射面
上に線像B1、B2、B3を形成することができる。な
お、ここで第1の集光々学系10或いは第2の集光々学
系11からの射出光束は必ずしもコリメートされている
必要はない。
交する面内で正のパワーを持つ球面レンズ14と、正の
パワーを有するシリンドリカルレンズ15とから成り、
第2の集光々学系11の正の球面レンズ12.13は、
第5図(a)と同様に第1の集光々学系10の射出瞳を
偏向反射面5上に結像している。偏向面内の様子を示す
第6図(a)は第5図(a)と同様の作用を示し、偏向
面と直交する面内を示す第6図(b)においては、第1
の集光々学系11の偏向面内における射出瞳上にシリン
ドリカルレンズ15により光束L1、し2、L3を偏向
面と直交する面内で結像させることにより、偏向反射面
上に線像B1、B2、B3を形成することができる。な
お、ここで第1の集光々学系10或いは第2の集光々学
系11からの射出光束は必ずしもコリメートされている
必要はない。
第1の集光々学系10の射出瞳近くにイメージローデー
タ3を配することは、単にイメージローデータ3を小型
化するだけでなく、次のような応用が可能になる。即ち
、第7図(a)はイメージローデータ3の斜視図であり
、その底面17には第7図(b)に示すように、中央部
で吸収率の高くなるような濃度フィルタ18を接着させ
ることによって、ガウス分布を持つレーザー光束の強度
分布を均一化し、被走査媒体7」二での解像力を高める
ことができる。また、第8図のように一次元のフレネル
レンズ19をイメージローテーク3の底面17に接着し
、シリン1トリ力ルレンズ作用をも持たせれば線像形成
手段として用いることもできる。
タ3を配することは、単にイメージローデータ3を小型
化するだけでなく、次のような応用が可能になる。即ち
、第7図(a)はイメージローデータ3の斜視図であり
、その底面17には第7図(b)に示すように、中央部
で吸収率の高くなるような濃度フィルタ18を接着させ
ることによって、ガウス分布を持つレーザー光束の強度
分布を均一化し、被走査媒体7」二での解像力を高める
ことができる。また、第8図のように一次元のフレネル
レンズ19をイメージローテーク3の底面17に接着し
、シリン1トリ力ルレンズ作用をも持たせれば線像形成
手段として用いることもできる。
このように本発明に係る光走査装置によれば、イメージ
ローテークの回転により容易に複数の光束から成る走査
線ピッチを変更できると共に、回転多面鏡の加工誤差に
起因する偏向反射面の倒れなどによるピッチむらも除去
することができ、良好な光走査が可能となる。
ローテークの回転により容易に複数の光束から成る走査
線ピッチを変更できると共に、回転多面鏡の加工誤差に
起因する偏向反射面の倒れなどによるピッチむらも除去
することができ、良好な光走査が可能となる。
第1図(a)〜(d)は走査線のピッチを可変とする従
来装置の説明図、第2図は偏向反射面の倒れによる走査
線のピッチむらを除去する従来装置の構成図、第3図(
a)〜(d)は第1図、第2図を合成した光走査装置の
説明図、第4図以下は本発明に係る光走査装置の実施例
を示し、第4図はその基本構成図、第5図(a′) 、
(b)及び第6図(a)、(b)はそれぞれ実施例の
説明図、第7図(a)は底面に濃度フィルタを設けたイ
メージローデータノ斜視図、(b)は濃度フィルタの平
面図、第8図は底面にフレネルレンズを設けたイメージ
ローテークの斜視図である。 符号lは半導体アレイレーザー、1a、lb、1cは発
光部、2は集光々学系、3はイメージローテーク、4は
回転多面鏡、5は偏向反射面、7は被走査媒体、9は結
像光学系、10は第1の集光々学系、11は第2の集光
々学系、18は濃度フィルタ、19はフレネルレンズ、
Ll、 L2.’L3は光束、Sl、 B2、B3はス
ポット、A1、A2、A3は走査線、B1.82、B3
は線像、Bl′、 B2’ 、 83’は鏡像である。 特許出願人 キャノン株式会社
来装置の説明図、第2図は偏向反射面の倒れによる走査
線のピッチむらを除去する従来装置の構成図、第3図(
a)〜(d)は第1図、第2図を合成した光走査装置の
説明図、第4図以下は本発明に係る光走査装置の実施例
を示し、第4図はその基本構成図、第5図(a′) 、
(b)及び第6図(a)、(b)はそれぞれ実施例の
説明図、第7図(a)は底面に濃度フィルタを設けたイ
メージローデータノ斜視図、(b)は濃度フィルタの平
面図、第8図は底面にフレネルレンズを設けたイメージ
ローテークの斜視図である。 符号lは半導体アレイレーザー、1a、lb、1cは発
光部、2は集光々学系、3はイメージローテーク、4は
回転多面鏡、5は偏向反射面、7は被走査媒体、9は結
像光学系、10は第1の集光々学系、11は第2の集光
々学系、18は濃度フィルタ、19はフレネルレンズ、
Ll、 L2.’L3は光束、Sl、 B2、B3はス
ポット、A1、A2、A3は走査線、B1.82、B3
は線像、Bl′、 B2’ 、 83’は鏡像である。 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- 1、 光束を走査すべき被走査媒体と、列状に並んだ複
数の発光部を有する光源81)と、該光源部より発した
複数の光束を線状にそれぞれ結像する第1光学系と、該
第1光学系による線像の近傍に偏向反射面を有する偏向
器と、該偏向器により偏向された光束を前記被走査媒体
にそれぞれ結像する第2光学系とを(#Nえ、前記第1
光学系は、光源部側より順次に第1の集光々学系、イメ
ージローデータ、第2の集光々学系とを有し、前記光源
部から発する複数光束のそれぞれの中心光線が第1の集
光々学系を通過後に交わる点の近傍に前記イメージロー
データを配置し、前記第2の集光々学系を前記交点と偏
向器の偏向反射面とを偏向面内において光学的に共役と
するように配置し、前記イメージローデータを回転させ
ることにより、前記被走査媒体に結像する複数の光束の
間隔を変えるようにしたことを特徴とする光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57124776A JPS5915216A (ja) | 1982-07-17 | 1982-07-17 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57124776A JPS5915216A (ja) | 1982-07-17 | 1982-07-17 | 光走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5915216A true JPS5915216A (ja) | 1984-01-26 |
JPH0441324B2 JPH0441324B2 (ja) | 1992-07-08 |
Family
ID=14893826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57124776A Granted JPS5915216A (ja) | 1982-07-17 | 1982-07-17 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5915216A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6192030A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 加速回路 |
US5194982A (en) * | 1989-03-17 | 1993-03-16 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical system |
US5194981A (en) * | 1988-10-21 | 1993-03-16 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Light scanning apparatus |
JP2007108766A (ja) * | 2006-11-06 | 2007-04-26 | Toshiba Corp | マルチビーム露光装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52123701A (en) * | 1976-03-03 | 1977-10-18 | Crosfield Electronics Ltd | Image recording system |
JPS5669610A (en) * | 1979-11-13 | 1981-06-11 | Canon Inc | Scanning optical system having array light source |
JPS56104315A (en) * | 1980-01-24 | 1981-08-20 | Canon Inc | Beam recorder |
-
1982
- 1982-07-17 JP JP57124776A patent/JPS5915216A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2007108766A (ja) * | 2006-11-06 | 2007-04-26 | Toshiba Corp | マルチビーム露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0441324B2 (ja) | 1992-07-08 |
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