JPS59134540A - 二次電子検出装置 - Google Patents
二次電子検出装置Info
- Publication number
- JPS59134540A JPS59134540A JP58007291A JP729183A JPS59134540A JP S59134540 A JPS59134540 A JP S59134540A JP 58007291 A JP58007291 A JP 58007291A JP 729183 A JP729183 A JP 729183A JP S59134540 A JPS59134540 A JP S59134540A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- secondary electron
- detector
- electron beam
- electric field
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査形電子顕微鏡に係シ、特に対物レンズの上
部より２次電子を効率良く検出する二次電子検出装置に
関する。
部より２次電子を効率良く検出する二次電子検出装置に
関する。
近年、２次電子像の高分解能化を計るために対物レンズ
の焦点距離を短くしてレンズの収差を著しく小さくし、
試料を対物レンズに近接、もしくは対物レンズ間隙を挿
入し、２次電子を対物レンズの上部より取り出す方式が
採用されてきた。
の焦点距離を短くしてレンズの収差を著しく小さくし、
試料を対物レンズに近接、もしくは対物レンズ間隙を挿
入し、２次電子を対物レンズの上部より取り出す方式が
採用されてきた。
しかしながら、低加速電圧の一次電子線は、２次電子検
出器で生ずる２次電子引出し電界によす曲げられ、対物
レンズの軸外を通ることになり、レンズの軸外収差を受
けて高分解能が得られない。
出器で生ずる２次電子引出し電界によす曲げられ、対物
レンズの軸外を通ることになり、レンズの軸外収差を受
けて高分解能が得られない。
一方、２次電子検出器で生ずる２次電子の引出し電界を
弱めると、−次電子線の軸の曲が９を小さくすることが
できるが、十分に２次電子を上方に引出すことが困難に
なり、良質の２次電子像を得ることができなかった。
弱めると、−次電子線の軸の曲が９を小さくすることが
できるが、十分に２次電子を上方に引出すことが困難に
なり、良質の２次電子像を得ることができなかった。
本発明の目的は、上記した従来の欠点をなくし２次電子
検出のための電界による一次電子線の偏向を補正すると
共に、試料から放出された２次電子も効率良〈検出する
二次電子検出装置を提供するにある。
検出のための電界による一次電子線の偏向を補正すると
共に、試料から放出された２次電子も効率良〈検出する
二次電子検出装置を提供するにある。
本発明は２次電子検出器の２次電子引出し電界による一
次電子線の偏向を補正するため、２次電子検出器と直交
して偏向磁界を生ぜしめ、同時にこの偏向磁界は試料か
ら放出された２次電子を検出器側に偏向させるようにし
たものである。
次電子線の偏向を補正するため、２次電子検出器と直交
して偏向磁界を生ぜしめ、同時にこの偏向磁界は試料か
ら放出された２次電子を検出器側に偏向させるようにし
たものである。
以下、実施例によシ詳述する。
第１図は本発明の一実施例であシ断面図を示す。
第２図は第１図のＡ−Ａ’断面を示す図である。
試料１に一次電子線６が照射されると２次電子７が放出
され、対物レンズ２の磁極間隙に生ずる磁場で収束され
つつレンズの上方向に向かい２次電子検出器３で検出さ
れる。
され、対物レンズ２の磁極間隙に生ずる磁場で収束され
つつレンズの上方向に向かい２次電子検出器３で検出さ
れる。
周知の如く２次電子検出器３は検出した２次電子７を加
速して光に変換するために約＋１０ｋＶの電圧が印加さ
れている。同時にこの電圧で生じる電界が対物レンズ２
の上部に構成され、試料ｌから放出される２次電子を誘
導する。同時に一次電子線６の軌道を曲げる結果となる
。そこで第２図のＡ−Ａ’断面で示す如く、２次電子検
出器３と直交する位置にＳ極−Ｎ極を有する補正励磁コ
イル８−１．８−２を設は磁界を形成させる。このよう
に配置して励磁を与えることにより一次電子線６は２次
電子検出器３によって偏向された分だけ補正し、対物レ
ンズ２の中心軸に入射させることができる。
速して光に変換するために約＋１０ｋＶの電圧が印加さ
れている。同時にこの電圧で生じる電界が対物レンズ２
の上部に構成され、試料ｌから放出される２次電子を誘
導する。同時に一次電子線６の軌道を曲げる結果となる
。そこで第２図のＡ−Ａ’断面で示す如く、２次電子検
出器３と直交する位置にＳ極−Ｎ極を有する補正励磁コ
イル８−１．８−２を設は磁界を形成させる。このよう
に配置して励磁を与えることにより一次電子線６は２次
電子検出器３によって偏向された分だけ補正し、対物レ
ンズ２の中心軸に入射させることができる。
補正励磁コイル８−１．８−２を励磁して一次電子線６
の補正を行なう。同時に試料１で放出される２次電子７
はこの補正励磁コイル８−１．８−２によって作られる
磁界によ９２次電子検出器３の側に軌道が曲げられ、２
次電子の補促効率を高めるという効果を同時に発揮させ
ることができる。
の補正を行なう。同時に試料１で放出される２次電子７
はこの補正励磁コイル８−１．８−２によって作られる
磁界によ９２次電子検出器３の側に軌道が曲げられ、２
次電子の補促効率を高めるという効果を同時に発揮させ
ることができる。
このように構成することによシ、−前型子線６が２次電
子検出器３の電界によって曲げられる量だけ補正励磁コ
イル８−１．８−２で補正することができる。特に−前
型子線６を低い加速電圧にして観察することが近年半導
体等の試料において多用されるようになってきているが
、このような場合には大きく対物レンズ２の中心軸から
はずれるため本補正励磁コイル８−１．８−２で補正す
ることによシ、大巾な性向上を計ることができる。
子検出器３の電界によって曲げられる量だけ補正励磁コ
イル８−１．８−２で補正することができる。特に−前
型子線６を低い加速電圧にして観察することが近年半導
体等の試料において多用されるようになってきているが
、このような場合には大きく対物レンズ２の中心軸から
はずれるため本補正励磁コイル８−１．８−２で補正す
ることによシ、大巾な性向上を計ることができる。
尚、２次電子検出器３には例えば正極で１０ｋＶという
ように一定の電圧を印加しておシ、−前型子線６の曲げ
られる量はこの加速電圧に反比例して大きくなる。した
がって補正励磁コイル８−１゜８−２に流す電流は加速
電圧に対して比例する量を供給することにより完全に補
正することができる。
ように一定の電圧を印加しておシ、−前型子線６の曲げ
られる量はこの加速電圧に反比例して大きくなる。した
がって補正励磁コイル８−１゜８−２に流す電流は加速
電圧に対して比例する量を供給することにより完全に補
正することができる。
以上詳述したように本発明によれば２次電子検出器の電
界による一次電子線の軸の曲がりを完全に補正すること
ができると共に、２次電子検出器への２次電子の補促効
率も向上させることができ高分解能で、かつ良質な２次
電子像を得ることができる。
界による一次電子線の軸の曲がりを完全に補正すること
ができると共に、２次電子検出器への２次電子の補促効
率も向上させることができ高分解能で、かつ良質な２次
電子像を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図に
おけるＡ−Ａ’部の断面図、第３図は本発明による一次
電子と２次電子との関係を示す概略図である。 １・・・試料、２・・・対物レンズ、３・・・２次電子
検出器、６・・・−前型子線、７・・・２次電子線、８
・・・補正励磁コイル。 某 １ （２） １２図 ￥３（２）
おけるＡ−Ａ’部の断面図、第３図は本発明による一次
電子と２次電子との関係を示す概略図である。 １・・・試料、２・・・対物レンズ、３・・・２次電子
検出器、６・・・−前型子線、７・・・２次電子線、８
・・・補正励磁コイル。 某 １ （２） １２図 ￥３（２）
Claims (1)
- １、 対物レンズの上部より２次電子を検出して像表示
する走査形電子顕微鏡において、−次電子線を該２次電
子検出器と反対の側に偏向させる手段を有することを特
徴とする二次電子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58007291A JPS59134540A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 二次電子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58007291A JPS59134540A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 二次電子検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59134540A true JPS59134540A (ja) | 1984-08-02 |
Family
ID=11661925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58007291A Pending JPS59134540A (ja) | 1983-01-21 | 1983-01-21 | 二次電子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59134540A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231933A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-02-10 | カメカ | 電子ビ−ム使用の集積回路試験器 |
| JPS62168324A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-07-24 | イーツエーテー インテグレイテツド サーキツト テスチング ゲゼルシヤフト フユア ハルプライタープリユーフテヒニク ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電子線装置内の二次およびまたは後方散乱電子の検出装置 |
| US5149968A (en) * | 1990-09-06 | 1992-09-22 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| WO1996036053A1 (fr) * | 1995-05-12 | 1996-11-14 | Hitachi, Ltd. | Emetteur de faisceaux ioniques pourvu d'un detecteur de particules secondaires et procede de detection de particules secondaires |
-
1983
- 1983-01-21 JP JP58007291A patent/JPS59134540A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6231933A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-02-10 | カメカ | 電子ビ−ム使用の集積回路試験器 |
| JPS62168324A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-07-24 | イーツエーテー インテグレイテツド サーキツト テスチング ゲゼルシヤフト フユア ハルプライタープリユーフテヒニク ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電子線装置内の二次およびまたは後方散乱電子の検出装置 |
| US5149968A (en) * | 1990-09-06 | 1992-09-22 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| WO1996036053A1 (fr) * | 1995-05-12 | 1996-11-14 | Hitachi, Ltd. | Emetteur de faisceaux ioniques pourvu d'un detecteur de particules secondaires et procede de detection de particules secondaires |
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