JPS5876835A - パタ−ン形成されたレジスト性硬化樹脂膜の作製方法 - Google Patents

パタ−ン形成されたレジスト性硬化樹脂膜の作製方法

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JPS5876835A
JPS5876835A JP17505081A JP17505081A JPS5876835A JP S5876835 A JPS5876835 A JP S5876835A JP 17505081 A JP17505081 A JP 17505081A JP 17505081 A JP17505081 A JP 17505081A JP S5876835 A JPS5876835 A JP S5876835A
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JP17505081A
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Yuhei Nemoto
根本 雄平
Shiro Takahashi
四郎 高橋
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DIC Corp
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Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はパターン形成されたレジスト性硬化樹脂膜の作
製方法に関し、更に詳細に言えば、梢巧な加エバターン
の形成された硬化樹脂膜を基材表面上に作製する方法に
関する。
近年、IC’pL8Iが大量生産されるようになり、こ
れらの電子素子を装着しその端子を接続配線するための
y−ド・フレームJPフィルム・キャリアの需要が増大
している。
又、各極の電子部品や電子機器には様々な形状のコネク
ターや接続−子が必要であり、これらが大賞に生産され
ている。
リードフレームやコネクターなどの基材はリン青銅、ペ
リリューム鋼、洋白、ステンレス製などで、素子端子の
接続sJPコンタクト部分の完全な電気接触と長期耐久
性の保証のために、金、嫁、その他の貴金属のメッキが
不可欠であるO 従来、これら基材はあらかじめ基材全面に貴金属メッキ
が施され、素子装着や製造の工程で適当な形状にパンチ
ングされた後、不必要な部分のメッキ貴金属を回収する
ζいう方法が採られてきた。しかし、省資源と工程合理
化のためKは、ボンディング又はコンタクトすべき各電
子部品類の特定の小面積部分にだけパターンメッキされ
て基材が部品の生産に提供されるのか望ましい。
さらに、これら基材は従来金属帯片として樋工根に供給
さ汰不連続な生産処理が行われてきたが、効率の商い大
量生産処理のためには長巻の金輌帯又はフープの形で連
続生産工種に提供されるべきである。
このよ5なlI望に応えるために、本発明は考案さtl
、%暮々検討の結果適切な手沢な提供するに至った。
パターンメッキされた長春金m帝又はパターンメッキ7
−グを作製するためKは、パターンメッキすべき部分の
みを残し【表層全面をメツキレシスト塗膜でマスキング
した長巷金j14蛍又はフープの基材が作製されなけれ
ばならない。
このようなメッキパターンを残して連続したレジスト膜
な形成する方法としては、連続メッキパターン部をマス
キングするマスク材を所定のマスキング部分に貼合し、
その後全面をレジストa料でコートする方法が考えられ
る。しかし、この方法では所定の形状の単位マスキング
パターンを所定のピッチ間隔で連続的にマスク材を貼合
、配置することが必貴であり、この生産工程には多大の
設備又は人力と時間が不ロI欠となる。
また、パターン部を残して全面にレジストIll科をコ
ートする方式として印刷方式が考えられる。しかし、通
常の印刷方式ではレジスト膜厚が薄くならざるを傅ず、
充分なレジスト性ta1保することが崩御である。ある
いはスクリーン印刷方式によれはレジストKMは充分な
る厚さとなるが、精巧なパターンの形成は無理である。
銃士の如き各問題は、電子部品の製造の際のメッキパタ
ーンの形成に限られるものではなく、プリント配線基板
の加工や金属、グラスチック、セラミック、ガラス、木
材等の各種基材表面をメッキ、エツチング、ホーニング
、着色、変質等の各m物理的、化学的手段で加工する際
、加工部が梢巧なパターンを形成する必要があるときは
共通して生ずる間麺である。
従って、本発明の目的L 精巧な加エバターンを有し、
且つ充分なるレジスト性を有する硬化樹脂膜な各種晶材
上に作製する方法を提供することにある。
即ち、本発明は、基材の表面にレジスト性を有する紫外
線硬化性塗料を塗装する第1工程と、その盆狭に紫外線
を照射して予備硬化せしめる第2工程と、この塗膜に所
定の加エバターンを非感光性の不透明印刷インキで印刷
する第6エ程と、この印刷された塗膜に紫外総を即射l
−て印刷部以外の1m換を完全硬化せしめると共に印刷
部の塗膜を前記予備硬化状態に維持する第4工程と、こ
の予備硬化状態に維持した印刷部のml膜を溶出又は剥
離して加エバターン部を形成する第5工程とから成るパ
ターン形成されたレジスト性硬化’tlH’d禮の作製
方法な提供するものである。
以下、本発明方法の各工程につぎ詳細に説明する。
M1工相 第1図において、(1)は金属、グラスチック等の素材
より7jるシート、フィルム等の基材であって、この基
材(1)は長巻状とされて連続槓ラインの始端部に配置
され、連続的に繰り出されてラインに供給される。(2
)は這装装置であって、このgk置(2)によって基材
(1)の表良悶面にレジスト性を有する紫外線硬化性塗
料(3ンを塗装する。図示の実施例では改漬m装装厘を
使用して基材i1)の六層μσ即に菫装してぃるが、基
材(11への遊装な片面塗装とするか、両面塗装とする
かは、パターンの使用目的に応じて適宜決定すればよく
、従って、本発#!Aにおいては装置(2)はこれに@
足されるものでなく両面又は片肉m装可能なロールコー
タ−、ナイフコーター、スプレーコーター等の各種装置
を使用し得る。また、図示の実施例では、基材11)と
して連続体を使用しているが、基材(1)の形状は板状
、シート状等の不連続体であってもよく、またその素材
は上記素材のほかガラス、セラミック等の木材でもよい
。不連続体な使用する場合、遊装装置、搬送at勢の一
部ラインの一部を不連続体の基体に退会するように設計
変更すればよい。紫外−硬化性道科(3)としては、メ
ツキレシスト性、ソルダーレジスト性、エツチングレジ
スト性等の6柚レジろト性を有するものが使用され、こ
れは公知の各槍紫外111M!硬化性原料及び助剤mv
便用して配付、作製することができ、例えば紫外鰍直合
性不胞和二重結合特に好ましくは(メタ)アクリル系2
型結合を1分子中に少なくとも2個以上有するアクリル
、ポリエステル、ポリフレタン、ポリアミド、エボキク
系等の各植ポリマー又はプレポリマーを紫外線重合性七
ツマー籍に好ましくは多価アルコール1分子に少なくと
も2分子以上の(メタ)アクリル酸な反応せしめたポリ
オールポリアクリレートで檜釈し、これに周知の増感剤
史に必JRK応じて着色調料、体質顔料、各種助剤等を
添加して適正粘度に調製した遊科を作製することができ
る。
このような迩料を塗装する際、通常、20〜50m/分
のラインスピードでレジスト膜として必要な8〜15μ
軍誤厚の塗装を行なう。
第2工程 (4ンは第1次紫外!!照射装置であり、該装置(4)
内に第1工根で塗装された基材illを導入してその血
装面に紫外線な照射し、該塗膜な予備硬化せしめる。そ
の際、塗膜の硬化程度が重要であり、後記する第3工程
の印刷ができ且つ第4工程の印刷部のm膜の溶出又は剥
離除去ができる一定軛囲内の軽度の硬化EilJ御する
ことが必要である。紫外1射強度、塗膜厚さ、塗料の硬
化性、ラインスピード等を考慮して照射条件′4r:W
i定すれば、必要な硬化塗膜に制御することは容易であ
る。
第3工程 (5)は印刷機であり、該印刷機により、第2工程で予
備蒙化せしめたJIIJlaK紫外線遮蔽性を有する非
感光注即刷インキで所定の加エバターンを印刷する。そ
の際の印刷方式としては例えば輪転式凸版印刷又は平版
オフセット印刷方式が望ましく、印刷インキとしては一
般的にカーボンブラックを15〜2031i1%含有す
る枚葉凸版インキ又は枚業士版インキが望ましい。
印刷方式としてはそのほかに凹版印刷又はグラビア印刷
も考えられるが、毎ロットごと異る形状の加エバターン
の製版をするには製版コストが高価で経済性に難点があ
る。
従って本発明の方式においては凸版印刷又は平版印刷が
適当であり、その印刷版には感光性樹脂凸版、感光性7
レキソ販や平版28版、ベーパーマスター又は、湿し水
不要平版など市販の一般版材が利用できる。
基材がシート状又はブロック状の印刷の場合は、所定の
加エバターンに従ってネガ又はポジm桶を作製し、これ
を上記版材に密Nlt光・現像して印刷版としこれを一
般の平版・凸版印刷の手職に従って印刷機に装置、印刷
することができる。
しかし、**状又はコイル状の基材の印刷では、一般に
パターンが連続的に印刷できることが盪ましく、この場
合はパターン・ピッチと版の径は次の式に示す関係が正
−に保たれる必要がある。
1 π ここで、R:必要な版及びゴム網のシリンダー径a:パ
ターン・ピッチ 11:版−回転で得られるパダーン数 この場合の製版は所定の加エバターン形状及びピッチを
有してこの画像が連続的に印刷できるように版胴径に通
合するパターンの配列と寸法な有するネガ又はポジJJ
7A摘な未塵光版に重ねて菖光・穏家し、加エバターン
のポジm像を形成させ、凸版又は平版の刷版とする。
本発明者らの実験により、市販の液状又は固体感光樹脂
版を用い、これを平面上で電光・現像し、この版を両面
接着チーブによって印刷機の版胴に正確に巻きつけ、版
の先端と末端をa5■以内のスキマとなるように注、を
深くつなぎ合せることにより、20〜50m/分の印刷
速度の範囲でダイレクト凸版印刷で満足すべき連続パタ
ーンの印刷が可能であることを#&耐した。
この場合、指定のパターン・ピッチでPJr足のパター
ンカ連続的に印刷されなければならないので、版胴径R
はパターン−ピッチ1とR=−*の対応でEJ変でなけ
ればならなπ い。
第4工程 (6)は第2次紫外i!照射装置であり、該装置(6)
内に第6エ程で印刷した基材(1)を尋人してその全面
に紫外−を照射し、凱旋を完全硬化せしめるが、その際
印刷部の塗膜は印刷皮層による震外蕨の3AyIHlに
より光硬化反応を起さず依然として第2工程での予備硬
化状態を維持する。
第5工程 (7)は挽曽装置であって噴射ノズ〃(8)を有する。
第4工程で紫外縁照射された基材(11をfji像装置
(7)内に導入し、ノズル(8)から現像液(9)を該
基材に噴射することにより、その印刷部即ち印刷インキ
族と該膜下の予備硬化状態を溶出又は剥離除去して、〃
uエバターンを現像する。図示の実施では噴射型現像装
f1tを使用しているが、本発明はこれに限戻されず、
現像榴を備えた浸tlL盤現像装置等各撞のものを使用
し得る。3JiaR[(9)としては基材(1)の印刷
部を斜解又は別層可能であり、同時に、レジスト膜とな
る前記印刷部以外の完全硬化塗膜を浸さない適当な有機
溶剤例えば酢酸エチルとトリクロルエタンの混合溶剤又
はトリクロルエチレンなどを使用し得る。
第5工程の現像終了後、基材(1)の加エバターンをト
リクレーンその他の有1a浴剤からなる洗浄剤QQで充
分況浄し、乾燥してパターン形成されたレジストm!膜
を有する基材を得る。軸は洗浄槽、稙1&文洗浄用回転
ブラシ、Iは乾諌滲を表わす。
叙上の如く、本発明方法は、長巻状又はシート状の基材
の表向に、加エバターンの形成され起レジスト塗膜を連
続生産ラインで一貫形成することを可能とするものであ
り、同時に、加エバターンを紫外線硬化によるレジス)
Mの部分的な溶鱗性乃至は耐溶剤性の程度差を利用して
形成するものであるため、健めて高い実用性とれ陽性を
もつものである。
次に、実施例により本発明を具体的に説明する。各実施
例で使用したsg1次及び第2次紫外巌照射装筺は下記
の構成を有する。
第1次紫外紐雇射装置 所定逮腿で搬送される塗装物の上下14cmの位置に夫
々4本の紫外線ランプが配置され、各ランプは互に10
1の間隔を置いてランプ長軸がコンベアの搬送方向と直
角になるように配置される。各ランプの出力は2kl、
[効うング長は150蘭である。
第2次紫外線照射装置 所定速度で搬送される塗装物の上下101の位置に夫々
5本の紫外線ランプが配置され、各ランプは互に101
の間隔を置いてランプ*軸力七ンペアの搬送方向と直角
になるように配置される。各ランプの出力は2.okW
、4’幼ランプ長は150■である。
実施例1 第1図に示した製造ラインを用いて以下の例を実施した
ラインスピードは20t/分に設定した。リン青銅製金
属帯(三菱電機製PBRIH)゛にメツキレシスト性を
有する紫外線硬化性塗料(大日本インキ化学工業製ダイ
キュアPR)を15μの厚さで表層両面の全rkiK塗
装した後、第1次紫外線照射装置の中を通してm換を予
備硬化させた。
次いで、輪転式凸版印刷機(版胴に感光性樹脂(大日本
インキ化学工業製V10DICU−82)で作製した凸
版印刷版を絢面接着テープを用いて巻きつけ、版継目部
をエポキシ接層剤でシールしである。)と+版印刷用蟲
インキ(大日本インキ化学工業製ニューチャンピオンア
ペックス墨)を用いて金に4帝の1111面に所定のパ
ターンを印刷した。次いで金属帯を第2次紫外−照射装
置の中を20tn1分の速度で通して墨インキで印刷さ
れた以外の部分のamを十分に硬化させた。次いで、溶
剤噴射ノズルとナイロン製ブラッシングロールを内蔵し
たステンレスi浴剤視像装置と、現像液としてトリクロ
ルエチレンを使ってパターンを現像した。現像によって
、印刷パターン部の塗膜が除去さゎ〜印刷パターンに忠
実な金Jf4帝表面が携われた。現像した金属帯を旋酸
ソーダ及び第6リン酸ソーダを含むpH11のアルカv
tgg中に70℃で60秒間浸漬し、水洗してから炭酸
ソーダ及び第6リン酸ソーダを含むpH11のアルカリ
溶液中で50℃電圧5v、電流密度4A/dがの条件で
60秒間電解洗浄した。酸洗いの後、銀ストライク浴中
で25℃、 電fIt密涙2A/dB”の条件で6秒間
銀ストライクメツキした後、続いてシアン飯浴中で25
℃、電tlt密度4A/d、!の条件で60秒間嫁メッ
キした。
硬化した塗膜は上記洗浄、メッキ操作に対し【十分なる
レジスト性を有し、塗膜の#離は全くなかった。メッキ
の後、ジクロルメタンでレジスト塗層を剥離して水洗し
、蝋でパターンメッキされた金属帯を得た。
実施例2 0−ルコーターで厚さ0.6閣、大きさ500 X40
0sIjのアルミ板上に実施例1で用シ・た紫外線硬化
性塗料を10μの厚さで表面に全面j1!布し、この板
を181次紫外m射装置の中を20m/分の速度で通し
て塗膜を予備硬化させた後、平版オフセット印刷機と実
施例1で用いた平版墨インキを用いて所定のパターンを
印刷した。次いでこの板を第2次紫外線照射装置の中を
20m/分の速にで通して塗膜を十分に蝶化させt−後
実施例1と同様の現像装置と現像液な使用してパターン
を現像した。次いで1%苛性ソーダのアルカリ溶液中で
25℃で50秒t口]電解況浄した。水洗後シュウば2
チを含む寛鱗浴の中で陰徐に黒鉛、陽極に上記アルミ板
を椴付け、電流ffIj度I A / am2、温度2
5℃の条件で10分間交流%L流にて陽極酸化し、仄い
で電流密度0.5A/dm”m度25℃で60分間直流
奄訛で陽極酸化した後水洗し、蒸留水の中で20分間蕉
沸した。煮沸後、ジクロルメタンでレジストfiを剥離
して水洗し、パターン状に黄色に耐色したアルミ板を得
た。
実施例6 0−ルコーターで片面銅張積層板の@箭表面に夾施例1
で用いた紫外Ii#ji!&化性塗料を10μの厚さで
全面連装し、この板を第1次京外線照射装置の中を20
 m1分の速度で通して塗Hな予備硬化させた後、平版
オフセット印刷機と実施例1で用した平&墨インキを用
い【所定の回路用パターンを印刷した。次いで、この板
を第2次京外線照射装置の中を20m/分の速度で通し
てm膜を十分に硬化させた後、酢酸エチルと1.1.1
−トリクロルエタンの等菫混合溶液を現像液とし実施例
1と同様の#L像装置を使用してパターンを現像した。
この板を20チの塩化第二鋼及び15チのaII繊鈑を
言ひエツチング成牛に56℃で10分関&ffしてパタ
ーン部をエツチングし、水洗後二塩化エチレンでレジ’
xト慮gを剥離してm陥が回路状に残った積層板を得た
。銅消回路間の解像性は20μ相でエツチングレジスト
インキを用いたスクリーン印刷法にて得られた解雪性よ
りも良好である。
実施例4 0−ルコーターで厚さ6鵡大きさ50X100mのガラ
ス板上に実施例1で用いた紫外巌硬化性塗料を15j1
の厚さで全耐塗装し、この板を第1次京外線照射装置の
中を201!L/分の速度で通し、塗膜を予備硬化させ
た後、凸版オフセット印刷Ia(版胴に感光性衛脂(大
日本インキ化学工業製VIODICU−82)で作製し
た凸版印刷版を装着しである。)と実施例1で用いた平
版蟲インキを用いて所定のパターンを印刷し、実施例3
と同様にして塗膜の第2次紫外線照射と現像を行いレジ
ストパターンを有するガラス板を得た。この板の表向に
粒度60の金剛砂を5鴫A−の圧力で吠きつけた彼、水
洗し、次いでジクロルメタンでレジスト塗膜を剥離した
後再び水洗してパターン部が粗面化された装飾ガラス板
を得た0
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示す工程図である。 (1)・・・・・・・・・基材、(2)・・・・・・・
・・遊装装置、(3)、・・・・・・・・・紫外梅蒙化
性塗料、(4・・・・・・・・・第1次紫外線照射装置
、俤)・・・・・・・・・印刷機、(6)・・・・・・
・・・第2次紫外りll照射装置、(7)・・・・・・
・・・現像装置、(8)・・・・・・・・・噴射ノズル
、(9)・・・・・・・・・現像液、a曖・・・・・・
・・・洗浄液、ロト・・・・・・・洗浄情、aか・・・
・・・・・洗浄用回転ブラシ、I・・・・・・・・・乾
燥器

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基材の表面にレジスト性を有する紫外巌硬化性m料を遊
    装する第1工程と、その塗膜に紫外線を照射して該塗膜
    を予*硬化せしめる第2工程と、このamに所定のパタ
    ーンを非感光性の不透明印刷インキで印刷する第5工根
    と、この印刷された塗膜に紫外線を照射して印刷部以外
    の道換を完全硬化せしめると共に印刷部の塗膜を前記予
    備硬化状態に維持する第4工程と、この予備硬化状態に
    維持した印刷部の塗膜を溶出又は剥離してパターン部を
    形成する第5工程とから成ることを特徴としたパターン
    形成されたレジスト性硬化樹脂膜の作製方法。
JP17505081A 1981-10-31 1981-10-31 パタ−ン形成されたレジスト性硬化樹脂膜の作製方法 Pending JPS5876835A (ja)

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