JPS5890105A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
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- JPS5890105A JPS5890105A JP18893481A JP18893481A JPS5890105A JP S5890105 A JPS5890105 A JP S5890105A JP 18893481 A JP18893481 A JP 18893481A JP 18893481 A JP18893481 A JP 18893481A JP S5890105 A JPS5890105 A JP S5890105A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide rail
- base
- measuring element
- support member
- measuring
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、三次元測定機、形状測定機などの測定装置に
係り、特に基台に設けられた案内レールに沿って移動可
能にされた測定子支持部材を備えた測定装置に関する。
係り、特に基台に設けられた案内レールに沿って移動可
能にされた測定子支持部材を備えた測定装置に関する。
従来、この種の測定装置においては測定子支持部材が案
内レールからはずれないために、案内レールと測定子支
持部材との間にストッパが設けられている。
内レールからはずれないために、案内レールと測定子支
持部材との間にストッパが設けられている。
しかし、前記ストッパは案内レール等に固定的に設けら
れているため、このストッパに当って測定子支持部材が
停止されると、測定子支持部材に歪、変形等を与え、ひ
いては測定精度に悪影暫を与える結果となる。
れているため、このストッパに当って測定子支持部材が
停止されると、測定子支持部材に歪、変形等を与え、ひ
いては測定精度に悪影暫を与える結果となる。
ところでμｍオーダーの精度を要請されるこの種測定装
置では、測定子支持部材等の構造体の変形防ｌトは必須
の要件であるが、従来は、測定可能範囲の最外部にを・
るストッパに測定子支持部材が当って変形等を生ずるよ
うなことは、まずないものとして考えられていたために
、このような設計がなされていたものであった。
置では、測定子支持部材等の構造体の変形防ｌトは必須
の要件であるが、従来は、測定可能範囲の最外部にを・
るストッパに測定子支持部材が当って変形等を生ずるよ
うなことは、まずないものとして考えられていたために
、このような設計がなされていたものであった。
しかし、実際は、被測定物と測定子との関係にのみ集中
着目して操作するため、測定子支持部材が移動可能範囲
の制限部に至る機会が多く、かつ、この測定子支持部材
の各部の動きは極めて円滑にされているから、ストッパ
に当接することがしばしば発生することとなる。従って
、測定子支持部材は次第に変形されて測定精度が低下し
てくるという欠点があった。
着目して操作するため、測定子支持部材が移動可能範囲
の制限部に至る機会が多く、かつ、この測定子支持部材
の各部の動きは極めて円滑にされているから、ストッパ
に当接することがしばしば発生することとなる。従って
、測定子支持部材は次第に変形されて測定精度が低下し
てくるという欠点があった。
本発明の目的は、測定子支持部材が移動可能範囲の限界
にきても測定子支持部材に悪影響を与えることのない測
定装置を提供するにある。
にきても測定子支持部材に悪影響を与えることのない測
定装置を提供するにある。
本発明は、被測定物が取付けられる基台の側方に案内レ
ールを設けるとともに、この案内レールの端部などにお
いてショックアプゾーパを設け、このショックアプゾー
バを案内レールに移動可能な可動部材と、この可動部材
と案内レールとの間に介装さればねなどからなる衝撃吸
収手段とを含んで構成し、これにより案内レールに移動
可能な測定子支持部材がショックアプゾーバに当接した
としてもその衝撃を前記衝撃吸収手段で吸収して測定子
支持部材には影響を与えないようにし、前記目的を達成
しようとするものである。
ールを設けるとともに、この案内レールの端部などにお
いてショックアプゾーパを設け、このショックアプゾー
バを案内レールに移動可能な可動部材と、この可動部材
と案内レールとの間に介装さればねなどからなる衝撃吸
収手段とを含んで構成し、これにより案内レールに移動
可能な測定子支持部材がショックアプゾーバに当接した
としてもその衝撃を前記衝撃吸収手段で吸収して測定子
支持部材には影響を与えないようにし、前記目的を達成
しようとするものである。
以下１本発明を三次元測定機に適用した一実施例を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
第１図の全体構造図において、略直方体に形成された石
定盤からなる基台２１は、複数の被測定物取付用ねじ穴
２２をその上面に有するとともに、長手方向に直交する
前後の端面に断面り字形の把手２３をそれぞれ有してい
る。この基台２１の左右の両側面には複数の穴２４が設
けられており、この穴２４は図示してないが第１図中基
台２１の向う側の面にも設けられており、かつ、Ｙ＠ｊ
ｔ１方向に直列に配列されている。これらの穴２４には
接着剤を介して支持４ｉｆ［＋２５が固定され、これら
の基台２１の両側の支持軸２５にはそれぞれＹ＠線方向
東内部を構成する各１本の案内レール３１．３２が着脱
可能に増付けられている。これらの案内レール３１．３
２は、基台２１の長手方向（Ｘ軸線方向）長さより長く
形成されるとともに（第２図参照）、基台２１の上面よ
シ下方であってこの上面に平行かつ基台２１の側面から
突出して設けられている。この際、案内レー／１ｚ３１
．３２が基台２１の上面よシ下方であるということは、
案内レール３１．３２の土面が基台２１の上面と同一以
下の位置にあるという意味である。また、両案内レール
３１．３２は、円柱の両側を平行に削シ落して長手方向
に直交する断面形状が円弧部分及び直線部分からなる略
小判形となるようにされ、さらに、一方すなわち第１図
中手前の案内レール３１の外側面には案内レール３１の
長手方向に沿ってほぼその全長にわたって凹溝が形成さ
れている。この凹溝内にはスケール３３が貼付され、こ
のスケール３３は、例えばステンレス板の表面にμｍオ
ーダーの縦目盛を形成された反射型スケールとされてい
る。
定盤からなる基台２１は、複数の被測定物取付用ねじ穴
２２をその上面に有するとともに、長手方向に直交する
前後の端面に断面り字形の把手２３をそれぞれ有してい
る。この基台２１の左右の両側面には複数の穴２４が設
けられており、この穴２４は図示してないが第１図中基
台２１の向う側の面にも設けられており、かつ、Ｙ＠ｊ
ｔ１方向に直列に配列されている。これらの穴２４には
接着剤を介して支持４ｉｆ［＋２５が固定され、これら
の基台２１の両側の支持軸２５にはそれぞれＹ＠線方向
東内部を構成する各１本の案内レール３１．３２が着脱
可能に増付けられている。これらの案内レール３１．３
２は、基台２１の長手方向（Ｘ軸線方向）長さより長く
形成されるとともに（第２図参照）、基台２１の上面よ
シ下方であってこの上面に平行かつ基台２１の側面から
突出して設けられている。この際、案内レー／１ｚ３１
．３２が基台２１の上面よシ下方であるということは、
案内レール３１．３２の土面が基台２１の上面と同一以
下の位置にあるという意味である。また、両案内レール
３１．３２は、円柱の両側を平行に削シ落して長手方向
に直交する断面形状が円弧部分及び直線部分からなる略
小判形となるようにされ、さらに、一方すなわち第１図
中手前の案内レール３１の外側面には案内レール３１の
長手方向に沿ってほぼその全長にわたって凹溝が形成さ
れている。この凹溝内にはスケール３３が貼付され、こ
のスケール３３は、例えばステンレス板の表面にμｍオ
ーダーの縦目盛を形成された反射型スケールとされてい
る。
前記両側の案内レール３１．３２には角柱状の支柱４１
．４２がそれぞれ案内レール３１．３２の長手方向（Ｘ
軸線方向）に沿って移動自在に支持されている。これら
の両側の支柱４１．４２の途中には両支社４１．４２間
のＸ軸線方向の間隔を所定寸法に設定するために１本の
丸棒からなる横部材４３が渡設され、さらに両支社４１
．４２の上端部間にはそれぞれ連結部４４．４５を介し
て２本の丸棒からなるスライダ案内レール４６．４７及
び１本の丸棒からなるスライダ＃動レール４８が前記案
内レール３１．３２に直交しかつ基台２１の上面に平行
な方向、すなわちＸ軸線方向に掛は渡されている。これ
らのスライダ案内レール４６．４７には箱状のスライダ
４９がスライダ案内レール４６，４７に、“、３１：）
でｘ−Ｊｆ＋線方向移動自在に支持され、このスライダ
４９には角度計測手段５０を介して箱状のスピンドル支
持体５１がＹ軸線を回動中心として仙斜可能に支持され
ている。
．４２がそれぞれ案内レール３１．３２の長手方向（Ｘ
軸線方向）に沿って移動自在に支持されている。これら
の両側の支柱４１．４２の途中には両支社４１．４２間
のＸ軸線方向の間隔を所定寸法に設定するために１本の
丸棒からなる横部材４３が渡設され、さらに両支社４１
．４２の上端部間にはそれぞれ連結部４４．４５を介し
て２本の丸棒からなるスライダ案内レール４６．４７及
び１本の丸棒からなるスライダ＃動レール４８が前記案
内レール３１．３２に直交しかつ基台２１の上面に平行
な方向、すなわちＸ軸線方向に掛は渡されている。これ
らのスライダ案内レール４６．４７には箱状のスライダ
４９がスライダ案内レール４６，４７に、“、３１：）
でｘ−Ｊｆ＋線方向移動自在に支持され、このスライダ
４９には角度計測手段５０を介して箱状のスピンドル支
持体５１がＹ軸線を回動中心として仙斜可能に支持され
ている。
このスピンドル支持体５工にはスピンドル５２がその中
心軸方向に摺動自在に支持されるとともに、このスピン
ドル５２の下端には測定子５３が取付けられている。こ
の際、スピンドル５２はスピンドル支持体５１の傾剰が
零のとき、丁度２軸線方向（上下方向）に移動できるよ
うに設定され、これにより前記スライダ４９のＸ＠線方
向の移動及び支柱４１．４２のＸ軸線方向の移動と相俟
って測定子５３は基台２１及びこの基台２１上に載置さ
れる被測定物５４に対し互いに直交するＸ、Ｙ。
心軸方向に摺動自在に支持されるとともに、このスピン
ドル５２の下端には測定子５３が取付けられている。こ
の際、スピンドル５２はスピンドル支持体５１の傾剰が
零のとき、丁度２軸線方向（上下方向）に移動できるよ
うに設定され、これにより前記スライダ４９のＸ＠線方
向の移動及び支柱４１．４２のＸ軸線方向の移動と相俟
って測定子５３は基台２１及びこの基台２１上に載置さ
れる被測定物５４に対し互いに直交するＸ、Ｙ。
２軸線方向に任意に移動できるようにされている。
また、これらの支柱４１．４２、横部材４３、連結部４
４．４５、スライダ案内レール４６．４７、スライダ４
９、角度計測手段５０、スピンドル支持体５１及びスピ
ンドル５２により測定子支持部材４０が構成されている
。
４．４５、スライダ案内レール４６．４７、スライダ４
９、角度計測手段５０、スピンドル支持体５１及びスピ
ンドル５２により測定子支持部材４０が構成されている
。
前記両連結部４４．４５の上部間に川は渡されたスライ
ダ微動レー・ル４８とスライダ４９とは常時は摺動可能
にされるとともに、締付ねじ１４４を締付けることによ
り摺動不可能に固定され、この固定状態で微動レール４
８に螺合された調整ナツト１４１を回すことによりａ動
し−ル４８を介してスライダ４９が案内レール４６．４
７の軸方向に微動できるようにされている。
ダ微動レー・ル４８とスライダ４９とは常時は摺動可能
にされるとともに、締付ねじ１４４を締付けることによ
り摺動不可能に固定され、この固定状態で微動レール４
８に螺合された調整ナツト１４１を回すことによりａ動
し−ル４８を介してスライダ４９が案内レール４６．４
７の軸方向に微動できるようにされている。
前記両側の案内レール３１．３２のうち、一方の案内レ
ール３１０両端にはそれぞれショックアプゾーパ９０が
取付けられている。これらの各ショックアブゾーバ９０
は、第３図に拡大して示されるように、案内レール３１
の端部に形成された小径部３１Ｄに摺動自在に係合され
るとともに、案内レール３１の小径部３１Ｄと大径部と
の間の段部端面３１Ｆに当接可能な内周突部９１Ａを有
する筒体９１と、案内レール３１の・端部にねじ込１れ
るとともに外周が前記小径部３１Ｄより大きく、かつ、
筒体９１の内周よシ小さくされたばね受け９２と、この
ばね受け９２と筒体９１の内周突部９１Ａとの間に介装
され筒体９１を常時段部端面３１Ｅに当接するよう細材
しし、衝撃吸収作用をする衝撃吸収手段としての圧縮ば
ね９３とから構成され、筒体９１の案内レール３１の大
径部側に延長された端部に支柱４１の第２図中左端部が
当接された１奈、圧縮ばね９３が係むことによって測定
子支持部材４０が受ける衝撃が少なくなるようにされて
いる。
ール３１０両端にはそれぞれショックアプゾーパ９０が
取付けられている。これらの各ショックアブゾーバ９０
は、第３図に拡大して示されるように、案内レール３１
の端部に形成された小径部３１Ｄに摺動自在に係合され
るとともに、案内レール３１の小径部３１Ｄと大径部と
の間の段部端面３１Ｆに当接可能な内周突部９１Ａを有
する筒体９１と、案内レール３１の・端部にねじ込１れ
るとともに外周が前記小径部３１Ｄより大きく、かつ、
筒体９１の内周よシ小さくされたばね受け９２と、この
ばね受け９２と筒体９１の内周突部９１Ａとの間に介装
され筒体９１を常時段部端面３１Ｅに当接するよう細材
しし、衝撃吸収作用をする衝撃吸収手段としての圧縮ば
ね９３とから構成され、筒体９１の案内レール３１の大
径部側に延長された端部に支柱４１の第２図中左端部が
当接された１奈、圧縮ばね９３が係むことによって測定
子支持部材４０が受ける衝撃が少なくなるようにされて
いる。
次に本実施例の使用法につき説明する。
使用開始にあたり、締付ねじ８７．１４４及び１６５を
ゆるめ、支柱４１、スライダ４９及びスピンドル５２の
動きを自由にし、測定子５３をＸ１Ｙ、Ｚ、軸線の任意
位置に動きうるようにしておき、この状態で測定子支持
部材４０を第１図に示されるように基台２１の一端側に
移動させておく。
ゆるめ、支柱４１、スライダ４９及びスピンドル５２の
動きを自由にし、測定子５３をＸ１Ｙ、Ｚ、軸線の任意
位置に動きうるようにしておき、この状態で測定子支持
部材４０を第１図に示されるように基台２１の一端側に
移動させておく。
ついで、基台２１上に被測定物５４を搬入し、基台２１
上の適宜な被測定物取付用ねじ穴２２及び図示しない取
付治具を用いて基台２１に固定する０ 基台２１上に固定された被測定物５４は、従来の三次元
測定機と同様にして各部の寸法、形状等が計測される。
上の適宜な被測定物取付用ねじ穴２２及び図示しない取
付治具を用いて基台２１に固定する０ 基台２１上に固定された被測定物５４は、従来の三次元
測定機と同様にして各部の寸法、形状等が計測される。
す４わち、スピンドル５２の下部を把持し、測定子５３
の先端を順次被測定物５４の所定位置に接触させ、との
ときの測定子５３のＸ、Ｙ及び２軸線方向の移動量を、
支柱４１、スライダ４９及びスピンドル支持体５１内に
それぞれ設けられた図示しない検出器とスケール３３及
び図示しないスケールなどとによシ読取り、図示しない
表示器等へ表示し、さらには常用のデータ処理装置でデ
ータ処理１〜でプリントアウトされる。
の先端を順次被測定物５４の所定位置に接触させ、との
ときの測定子５３のＸ、Ｙ及び２軸線方向の移動量を、
支柱４１、スライダ４９及びスピンドル支持体５１内に
それぞれ設けられた図示しない検出器とスケール３３及
び図示しないスケールなどとによシ読取り、図示しない
表示器等へ表示し、さらには常用のデータ処理装置でデ
ータ処理１〜でプリントアウトされる。
また、必要に応じて、前述でゆるめた各給料ねじ８７．
１４４、及び１６５を締付け、支柱４１．４２のＹ軸線
方向への、スライダ４９のＸ軸線方向への及びスピンド
ル５２の２軸線方向への微動送りを行なってもよい。
１４４、及び１６５を締付け、支柱４１．４２のＹ軸線
方向への、スライダ４９のＸ軸線方向への及びスピンド
ル５２の２軸線方向への微動送りを行なってもよい。
前記測定子支持部材４０の移動操作中に測定子支持部材
４ｏが前後に大きく移動しでショックアブゾーバ９０に
当った場合には、ショックアプゾーバ９０の圧縮ばね９
３が撓み、これにょシ測部材支持部材４０への衝撃が緩
和され、測定子支持部材４０に変形等が生じることが有
効に防止される。
４ｏが前後に大きく移動しでショックアブゾーバ９０に
当った場合には、ショックアプゾーバ９０の圧縮ばね９
３が撓み、これにょシ測部材支持部材４０への衝撃が緩
和され、測定子支持部材４０に変形等が生じることが有
効に防止される。
上述のような本実施例によれは、測定子支持部材４０が
その移動可能範囲の限界まで移動されたとしても、測定
子支持部材４０はショックアプゾーバ９０に当接される
だけであるから、何ら精度上の悪影響を受けることがな
い。また、このショックアブゾーバ９０は、案内レール
３１の端部に被飲される筒体９１を含んで構成されてい
るため、内部にコイルばねからなる圧縮ばね９３を介装
でき、その使用スペースを少なくでき、小型化できる。
その移動可能範囲の限界まで移動されたとしても、測定
子支持部材４０はショックアプゾーバ９０に当接される
だけであるから、何ら精度上の悪影響を受けることがな
い。また、このショックアブゾーバ９０は、案内レール
３１の端部に被飲される筒体９１を含んで構成されてい
るため、内部にコイルばねからなる圧縮ばね９３を介装
でき、その使用スペースを少なくでき、小型化できる。
さらに、ショックアプゾーバ９０は、上述のように案内
レール３１に被鰻される構造であるから、基台２１から
案内レール８１を突出させ、この突出させた位置にショ
ックアブゾーバ９０を設けることができ、基台２１の上
面の測定のだめの有効スペースを減少させることがない
。また、案内レール３１は基台２１の側面から突出して
形成されているから、この点からも基台２１の有効スペ
ースが減少されることがない。
レール３１に被鰻される構造であるから、基台２１から
案内レール８１を突出させ、この突出させた位置にショ
ックアブゾーバ９０を設けることができ、基台２１の上
面の測定のだめの有効スペースを減少させることがない
。また、案内レール３１は基台２１の側面から突出して
形成されているから、この点からも基台２１の有効スペ
ースが減少されることがない。
なお、実施にあたり、ショックアプゾーバ９０の可動部
材は筒体９１でなくともよく、単なる板状等いかなる形
状゛Ｃもよい。また、衝撃吸収手段もコイルばねからな
る圧縮はね９３に限らず、板ばね、ゴム等他の部材でも
よｊ、＝。さらに、案内レール３１，３２は基台２１の
側面から突出されているものに限らず、基台２１の上面
の左右の側方でもよいが、側面から突出させれば前述の
ような利点がある。
材は筒体９１でなくともよく、単なる板状等いかなる形
状゛Ｃもよい。また、衝撃吸収手段もコイルばねからな
る圧縮はね９３に限らず、板ばね、ゴム等他の部材でも
よｊ、＝。さらに、案内レール３１，３２は基台２１の
側面から突出されているものに限らず、基台２１の上面
の左右の側方でもよいが、側面から突出させれば前述の
ような利点がある。
また、本発明け、三次元測定機に限らず、二次元測定機
、歪測定機その他の測定装置に適用できる０ ０１） 上述のように本発明によれば、測定子移動部材が移動可
能範囲の限界にきても測定子支持部材に悪影響を与える
ことがない測定装置を提供できるという効果がある。
、歪測定機その他の測定装置に適用できる０ ０１） 上述のように本発明によれば、測定子移動部材が移動可
能範囲の限界にきても測定子支持部材に悪影響を与える
ことがない測定装置を提供できるという効果がある。
第１図は本発明を三次元測定機に適用した一実施例を示
す斜視図、第２図はその平面図、第３図は本実施例の要
部を示す断面図である。 ２１・・・基台、３１・・・系内１／−ル、４０・・・
測定子移動部材、９０・・・ショックアブゾーバ、９１
・・・可動部材としての筒体、９２・・・ばね受け、９
３・・・衝撃吸収手段としての圧縮ばね。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （２）
す斜視図、第２図はその平面図、第３図は本実施例の要
部を示す断面図である。 ２１・・・基台、３１・・・系内１／−ル、４０・・・
測定子移動部材、９０・・・ショックアブゾーバ、９１
・・・可動部材としての筒体、９２・・・ばね受け、９
３・・・衝撃吸収手段としての圧縮ばね。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （２）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）被測定物を取付ける基台と、この基台の側方に設
けられた案内レールと、この案内レールに沿って移動可
能にされるとともに測定子を有する測定子支持部材とを
備え、前記案内レールには、案内レールに移動可能に設
けられた可動部材と、この可動部材と案内レールとの間
に介装される衝撃吸収手段とを含んで構成されたショッ
クアプゾーバが設けられたことを特徴とする測定装置。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記衝撃吸収手
段はコイルばねによシ構成されたことを特徴とする測定
装置１、 （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、前
記案内レールは基台の側面から突出して設けられたこと
を特徴とする測定装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18893481A JPS5890105A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 測定装置 |
| US06/441,149 US4495703A (en) | 1981-11-25 | 1982-11-12 | Coordinate measuring instrument |
| DE19823243088 DE3243088C2 (de) | 1981-11-25 | 1982-11-22 | Koordinatenmeßmaschine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18893481A JPS5890105A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5890105A true JPS5890105A (ja) | 1983-05-28 |
Family
ID=16232448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18893481A Pending JPS5890105A (ja) | 1981-11-25 | 1981-11-25 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5890105A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100662252B1 (ko) | 2005-04-26 | 2007-01-02 | 주식회사 인텍아이엠에스 | 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5474456A (en) * | 1977-08-20 | 1979-06-14 | Rolls Royce | Rotary placing device |
-
1981
- 1981-11-25 JP JP18893481A patent/JPS5890105A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5474456A (en) * | 1977-08-20 | 1979-06-14 | Rolls Royce | Rotary placing device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100662252B1 (ko) | 2005-04-26 | 2007-01-02 | 주식회사 인텍아이엠에스 | 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기 |
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