JPS59101596A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS59101596A JPS59101596A JP21181282A JP21181282A JPS59101596A JP S59101596 A JPS59101596 A JP S59101596A JP 21181282 A JP21181282 A JP 21181282A JP 21181282 A JP21181282 A JP 21181282A JP S59101596 A JPS59101596 A JP S59101596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- thrust
- bearing
- molecular pump
- turbo
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はターボ分子ポンプに関するものである。
ターボ分子ポンプは#IJKと固定翼とを交互に数段な
いし数十段組み合せ、#]翼を数カrpmの回転数で回
転させることにより、気体分子を一方向に移すコさせ、
品冥至を得る装置である。従来、切Aを担持するロータ
を文水する軸受として転り1.l[II受が使用されて
きたが、潤1′#刑の漏洩ないし蒸発、波紋による真空
の汚染を避けるために磁気軸受を使用したものも知らn
ている。
いし数十段組み合せ、#]翼を数カrpmの回転数で回
転させることにより、気体分子を一方向に移すコさせ、
品冥至を得る装置である。従来、切Aを担持するロータ
を文水する軸受として転り1.l[II受が使用されて
きたが、潤1′#刑の漏洩ないし蒸発、波紋による真空
の汚染を避けるために磁気軸受を使用したものも知らn
ている。
第7図は磁気軸受を便用したターボ分子ポンプの一例を
示す。この公知のターボ分子ボンブでは、ロータ111
が、鉛直に固定された一定軸(2)に磁気的なスラスト
軸受13ノおよびラジアルl1qIl受(4)を介して
支承されており、スラスト軸受(3)ならびにラジアル
軸受+41は、中空ロータIllによってl4された低
真空空1tjtl 151内に位置している。
示す。この公知のターボ分子ボンブでは、ロータ111
が、鉛直に固定された一定軸(2)に磁気的なスラスト
軸受13ノおよびラジアルl1qIl受(4)を介して
支承されており、スラスト軸受(3)ならびにラジアル
軸受+41は、中空ロータIllによってl4された低
真空空1tjtl 151内に位置している。
しかしながら、電電の大きなスラスト磁気軸受全体がロ
ータによって囲1絖された低真碧空面内に配dさnてA
るため、ロータの軸方向重心がコケ所のラジアル111
1]受に対して一方よりに大きく偏り、ロータ回転(通
常コルJ万rpm )時に上・下ラジアル磁−A軸受の
うらスラスト軸受に近い方の軸受負イajがJj4虜に
大きくなり、ロータ回転が不安定となり易い。そn故当
該ラジアル磁気軸受の犬績化が必要となる。加えてこの
公知のタルボ分子ポンプは、/個所のスラスト軸受の電
磁力全ロータ自重と釣合わせるように制御することによ
り、スラスト軸受の置能を果す偉遣であるため、ロータ
の回伝軸を水平に設置して横−@でl走用することは不
iJ Theである。
ータによって囲1絖された低真碧空面内に配dさnてA
るため、ロータの軸方向重心がコケ所のラジアル111
1]受に対して一方よりに大きく偏り、ロータ回転(通
常コルJ万rpm )時に上・下ラジアル磁−A軸受の
うらスラスト軸受に近い方の軸受負イajがJj4虜に
大きくなり、ロータ回転が不安定となり易い。そn故当
該ラジアル磁気軸受の犬績化が必要となる。加えてこの
公知のタルボ分子ポンプは、/個所のスラスト軸受の電
磁力全ロータ自重と釣合わせるように制御することによ
り、スラスト軸受の置能を果す偉遣であるため、ロータ
の回伝軸を水平に設置して横−@でl走用することは不
iJ Theである。
コノ発明はロータの一方回瓢心がコケ所のラジアルl1
illl受に対して一方よシに閾らず、従ってラジアル
嫌気軸受に作用する力が均一化し、スラスト軸受に近い
方のラジアル軸受の、従ってまたターボ分子ポンプ全体
の、小型・軽量化の図れるターボ分子ポンプを提供せん
とするものである。
illl受に対して一方よシに閾らず、従ってラジアル
嫌気軸受に作用する力が均一化し、スラスト軸受に近い
方のラジアル軸受の、従ってまたターボ分子ポンプ全体
の、小型・軽量化の図れるターボ分子ポンプを提供せん
とするものである。
史に、この発明は縦置き、横置きの何れにても使用でき
るターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
るターボ分子ポンプを提供することを目的とする。
このためにこの発明は、11]^ヲ(ハ持するロータを
、固定翼を備えるハクジングに固定した軸に磁気的なス
ラストh−よびラジアル軸受を介して支承してなるター
ボ分子ポンプに2いて、ハクジング側に固設した+1制
御電磁石と、これに対応してロータの高真2I!呈側踊
部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受**yするもので
ある。
、固定翼を備えるハクジングに固定した軸に磁気的なス
ラストh−よびラジアル軸受を介して支承してなるター
ボ分子ポンプに2いて、ハクジング側に固設した+1制
御電磁石と、これに対応してロータの高真2I!呈側踊
部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受**yするもので
ある。
またこの発明は、ロータの低臭′JI!呈側端部に継妖
t−設けるとともに、これに対応してハクジング側に・
螺磁石t−設けてもう7つのスフスト軸受t″411成
するものである。
t−設けるとともに、これに対応してハクジング側に・
螺磁石t−設けてもう7つのスフスト軸受t″411成
するものである。
史にこの発明の/実施例によると、高真′!I!憲測に
設け7ヒスラストIIIIII受のbjlJ御4磁石の
コイルを非磁性金属部材を用いて督封しである。
設け7ヒスラストIIIIII受のbjlJ御4磁石の
コイルを非磁性金属部材を用いて督封しである。
図面に示す実施例につき説明すると次の通りである。
第2図において、ターボ分子ポンプはハクジング(11
)に固定した固定dt121と、回転目在のロータU樽
に担持された動翼圓を・ぼし、−短翼+121に対する
動翼1141の回転により、気体分子を品真空ヱ115
1から低A空室lJQへ嵌送する。気体分子は接続部Q
ηを経て補助A空ポンプ(図示せず)により排気される
。
)に固定した固定dt121と、回転目在のロータU樽
に担持された動翼圓を・ぼし、−短翼+121に対する
動翼1141の回転により、気体分子を品真空ヱ115
1から低A空室lJQへ嵌送する。気体分子は接続部Q
ηを経て補助A空ポンプ(図示せず)により排気される
。
@翼圓を1旦神すめロータ州はラジアル方向、スラスト
方向共に@′A軸受によって支承され、尚核ターボ分子
ポンプの汀幼なポンプ特性を得るためにおよそ周速、2
00m/θeQ以上で回転する0このロータ州の駆助は
、1gI定輔帖に収り付はノヒステータklillと回
転部材刊)とから収る電動モータで行う。
方向共に@′A軸受によって支承され、尚核ターボ分子
ポンプの汀幼なポンプ特性を得るためにおよそ周速、2
00m/θeQ以上で回転する0このロータ州の駆助は
、1gI定輔帖に収り付はノヒステータklillと回
転部材刊)とから収る電動モータで行う。
ロータVlalの生性方向の1IIIil承を受は持つ
ラジアル軸受は一定1llI!1lI81に設けた′4
磁石スυとこれに対応してロータ内径都に設けた継鉄@
、およびラジアル方向位置センサムで構威し、位置セン
サで検出したロータの偏心量が減少するように電磁石2
υの電流を−」御することにより、ロータ(Ialをラ
ジアル方向適所に支承する。スラスト軸受はハクジング
[111側に一般した哨御這磁石1詞と、これに対応し
てロータOI璃具空呈111II喘部に設けた強磁性体
の継鉄四、2よびスラスト位置センサ圀で構成し、高真
pg−内に位置する。
ラジアル軸受は一定1llI!1lI81に設けた′4
磁石スυとこれに対応してロータ内径都に設けた継鉄@
、およびラジアル方向位置センサムで構威し、位置セン
サで検出したロータの偏心量が減少するように電磁石2
υの電流を−」御することにより、ロータ(Ialをラ
ジアル方向適所に支承する。スラスト軸受はハクジング
[111側に一般した哨御這磁石1詞と、これに対応し
てロータOI璃具空呈111II喘部に設けた強磁性体
の継鉄四、2よびスラスト位置センサ圀で構成し、高真
pg−内に位置する。
スラスト磁気軸受を高真′!E、室に配置することは、
従来、コイル被榎材のガス放出の理由から不利であると
されてきたが、■u御屯磁石+241のコイル1271
を密封してしまうことによりこの間鴫は解決できる。例
えVi第2図の実施例では、非磁性金属部材dとターボ
分子ポンプの性能を害するガスを放出させないシール部
材四とでコイル2711g 密封する。別の実泥例とし
ては、第3図に示すように、レーザービーム溶接技術或
いは電子ビーム6接技術を利用し、電磁石+2!4に非
磁性金y= l:+ulをド接してコイル+271を密
罰することもできる。岨1は溶接部を示す。向、非磁性
金属を用いる理由は、磁気ループに影響を与えることな
くかかる密封を行うためである。
従来、コイル被榎材のガス放出の理由から不利であると
されてきたが、■u御屯磁石+241のコイル1271
を密封してしまうことによりこの間鴫は解決できる。例
えVi第2図の実施例では、非磁性金属部材dとターボ
分子ポンプの性能を害するガスを放出させないシール部
材四とでコイル2711g 密封する。別の実泥例とし
ては、第3図に示すように、レーザービーム溶接技術或
いは電子ビーム6接技術を利用し、電磁石+2!4に非
磁性金y= l:+ulをド接してコイル+271を密
罰することもできる。岨1は溶接部を示す。向、非磁性
金属を用いる理由は、磁気ループに影響を与えることな
くかかる密封を行うためである。
更に、低臭望虱囮側において、ロータ霞の下端部にスラ
スト磁気軸受を設けることもできる。例えば、ハ9ジン
グ(11)に固設した電磁6關とこれに対応してローフ
端部に形成し次傭磁性体の継鉄間とでスラスト磁気軸受
を構成する。この場合、ロータの回転1.ll111に
鉛直方間に設置して使用するときには電磁石−4に通′
鴫せず、吸引力がロータ口直と釣合うようにスラスト磁
気軸受をid制御し、またロータの回転軸を水平にした
状憑でロータθを回伝させるときに−ま峨磁石βカに堰
′槻してロータ目旭Vc相当する電磁吸引力を与える。
スト磁気軸受を設けることもできる。例えば、ハ9ジン
グ(11)に固設した電磁6關とこれに対応してローフ
端部に形成し次傭磁性体の継鉄間とでスラスト磁気軸受
を構成する。この場合、ロータの回転1.ll111に
鉛直方間に設置して使用するときには電磁石−4に通′
鴫せず、吸引力がロータ口直と釣合うようにスラスト磁
気軸受をid制御し、またロータの回転軸を水平にした
状憑でロータθを回伝させるときに−ま峨磁石βカに堰
′槻してロータ目旭Vc相当する電磁吸引力を与える。
尚、スラスト磁気軸受tJ 1251の゛電磁力制御範
囲が十分大なる場合に−よ、°−磁石肋の朋゛螺作鯛状
思でロータ縦直運転が口■匝である。
囲が十分大なる場合に−よ、°−磁石肋の朋゛螺作鯛状
思でロータ縦直運転が口■匝である。
唸り軸覚隻秀fi典常時の保i用であって、磁気軸受に
異′mが生じた場合に幡蛍外輪がロータUa+に接触し
て伝り軸受としての機能を果すものである。
異′mが生じた場合に幡蛍外輪がロータUa+に接触し
て伝り軸受としての機能を果すものである。
以上説明しIヒようにこの発1月のターボ分子ポンプは
、動Rを担持するロータを、固定翼を備えるハウジング
に固定した軸に磁気的なスラストおよびラジアル軸受を
イトして支承してなるターボ分子ポンプにおいて、ハウ
ジング側に固設した制御電磁石と、これに対応してロー
タの高真空室側端部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受
を構成したから、ロータ輔方向坂心がノブ所のラジアル
軸受に対して一方にかたよらず、ラジアル1IIIjI
受に作用する力が均一化し、従ってスラスト軸受に近い
方のラジアル1ilIiI受の、延いては当該ターボ分
子ポンプ全体の、小型・軽量化を図ることができる。
、動Rを担持するロータを、固定翼を備えるハウジング
に固定した軸に磁気的なスラストおよびラジアル軸受を
イトして支承してなるターボ分子ポンプにおいて、ハウ
ジング側に固設した制御電磁石と、これに対応してロー
タの高真空室側端部に設けた継鉄とで前記スラスト軸受
を構成したから、ロータ輔方向坂心がノブ所のラジアル
軸受に対して一方にかたよらず、ラジアル1IIIjI
受に作用する力が均一化し、従ってスラスト軸受に近い
方のラジアル1ilIiI受の、延いては当該ターボ分
子ポンプ全体の、小型・軽量化を図ることができる。
更にこの発明のターボ分子ポンプは、前記ロータの低臭
′!!!室側Xl1iil都に継鉄を設けるとともに、
これiC対応してハウジング側に屯磁石lt設けてもう
1つのスラスト軸受を構成したから、通常の縦直のみな
らずロータ横1での運転も可能Il!:なり、当該ター
ボ分子ポンプの使用条件が大きく拡大される。
′!!!室側Xl1iil都に継鉄を設けるとともに、
これiC対応してハウジング側に屯磁石lt設けてもう
1つのスラスト軸受を構成したから、通常の縦直のみな
らずロータ横1での運転も可能Il!:なり、当該ター
ボ分子ポンプの使用条件が大きく拡大される。
第1図は従来のターボ分子ポンプの立鹸面図、第2図は
本発明の一夫施例たるターボ分子ポンプの軸方同断面図
、第3図ti第2図に示すターボ分子ポンプの改変例を
示す部分図である。 +111−・ハウジング、1121・・固定翼、瞥・−
ロータ、1141・・動翼、1151嗜e高真空虱、賭
・・低臭21!!尾、賭・・1d定軸、曲・・′電磁石
、磯・・継鉄、12al@・ラジアル方向位置センサ、
Q!lI221□□□・・ラジアル磁気軸受、17!4
1・−電磁石、噛・・継鉄、処・・スラスト方向位置セ
ンサ、I’144破四・・スラスト磁気軸受、乃)・・
コイル、12a−・・井磁性金属部相、四・・シール部
材、β力・・電磁石、關・e継鉄。 特許出顔人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリンク1
チーN±第1vA
本発明の一夫施例たるターボ分子ポンプの軸方同断面図
、第3図ti第2図に示すターボ分子ポンプの改変例を
示す部分図である。 +111−・ハウジング、1121・・固定翼、瞥・−
ロータ、1141・・動翼、1151嗜e高真空虱、賭
・・低臭21!!尾、賭・・1d定軸、曲・・′電磁石
、磯・・継鉄、12al@・ラジアル方向位置センサ、
Q!lI221□□□・・ラジアル磁気軸受、17!4
1・−電磁石、噛・・継鉄、処・・スラスト方向位置セ
ンサ、I’144破四・・スラスト磁気軸受、乃)・・
コイル、12a−・・井磁性金属部相、四・・シール部
材、β力・・電磁石、關・e継鉄。 特許出顔人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリンク1
チーN±第1vA
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ill il]翼を担持するロータを、固定翼を備え
るハクジングにlI!i1足した軸に磁気的なスラスト
およびラジアル軸受を介して支承してなるターボ分子ポ
ンプに2いて、ノ)クジング側に固設した制御電磁石と
、これに対応してロータの筒真空室側端部に設けた継鉄
とでiす記スラスト軸受を構成したことを特徴とするタ
ーボ分子ポンプ(2) 動萬を担持するロータを、−
足翼を1捕えるハクジングに1疋した軸に磁気円なスラ
ストお−よびラジアル軸受をづトして支承してなるター
ボ分子ポンプに1−いて、ノ・クジング側に固設した制
御電磁石と、これに対応してロータの高真空室側端部に
設けた継鉄とで前記スラストll1ll]受を構成し、
LつX miJ記ロータの低真空室側端部に継鉄を設け
るとともに、これに対応してノ・クジング測に電磁石を
設けてもう7つのスラスト軸受を構成したことを特徴と
するターボ分子ポンプ。 (3)高真2I!m側lC設けた前記スラスト軸受のu
il記制御il也磁石のコイルを、非磁性金属部材を用
^て密封したことを特徴とする特許li#米の範囲の已
載/またはコのターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21181282A JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21181282A JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59101596A true JPS59101596A (ja) | 1984-06-12 |
Family
ID=16611997
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21181282A Pending JPS59101596A (ja) | 1982-12-01 | 1982-12-01 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59101596A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
JP2011529542A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
JP2017148406A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 富士フイルム株式会社 | 内視鏡 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5038811A (ja) * | 1973-07-21 | 1975-04-10 | ||
JPS5160005A (ja) * | 1974-09-27 | 1976-05-25 | Barutsuerusu Patento Unto Beta |
-
1982
- 1982-12-01 JP JP21181282A patent/JPS59101596A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5038811A (ja) * | 1973-07-21 | 1975-04-10 | ||
JPS5160005A (ja) * | 1974-09-27 | 1976-05-25 | Barutsuerusu Patento Unto Beta |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000205183A (ja) * | 1999-01-13 | 2000-07-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | タ―ボ分子ポンプ |
JP2011529542A (ja) * | 2008-07-31 | 2011-12-08 | オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
US8814542B2 (en) | 2008-07-31 | 2014-08-26 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
JP2017148406A (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 富士フイルム株式会社 | 内視鏡 |
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