JPS59108463A - 固体撮像装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、静磁誘導トランジスタを固体撮像装置として
用いた固体撮像装置に関するものである。

従来、固体撮像装置としては、電荷転送素子（ＣＯＤ）
やＭＯＳトランジスタを用いたものな１どが広く用いら
れているが、最近は、それら素子に代るものとして静電
誘導トランジスタ（５ｔａｔｉｃ工ｎｄｕｃｔｉｏｎ　
Ｔｒａｖｓｉｏｔｏｒ以下１ｓＩ’ｌ’素子」という）
を用いたものが研究開発されている。

第１図は、そのＳＩＴ素子をざらに発展させた分離ゲー
ト形のＳＩＴ素子をマトリックス状に配置して構成した
固体撮像装置の回路構成の一例を示したものであり、第
２図はその動作を説明するための波形図である。各Ｓ工
Ｔ素子１−１・１゜１−１・２・・・、ｌ−２・１．１
−２・２・・・は１、ノーマルオフ形のｎチャンネルＳ
ＩＴであって、各絵素を構成し光入力に対する出力ビデ
オ信号をＸＹアドレス方式により読み出すようにしてい
る。

第１図において、各ＳＩＴ素子１−１・ｌ、１−ト２・
・・＋１−２弓−一２・２　■＋・１１のソースは垂直
走査ライン２−１．２−２・・・に、ドレインは基準電
源（図示の例ではアース電位）に、またゲートは水平走
査ライン８−１．８−２・・・にそれぞれ接続されてい
る。そして、その水平走査ライン８−１．８−２・・・
は図示省略の水・・平レジスタからの信号φＧ０．φＧ
ｊＩにより選択され、また垂直走査ライン２−１．２−
２・・・は、図示しない垂直レジスタからの信号φＳ０
．φＳ２により導通するライン選択スイッチ４−１．４
−２・・・を介して読み出し用信号ライン５に選択接続
される構成となっている。

いま、垂直レジスタより垂直走査ライン２−１に第２図
（ａ）に示すφＳ０の信号が印加されると、ライン選択
スイッチ４−１が導通し、１−１−１゜１−１−２・・
・等で示した水平方向の各絵素に対１・・応する各Ｓ、
ＩＴ素子のソース、ドレインが一定電位にバイアスされ
る。この状態において、水平走査ライン１３−１に水平
レジスタより第２図（０）に示すφＧ０が印加されて、
Ｓ工Ｔ素子１−１・１が選択され、そのゲート容量Ｏｇ
に光によって発１・生し蓄積されていた入射光量に見揄
った電荷に対応した電流が、電源６から負荷抵抗７、ス
イッチ４−１、Ｓ工Ｔｌ−１−１を経て流れる。その結
果、負荷抵抗７に生じた電圧降下の変化分が前記Ｓ工Ｔ
素子１−１・１への入九力に対応した出力・・電圧とし
て出力端子８から出力する。このように１して、垂直走
査ライン２−１について、つぎつぎに各ＳＩ’Ｉ’素千
１−１・１．１−１・２・・・から光入力に対応した出
力信号を読み出した後、続いてつぎの垂直走査ライン２
−２が垂直レジスタからの第２図（ｂ）に示す信号φＳ
、によって選択され、さきの場合と同様にその垂直走査
ライン２−２によってソース、ドレインがバイアスされ
る各ＳＩＴ素子１−２・１．１−２・２・・・を同図（
（１）に示す水平レジスタからの信号φＧ１１φＧ、　
ｌ・・・・・により動作させて、順次出力を読み出す。

以下同様な動作の繰り返しによって撮像出力を得るよう
にしている。

すなわち、上述のような固体撮像装置においては、絵素
を構成する個々のＳ工Ｔ素子について、信号読み出しと
信号リセットが同時に行なわれることとなるので、たと
えば、所定のＳ工Ｔ素子１−１・１が選択されてから再
びそのＳＩ’Ｉ’素子が選択されるまでの走査周期によ
ってきまる一定期間のシャッタースピードしか得られな
い。また−′；たとえばφＳ□の信号によりライン選択
スイッチ４１−１が導通して垂直走査ライン２−１に電
源６が印加している状態のとき、水平走査ライン３−１
にφＧ０が１：０．ｕｎ　した場合、同一水平走査ライ
ン３−ＩＪ：、における選ばれていない池のＳＩＴ素千
１−２・ｌ・・・は、ゲート各社Ｏｇに蓄積した入射光
量に応じた電荷の一部が、ソースを通じて放電されるこ
ととなる。テレビジョン撮像においては、およそ５００
ラインのＳＩＴ素子が配置されているので、個々のＳＩ
Ｔ素子がアクセスされるまで１．。

には、光電荷の減少量が初期の信号隋の２０〜８０％に
も達し、無視できる値ではなくなり、また画面にむらを
生じさせる原因となる等の問題がある。

従って、ＳＩＴ素子を絵素にしてマトリックス９状に配
列した上述の如き構成の固体撮像装置においては、全画
面の信号を読み出した後に、一括してリセットするほか
なく、それ以上のシャッタスピード′ｆ：得るためには
、露光制御シャッターとして固体撮像装置外に機械的シ
ャッタを設ける必要・・があった。

本発明の目的は、絵素をＳＩＴ素子によって構成したＳ
ＩＴイメージセンサを用い、高感度かつ良質な画像を得
ることができ、しかも成子的シャッタ機能を付与するに
適した構成を有する固体撮像装置を提供しようとするも
のである。

不発明の固体撮像装置は、静電誘導トランジスタを単位
絵素にしてこれを二次元的に配列し、同一ライン上に並
ぶその静電６導トランジスタを同一ゲート信号ラインと
各別の信号読み出しライン・・・間にそれぞれ介挿しす
るとともに、その各信号読み出しラインをそれぞれスイ
ッタ素子を介してシフトレジスタに接続し、前記各ゲー
ト信号ラインに読み出し信号パルスを順次印加すると同
時に、前記スイッチ素子の全部をそれに同期してそのパ
□ルスとほぼ同時間導通させることにより、前記各信号
読み出しラインを通じて前記静電誘導トランジスタに作
動電圧を印加し、もって各ゲート信号ラインごとに、同
一信号ラインに接続された静電誘導トランジスタから光
入力に対応した蓄積電荷に応じた画像信号を一部に読み
出して前記シフト。

レジスタに入力させ、時系列信号に変換するようにした
ことを特徴とするものである。

以下、不発明を図面に基づいて詳細に説明する。

周知のようにＳＩＴ素子は、光検出感度が高く、集積性
に優れている。本発明は、このような特長を有するＳＩ
Ｔ素子を単位絵素にしてマ）　ＩＪソックス状配列した
ものをＳＩＴイメージセンサとして用いたものである。

第３図は、上述のよりなＳＩ’］ｌ’イメージセンサ・
、。

を用いた不発明の実鴫例の構成の一例を示す回路構成図
である。同図において１−１〜ｌ−ｎはＳＩＴ素子であ
って、それぞれ信号蓄積ゲートにコンデンサＯｇを結合
した構成となっており、マトリックス状に配列され、図
示のようにゲート信号１ライン２−１〜２−Ｈにコンデ
ンサＯｇＦ介してゲートが、また４３号読み出しライン
に３−１〜８−ｎにドレインがそれぞれ接続されている
。それら各信号読み出しライン３−１〜ａ−ｎは、それ
ぞれ直列接続された読み出しライン制御スイッチ・素子
４−１〜４−ｎおよびサンプリングケート用スイッチ素
子５−１〜５−ｎを介して、シフトレジスタたとえば転
送パルスΦ０．Φ、によって駆動する重荷転送素子な用
いたシフトレジスタ６（以下「００Ｄシフトレジスタ」
という。）の対応するレジスタに接続ぎわでいる。また
７−１〜？−ｎは、前記読み出しライン制御スイッチ素
子４−１−’−４−ｎが制御信号ＬＯにより導通したと
き、バイアス電圧ｖｓを関係の各ＳＩＴ素子に印加する
ための負荷抵抗である。

上述のような構成において、いま、２−１で示したゲー
ト信号ラインに、第４図にＧｒで示した０７以上の電位
のリセット信号パルスが加わったときを変える。このと
きそのゲート信号ラインに接続されている全てのＳＩＴ
素子１−１・・・の信・号蓄積ゲートは正となる。従っ
てそれらＳＩＴ素子のゲート、ソース間におけるＰＨ９
きは、順方向にバイアスされ、信号蓄積ゲー）＆こ蓄積
されていた電荷は流れ出し、最終的にその１８号蓄積ゲ
ートの磁位は、そのキャパシタで決まる一定値となる。

一方、各読み出しライン制御スイッチ素子４・−１〜４
−ｎには、前記リセット信号パルスＧｒが少なくとも前
記ゲート信号ラインにｊＪｌｌわっている期間、信号読
み出しライン８−１〜３−ｎを断にする第４図（○）に
示した制御信号ＬＯが加わるようになっている。従って
、リセット信号パルスＧｒがゲート信号ライン２−１に
印加している期間は、各信号読み出しライン８−１〜８
−２が７０−ティング状態となり、そのゲート信号ライ
ン２−■＆こ接続されている各ＳＩＴ素子の信号蓄。

檀ゲートからリセット信号パルスＧｒにより読み出され
た信号は、シフトレジスタ６に入力することなく放出さ
れ確実にリセットされる。

つぎに、そのゲート信号ライン２−１に読み出し信号パ
ルスＲ８を１時間後に力■えると、そのゲート信号ライ
ン２−１に接続されているＳＩＴ素子の信号蓄積ゲート
の磁位は、７時間の間に信号蓄積ゲートに形成すれてい
るフォトダイオードのＰＭ接合に蓄積された醒荷による
磁位と、印加された読み出し信号パルスの磁位の和とな
ってそれ、ぞれのＳＩ’Ｉ’素子はＯＮし、それぞれの
ＳＩＴ素子から光入力に対応した蓄積電荷による光信号
が一斎に読み出される。このとき、各信号読み出しライ
ン８−１〜Ｂ−ｎを０Ｎ−ＯＦＦする読み出しライン制
御スイッチ素子４−１〜４−ｎは、すでに場面状態とな
っている。また、各サンプルゲート用スイッチ素子５−
１〜５−ｎは、制御信号ＳＧとして、第４図（（１）に
示す叩く読み出し信号パルスと同期し、かつ同一時間幅
のパルスがＵＯえられ、同時にＯＮするように構成しで
あるので、同一ゲート信号ラインたとえば、２−１のゲ
ート信号ラインに接続された各ＳＩＴ素子の出力は、同
時にシフトレジスタ６の各対応するレジスタに入力する
こととなる。第４図の（ｅ）は、このようにして−斎に
シフトレジスタ６に入力するｌ水平走査ライン（ゲート
信号ラインに相当。）の画像信号Ｓを示している。

すなわち、以上のような動作を同一ゲート信号ラインに
おいて、■フィールド周期Ｖにより行なわせるようにし
、各ゲート信号ライン２−１〜２・−ｎに１水平走査周
期Ｈのリセット信号パルスＧｒ。

ＧアＩおよび読み出し信号パルスｆｔ８．　Ｒ６’を順
次加えて、各ゲート信号ラインを単位に、同図（ｅ）の
Ｓ／　、　Ｓ／Ｆ・・・のように同一ゲート信号ライン
に接続されているＳＩＴ素子の光出力をＩＨの周期で順
次−斎Ｇこ読み出している。この読み出された画像信号
は、ＣＯＤシフトレジスタ６のそれぞれ対応するレジス
タに一斎に蓄えられ、つぎのゲート信号ラインたとえば
２−２のゲート信号ラインに第４図（ｂ）に示したｌラ
イン期間（ＩＨ）後の１．。

読み出し信号パルスＲｓ／によって、当該ゲート信号ラ
イン２−２に接続されているＳ工Ｔ素子から出力信号が
読み出される前のＩＨ切期間、クロックパルスφ０．φ
２により出力側に全てシフ）され、時系列信号Ｓ。に変
換されて出力端子８からビデオ電出力として取り出され
る。なおりロックパルスφ、。

φ、と読み出し信号パルスＲ８，Ｒｓ’は同期している
ものとする。

以Ｆ順次各ゲート信号ライン２−１〜２−ｎおよび信号
読み出しライン８−１〜ａ−ｎについて・・同様に駆動
することによりビデオ出力端子８から１画面のビデオ信
号Ｓ。（第４図（ｆ））を得ることができる。このよう
にして得られるビデオ信号Ｓｏは、第４図の（ａ）に示
した７時間の露出２行なって得たものであり、この露出
時間Ｔすなわち、シャッタースピードは、リセット信号
パルスＧｒ。

Ｇｒ′のタイミングを同時に変えることによって、ｌ水
平走査周期Ｈを単位に任意に設定できる。

なお第４１ａ　（ａ　）および（ｂｌにおいてψには、
任意のゲート信号ラインを示しており、またψに＋ｘは
そのψに番目のゲート信号ラインに続く次のゲート信号
ラインであることを示している０第５図は、第８図で説
明した上記実施例の構成のものにおいて、インターレー
ス走査を可能にした本発明の他の実施例の構成を示した
ものであつ・て、第３図と同一部分は、同一符号をけし
て示しである。この実施例においては、垂直走査用のレ
ジスタ９から各ゲート信号ライン２−１〜２−Ｈに供給
するリセット信号パルスＧｒ、Ｇｒ′および読み出し信
号パルスＲｓ、　Ｒ８’　（何れも第４図参照）をフィ
ールド周期で＋＋　ｌ　＋＋および°′０″″レベルと
なる制御信号φ１によって０Ｎ−ＯＦＦ”Ｊ”るように
したライン切換用スイッチ素子１０−１〜１０−ｎを介
して、フィールド周期により奇故目のゲート信号ライン
２−１．２−’ｌ・・・および偶数番目のゲート信号ラ
イン２−２．２−４・・・に対し、交互に印加する構成
となっているほかは、前記実睡例と全く同一である。

すなわち、入力端子１１から奇数フィールドで＋；ｔ”
Ｌ”、偶数フィールドでは°°０”レベルの制・御信号
φＦを印加してこれを２分し、その一方により、奇数番
Ｈのフィールド期間中、１０−１　。

１０−８・・・のスイッチ素子を導通させて奇数番目の
ゲート信号ライン２−１．２−８・・・に駆動信号Ｇｒ
、Ｒｓを順次供給する構成となっている。□また、他方
は反転回路１２を介して前記制御信号φＦを１０−２．
１０−４・・・で示したライン切換用スイッチ素子に導
き、偶数番目のフィールド期間中それらスイッチ素子１
０−２．１Ｏ−４ｉＯＮＩ、、垂直走査用レジスタ９か
らのリセット信号パルスＧ１−　％読み出し信号パルス
Ｒｓを偶数番目のゲート信号ライン２−２．２−８・・
・に順次供給するようにしている。

この実施例におけるリセット動作および信号読み出し動
作の関係は、奇数番目のフィールドと偶数番目のフィー
ルドについて飛び越し走査により、各別の撮像出力が得
られるように動作するほかは、ざきの実施例の場合と同
様であるので、その説明を省略する。このようにしてビ
デオ出力端子８がらは、奇偶者フィールド信号よりなる
フレームのビデオ信号が得られる。

なお、テレビジョン標準方式のビデオ信号を得るために
は、垂直絵素数を４９０以上、水平絵素数２４００〜７
００とすることが望ましく、各ゲート信号ライン２−１
″−２−ｎに順次加えるψＧ・（リセット信号パルスＧ
ｒ、Ｇｒ′・・・および読み出し信号パルスＲｓ、　Ｒ
８／・・・を総称してψＧという。）のパルス間隔は、
ＩＨ中６８．５μｓｅｃ　、そのパルス幅はｔ　ｏ　ｏ
　ｎ５ｅｃ前後とし、また、ＣＯＤシフトレジスチ６の
駆動パルスφ０．φ２の周波数は、水平画素数に関連し
て６　ＭＩ（Ｚ〜１０　ＭＩ２とすればよい。なお、こ
こで同一ゲート信号ライン中に、読み出し信号パルスＲ
ｓに引続いてリセット信号パルスＧｒを供給した場合、
各絵素を構成するＳＩＴの光電荷蓄積時間は、ｌｖ中ａ
ａ、ａ　ｍ５ｅａとなり毎秒８０フレームの動画が撮像
できることとなる。

第６図は、本発明の固体撮像装置に用いるＳＩＴ素子に
よるイメージセンサの構造の一例を示した断面図である
。

同図において、１３はＳｉ基板であって、この。

基板上にＳＩＴ素子ｌ、読み出しライン制御スイッチ素
子を構成するｎチャンネルＭＯ８）ランジスタ傷ならひ
に、サンプリングゲート用スイッチ素子を構成する０Ｏ
Ｄ５およびＣＯＤシフトレジスタ６を一体に形成した構
成となっている。また図１中、１４はＳＩＴ信号蓄積ゲ
ート、１５はＳＩＴソース、１６はＳＩＴ分離ゲート、
１７はＳ工Ｔドレイン、１９．２０および２１はＭＯＳ
　）ランジスタ４のソース、ゲートおよびドレイン、１
９はＳＩＴ素子１のドレイン、２１はシールディン・グ
抵抗であり、このシールディング抵［２ｘお、よび負荷
抵抗７は、ともにｉｔ　ｇｖ６にそれぞれ接続される。

さらに、２２は信号読み出しライン制御信号Ｌ０，２８
はサンプル制御信号ＳＧ、２４は００Ｄシフトレジスタ
６の駆動用クロックパルスのそれぞれ入力端子であり、
２５は、ゲート信号ラインへの接続端子である。

なお、第８図および第５図に示した各実施例においては
、シフトレジスタ６としてＣＯＤを用いた例について説
明したが、たとえばＣＯＤシフトレジスタ６に代えて、
各信号読み出しライン８−１〜８−Ｈに読み出された信
号を保持するキャパシタをそれぞれ設け、このキャパシ
タを別に設けたデジタルシフトレジスタにより駆動され
るトランジスタによって順次に走査することにより、第
・４図（ｆ）に示す時系列信号を得るようにしてもよい
。

以上詳細に説明したように本発明によれば、ゲート信号
ラインに読み出し信号パルスを加えて、同一ゲート信号
ラインに接続されたＳＩＴ素子をｍ位に、同一ゲート信
号ラインのＳＩＴ素子から１−斎に光出力信号を読み出
し、これをシフトレジスタに同時に蓄えて、つぎのゲー
ト信号ラインのＳＩ’Ｉ’素子から光出力信号が一斎Ｇ
こ読み出されるまでの期間中に時系列信号に変換してビ
デオ信号を得るようにしているので、アクセスされてい
ないＳＩＴ素子には読み出し信号パルスは印加すること
がない。従って、従来装置におけるが如きアクセスされ
ていないセルの蓄積電荷の低下現象は生じないので、撮
像出力の画質が著しく改善され・る効果がある。また、
Ｓ工Ｔ素子の蓄積電荷を前記ゲート信号ライン単位（ｌ
ライン）のタイミングでリセットし得るように構成し、
さらにはインターライン方式により撮像するように構成
することも、前記各実施例で説明したように極めて容易
・であり、しかも絵素にＳＩＴ素子を用いているので、
シャッタ機能を有し、かつ感度、画質とも優れた固体撮
像装置を提供することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、Ｓ工Ｔ素子を用いた従来の固体撮像・・装置
の一例を示す回路構成図、 第２図は、第１図のものの駆動信号のタイミングを示す
波形図、 第８図は、本発明の実施例の一例を示す回路構成図、 第４図は、第８図の実施例における各信号のタイミング
の関係を示す波形図、 第５図は、本発明の池の実施例の回路構成図、第６図は
、本発明固体撮像装置の構造の一例を示す断面図である
。 １．１−１〜１−ｎ・・・絵素を構成する静電誘導トラ
ンジスタ２−１〜２−ｎ・・・ゲート信号ライン８＝１
〜８−ｎ・・・信号読み出しライン４．４−１〜４−ｎ
・・・読み出しライン制御スイッチ素子５．５−１〜５
−ｎ・・・サンプリングゲート用スイッチ素子６・・・
ＯＯＤシフトレジスタ ７．７−１〜７−ｎ・・・負荷抵抗 ８・・・ビデオ出力端子 ９・・・垂直走査用レジスタ １０−１〜１０−ｎ・・・ライン切換用スイッチ素−子
１１・・・奇偶切換用制御入力端子 １２・・・反転回路 １８・・・８１基板 １４・・・ＳＩＴ信号蓄積ゲート １６・・・ＳＩＴソース １６・・・ＳＩＴ分離ゲート １７・・・ＳＩＴドレイン １８・・・ＭＯＳ　）ランジスタソース１９・・・ＭＯ
Ｓ）ランジスタゲート ２０・・・ＭＯＳ）ランジスタドレイン２１・・・シー
ルディング抵抗 ２２・・・信号読み出しライン制御信号入力端子２８・
・・サンプル制御信号入力端子 ２４・・・クロックパルス信号入力端子２５・・・ゲー
ト信号ライン接続端子。 第１図 第２図 （ｄ）−−イ糧」−一 手続補正書 昭和５８年１２月　２４日 １、事件の表示 昭和５７年　特許願第２１７７５８号 ２、発明の名称 固体撮像装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 （０３７）　　オリンパス光学工業株式会社西　　澤　
　潤　　− 電話（５８１）　２２４１番（代表） 説明」の欄、「図面」 ７、補正の内容（別紙の通り） １、明細書第８頁第１２行の「スイッタ素子」をを「ス
イッチ素子」と訂正する。 ２、同第９頁第１２行の「ｌ−１〜１−ｎＪをｒｌ−１
・１〜１−ｎ−ｎは」と訂正する。 ３、同第１Ｏ頁第１４〜１６行の「ときを変える。 −ｍ−の信」を「ときを考える。このときのゲート信号
ライン２−１に接続されている全てのＳＩＴ素子ｌ−１
−１−１−１−ｎの信」と訂正する。 ４、同第１５頁第１０行の「Ｌ′」を「°°１°′」１
・・と訂正する。 ５同第１６頁第１９〜２０行の「００Ｄシフトレジスチ
６」をｒｏ　ＯＤシフトレジスタ６」と訂正する。 ６同第１７頁第１８行のｒｌ９，２０および２１’は」
を「１８．１９および２０は」と訂正し、同頁第１９〜
２０行の「１９はＳＩＴ素子１のドレイン、」を削除す
る。 ７、同第２０頁第１１行のｒｉ　、１−１〜１−ｎ」を
「１−１・１〜１−ｎ−ｎＪと訂正する。　□□８図面
中、第８図、第５図および第６図を別紙訂ｌ正図のとお
りに訂正する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　　５ｉｔｓ導トランジスタを単位絵素にしてこれを
   二次元的に配列し、同一ライン上に並ぶその静電誘導ト
   ランジスタを同一ゲート信号ラインと各別の信号読み出
   しライン間にそれぞれ介挿するとともに、その信号読み
   出しラインをそれぞれスイッチ素子を介してシフトレジ
   スタに接続し、前記各ゲート信号ラインに読み出し信号
   パルスを順次印加すると同時に、前記スイッチ素子の全
   部をそれに同期してそのパルスとほぼ同時間導通させる
   ことにより、前記各信号読み出しラインを通じて前記静
   電誘導トランジスタに作動電圧を印加し、もって各ゲー
   ト信号ラインごとに、同一信号ラインに接続された静電
   誘導トランジスタから光入力に対応した蓄積電荷に応じ
   た画像信号を一斎に読み出して前記シフトレジスタに人
   力させ、時系列信号に変換するようにしたことを特徴と
   する固体撮像装置。 区　前記読み出し信号パルスおよび前記スイッチ素子を
   制御するための制御信号を、前記シフトレジスタを駆動
   するためのクロックパルスと同期させ、前記読み出し信
   号パルスかつぎのゲート信号ラインに印加する前に、前
   記シフトレジスタを絵素ｌライン分をシフトさせること
   により、つぎのゲート信号ラインに読み出し信号が印加
   して一斎に読み出される入力信号の記憶に備えるように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の固
   体撮像装置。 ＆　フィールド周期に関連して奇数番目のゲート信号ラ
   インのみ、もしくは偶数番目のゲート信号ラインのみを
   交互に選択して、ライン周期により順次に対応するゲー
   ト信号ラインＬのＦ！！電誘導トランジスタから一斎に
   光入力に対応した蓄積電荷に応じた画像信号を読み出す
   ことにより、飛越走査方式の映像信号出力を得るように
   したことを特徴とする特許または第２項に記載の固体撮
   像装Ｗ。 ４＆　前記読み出し信号パルスより早いタイミングを有
   し、絵素を構成する静電誘導トランジスタのゲート、ド
   レイン間のＰＮＮ１３順方向とするに足りる正電位のリ
   セット信号パルスを前記読み出し信号パルスに先立って
   前記各ゲート信号ラインに印１］［１することよりゲー
   ト信号ラインごとに順次静電誘導トランジスタの蓄積電
   荷をリセットするようにし、そのリセットのタイミング
   を変えることによって１・・リセット時点から読み出し
   時点までの露出時間を１ライン時間を単位時間にして任
   意に変えるようにしたことを特徴とする特許請求の範１
   」第１項、第２項または第８項に記載の固体撮像装置。