JPS63110543A - 走査電子顕微鏡の信号検出器 - Google Patents
走査電子顕微鏡の信号検出器Info
- Publication number
- JPS63110543A JPS63110543A JP25569086A JP25569086A JPS63110543A JP S63110543 A JPS63110543 A JP S63110543A JP 25569086 A JP25569086 A JP 25569086A JP 25569086 A JP25569086 A JP 25569086A JP S63110543 A JPS63110543 A JP S63110543A
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- JP
- Japan
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- scintillator
- voltage
- signal detector
- primary electron
- electron microscope
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- Pending
Links
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 10
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 9
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- 241000052343 Dares Species 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査電子顕微鏡の二次電子検出器やその他の信
号検出器に係り、低加速電圧から高加速電圧まで軸ずれ
も非点発生もない高効率な信号検出ができ、高分解能を
保持するに好適な信号検出器に関する。
号検出器に係り、低加速電圧から高加速電圧まで軸ずれ
も非点発生もない高効率な信号検出ができ、高分解能を
保持するに好適な信号検出器に関する。
従来の走査電子顕微鏡において対物レンズ上方で二次電
子を検出するもので、軸ずれが生じないよう考慮した二
次電子検出器に特願昭５６−１７５２６３ 。
子を検出するもので、軸ずれが生じないよう考慮した二
次電子検出器に特願昭５６−１７５２６３ 。
特願昭５７−１９５８１４．特願昭５９−１９１６．特
願昭５８−３７３７４ 、特願昭５７−１１８２２８等
があるが、これらはいずれも複数の検出器を対称に配置
し、場合によっては、グリッドメツシュ等で検出器の電
界を緩和させて用いる方式（特願昭５９−１９１６）で
ある。
願昭５８−３７３７４ 、特願昭５７−１１８２２８等
があるが、これらはいずれも複数の検出器を対称に配置
し、場合によっては、グリッドメツシュ等で検出器の電
界を緩和させて用いる方式（特願昭５９−１９１６）で
ある。
これらいずれの方式においても、原理的に完全な軸対称
電界で二次電子を捕捉することは不可能で。
電界で二次電子を捕捉することは不可能で。
あえて軸対称な電界に近づけようとすれば、検出器の個
数をかなり多くしなければならず、配置スペースの面か
らも限界のあることは明らかである。
数をかなり多くしなければならず、配置スペースの面か
らも限界のあることは明らかである。
したがって、上記方式によって生じる二次電子捕捉のた
めの電界は必ず非点成分をもつものであり。
めの電界は必ず非点成分をもつものであり。
軸ずれは防ぐことができても非点が増大する欠点があっ
た。
た。
上記従来技術は、完全な軸対称電界を二次電子検出器に
より作ることができないため一次電子線の軸ずれは防げ
ても、非点を発生させる問題があった。
より作ることができないため一次電子線の軸ずれは防げ
ても、非点を発生させる問題があった。
本発明の目的は、−次組子線の軸ずれと非点の両方を発
生させない二次電子検出器を実現し、高加速電圧から低
加速電圧まで、十分な検出効率で高分解能を得る走査形
電子検Ｉｎを提供することにある。
生させない二次電子検出器を実現し、高加速電圧から低
加速電圧まで、十分な検出効率で高分解能を得る走査形
電子検Ｉｎを提供することにある。
上記目的は、電子線通路（光軸）上に一次電子を防げな
いよう孔のあいた二次電子検出器を設け、光軸に対して
完全軸対称な電位分布となるような印加電圧を加えるこ
とにより達成される。
いよう孔のあいた二次電子検出器を設け、光軸に対して
完全軸対称な電位分布となるような印加電圧を加えるこ
とにより達成される。
第１図を基に本発明の基本的な作用を説明する。
電子源１より放射された一次電子線２は集束レンズ１２
及び対物レンズ３により試料４上に細く絞られる。また
、偏向コイル５，６により一次電子線２は試料４上を二
次元的に走査する。試料４から発生した二次電子７は対
物レンズ３の強磁場によりスパイラル軌道をとり上方へ
移動する。この時、シンチレータ８にはｌ０ＫＶの電圧
が印加されており、対物レンズ上方へ移動した二次電子
７はこの電界によって引張られてシンチレータに衝突し
シンチレータを発光させ、ライトガイド９で外部に光信
号として取出される。シンチレータ８は、軸対称なドー
ナツ形をしているため、シンチレータ８に印加した電圧
によって生じる電界も軸対称なものとなり、−次組子線
を曲げて軸ずれを生じさせるような偏向成分も非点発生
も生じない。
及び対物レンズ３により試料４上に細く絞られる。また
、偏向コイル５，６により一次電子線２は試料４上を二
次元的に走査する。試料４から発生した二次電子７は対
物レンズ３の強磁場によりスパイラル軌道をとり上方へ
移動する。この時、シンチレータ８にはｌ０ＫＶの電圧
が印加されており、対物レンズ上方へ移動した二次電子
７はこの電界によって引張られてシンチレータに衝突し
シンチレータを発光させ、ライトガイド９で外部に光信
号として取出される。シンチレータ８は、軸対称なドー
ナツ形をしているため、シンチレータ８に印加した電圧
によって生じる電界も軸対称なものとなり、−次組子線
を曲げて軸ずれを生じさせるような偏向成分も非点発生
も生じない。
しかし、シンチレータ８の印加電圧によって生じる軸上
電位が高過ぎると静電しレンズ作用が生じ収差が増大す
る。この影響は加速電圧が低いほど顕著である。そこで
、シールドパイプ１０とシールド１１とをアース電位に
して軸上電位が一次電子線への影響が小さくなるように
している。
電位が高過ぎると静電しレンズ作用が生じ収差が増大す
る。この影響は加速電圧が低いほど顕著である。そこで
、シールドパイプ１０とシールド１１とをアース電位に
して軸上電位が一次電子線への影響が小さくなるように
している。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。電子
銃１より放射された一次電子２は、集束レンズ１２及び
対物レンズ３で試料４上で細く絞られ、偏向コイル５，
６で二次元的に走査される。
銃１より放射された一次電子２は、集束レンズ１２及び
対物レンズ３で試料４上で細く絞られ、偏向コイル５，
６で二次元的に走査される。
試料４から発生した二次電子７は、対物レンズ３の強磁
場によりスパイラル軌道をとり上方へ向かう。一方、シ
ンチレータ８は、中心に孔のあいた円形をしており、二
次電子を引つけるために１０ＫＶの電圧が印加される。
場によりスパイラル軌道をとり上方へ向かう。一方、シ
ンチレータ８は、中心に孔のあいた円形をしており、二
次電子を引つけるために１０ＫＶの電圧が印加される。
対物レンズ３の磁極を通過した二次電子は、対物レンズ
の磁場の拘束から自由となり、その大部分が、シンチレ
ータ８の電界に引張られてシンチレータ８に向かい高効
率な検出ができ、ライトガイド９により外部に光信号と
して取出される。シールドパイプ１０とシールド１１は
、シンチレータ８に印加したｌ０ＫＶの電圧が、−次組
子線２に影響を与えないようにするもので、低加速電圧
から高加速電圧まで、検出効率を下げず、しかも−次組
子ａ２に影響を与えず高分解能が維持できる。
の磁場の拘束から自由となり、その大部分が、シンチレ
ータ８の電界に引張られてシンチレータ８に向かい高効
率な検出ができ、ライトガイド９により外部に光信号と
して取出される。シールドパイプ１０とシールド１１は
、シンチレータ８に印加したｌ０ＫＶの電圧が、−次組
子線２に影響を与えないようにするもので、低加速電圧
から高加速電圧まで、検出効率を下げず、しかも−次組
子ａ２に影響を与えず高分解能が維持できる。
また、シンチレータ８は、マイクロチャンネルプレート
や半導体等を利用した他の検出素子に置き換えても同様
の効果を得ることは言うまでもない、更に、二次電子検
出素子を分割して信号を取り出すことも可能で、いずれ
の場合も一次電子線への影響はほとんどなく高効率の二
次電子検出が可能となる。
や半導体等を利用した他の検出素子に置き換えても同様
の効果を得ることは言うまでもない、更に、二次電子検
出素子を分割して信号を取り出すことも可能で、いずれ
の場合も一次電子線への影響はほとんどなく高効率の二
次電子検出が可能となる。
本発明によれば、対物レンズ内に試料を挿入するタイプ
の走査電子顕微鏡において、加速電圧を低加速から高加
速まで変化させても、−次組子線の軸ずわや非点を発生
させることなく、しかも高検出効率を維持することがで
き、広範囲な使用加速電圧において高分解能な像ａｍを
行なうことができる。また、軸対称な形状をした検出器
として二次電子検出器以外の例えば、反射電子検出器、
カソードルミネッセンス（Ｃ：Ｌ）検出器等を用いても
同様の効果を得ることができる。
の走査電子顕微鏡において、加速電圧を低加速から高加
速まで変化させても、−次組子線の軸ずわや非点を発生
させることなく、しかも高検出効率を維持することがで
き、広範囲な使用加速電圧において高分解能な像ａｍを
行なうことができる。また、軸対称な形状をした検出器
として二次電子検出器以外の例えば、反射電子検出器、
カソードルミネッセンス（Ｃ：Ｌ）検出器等を用いても
同様の効果を得ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
１・・・電子源、２・・・−次組子線、３・・・対物レ
ンズ、４・・・試料、５，６・・・偏向コイル、７・・
・二次電子。 ８・・・シンチレータ、９・・・ライトガイド、１０・
・・シールドパイプ、１１・・・シールド、１２・・・
集束レンズ。
ンズ、４・・・試料、５，６・・・偏向コイル、７・・
・二次電子。 ８・・・シンチレータ、９・・・ライトガイド、１０・
・・シールドパイプ、１１・・・シールド、１２・・・
集束レンズ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料を対物レンズの磁極に近づけるか、又は磁極内
に挿入して、試料から発生する信号を対物レンズ磁極内
を通過させて検出する方式を有する走査電子顕微鏡にお
いて、信号検出器の検出部が軸対称な形状を有し、対物
レンズの電子源側の一次電子線の光軸上に軸対称に配置
することを特徴とする走査電子顕微鏡の信号検出器。 ２、特許請求の範囲第１項において、検出部を分割して
各分割部分からの検出信号を独立に取出すことを特徴と
する走査電子顕微鏡の信号検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25569086A JPS63110543A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 走査電子顕微鏡の信号検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25569086A JPS63110543A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 走査電子顕微鏡の信号検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63110543A true JPS63110543A (ja) | 1988-05-16 |
Family
ID=17282273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25569086A Pending JPS63110543A (ja) | 1986-10-29 | 1986-10-29 | 走査電子顕微鏡の信号検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63110543A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01319240A (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-25 | Jeol Ltd | ２次電子検出器 |
| EP0474223A2 (en) * | 1990-09-06 | 1992-03-11 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| US5387793A (en) * | 1992-10-15 | 1995-02-07 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| DE112008003986T5 (de) | 2008-08-20 | 2012-01-12 | Advantest Corporation | Elektronenerfassungsgerät und Rasterelektronenmikroskop |
| JP2012248304A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Horon:Kk | 電子検出装置および電子検出方法 |
-
1986
- 1986-10-29 JP JP25569086A patent/JPS63110543A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01319240A (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-25 | Jeol Ltd | ２次電子検出器 |
| EP0474223A2 (en) * | 1990-09-06 | 1992-03-11 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| US5387793A (en) * | 1992-10-15 | 1995-02-07 | Hitachi, Ltd. | Scanning electron microscope |
| DE112008003986T5 (de) | 2008-08-20 | 2012-01-12 | Advantest Corporation | Elektronenerfassungsgerät und Rasterelektronenmikroskop |
| US8354638B2 (en) | 2008-08-20 | 2013-01-15 | Advantest Corp. | Electron detection device and scanning electron microscope |
| JP2012248304A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Horon:Kk | 電子検出装置および電子検出方法 |
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