JPS5875391A - 並列型画像検出器 - Google Patents
並列型画像検出器Info
- Publication number
- JPS5875391A JPS5875391A JP17301281A JP17301281A JPS5875391A JP S5875391 A JPS5875391 A JP S5875391A JP 17301281 A JP17301281 A JP 17301281A JP 17301281 A JP17301281 A JP 17301281A JP S5875391 A JPS5875391 A JP S5875391A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- windows
- fibers
- plate
- light
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N7/00—Television systems
- H04N7/18—Closed-circuit television [CCTV] systems, i.e. systems in which the video signal is not broadcast
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＬＳＩウェハなどのパターンの外観を自動的に
検査する装置等に用いられる並列ｍ画像検出器置に関す
るものである。
検査する装置等に用いられる並列ｍ画像検出器置に関す
るものである。
Ｌ８Ｉなどのパターンを高速に検出する手段には既に並
列型検出器が提案されている。この装置は第１図に於−
て試料１の上の一点２を対物レンズ５で拡大し、中′間
に回転多面鏡４又は振動鏡などを配して実像を走査し、
光ファイバ５とホトツル群６で実像を並列に電気信号に
変換するのを基本構成として−る。
列型検出器が提案されている。この装置は第１図に於−
て試料１の上の一点２を対物レンズ５で拡大し、中′間
に回転多面鏡４又は振動鏡などを配して実像を走査し、
光ファイバ５とホトツル群６で実像を並列に電気信号に
変換するのを基本構成として−る。
ＬＳＩパターンの比較検査では対物レンズを２個（３と
７）設け、元ファイバとホトツル群も同様に２組（５と
８及び６と９）設け、対応するホトマル同士、例えば１
０と１１の信号を比較して、一致しな一場合には試料上
に欠陥があると判定している。
７）設け、元ファイバとホトツル群も同様に２組（５と
８及び６と９）設け、対応するホトマル同士、例えば１
０と１１の信号を比較して、一致しな一場合には試料上
に欠陥があると判定している。
ここで元ファイバは一般には円形であるので第２図のよ
うに配置し、光ファイバの先端にホトマルを設けて−る
。しかし元ファイバには原理的に被覆部分１２が必要で
Ｔｏす、光を通す部分は１３の部分だけである。従って
この元ファイバで実像を検出した時には、被覆部分の情
報が失われるので、被覆部分に当った実像が、欠陥の実
像であった時には、欠陥を見逃すことになる。
うに配置し、光ファイバの先端にホトマルを設けて−る
。しかし元ファイバには原理的に被覆部分１２が必要で
Ｔｏす、光を通す部分は１３の部分だけである。従って
この元ファイバで実像を検出した時には、被覆部分の情
報が失われるので、被覆部分に当った実像が、欠陥の実
像であった時には、欠陥を見逃すことになる。
これを防ぐために第３図で、太さ１０〜２０μｍｉｔの
細い光７アイバ１４を正方形に束ねて使用することも考
えられるが、実際には加工が極めて困難である。ｉた細
−光ファイバは光の伝達効率が低いため、光の損失が生
じる欠点がある。更に正方形の束を精度よく配置するこ
とが出来ないので、実像を検出する際に歪が生じる欠点
もある。
細い光７アイバ１４を正方形に束ねて使用することも考
えられるが、実際には加工が極めて困難である。ｉた細
−光ファイバは光の伝達効率が低いため、光の損失が生
じる欠点がある。更に正方形の束を精度よく配置するこ
とが出来ないので、実像を検出する際に歪が生じる欠点
もある。
本発明の目的は上記した従来の欠点をなくし、情報の損
失がなく、高−精度で像を検出できるようにした並列部
画像検出装置を提供することにある。
失がなく、高−精度で像を検出できるようにした並列部
画像検出装置を提供することにある。
即ち本発明は、光ファイバとして伝達効率の高い比較的
太い光ファイバを使用し、光ファイバの前面にホトエツ
チングで精度良〈作りた正方形又は長方形の窓を設け、
窓を通過した光を元ファイバで受光し、ホトマル等に導
く構成をとることを特徴とするものである。特に窓はホ
トエツチングで作られるため、高−配列精度が得られる
。
太い光ファイバを使用し、光ファイバの前面にホトエツ
チングで精度良〈作りた正方形又は長方形の窓を設け、
窓を通過した光を元ファイバで受光し、ホトマル等に導
く構成をとることを特徴とするものである。特に窓はホ
トエツチングで作られるため、高−配列精度が得られる
。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて具体的に説明
する。
する。
第４図で１５は直径約１００μｍの党ファイバを一列に
密に並べたものであり、その前面にプレート１６を設け
る。プレート１６は板又はガラス乾板などであり、ホト
エツチング々どで精度良く作った５０μｍ の窓１７．
１８などを有している。
密に並べたものであり、その前面にプレート１６を設け
る。プレート１６は板又はガラス乾板などであり、ホト
エツチング々どで精度良く作った５０μｍ の窓１７．
１８などを有している。
これにより高精度で実像が検出出来るが、窓の間に間隙
がある丸めに、ここでは実像が検出できず情報が失われ
る。この欠点を除去するために次の方法を用いても良い
。
がある丸めに、ここでは実像が検出できず情報が失われ
る。この欠点を除去するために次の方法を用いても良い
。
第１図に示した同転多面鏡により実像は一方向に走査さ
れるが、走査方向は第５図で１９の方向になっている。
れるが、走査方向は第５図で１９の方向になっている。
従って情報を失わないで実像を検出するためには窓を２
行にし、窓の縦方向の間隙ｙＦｉあっても良−が、横方
向の関＠ｘを零にする。
行にし、窓の縦方向の間隙ｙＦｉあっても良−が、横方
向の関＠ｘを零にする。
窓をこのように配置すれば実像の検出が出来る。
実際には第６図のように元ファイバ２２を２行にし、隙
間なく千鳥状に配置し、その前に窓２３゜２４などを有
するプレート２５を設ける。この際窓の横方向の間＠２
４を零にすれば実像の情報を失わずに検出することが出
来る。
間なく千鳥状に配置し、その前に窓２３゜２４などを有
するプレート２５を設ける。この際窓の横方向の間＠２
４を零にすれば実像の情報を失わずに検出することが出
来る。
実際には第１図の光７ア、イバ５の先端系に本発明を適
用することにより、実像を高精度且つ情報を失うことな
く、ｙｔの損失も少なｉ状態で検出する仁とが出来る。
用することにより、実像を高精度且つ情報を失うことな
く、ｙｔの損失も少なｉ状態で検出する仁とが出来る。
ところで直径１００μｍ（ＱＪＪｔファイバを単純に密
に配列した場合の配列誤差は±５μｍ以上生ずるため、
実像を並列に検出する際にはこの分が像歪となって現わ
れる０本発明によるプレート上の窓は±１μｍ以内の誤
差で容易に製作可能であるので、実像の検出に当って像
歪が少な−。
に配列した場合の配列誤差は±５μｍ以上生ずるため、
実像を並列に検出する際にはこの分が像歪となって現わ
れる０本発明によるプレート上の窓は±１μｍ以内の誤
差で容易に製作可能であるので、実像の検出に当って像
歪が少な−。
また直径１００μｍＯ党ファイバでは被覆厚さが１０μ
ｍ以上あるため、真に光を伝達する部分の直径は８０μ
ｍｓ度である。この九め被覆部分の情報（約２０−）が
失われるので、正確には実像が検出出来な鱒０本発明を
用−れば情報を全く失うことなく、正確に実像が検出出
来る。
ｍ以上あるため、真に光を伝達する部分の直径は８０μ
ｍｓ度である。この九め被覆部分の情報（約２０−）が
失われるので、正確には実像が検出出来な鱒０本発明を
用−れば情報を全く失うことなく、正確に実像が検出出
来る。
以上説明したように本発明によれは、像の歪が少なく正
確に実像を検出できる効果を奏する。
確に実像を検出できる効果を奏する。
第１図は本発明に係る並列製検出器を示した図、第２図
及び第３図は従来の光ファイバの並べ方の説明図、第４
図、第５図及び第６図は各々本発明の一実施例を示す図
である。 １５．２２ ・・・ 元ファイバ １６．２５ ・・・ プレート １７、１８．２０．２１．２５．２４・・・窓才 ／
図 〃 才２ 囚 ／Ａ 第３図 り ４１１！ｌＩ 才乙図 第１頁の続き ０発 明 者 伏見智 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ０発 明 者 青木信彦 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内
及び第３図は従来の光ファイバの並べ方の説明図、第４
図、第５図及び第６図は各々本発明の一実施例を示す図
である。 １５．２２ ・・・ 元ファイバ １６．２５ ・・・ プレート １７、１８．２０．２１．２５．２４・・・窓才 ／
図 〃 才２ 囚 ／Ａ 第３図 り ４１１！ｌＩ 才乙図 第１頁の続き ０発 明 者 伏見智 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内 ０発 明 者 青木信彦 横浜市戸塚区吉田町２９２番地株 式会社日立製作所生産技術研究 所内
Claims (3)
- （１） 反射光又は透過光を用いて試料を照明する照
明手段と、試料の表面からの像を走査する走査手段を、
該走査手段によって走査された儂を導く元ファイバと、
該光ファイバの前面に設けられ、かつ複数個の窓を有す
るプレートと、該光ファイバで導びかれた像を撮像する
撮像装置とを備え付けたことを特徴とする並列ｍ画像検
出器置。 - （２） 上記プレートとしてガラス乾板上に透明な窓
部分を写真技術で形成したことを特徴とする特＃ｌＦｌ
ｉ１ｗ求の範囲第１項記載の並列型画像検出装置。 - （３）上記プレートとして、薄板上にエツチングなどで
窓を形成したことを特徴とする％＃’！ＦＭ求第１項記
載の並列５１１ｍ像検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17301281A JPS5875391A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 並列型画像検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17301281A JPS5875391A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 並列型画像検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5875391A true JPS5875391A (ja) | 1983-05-07 |
Family
ID=15952555
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17301281A Pending JPS5875391A (ja) | 1981-10-30 | 1981-10-30 | 並列型画像検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5875391A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104659A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Hitachi Ltd | 半導体固体撮像素子アレイ |
-
1981
- 1981-10-30 JP JP17301281A patent/JPS5875391A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104659A (ja) * | 1984-10-29 | 1986-05-22 | Hitachi Ltd | 半導体固体撮像素子アレイ |
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