JPS5878355A - 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置Info
- Publication number
- JPS5878355A JPS5878355A JP56175263A JP17526381A JPS5878355A JP S5878355 A JPS5878355 A JP S5878355A JP 56175263 A JP56175263 A JP 56175263A JP 17526381 A JP17526381 A JP 17526381A JP S5878355 A JPS5878355 A JP S5878355A
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- JP
- Japan
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- electron
- detectors
- secondary electron
- optical axis
- similar devices
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- Pending
Links
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 16
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡あるい
はＸ線マイクロアナライザ等における２次電子検出装置
に関する。例えば走査型電子顕微鏡において、第１図に
示すごとく、集束レンズ（対物レンズ）■の磁極２，３
間の磁界中に、試料４を配置した場合、試料４へ電子線
５を照射することにより、との試料４がら発生する非常
に弱いエネルギーしかもたない２次電子６は、集束レン
ズ１の磁界によって強く集束され、この磁界の中で電子
線軸（光ｎｌ＋ ）に沿って螺旋軌道をとり、上方へ追
いやられる。
はＸ線マイクロアナライザ等における２次電子検出装置
に関する。例えば走査型電子顕微鏡において、第１図に
示すごとく、集束レンズ（対物レンズ）■の磁極２，３
間の磁界中に、試料４を配置した場合、試料４へ電子線
５を照射することにより、との試料４がら発生する非常
に弱いエネルギーしかもたない２次電子６は、集束レン
ズ１の磁界によって強く集束され、この磁界の中で電子
線軸（光ｎｌ＋ ）に沿って螺旋軌道をとり、上方へ追
いやられる。
そこで、このように非常に弱いエネルギーしかもたない
試料４からの２次電子６を効率よく捕捉するために、２
次電子検出器７を集束レンズｌよりも電子銃側の光軸付
近即ち第１図中東束レンスｌの上方における光軸付近に
配設することが考えられる。
試料４からの２次電子６を効率よく捕捉するために、２
次電子検出器７を集束レンズｌよりも電子銃側の光軸付
近即ち第１図中東束レンスｌの上方における光軸付近に
配設することが考えられる。
しかしながら、このような従来の２次電子検出手段では
、２次電子検出器７が光軸付近に置かれるだめ、検出器
７の電極７１に印加された高電圧によって、電子線５が
偏向され、これにより光軸がずれたり非点収差が生じた
りするという問題点がある。
、２次電子検出器７が光軸付近に置かれるだめ、検出器
７の電極７１に印加された高電圧によって、電子線５が
偏向され、これにより光軸がずれたり非点収差が生じた
りするという問題点がある。
この問題は電子線５の加速電圧が低くなるほど深刻であ
る。
る。
そこで、第２図に示すように、中心軸が光軸と整合する
ように金属製パイプ８を配設して、２次電子検出器７に
よる電場をシールドすることも考えられるが、このよう
な従来の２次電子検出手段では、２次電子の捕捉効率が
大幅に低下するという問題点がある。
ように金属製パイプ８を配設して、２次電子検出器７に
よる電場をシールドすることも考えられるが、このよう
な従来の２次電子検出手段では、２次電子の捕捉効率が
大幅に低下するという問題点がある。
ここで、第１，２図中の符号７２は２次電子６を光に変
換する螢光面、７３は光を導くライトパイプ、７４は例
えばアース電位（アース電位でなくても良い。）のケー
スを示しており、第１図の符号７５はホトマルチプライ
ヤ、９は高圧電源、１０は偏向部材、１１は走査電源、
１２は陰極線管（以下［０１１，’Ｉ”Ｊという。）を
示している。
換する螢光面、７３は光を導くライトパイプ、７４は例
えばアース電位（アース電位でなくても良い。）のケー
スを示しており、第１図の符号７５はホトマルチプライ
ヤ、９は高圧電源、１０は偏向部材、１１は走査電源、
１２は陰極線管（以下［０１１，’Ｉ”Ｊという。）を
示している。
捷だ、第２図中、第１図と同じ符号はほぼ同様の部分を
示している。
示している。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、２次電子検出器による電子線に対する偏向作用を相殺
するように、２次電子検出器を複数個設けることにより
、光＋１１１のずれや非点収差を生じさせることが少な
く、シかも２次電子の捕捉効率を同上できるようにした
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子
検出装置を提供することを目的とする。
、２次電子検出器による電子線に対する偏向作用を相殺
するように、２次電子検出器を複数個設けることにより
、光＋１１１のずれや非点収差を生じさせることが少な
く、シかも２次電子の捕捉効率を同上できるようにした
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子
検出装置を提供することを目的とする。
このため、本発明の２次電子検出装置は、走査型電子顕
微鏡およびその類似装置の集束レンズにおける２つ捷た
はそれ以上の磁極による磁界中に配置される試料からの
２次電子を捕捉すべく、上記磁極よりも電子線源側に複
数の２次電子検出器が設けられ、これらの２次電子検出
器が、同２次電子検出器による上記電子線源からの電子
線に対する偏向作用を相殺しあうような相互関係を有し
て配設されていることを特徴としている。
微鏡およびその類似装置の集束レンズにおける２つ捷た
はそれ以上の磁極による磁界中に配置される試料からの
２次電子を捕捉すべく、上記磁極よりも電子線源側に複
数の２次電子検出器が設けられ、これらの２次電子検出
器が、同２次電子検出器による上記電子線源からの電子
線に対する偏向作用を相殺しあうような相互関係を有し
て配設されていることを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての走査型電子
顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置に
ついて説明すると、第３図はその要部を示す構成図であ
り、第３図中、第１．２図と同じ符号はほぼ同様の部分
を示している。
顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置に
ついて説明すると、第３図はその要部を示す構成図であ
り、第３図中、第１．２図と同じ符号はほぼ同様の部分
を示している。
本装置の場合も、２次電子検出器７が集束レンズｌの磁
極２，３よりも電子線源（電子銃）側の光軸付近即ち第
３図中東束レンズｌよりも上方側における光軸付近に配
設されているが、２次電子検出器７は複数個（２個）設
けられている。
極２，３よりも電子線源（電子銃）側の光軸付近即ち第
３図中東束レンズｌよりも上方側における光軸付近に配
設されているが、２次電子検出器７は複数個（２個）設
けられている。
なお、各２次電子検出器７の電極７１へは、共通の高圧
電源９から高圧が供給されている。
電源９から高圧が供給されている。
ところで、これら２個の２次電子検出器７は軸対称且つ
点対称となるような相互関係を有して、即ち光軸をはさ
んで等距離で対向するように配設されている。これによ
り各２次電子検出器７による上記電子銃からの電子線５
に対する偏向作用を相殺することができ、その結果第２
図に示すようなシールド用バイブ８を設けなくても、光
軸がずれたり非点収差が生じたりすることが少ない。
点対称となるような相互関係を有して、即ち光軸をはさ
んで等距離で対向するように配設されている。これによ
り各２次電子検出器７による上記電子銃からの電子線５
に対する偏向作用を相殺することができ、その結果第２
図に示すようなシールド用バイブ８を設けなくても、光
軸がずれたり非点収差が生じたりすることが少ない。
また、このようにシールド用バイブ８を設けなくてもす
むので、捕捉効率が大幅に同上する。
むので、捕捉効率が大幅に同上する。
ところで、各検出器７で捕捉された２次電子６は、光信
号更には電気信号に変換されて、加算器１３で加算増幅
されたのち、（３１Ｌ’ｌ” １２へ、供給され、この
ＣＲＴ１２で試料像として表示されるようになっている
。
号更には電気信号に変換されて、加算器１３で加算増幅
されたのち、（３１Ｌ’ｌ” １２へ、供給され、この
ＣＲＴ１２で試料像として表示されるようになっている
。
なお、２次電子検出器７を２個上記のような相互関係で
配設する代わりに、３個以上の２次電子検出器７を検出
器７による電子線５に対する偏向作用を相殺するような
相互関係で配設してもよい。
配設する代わりに、３個以上の２次電子検出器７を検出
器７による電子線５に対する偏向作用を相殺するような
相互関係で配設してもよい。
すなわち、これらの２次電子検出器７を軸対称に配設し
たり、点対称に配設したり、周上に沿い等間隔あるいは
ほぼ等間隔で配設したりすればよいのである。
たり、点対称に配設したり、周上に沿い等間隔あるいは
ほぼ等間隔で配設したりすればよいのである。
また、この２次電子検出装置は、走査型電子顕微鏡に限
らず、透過型電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライザにも
適用できる。
らず、透過型電子顕微鏡やＸ線マイクロアナライザにも
適用できる。
以上詳述したように、本発明の走査型電子顕微鏡および
その類似装置における２次電子検出装置によれば、集束
レンズの磁極よりも電子線源側に設けられる複数の２次
電子検出器が、同２次電子検出器による上記電子線源か
らの電子線に対する偏向作用を相殺しあうよう々相互関
係を有して配設されるという簡素な構成で、光軸がずれ
たり非点収差が生じたりするととが少なく、シかも２次
電子捕捉効率を大幅に同上でき、極めて実用価値の高い
ものである。
その類似装置における２次電子検出装置によれば、集束
レンズの磁極よりも電子線源側に設けられる複数の２次
電子検出器が、同２次電子検出器による上記電子線源か
らの電子線に対する偏向作用を相殺しあうよう々相互関
係を有して配設されるという簡素な構成で、光軸がずれ
たり非点収差が生じたりするととが少なく、シかも２次
電子捕捉効率を大幅に同上でき、極めて実用価値の高い
ものである。
第１，２図は従来の走査型電子顕微鏡およびその類似装
置における２次電子検出装置を示すもので、第１図はそ
の要部を示す構成図、第２図はその他の従来例の要部を
示す構成図であり、第３図は本発明の一実施例としての
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子
検出装置の要部を示す構成図である。 ■・・集束レンズ、２．３・・磁極、４・・試料、５・
・電子線、６・・２次電子、７・・２次電子検出器、９
・・高圧電源、１０・・偏向部材、ｌｌ・・走査電源、
１２−− ＯＩｔ、 ’１”。 １３・・加算器、７１・・電極、７２・・螢光面、７３
・・ライｉ・パイプ、７４・・カバー、７５・・ホトマ
ルチプライヤ。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦
置における２次電子検出装置を示すもので、第１図はそ
の要部を示す構成図、第２図はその他の従来例の要部を
示す構成図であり、第３図は本発明の一実施例としての
走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子
検出装置の要部を示す構成図である。 ■・・集束レンズ、２．３・・磁極、４・・試料、５・
・電子線、６・・２次電子、７・・２次電子検出器、９
・・高圧電源、１０・・偏向部材、ｌｌ・・走査電源、
１２−− ＯＩｔ、 ’１”。 １３・・加算器、７１・・電極、７２・・螢光面、７３
・・ライｉ・パイプ、７４・・カバー、７５・・ホトマ
ルチプライヤ。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （］１ 走査型電子顕微鏡およびその類似装置の集束レ
ンズにおける２つまたはそれ以上の磁極による磁界中に
配置される試料からの２次電子を捕促すべく、上記磁極
よりも電子線源側に複数の２次電子検出器が設けられ、
これらの２次電子検出器が、同２次電子検出器による上
記電子線源からの電子線に対する偏向作用を相殺しあう
ような相互関係を有して配設されていることを特徴とす
る、走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次
電子検出装置。 （２）上記複数の２次電子検出器が軸対称に配設されて
いる特許請求の範囲第１項に記載の走査型電子顕微鏡お
よびその類似装置における２次電子検出装置。 ＋３１ １記複数の２次電子検出器が点対称に配設され
ている特許請求の範囲第１項に記載の走査型電子顕微鏡
およびその類似装置における２次電子検出装置。 ＋４１ 上記複数の２次電子検出器が周」−に沿い等
間隔に配設されている特許請求の範囲第１項に記載の走
査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175263A JPS5878355A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56175263A JPS5878355A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878355A true JPS5878355A (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=15993093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56175263A Pending JPS5878355A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 走査型電子顕微鏡およびその類似装置における２次電子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878355A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63138640A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ム観察装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835854A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Hitachi Ltd | 二次電子検出装置 |
-
1981
- 1981-10-31 JP JP56175263A patent/JPS5878355A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835854A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | Hitachi Ltd | 二次電子検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63138640A (ja) * | 1986-11-28 | 1988-06-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビ−ム観察装置 |
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