JPS59148809A - 格子状パタ−ンを有する表面の欠陥検査方法 - Google Patents
格子状パタ−ンを有する表面の欠陥検査方法Info
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- JPS59148809A JPS59148809A JP2322583A JP2322583A JPS59148809A JP S59148809 A JPS59148809 A JP S59148809A JP 2322583 A JP2322583 A JP 2322583A JP 2322583 A JP2322583 A JP 2322583A JP S59148809 A JPS59148809 A JP S59148809A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えばＣＯＤイメージセンサあるいけその上
に配置するカラーフメルタの表面における数ミクロン以
上の大きさの欠陥ま゛でも検査することができる格子状
パターンを有−１ｉる表′面の欠陥検査方法に関するも
のである。
に配置するカラーフメルタの表面における数ミクロン以
上の大きさの欠陥ま゛でも検査することができる格子状
パターンを有−１ｉる表′面の欠陥検査方法に関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
ＩＣ，ＬＳｉ等の微細構造を持った電子デバイスにおり
てけ、デバイスを構成する半導体材料表面に存在する傷
、異物等の欠陥がデバイス特性を損じることがあり、欠
陥の検査は製造工程において欠かせなめものである。
てけ、デバイスを構成する半導体材料表面に存在する傷
、異物等の欠陥がデバイス特性を損じることがあり、欠
陥の検査は製造工程において欠かせなめものである。
これまで各種の検査方式が検討、実施されているが、基
本的な原理はすべて共通であｐ１第１図に示すものであ
る。検査すべき半導体材料１等の表面１ａは一般に鏡面
状態であり、表面１ａと適当な角度を成す実質的に平行
光とみなせる照明光３は、表面１１１’で正反射し反射
γＣ４となる。
本的な原理はすべて共通であｐ１第１図に示すものであ
る。検査すべき半導体材料１等の表面１ａは一般に鏡面
状態であり、表面１ａと適当な角度を成す実質的に平行
光とみなせる照明光３は、表面１１１’で正反射し反射
γＣ４となる。
表面１ａに異物２が存在すると、照明光３は異物２によ
って散乱反射し、散乱光５となる。暗室等において第１
図のような状態肴・表面１ａの真上から目視で智察する
と、散乱光５だけを見ることになり、暗黒の中に異物６
が輝点として認識される。
って散乱反射し、散乱光５となる。暗室等において第１
図のような状態肴・表面１ａの真上から目視で智察する
と、散乱光５だけを見ることになり、暗黒の中に異物６
が輝点として認識される。
異物の他に傷も同様に観察、さｉｚる０すなわち、鏡面
状の表面１ａ上に存在する凹凸等の段差部で散乱反射す
る光を検出して旨、ることになる。一般にこの様な検査
ケ肉眼で直接目視・する方法全斜光検査あるいは、スポ
ット光検査と称し、顕微鏡でこの様に構成した照明系を
暗視野照明、そのような顕微鏡を暗視野顕微鏡と称−「
る。
状の表面１ａ上に存在する凹凸等の段差部で散乱反射す
る光を検出して旨、ることになる。一般にこの様な検査
ケ肉眼で直接目視・する方法全斜光検査あるいは、スポ
ット光検査と称し、顕微鏡でこの様に構成した照明系を
暗視野照明、そのような顕微鏡を暗視野顕微鏡と称−「
る。
ＩＣ，ＬＳｉ等においては、 半導体材料の表面に酸化
、エツチング等の処ＪＩＪｊによって回路パターンが形
成されており、倣細な凹凸が存在する。したがって、こ
ｈを暗視野顕微鏡で観察でると回路パターンの凹凸段差
部と欠陥の両方で照明光が散乱反射し、欠陥のみを検出
することは極めて困難である。
、エツチング等の処ＪＩＪｊによって回路パターンが形
成されており、倣細な凹凸が存在する。したがって、こ
ｈを暗視野顕微鏡で観察でると回路パターンの凹凸段差
部と欠陥の両方で照明光が散乱反射し、欠陥のみを検出
することは極めて困難である。
近年、ＣＯＤイメージセンサ等の固体撮像素子を用いた
テレビカメラが実用化さｉｔつつあるが、これ全カラー
化するにあたっては、モザイク状等のカラーフィルタを
イメージセンサの上に形成する必要があ−る。第２図は
そのようなカラーフィルタのパターンの一例である。
テレビカメラが実用化さｉｔつつあるが、これ全カラー
化するにあたっては、モザイク状等のカラーフィルタを
イメージセンサの上に形成する必要があ−る。第２図は
そのようなカラーフィルタのパターンの一例である。
モザイク状の各色フィルターはぞれぞ、れイメージセン
サの一画素に対応して力る色フィルターは染色部６とセ
パレータ部７で構成され、染色部６の大きさは、２０μ
ｍ×２５μｍ稈度、またセパレーク部７の幅は３ａｍ−
程度であろ−このセパレータ部７け一般に１ａＷ１以下
の凹形状となっておジ、暗視野顕微鏡で観察するとセパ
レータ部７が輝いて見える。このような格子状のセパレ
ータがある表面の欠陥検査の場合、従来にＬ、格子状パ
ターンノヒノチ等の一様性を利用１７、テレビカメラの
信号を計算機で処理して、欠陥のみ′ｆｃ認識できるよ
うにしたり、パターンマツチング法によって格子状パタ
ーンの信号を抜きとって欠陥を認識したりしていたが、
いずれも大がかりな装置が必要となるばかりでなく、計
算機で信号処理をする段階で時間を要し、高速検査の障
害となっていた。
サの一画素に対応して力る色フィルターは染色部６とセ
パレータ部７で構成され、染色部６の大きさは、２０μ
ｍ×２５μｍ稈度、またセパレーク部７の幅は３ａｍ−
程度であろ−このセパレータ部７け一般に１ａＷ１以下
の凹形状となっておジ、暗視野顕微鏡で観察するとセパ
レータ部７が輝いて見える。このような格子状のセパレ
ータがある表面の欠陥検査の場合、従来にＬ、格子状パ
ターンノヒノチ等の一様性を利用１７、テレビカメラの
信号を計算機で処理して、欠陥のみ′ｆｃ認識できるよ
うにしたり、パターンマツチング法によって格子状パタ
ーンの信号を抜きとって欠陥を認識したりしていたが、
いずれも大がかりな装置が必要となるばかりでなく、計
算機で信号処理をする段階で時間を要し、高速検査の障
害となっていた。
発明の目的
本発明は、上記従来の問題点を解決するもＣ）でＩＣ，
ＬＳＩ行にＣＣ，ＤイメージセンサあるいけＣＯＤイメ
ージセンサの土に配置するモザイク状力う−フメルタ等
の基本的に格子状σ〕／クターンを有する素子の表面に
存在−する比較的大きな（格子状パターンを形状する微
細な凹凸の段差Ｃ）大きさより大きい程度）欠陥全容易
に検出−する方法を提供することケ目的とする０ 発明の構成 本発明は、微細な凹凸によ・〕て形成される格子状パタ
ーンを有する被検査表面に対し、実質的に平行光と見な
せる照明光束を、格子状ノくター・ンの格子と直交しな
り方向から、被検査表面と適宜σ）角度を成して照射し
、被検査表面に存在する傷。
ＬＳＩ行にＣＣ，ＤイメージセンサあるいけＣＯＤイメ
ージセンサの土に配置するモザイク状力う−フメルタ等
の基本的に格子状σ〕／クターンを有する素子の表面に
存在−する比較的大きな（格子状パターンを形状する微
細な凹凸の段差Ｃ）大きさより大きい程度）欠陥全容易
に検出−する方法を提供することケ目的とする０ 発明の構成 本発明は、微細な凹凸によ・〕て形成される格子状パタ
ーンを有する被検査表面に対し、実質的に平行光と見な
せる照明光束を、格子状ノくター・ンの格子と直交しな
り方向から、被検査表面と適宜σ）角度を成して照射し
、被検査表面に存在する傷。
異物等の欠陥によって散乱した光を、被検査表面に垂直
な方向に設けた光検出手段Ｖこよって受光し、前記欠陥
を認識する欠陥検査方法であり、前記照明方法により、
格子部で散乱した）℃の強度を、欠陥によって散乱した
光の強度よりも小さくし、欠陥の認識？容易とし、安価
に高速の倹介を可能とするものである。
な方向に設けた光検出手段Ｖこよって受光し、前記欠陥
を認識する欠陥検査方法であり、前記照明方法により、
格子部で散乱した）℃の強度を、欠陥によって散乱した
光の強度よりも小さくし、欠陥の認識？容易とし、安価
に高速の倹介を可能とするものである。
実施例の説明
喰３図、第４図は本発明実施例に」、−ける格子状パタ
ーンを有する表面の欠陥検査方法の原理゛を説明するた
めの図である。まず第３図ＶＣおいて、斜め方向から平
行光８を物体９に投射−「ると、平和部９ａでは図の方
向に照射し、段差９ｂｆは散乱反射する。物体９の真上
から観察−「ノＬは散乱光によって明瞭に段差９ｂが認
識されるのは第１図で説明した場合と同様である。
ーンを有する表面の欠陥検査方法の原理゛を説明するた
めの図である。まず第３図ＶＣおいて、斜め方向から平
行光８を物体９に投射−「ると、平和部９ａでは図の方
向に照射し、段差９ｂｆは散乱反射する。物体９の真上
から観察−「ノＬは散乱光によって明瞭に段差９ｂが認
識されるのは第１図で説明した場合と同様である。
次に第４図において、物体１０の段差１ｏｂがなだらか
な場合には、平担部１０ａでの反射光も段差１０ｂの斜
面部での反射光も、はぼ同方向に反射され、第３図にお
ける様な散乱光成分は微少である。すなわち、物体１０
ｉ上方から観察しても、段差１ｏｂ全認−＠することは
極めて困難である。
な場合には、平担部１０ａでの反射光も段差１０ｂの斜
面部での反射光も、はぼ同方向に反射され、第３図にお
ける様な散乱光成分は微少である。すなわち、物体１０
ｉ上方から観察しても、段差１ｏｂ全認−＠することは
極めて困難である。
そこで、第２図と同様のカラーフィルタに、第５図に示
すように、カラーフィル２表面と適宜の角度ケ成して、
図の様に８方向から１１．１１’、１２゜１２＜ １
３．１３’、１４．１４’の平行光を投射する場合を考
えると、セパレータ部７の段差による散乱反射の状態は
、照明光１１．１１’および１２．１２’では第３図と
同等であり、照明光１３．’１３’および１４．１４’
では第４図に近いものとなる。その状態は第４図は
どでは無いにせよ、表面に垂直な方向への散乱光成分は
十分に少くなる。・一方表面に存在する欠陥は無定形と
みなせるから散乱光の表面に垂直な方向の成分は、照明
光の投射方向によって急激に変化することはない。
すように、カラーフィル２表面と適宜の角度ケ成して、
図の様に８方向から１１．１１’、１２゜１２＜ １
３．１３’、１４．１４’の平行光を投射する場合を考
えると、セパレータ部７の段差による散乱反射の状態は
、照明光１１．１１’および１２．１２’では第３図と
同等であり、照明光１３．’１３’および１４．１４’
では第４図に近いものとなる。その状態は第４図は
どでは無いにせよ、表面に垂直な方向への散乱光成分は
十分に少くなる。・一方表面に存在する欠陥は無定形と
みなせるから散乱光の表面に垂直な方向の成分は、照明
光の投射方向によって急激に変化することはない。
すなわち、照明光１３．１３’、１４．１４’ によ
れば、欠陥は明るく輝すて見え、セパレータ部７はほと
んど見え々ｂ程度になるため、欠陥の認識が容易となる
。
れば、欠陥は明るく輝すて見え、セパレータ部７はほと
んど見え々ｂ程度になるため、欠陥の認識が容易となる
。
ただし、非常に微小な欠陥、たとえばセパレータ部７０
段差の大きさ程度より小さい欠陥の場合には、それを検
出するためには照明光源の輝度を相当に高くしなければ
ならず、そうなるとセパレータ部７の段差、特に角部で
の散乱光が欠陥による散乱光の強度と同レベルになり、
欠陥と識別することが困難となる。しかし、その様な微
細な欠陥（たとえば１μｍ以下の大きさ）はカラーフィ
ルタの欠陥としては無視できるものであり、本発明によ
る検出対象とはしなくてもよ゛い。
段差の大きさ程度より小さい欠陥の場合には、それを検
出するためには照明光源の輝度を相当に高くしなければ
ならず、そうなるとセパレータ部７の段差、特に角部で
の散乱光が欠陥による散乱光の強度と同レベルになり、
欠陥と識別することが困難となる。しかし、その様な微
細な欠陥（たとえば１μｍ以下の大きさ）はカラーフィ
ルタの欠陥としては無視できるものであり、本発明によ
る検出対象とはしなくてもよ゛い。
次に本発明実施例の構成を第６図に示す。カラーフィル
タ等の試料１６が試料台１５の上に載せられ、真空吸着
等の手段で固定さ五ている。試料台１５ばＸＹテーブル
に連結されて試料１６ｆ！：移動しうる様に構成されて
−る。試料１６の上に顕微鏡の対物レンズ１７が位置し
、拭清１１６の観察像はテレビカメラ１８で撮像し、電
気信号に変換される。
タ等の試料１６が試料台１５の上に載せられ、真空吸着
等の手段で固定さ五ている。試料台１５ばＸＹテーブル
に連結されて試料１６ｆ！：移動しうる様に構成されて
−る。試料１６の上に顕微鏡の対物レンズ１７が位置し
、拭清１１６の観察像はテレビカメラ１８で撮像し、電
気信号に変換される。
照明光源からの光は、実質的に平行な光束２１として送
られ、ミラー１９および２ｏによって試料１６の表面に
導びかれ・る。試料１６の表面と照明光の成す角度θは
、暗視野照明の効果がでるよう適宜の角度を選択してよ
いが、対物レンズ１７のワーキングディスタンスによっ
て制約されることが多い。
られ、ミラー１９および２ｏによって試料１６の表面に
導びかれ・る。試料１６の表面と照明光の成す角度θは
、暗視野照明の効果がでるよう適宜の角度を選択してよ
いが、対物レンズ１７のワーキングディスタンスによっ
て制約されることが多い。
照明光束の試料１６へ投射方向は、第５図に示した様に
、試料１６の表面に存在する格子状パターンと直交しな
い方向に設定しており、モザイク状カラーフィルタの様
な直交格子状パターンの場合には、格子と４６０の角度
を成す方向から照明光を投射するのが適切である。一般
のＩＣ，ＬＳｉのパターンもほぼ直交パターンの組合せ
であり、同様の構成による検査が可能である。
、試料１６の表面に存在する格子状パターンと直交しな
い方向に設定しており、モザイク状カラーフィルタの様
な直交格子状パターンの場合には、格子と４６０の角度
を成す方向から照明光を投射するのが適切である。一般
のＩＣ，ＬＳｉのパターンもほぼ直交パターンの組合せ
であり、同様の構成による検査が可能である。
第７図はテレビカメラ１８の電気信号出力を説明する図
である。信号のレベルＶを縦軸にとり、２３および２６
は格子状パターンの段差部による散乱光、２４および２
７は欠陥による散乱光である。２３．２４の場合の条件
２２は、照明光の強度が低い場合であり、２６．２７の
場合の条件２６は照明光の強度が高く、欠陥の信号２７
のレベルがカメラの飽和レベルＶｓに達している。照、
明光の強度をさらに高めると、格子状パターンの段差部
による散乱光のレベルも飽和レベルＶｓに達するように
なり、格子、と欠陥を識別できなくなる。
である。信号のレベルＶを縦軸にとり、２３および２６
は格子状パターンの段差部による散乱光、２４および２
７は欠陥による散乱光である。２３．２４の場合の条件
２２は、照明光の強度が低い場合であり、２６．２７の
場合の条件２６は照明光の強度が高く、欠陥の信号２７
のレベルがカメラの飽和レベルＶｓに達している。照、
明光の強度をさらに高めると、格子状パターンの段差部
による散乱光のレベルも飽和レベルＶｓに達するように
なり、格子、と欠陥を識別できなくなる。
すなわち、格子状パターンの段差部による散乱光にもと
づく信号レベルが段差の大きさより大きい□欠陥による
散乱光の信号レベルに比べて小さくなるように照明光強
度を設定し、その中間にスレショールドレベルＶＴを設
定し、格子状パターンの段差部より大きい大きさの欠陥
のみ看ｒ検、出＋る。
づく信号レベルが段差の大きさより大きい□欠陥による
散乱光の信号レベルに比べて小さくなるように照明光強
度を設定し、その中間にスレショールドレベルＶＴを設
定し、格子状パターンの段差部より大きい大きさの欠陥
のみ看ｒ検、出＋る。
発明の効果
以上のように、本発明の欠陥検鋒方法は、格子。
状パターンを有する被検査表面に対して、実質的に平行
光と見なせる照明光束？ｒ、格子状パターンと直交しな
い方向から、被検査表面と適宜の角度を成して照射し、
被検査表面に存在−する傷、異物等の欠陥によって散乱
した光を１被検査表面と垂直な方向に設けた光検出手段
Ｖこよって受光し、前記欠陥を認識することにより、簡
単な装置で容易にかつ高速で欠陥検査をすることが可能
であり、その工業的価値は大きい。
光と見なせる照明光束？ｒ、格子状パターンと直交しな
い方向から、被検査表面と適宜の角度を成して照射し、
被検査表面に存在−する傷、異物等の欠陥によって散乱
した光を１被検査表面と垂直な方向に設けた光検出手段
Ｖこよって受光し、前記欠陥を認識することにより、簡
単な装置で容易にかつ高速で欠陥検査をすることが可能
であり、その工業的価値は大きい。
第１図は従来例における検査方法の原理を説明するため
の原理図、第２図は被検査表面ケ例を示す平面図、第３
図〜第５図は本発明の格子状パターンを有′する表面の
欠陥検査方法の原理を説明するための原理図、第６図は
同検査方法を実施した巳 装置の原理図、第７図り、固装＠説明のための特性図で
ある。 １６・・・・被検査物、１７・・・・・対物レンズ、１
８・・・・・・テレビカメラ、１ｇ、２０・・・・・・
ミラー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第 １ 図 第２図 第３図 第６図 ／９ ／’？ 第７図 ？？？５
の原理図、第２図は被検査表面ケ例を示す平面図、第３
図〜第５図は本発明の格子状パターンを有′する表面の
欠陥検査方法の原理を説明するための原理図、第６図は
同検査方法を実施した巳 装置の原理図、第７図り、固装＠説明のための特性図で
ある。 １６・・・・被検査物、１７・・・・・対物レンズ、１
８・・・・・・テレビカメラ、１ｇ、２０・・・・・・
ミラー。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名。 第 １ 図 第２図 第３図 第６図 ／９ ／’？ 第７図 ？？？５
Claims (2)
- （１）微細な凹凸によ−て形成される格子状パターンを
有する被検査表面に′対し、実質的に平行光と見なせる
照明光束を、格子状パターンの格子と直交１〜ない方向
から、被検査表面と適宜の角度？成して照射し、被検査
表面に存在する傷。 異物等の欠陥によって散乱した光を、被検査表面と垂直
な方向に設けた光検出手段によって受光し、前記欠陥を
認識することを特徴とする格子状パターンを有する表面
の欠陥検査方法。 - （２）光検出手段として対物レンズに入射した散乱光を
テレビカメラ等で受光して電気信号に変換するよう構成
し、格子状パターンを形成する微細な凹凸の段差部で散
乱した光にもとづく電気信号レベルが段差の大きさより
大きい欠陥によって散乱した光にもとづく電気信号レベ
ルに比べて小さくなる様に照明光強度を設定し、前記二
種の電気信号レベルの中間にスレッショールドレベルを
設定することによって、格子状パターンを形成する凹凸
の段差の大きさより大きｂ欠陥の
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322583A JPS59148809A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 格子状パタ−ンを有する表面の欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2322583A JPS59148809A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 格子状パタ−ンを有する表面の欠陥検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59148809A true JPS59148809A (ja) | 1984-08-25 |
Family
ID=12104688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2322583A Pending JPS59148809A (ja) | 1983-02-14 | 1983-02-14 | 格子状パタ−ンを有する表面の欠陥検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59148809A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0453433A2 (fr) * | 1990-04-18 | 1991-10-23 | CENTRE DE RECHERCHES METALLURGIQUES CENTRUM VOOR RESEARCH IN DE METALLURGIE Association sans but lucratif | Procédé pour le contrôle automatique de la qualité d'un composant de carrosserie automobile |
-
1983
- 1983-02-14 JP JP2322583A patent/JPS59148809A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0453433A2 (fr) * | 1990-04-18 | 1991-10-23 | CENTRE DE RECHERCHES METALLURGIQUES CENTRUM VOOR RESEARCH IN DE METALLURGIE Association sans but lucratif | Procédé pour le contrôle automatique de la qualité d'un composant de carrosserie automobile |
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