JPS5896788A - 横流式ガスレ−ザ装置 - Google Patents
横流式ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5896788A JPS5896788A JP19364581A JP19364581A JPS5896788A JP S5896788 A JPS5896788 A JP S5896788A JP 19364581 A JP19364581 A JP 19364581A JP 19364581 A JP19364581 A JP 19364581A JP S5896788 A JPS5896788 A JP S5896788A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- mirror
- flow type
- gas
- laser gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の孜雨分訂
不発明は、いわジる、矢θｌシ（トランハース・フロー
９式力スレーサ鉄直にＩＮ ｆ ６ ｃ発明の孜＃的宵
京 慣ｍ式刀スレーザ鋏ぼとして夫用化Ｇ ７している灰は
ガスレーザを＃Ｊｉ図に７」り丁、第１図において、レ
ーザ風洞１内には、レーザガス〔レーザ作用な厩こすカ
ス／Ｎ俸を臂むカスで灰はカスレーザの場合ヘリウム（
ｌ（ｅ）、室累（Ｎ２）、灰（９）カス（Ｃｏ２．）の
混合カス〕をり１塊させるための込凰憬２と、レーザガ
スに放電を起こブせるための放′亀都３、およびレーザ
光をｘＡ振さぞるための共振器でろる内部艶４．５（図
ではその背ＩＩｆＪ郁を不丁）さらに放電により搗罠が
尚くなったレーザカスを冷却するための熱父侠器６が収
′６芒扛ている、 そし１、レーザ風洞１には、ｆ＃浄なレーザカスを区栢
するたｌ）のブＪス供粘糸７と、レーザ７％駒の放電−
ｒＪ ３で放′成を匙こさせる放′屯′亀力を枳絽マる
放亀喝豚６が外付けされている、 一収に、放′亀部３内の′電極と共振器の構成は、個々
の方式や一〇直が考えられているが、ここではいわゆる
２４ＩＩＩ］匝父方式（放寛万回とカス流がＩｔ”Ｊ軸
方１０」でりるが丸軸と直父する方式）で祝明する。
９式力スレーサ鉄直にＩＮ ｆ ６ ｃ発明の孜＃的宵
京 慣ｍ式刀スレーザ鋏ぼとして夫用化Ｇ ７している灰は
ガスレーザを＃Ｊｉ図に７」り丁、第１図において、レ
ーザ風洞１内には、レーザガス〔レーザ作用な厩こすカ
ス／Ｎ俸を臂むカスで灰はカスレーザの場合ヘリウム（
ｌ（ｅ）、室累（Ｎ２）、灰（９）カス（Ｃｏ２．）の
混合カス〕をり１塊させるための込凰憬２と、レーザガ
スに放電を起こブせるための放′亀都３、およびレーザ
光をｘＡ振さぞるための共振器でろる内部艶４．５（図
ではその背ＩＩｆＪ郁を不丁）さらに放電により搗罠が
尚くなったレーザカスを冷却するための熱父侠器６が収
′６芒扛ている、 そし１、レーザ風洞１には、ｆ＃浄なレーザカスを区栢
するたｌ）のブＪス供粘糸７と、レーザ７％駒の放電−
ｒＪ ３で放′成を匙こさせる放′屯′亀力を枳絽マる
放亀喝豚６が外付けされている、 一収に、放′亀部３内の′電極と共振器の構成は、個々
の方式や一〇直が考えられているが、ここではいわゆる
２４ＩＩＩ］匝父方式（放寛万回とカス流がＩｔ”Ｊ軸
方１０」でりるが丸軸と直父する方式）で祝明する。
７）ｐＪ２凶に淀いて、／ｆｉ電′亀源１１は放電ビン
（刀ソード）１１と悸屯便（アノ−トノ１３とに汝杭さ
れ、ｌｌ１１１石の間にレーザガスを流しながら放電を
匙こす− 放電ビン１２に汀放電女定化用のバラスト抵抗１４が接
続されている。
（刀ソード）１１と悸屯便（アノ−トノ１３とに汝杭さ
れ、ｌｌ１１１石の間にレーザガスを流しながら放電を
匙こす− 放電ビン１２に汀放電女定化用のバラスト抵抗１４が接
続されている。
この敢亀都の１Ｔ１１翻には、共振器の尚反射ミラー１
５、併り返しミラー１ｂ、１７、出力ミラー（部分透過
ミラー）１Ｂを閂己百してレーザカスを放′亀により厖
υ匹し、ておき これらのミラーな堰拍にアライメント
すると、出力ミラー１８たらレーザ光が発射される、 ここで、カス（ｔ’＋（、方向は必すしもカソード側か
らアノード物へと次っているわけでになく、符号によっ
てはコ更方同とされることもある、ａ ’ｇレーザ〃ス
にレーサ凰７１すにｆ１３ Ｕ Ｔ Ｏｒ ｒ 傅ｌの
圧力で割入さルており、カス供帖示において絽気と排気
の程ｊ庇をコントロールしてはは−ボに保たれている。
５、併り返しミラー１ｂ、１７、出力ミラー（部分透過
ミラー）１Ｂを閂己百してレーザカスを放′亀により厖
υ匹し、ておき これらのミラーな堰拍にアライメント
すると、出力ミラー１８たらレーザ光が発射される、 ここで、カス（ｔ’＋（、方向は必すしもカソード側か
らアノード物へと次っているわけでになく、符号によっ
てはコ更方同とされることもある、ａ ’ｇレーザ〃ス
にレーサ凰７１すにｆ１３ Ｕ Ｔ Ｏｒ ｒ 傅ｌの
圧力で割入さルており、カス供帖示において絽気と排気
の程ｊ庇をコントロールしてはは−ボに保たれている。
背景仮術の向越点
さて、第２凶のＩｆｙ、義姉をノーザノ丸徊のカス下流
側から児たときは第３凶のようになる、図のように、放
’ｄＩ都の谷構成袋系はＶ−ザノ式洞１内に収容されて
おり、共振器ミラー、すなわち高反則ミラーＩＳ、ＷＴ
退しミラー１ｂ、１７、出力ミラー１８はレーザガスに
さしさｎている。
側から児たときは第３凶のようになる、図のように、放
’ｄＩ都の谷構成袋系はＶ−ザノ式洞１内に収容されて
おり、共振器ミラー、すなわち高反則ミラーＩＳ、ＷＴ
退しミラー１ｂ、１７、出力ミラー１８はレーザガスに
さしさｎている。
便って、もし放′亀を赳こしたレーザカスＶこホコリや
ゴミが混入してい牡は、内部鈍衣ｌＩＩ］に付層して汚
れてくる、 また放′眠の除炭酸カスが解靜して炭素（Ｃ）が遊離し
ススが生じれは、これも内郁睨衣面を汚す原因となる、 さらに、放電ガス渦層が尚くなって、Ｖ−ツノ虱？１１
」１の内壁にイ月眉していた７出労や巾Ｌｌ伐物青のい
わゆる不純物がレーザカスに混入すると、これらすへて
かＰ１部鋭を汚す原因になる、 また、ミラーアライメント時にレーザ光が放電都壁面に
当って低回を燃やすこともあり、これも汚ｒＬの原因に
なる。
ゴミが混入してい牡は、内部鈍衣ｌＩＩ］に付層して汚
れてくる、 また放′眠の除炭酸カスが解靜して炭素（Ｃ）が遊離し
ススが生じれは、これも内郁睨衣面を汚す原因となる、 さらに、放電ガス渦層が尚くなって、Ｖ−ツノ虱？１１
」１の内壁にイ月眉していた７出労や巾Ｌｌ伐物青のい
わゆる不純物がレーザカスに混入すると、これらすへて
かＰ１部鋭を汚す原因になる、 また、ミラーアライメント時にレーザ光が放電都壁面に
当って低回を燃やすこともあり、これも汚ｒＬの原因に
なる。
このようなｑｉｉｔ々の原因により内鄭説衣■が汚れて
くるとレーザ出力は当銃低１するようになりさらに汚れ
かひどくなると説囲が狽協することもめ＝３− る、 梃って、これを防ぐ手取が心安でりる、）、ら明の目的 本発明は以上の点に層目してなさ扛たもので、上述のＬ
９なレーザ咬りにおいて内飾逸の汚求を防止することを
目的とする、 発明の災迦ψり 第４図は本光明の方法を実施したレーザ装置のレーザＰ
Ａ詞の放゛屯節をカス下匝側から児た横防■図でおる、 図中第２図および第３図と共辿する節分は同一符号でボ
す。
くるとレーザ出力は当銃低１するようになりさらに汚れ
かひどくなると説囲が狽協することもめ＝３− る、 梃って、これを防ぐ手取が心安でりる、）、ら明の目的 本発明は以上の点に層目してなさ扛たもので、上述のＬ
９なレーザ咬りにおいて内飾逸の汚求を防止することを
目的とする、 発明の災迦ψり 第４図は本光明の方法を実施したレーザ装置のレーザＰ
Ａ詞の放゛屯節をカス下匝側から児た横防■図でおる、 図中第２図および第３図と共辿する節分は同一符号でボ
す。
図において、上日己促米１／１」と回」求にンーザノ虱
洞１円には、放電ビン１ノ、悸寛憧１３、尚戊ノ］ミラ
ー１５、折乏しミラー １ら、１７．出力、ラー１８が
収谷嘔れている、 ここで、レープ風洞をスス…して４不（／、１ノメル１
９．２０．２１．１２が設けられ、それぞれチューブに
よってレーザカス供給系１５に接続されている、このレ
ーサガヌ供粕糸２３は、上肥育ノスル１９゜４− ２０．２１．２２に対して均等な圧力でｙｒ沖なレーザ
カスを供帽している。
洞１円には、放電ビン１ノ、悸寛憧１３、尚戊ノ］ミラ
ー１５、折乏しミラー １ら、１７．出力、ラー１８が
収谷嘔れている、 ここで、レープ風洞をスス…して４不（／、１ノメル１
９．２０．２１．１２が設けられ、それぞれチューブに
よってレーザカス供給系１５に接続されている、このレ
ーサガヌ供粕糸２３は、上肥育ノスル１９゜４− ２０．２１．２２に対して均等な圧力でｙｒ沖なレーザ
カスを供帽している。
そして、管ノメルは、その先端≠５それぞれｈ飾鋭の反
射面にレーザカスを吠きつ忙Ｆ、その＠ｒｉ ［Ｒ］に
エアカーテンを形成するよう閂己直芒ｒシている、便っ
て、このレーザノ虱洞内を図の飢１１１ｆｌＫ呈＠な方
間にび１すれる汚染度の尚いレーザカスは、このエアカ
ーテンにより谷ミラーの反射面に区嵌尚たることが助け
られる、 うｔり月の幼米 運ｍこの神のレーザ装置に、レーザ）虱淘内の圧力を均
一に抹つために常にカス供都糸よりカスの供粘を受けて
いるが、本発明によれにきわめて簡単な＄ｂｙでこの％
礼０几る悄きなガスを用いて内鄭銑の汚れを防止するこ
と一＝でき、レーザ装置の長期にわたる出力の安定化を
図ることかできる。
射面にレーザカスを吠きつ忙Ｆ、その＠ｒｉ ［Ｒ］に
エアカーテンを形成するよう閂己直芒ｒシている、便っ
て、このレーザノ虱洞内を図の飢１１１ｆｌＫ呈＠な方
間にび１すれる汚染度の尚いレーザカスは、このエアカ
ーテンにより谷ミラーの反射面に区嵌尚たることが助け
られる、 うｔり月の幼米 運ｍこの神のレーザ装置に、レーザ）虱淘内の圧力を均
一に抹つために常にカス供都糸よりカスの供粘を受けて
いるが、本発明によれにきわめて簡単な＄ｂｙでこの％
礼０几る悄きなガスを用いて内鄭銑の汚れを防止するこ
と一＝でき、レーザ装置の長期にわたる出力の安定化を
図ることかできる。
第１図は使米の横流形カスレーザ装置をボす楓陥図、第
２図は 横流形カスレーザ装置の共振器３よひ放゛屯部
の′ｆ＋祝図、第３凶は 第２凶の共振器およびＭｌ′
［４γ部分をカス流の工匠側がら児て示す概略図、第４
図は不兄明の横び１１式レーザ装置の共振器お・よびＪ
Ｎ屯都をガス比の工匠側から児てボす慣ｖ［面図である
、 １１・・・・・・放亀亀詠 １２・・・・・・放′屯ビン １３・・・・・・俺′亀惨 １５°°”°°°尚反荊ミラー １６．１γ・・・併送しミラー １ｄ・・・・・・出力ミラー １９．２０，２１．２２・・・ノズル ２３・・・・・レーザカス供＃示 （７３１７）代理人 升埋士 則 肛 恵 床（ほか
１名ツ アー 第 １ に 第２図
２図は 横流形カスレーザ装置の共振器３よひ放゛屯部
の′ｆ＋祝図、第３凶は 第２凶の共振器およびＭｌ′
［４γ部分をカス流の工匠側がら児て示す概略図、第４
図は不兄明の横び１１式レーザ装置の共振器お・よびＪ
Ｎ屯都をガス比の工匠側から児てボす慣ｖ［面図である
、 １１・・・・・・放亀亀詠 １２・・・・・・放′屯ビン １３・・・・・・俺′亀惨 １５°°”°°°尚反荊ミラー １６．１γ・・・併送しミラー １ｄ・・・・・・出力ミラー １９．２０，２１．２２・・・ノズル ２３・・・・・レーザカス供＃示 （７３１７）代理人 升埋士 則 肛 恵 床（ほか
１名ツ アー 第 １ に 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 共振器として内扉説を弔する慎宛式カスレーザ鉄
直において、目１（犯円都説のレーザ元反躬凹前号にレ
ーザカスを放出するノスルを配直し、このノメルから信
浄なレーザガスを供脇し付ることを待■とする＠光式カ
スレーサ鉄直。 ２、 内Ｓ跣のレーサ元反痢面前力に７１仲なレーザカ
スを快賂して、内郡貌前田１にエア刀−テンを形成させ
ることを％倣とする刊計珀釆の孔咄第１項配脇の横流式
）Ｊスレーサ１ト
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19364581A JPS5896788A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 横流式ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19364581A JPS5896788A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 横流式ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5896788A true JPS5896788A (ja) | 1983-06-08 |
Family
ID=16311383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19364581A Pending JPS5896788A (ja) | 1981-12-03 | 1981-12-03 | 横流式ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5896788A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017973A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ−発振器 |
| JPS6142181A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-02-28 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ発生装置 |
| JPS6159366U (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-21 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548997A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Laser oscillator of horizontal excited gas circulation type |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
| JPS5820549B2 (ja) * | 1978-07-20 | 1983-04-23 | 東光株式会社 | スイツチング レギユレ−タ |
-
1981
- 1981-12-03 JP JP19364581A patent/JPS5896788A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548997A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Laser oscillator of horizontal excited gas circulation type |
| JPS5820549B2 (ja) * | 1978-07-20 | 1983-04-23 | 東光株式会社 | スイツチング レギユレ−タ |
| JPS5610989A (en) * | 1979-07-06 | 1981-02-03 | Nippon Sekigaisen Kogyo Kk | Laser oscillator |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017973A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ−発振器 |
| JPS6142181A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-02-28 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ発生装置 |
| JPH0237710B2 (ja) * | 1984-08-06 | 1990-08-27 | Kogyo Gijutsuin | |
| JPS6159366U (ja) * | 1984-09-26 | 1986-04-21 |
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