JPS587361A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents
液体噴射記録ヘツドInfo
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- JPS587361A JPS587361A JP10485181A JP10485181A JPS587361A JP S587361 A JPS587361 A JP S587361A JP 10485181 A JP10485181 A JP 10485181A JP 10485181 A JP10485181 A JP 10485181A JP S587361 A JPS587361 A JP S587361A
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- JP
- Japan
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- liquid
- recording head
- thermal
- heat
- electric
- Prior art date
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- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、液体噴射記録装置に用いられる記録ヘッドＫ
ＩＩＬ、４１ＫＩ１体噴射複写機中クアタシ〉リプリン
ターの如き装置に用いるのに好適１１１１滴を吐出噴射
する形式の液体噴射記録ヘッドに関するものである。
ＩＩＬ、４１ＫＩ１体噴射複写機中クアタシ〉リプリン
ターの如き装置に用いるのに好適１１１１滴を吐出噴射
する形式の液体噴射記録ヘッドに関するものである。
ノンインパクト配置法は、記録時に於ける騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点に於いて、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であシ、
而も所謂普通紙に定着という特別な処罵を必要とせずに
記録の行なえる所謂インクジェット記録性（液体噴射記
録法）は、極めて有力な記録法であって、これ迄にも様
々な方式Ｏ提案とそれを具現化する装置が考案され、改
嵐が加えられて商品化されたものもあれば、現在も尚実
用化への努力が続けられているものもある。
無視し得る程度に極めて小さいという点に於いて、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であシ、
而も所謂普通紙に定着という特別な処罵を必要とせずに
記録の行なえる所謂インクジェット記録性（液体噴射記
録法）は、極めて有力な記録法であって、これ迄にも様
々な方式Ｏ提案とそれを具現化する装置が考案され、改
嵐が加えられて商品化されたものもあれば、現在も尚実
用化への努力が続けられているものもある。
その中で、例えば特開昭５４−５１８３７号会報、ドイ
ツ公開（ＤＯＬ８ ）第２８４３０６４号会報に記載さ
れである液体噴射記録法は、液滴形成エネルギーである
熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の為の原動
力を得るという点に於いて、他の液体噴射記録法とは、
異なる特徴を有している。
ツ公開（ＤＯＬ８ ）第２８４３０６４号会報に記載さ
れである液体噴射記録法は、液滴形成エネルギーである
熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の為の原動
力を得るという点に於いて、他の液体噴射記録法とは、
異なる特徴を有している。
即ち、上記の公報に開示されである記録法では、熱エネ
ルギーの作用を受は丸液体が急峻な体積の増大を伴う状
態変化を起し、該状態変化に基づく作用力によって、記
録ヘッド部先端のオリフィスよシ液滴が吐出、飛翔して
被記録部材に付着し記録が行なわれる。
ルギーの作用を受は丸液体が急峻な体積の増大を伴う状
態変化を起し、該状態変化に基づく作用力によって、記
録ヘッド部先端のオリフィスよシ液滴が吐出、飛翔して
被記録部材に付着し記録が行なわれる。
殊に、ＤＯＬ８ ２８４３０６４に開示されている液体
噴射記録法は、所＠ ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎｄ
記録法に極めて有効に適用されるばかシではなく、配置
ヘッド部をｆｕｌｌ ｌ！ｎｅタイプで高密度マルチオ
リフィス化して容易に実現出来るので、高解ｇ１１ｔＬ
１高品質の画像を高速で得られるという利点を有してい
る。
噴射記録法は、所＠ ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅｍａｎｄ
記録法に極めて有効に適用されるばかシではなく、配置
ヘッド部をｆｕｌｌ ｌ！ｎｅタイプで高密度マルチオ
リフィス化して容易に実現出来るので、高解ｇ１１ｔＬ
１高品質の画像を高速で得られるという利点を有してい
る。
この様に、上記の液体噴射記録法は、優れ九特徴を有す
るものであるが、高解像度、高品質の画像を更に高速で
記録するには、マルチオリフィスのそれぞれのオリフィ
スから吐出される液滴の飛翔速度と体積が均一にそろっ
ている必要がある。
るものであるが、高解像度、高品質の画像を更に高速で
記録するには、マルチオリフィスのそれぞれのオリフィ
スから吐出される液滴の飛翔速度と体積が均一にそろっ
ている必要がある。
上記の如き記録法に適用される記録ヘッドにおいて、吐
出する液滴Ｏ飛翔速度および体積を決定する要因として
杜、液滴形成エネルギーとしてＩ！に作用する熱エネル
ギーの大きさとオリフィス等の液体流路の形状があけら
れる。この点を図を用いて説明すれば、上記の記録法に
適用される記録ヘッドは、例えば、第１図に示す様な構
造を有している０図に於て、電気・熱変換体１０２は、
液滴形成エネルギー作用部である熱作用部１０７に於い
て、エネルギー作用面としての熱作用面１０１を介して
矢印Ａよシ導入される液体と接触している。この様な構
成は、発生される液滴形成エネルギーとしての熱エネル
ギーな熱作用部１０７にある液体に有効に且つ効率嵐く
作用させる目的から採用されているものである。
出する液滴Ｏ飛翔速度および体積を決定する要因として
杜、液滴形成エネルギーとしてＩ！に作用する熱エネル
ギーの大きさとオリフィス等の液体流路の形状があけら
れる。この点を図を用いて説明すれば、上記の記録法に
適用される記録ヘッドは、例えば、第１図に示す様な構
造を有している０図に於て、電気・熱変換体１０２は、
液滴形成エネルギー作用部である熱作用部１０７に於い
て、エネルギー作用面としての熱作用面１０１を介して
矢印Ａよシ導入される液体と接触している。この様な構
成は、発生される液滴形成エネルギーとしての熱エネル
ギーな熱作用部１０７にある液体に有効に且つ効率嵐く
作用させる目的から採用されているものである。
その為に１使用される記録液にもよるが、通常の水を液
媒体とする様な記録液を使用する場合には、皺記母液を
通じての電極１１３，１１４間の電気的リークを防止す
る事、及び発熱抵抗層１１１を前記記録液から、或いは
熱的酸化から保護する為に上部層１１２がヘッド作成時
に、熱発生部１０８ Ｋ於ける部分では、発熱抵抗層１
１１上に形成される。
媒体とする様な記録液を使用する場合には、皺記母液を
通じての電極１１３，１１４間の電気的リークを防止す
る事、及び発熱抵抗層１１１を前記記録液から、或いは
熱的酸化から保護する為に上部層１１２がヘッド作成時
に、熱発生部１０８ Ｋ於ける部分では、発熱抵抗層１
１１上に形成される。
斯かる記録ヘッドを使用する記―法に於ける液滴形成原
理は、前記した様に電気・熱変換体への通電がＯＮされ
ると液筒形成エネルギーである熱エネルギーの作用を受
けた、熱作用部１０７ＫＩｈる記録液が急激な体積の増
大を伴う状態変化、即ち、熱作用部１０７にある記録液
がｆｉ ｌｅｅ程度以下という非常に瞬時間Ｏ中に気化
状態に違し、熱作用部１０７ Ｋ於いて、瞬時の中に気
泡の発生とその成長が起）、諌熱作用部１０７とオリフ
ィス１０５との間に存在する記録液を液滴として吐出す
るのである。熱作用部１０７にある記録液に与えられる
熱エネルギーの大きさ紘、発熱抵抗層１１１の表面積、
厚さ、比抵抗および熱発生部１０８とその近傍の放熱効
率に依存するが、実際のヘッドの製造では、これらの因
子をマルチオリフィスに対応する各熱穐生＄ １０８
において全く均一に形成することは、困難であると同時
に、高度の均一性をこれらに求めることは、ヘッドの製
造上の歩留ルを低下させ、製造コスＦを高価にしていた
。を九同様の理由によシ、常に吐出特性の同一な記録ヘ
ッドを供給することは困難であった。
理は、前記した様に電気・熱変換体への通電がＯＮされ
ると液筒形成エネルギーである熱エネルギーの作用を受
けた、熱作用部１０７ＫＩｈる記録液が急激な体積の増
大を伴う状態変化、即ち、熱作用部１０７にある記録液
がｆｉ ｌｅｅ程度以下という非常に瞬時間Ｏ中に気化
状態に違し、熱作用部１０７ Ｋ於いて、瞬時の中に気
泡の発生とその成長が起）、諌熱作用部１０７とオリフ
ィス１０５との間に存在する記録液を液滴として吐出す
るのである。熱作用部１０７にある記録液に与えられる
熱エネルギーの大きさ紘、発熱抵抗層１１１の表面積、
厚さ、比抵抗および熱発生部１０８とその近傍の放熱効
率に依存するが、実際のヘッドの製造では、これらの因
子をマルチオリフィスに対応する各熱穐生＄ １０８
において全く均一に形成することは、困難であると同時
に、高度の均一性をこれらに求めることは、ヘッドの製
造上の歩留ルを低下させ、製造コスＦを高価にしていた
。を九同様の理由によシ、常に吐出特性の同一な記録ヘ
ッドを供給することは困難であった。
本発明は、仁の点に鍾み成されたものであって、従来に
比べより一層高速で且つよシ高解債度、よシ高品質の画
像を記録することができる液体噴射記録法ツＦを提供す
る事を目的とする。
比べより一層高速で且つよシ高解債度、よシ高品質の画
像を記録することができる液体噴射記録法ツＦを提供す
る事を目的とする。
本発明は、上記の目的を達成する為に１諸々の角度から
検討し実際に多種多様の記録ヘッドを設計製造し、種々
の角度からの実験を繰返し行っている過程で、記録ヘッ
ドのオリフィスから吐出する液滴の飛翔速度と液滴Ｏ体
積が、発熱抵抗層に与えられる電気エネルギーに依存し
て変化することを見出し、与える電気エネルギーを制御
することによって、許容し得るある範囲内で液滴飛翔速
度とその体積を一定値に保りことが可能であることを見
出し要事に基いて成されたものである。
検討し実際に多種多様の記録ヘッドを設計製造し、種々
の角度からの実験を繰返し行っている過程で、記録ヘッ
ドのオリフィスから吐出する液滴の飛翔速度と液滴Ｏ体
積が、発熱抵抗層に与えられる電気エネルギーに依存し
て変化することを見出し、与える電気エネルギーを制御
することによって、許容し得るある範囲内で液滴飛翔速
度とその体積を一定値に保りことが可能であることを見
出し要事に基いて成されたものである。
本発明の液体噴射記録ヘッド紘、液体を吐出する為に設
けられたオリフィスの複数と、これ等複数のオリアイス
の各々に対応して設けられ、対応したオリフィスと連通
し、飛翔的液滴を形成する為の熱エネルギーが液体に作
用する部分である熱作用部の複数と、各熱作用部毎に設
けられ、該熱作用部を満たす液体に作用する熱エネルギ
ーを発生する手段としての電気・熱変換体の複数と、各
電気・熱変換体毎に電気的に接続されて設けられ、各電
気・熱変換体よ〕発生される熱量が均一に揃う様に、対
応する電気・熱変換体の電気・熱変換特性に合せて抵抗
値が調整された抵抗体の複数とを有する事を特徴とする
。
けられたオリフィスの複数と、これ等複数のオリアイス
の各々に対応して設けられ、対応したオリフィスと連通
し、飛翔的液滴を形成する為の熱エネルギーが液体に作
用する部分である熱作用部の複数と、各熱作用部毎に設
けられ、該熱作用部を満たす液体に作用する熱エネルギ
ーを発生する手段としての電気・熱変換体の複数と、各
電気・熱変換体毎に電気的に接続されて設けられ、各電
気・熱変換体よ〕発生される熱量が均一に揃う様に、対
応する電気・熱変換体の電気・熱変換特性に合せて抵抗
値が調整された抵抗体の複数とを有する事を特徴とする
。
この様な特徴を有する本発明の液体噴射記録ヘッドによ
れば電気・熱変換体の発生する熱量が一定で発熱温度が
均一な一定値になプ吐出される液滴の飛翔速度または体
積を一定にすることが出来る。
れば電気・熱変換体の発生する熱量が一定で発熱温度が
均一な一定値になプ吐出される液滴の飛翔速度または体
積を一定にすることが出来る。
そして、複数の液吐出オリアイスと各オリフィス毎に設
けられた熱作用部と含有するマルチオリフィスヘッドに
おいては、おのおののオリフィスから吐出する液滴の体
積と飛翔速度とを均一にそろえることが出来、高解像度
で高品質ｏｔｉａ像を高速記録できる。又、従来は、記
録ヘッドの各オリスイスから吐出される液滴の吐出状態
が不均一で高品質ａＳＳを記録するのに不適当な記録ヘ
ッドもその製造過程に於いて生じ、歩留ｐの悪さがあっ
たが、本発明では、記録ヘッドＯＩｌ造後に容易に各オ
リフィスからの液滴Ｏ吐出状態を均一に調整することが
でき、記録ヘッド製造忙おけ゛る歩留りを向上させ、低
価格化に貢献することが出来る。
けられた熱作用部と含有するマルチオリフィスヘッドに
おいては、おのおののオリフィスから吐出する液滴の体
積と飛翔速度とを均一にそろえることが出来、高解像度
で高品質ｏｔｉａ像を高速記録できる。又、従来は、記
録ヘッドの各オリスイスから吐出される液滴の吐出状態
が不均一で高品質ａＳＳを記録するのに不適当な記録ヘ
ッドもその製造過程に於いて生じ、歩留ｐの悪さがあっ
たが、本発明では、記録ヘッドＯＩｌ造後に容易に各オ
リフィスからの液滴Ｏ吐出状態を均一に調整することが
でき、記録ヘッド製造忙おけ゛る歩留りを向上させ、低
価格化に貢献することが出来る。
以下、本発明を図面に従りて更に具体的に説明する。
第２図（ａ）は、本発明が適用される液体噴射記録ヘッ
ドの電気熱変換体の表面側よシ見た模式的平面図、第２
図６）は、第２図（ａ） Ｋ一点鎖線ＸＹで示す部分で
切断し九場合の模式的切断面図である。図に示される記
録ヘッドは、その！１面が所定数設けられている溝付板
で覆うように！１合するととＫよって、液体が噴射され
る為のオリフィスと熱作用部を含む液吐出部の液流路が
形成される構造を有するものであるが、仁の溝付板は第
２図（荀では省略してあ）、第２図（６）には点線で仮
想的に示しである。第２図（ａ）中Ｋ 一点鎖線でＳす
れ九斜線部は記録液の液流路及び共通液室となる部分で
あシ、上部保護層２０４が形成されている。電気・熱変
換体２０ｇは基板３）１上に設けられた下部層２０２、
該下部層２０２上に設けられた発熱抵抗層２０３、皺発
熱抵抗層２０３上に設けられた上部保護層２０４とで構
成される。
ドの電気熱変換体の表面側よシ見た模式的平面図、第２
図６）は、第２図（ａ） Ｋ一点鎖線ＸＹで示す部分で
切断し九場合の模式的切断面図である。図に示される記
録ヘッドは、その！１面が所定数設けられている溝付板
で覆うように！１合するととＫよって、液体が噴射され
る為のオリフィスと熱作用部を含む液吐出部の液流路が
形成される構造を有するものであるが、仁の溝付板は第
２図（荀では省略してあ）、第２図（６）には点線で仮
想的に示しである。第２図（ａ）中Ｋ 一点鎖線でＳす
れ九斜線部は記録液の液流路及び共通液室となる部分で
あシ、上部保護層２０４が形成されている。電気・熱変
換体２０ｇは基板３）１上に設けられた下部層２０２、
該下部層２０２上に設けられた発熱抵抗層２０３、皺発
熱抵抗層２０３上に設けられた上部保護層２０４とで構
成される。
基板２０１上には電気・熱変換体２０Ｂとは離れ九位置
で、溝付板の設けられていない所に抵抗体２０６が設け
られてあ夛、その抵抗体２０６の一端０４う一端には、
配線導体２０８の一端が設けられてお）、配線導体ｇｏ
ｓ ｏ他端には、電極パラ）２１０−ＩＩＸ形成しであ
る。抵抗体２０６のもう一端は、配線導体２０９を介し
て電極パラ） ２１１に接続されている。いま、駆動電
源により、パット２１０およびパット２１１にパルス電
圧を与えると、電気・熱変換体２０５はそこを通過する
電流値に依存して発熱し、熱作用面２１２の温度が上昇
するが、この場合の電流値は、バラ） ２１０よ）パラ
） ２１１ Ｋ至る回路抵抗で決まる。そこで、抵抗体
２０６を、九と、、えばレーザ、ダイヤモンドカット、
サンドゲラスト、陽極化成等、機械的、物理的、化学、
的方法によｐトｏミングすることによｐ１電気・熱変換
体２０５ Ｋ流れる電流を減少させ、発熱温度を低下さ
せることができる。
で、溝付板の設けられていない所に抵抗体２０６が設け
られてあ夛、その抵抗体２０６の一端０４う一端には、
配線導体２０８の一端が設けられてお）、配線導体ｇｏ
ｓ ｏ他端には、電極パラ）２１０−ＩＩＸ形成しであ
る。抵抗体２０６のもう一端は、配線導体２０９を介し
て電極パラ） ２１１に接続されている。いま、駆動電
源により、パット２１０およびパット２１１にパルス電
圧を与えると、電気・熱変換体２０５はそこを通過する
電流値に依存して発熱し、熱作用面２１２の温度が上昇
するが、この場合の電流値は、バラ） ２１０よ）パラ
） ２１１ Ｋ至る回路抵抗で決まる。そこで、抵抗体
２０６を、九と、、えばレーザ、ダイヤモンドカット、
サンドゲラスト、陽極化成等、機械的、物理的、化学、
的方法によｐトｏミングすることによｐ１電気・熱変換
体２０５ Ｋ流れる電流を減少させ、発熱温度を低下さ
せることができる。
ｊＩ３図は、本発１！ｊｌＫよる記録ヘッドの電気・熱
変換体の熱作用面に於ける表面温度を一定の値にするた
めの抵抗トリミング方法の一例を示したものである。駆
動電源３０４よ）パルス電圧をリード端子３０７，３０
８よ）記録ヘッド３０１（溝付板は未だ設けてない）に
与えると、電気・熱変換体３０２０表面温度が上昇する
が、この表面温度を赤外線温度計３０５ Ｋより検知し
、その変換された電気信号をレーザ・トリミング装置島
の制御部にフィードバックし、あらかじめ設定しておい
たａ度に対応する電気信号と比較し、レーザ・トリミン
グ装置よ）照射１れるレーず・ビームの走査を制御して
抵抗体３０３０抵抗値を変化させることにより、電気・
熱変換体３０２０表面温度が定められた値に設定される
。これを各セグメント毎に繰シ返すことによシークの記
録ヘッド内のすべての発熱部の温度を均一にすることが
でき、従って起鍮液の加熱状態が均一になシ、オリフィ
スよ〕吐出する液滴Ｏ飛翔速度と体積は均一なものとな
る。
変換体の熱作用面に於ける表面温度を一定の値にするた
めの抵抗トリミング方法の一例を示したものである。駆
動電源３０４よ）パルス電圧をリード端子３０７，３０
８よ）記録ヘッド３０１（溝付板は未だ設けてない）に
与えると、電気・熱変換体３０２０表面温度が上昇する
が、この表面温度を赤外線温度計３０５ Ｋより検知し
、その変換された電気信号をレーザ・トリミング装置島
の制御部にフィードバックし、あらかじめ設定しておい
たａ度に対応する電気信号と比較し、レーザ・トリミン
グ装置よ）照射１れるレーず・ビームの走査を制御して
抵抗体３０３０抵抗値を変化させることにより、電気・
熱変換体３０２０表面温度が定められた値に設定される
。これを各セグメント毎に繰シ返すことによシークの記
録ヘッド内のすべての発熱部の温度を均一にすることが
でき、従って起鍮液の加熱状態が均一になシ、オリフィ
スよ〕吐出する液滴Ｏ飛翔速度と体積は均一なものとな
る。
第４図は、本発明による記録ヘッドの抵抗体トリミング
方法の別の一実施例を示し丸ものである。記録ヘッド４
０１ＫＩｅ錐液を導入し、駆動電気・熱変換体４０３
ＫＡオリフィス４０４よｊ配鍮筐が吐出され、飛翔的液
滴４０５が形成される。
方法の別の一実施例を示し丸ものである。記録ヘッド４
０１ＫＩｅ錐液を導入し、駆動電気・熱変換体４０３
ＫＡオリフィス４０４よｊ配鍮筐が吐出され、飛翔的液
滴４０５が形成される。
形成される液滴４０５０飛翔速度をオリフィス４０４前
部に設は九ホトカプラー４０６によって検出し、その信
号をもってレーザ・トリミング装置４０７を制御し、抵
抗体４０８の抵抗値を調整することによシ、あらかじめ
設定し九飛翔速度の液滴を吐出させることのできる記録
ヘッドが製作される。このように液滴の飛翔速度を検出
し、それが一定になるようにレーザ・ビームを制御し乍
ら抵抗体４０８の抵抗値を調整する様にして製作し九記
録ヘッドでは、溝付板４０９の溝部の形状やオリフィス
の形状の微小な製作上のばらつきによる吐出の不均一さ
も解消することができる。
部に設は九ホトカプラー４０６によって検出し、その信
号をもってレーザ・トリミング装置４０７を制御し、抵
抗体４０８の抵抗値を調整することによシ、あらかじめ
設定し九飛翔速度の液滴を吐出させることのできる記録
ヘッドが製作される。このように液滴の飛翔速度を検出
し、それが一定になるようにレーザ・ビームを制御し乍
ら抵抗体４０８の抵抗値を調整する様にして製作し九記
録ヘッドでは、溝付板４０９の溝部の形状やオリフィス
の形状の微小な製作上のばらつきによる吐出の不均一さ
も解消することができる。
また、電気・熱変換体を駆動するトランジスタ、ダイオ
ード等を塔載したマルチ・セグメントの記録ヘッドでは
、それらの素子のばらつきによる電気・熱変換体に流れ
る電流のばらつきも、抵抗体４０８のトリミングによシ
吸収してしまうことができ、全セグメントの吐出が均一
な記録ヘッドが得られるばか夛でなく、ヘッドの交換に
よる駆動電源部の調整が不要となる。
ード等を塔載したマルチ・セグメントの記録ヘッドでは
、それらの素子のばらつきによる電気・熱変換体に流れ
る電流のばらつきも、抵抗体４０８のトリミングによシ
吸収してしまうことができ、全セグメントの吐出が均一
な記録ヘッドが得られるばか夛でなく、ヘッドの交換に
よる駆動電源部の調整が不要となる。
以下、実施例に従ってζ本発明を具体的に説明する。
実施例１
アルミナ基板上Ｋ ８ｉ０．層（下部層）をスパッタリ
ングにより５μｍ厚に形成、続いて発熱抵抗層としてＨ
ｆＢ、を１０００人厚に１アルミニウムを電極として３
０００Ａｌｌに積層し丸後、選択エツチングによって５
０μｍ Ｘ ２００μｍの発熱抵抗体パターンを形成し
た０次Ｋ ８ｓＯ＊層をスＩ（ツタリングによ、９３５
００Ａ ＪＩＫ保膜層（上部層）として積層して基板上
に電気・熱変換体を形成した後、幅５０μｍ×深さｓ
ｏ Ｊ１ｍＯ溝を刻んだガラス板を溝と発熱抵抗体が合
致するように接合し九、引続いて発熱−抗体の先端とオ
リアイスの距離が２５０ ｓｍになるようオリフィス端
面を研磨して記録ヘッドを作成し友、この記録ヘッドに
黒色染料と水を主成分とするインクを供給しながら、１
０μｓ、３８ＶＯ矩形電圧パルス印字信号を１５ｍ５の
周期で印加し走時の３２備のオリフィスセグメントから
吐出し九液滴の飛翔速度Ｖを、２セグメント毎に各セグ
メントナンバーＮに対してグロットし九のが第４図であ
る。
ングにより５μｍ厚に形成、続いて発熱抵抗層としてＨ
ｆＢ、を１０００人厚に１アルミニウムを電極として３
０００Ａｌｌに積層し丸後、選択エツチングによって５
０μｍ Ｘ ２００μｍの発熱抵抗体パターンを形成し
た０次Ｋ ８ｓＯ＊層をスＩ（ツタリングによ、９３５
００Ａ ＪＩＫ保膜層（上部層）として積層して基板上
に電気・熱変換体を形成した後、幅５０μｍ×深さｓ
ｏ Ｊ１ｍＯ溝を刻んだガラス板を溝と発熱抵抗体が合
致するように接合し九、引続いて発熱−抗体の先端とオ
リアイスの距離が２５０ ｓｍになるようオリフィス端
面を研磨して記録ヘッドを作成し友、この記録ヘッドに
黒色染料と水を主成分とするインクを供給しながら、１
０μｓ、３８ＶＯ矩形電圧パルス印字信号を１５ｍ５の
周期で印加し走時の３２備のオリフィスセグメントから
吐出し九液滴の飛翔速度Ｖを、２セグメント毎に各セグ
メントナンバーＮに対してグロットし九のが第４図であ
る。
＃Ｉ５図（→は、速度調整のトリミングを行なわなかっ
た時の結果であるが、飛翔速度のばらつ龜は、約±２０
Ｘで６つ九。次に各オリフィスから吐出し九液滴の速度
を検出シ、最も遅い速度の液滴と同じ速度になるように
他のセグメントの滴飛翔速度を、レーザビームトリミン
グで調整抵抗をトリミングすることＫよ）、そろえ電圧
を４０Ｖに増加させて駆動し九結果、各セグメントの滴
飛翔速ＦＩＬ杜、第５図（ｂ） Ｋ示したように±５Ｘ
Ｋおさまり九。トリミング調整なしの記録ヘッドで記録
した画像は、高速記録の為に記録ヘッドを走引した時に
画像品質が悪くなったが、上述の如くトリミングによシ
各セグメントの吐出状態をそろえた記録ヘッドでは高速
Ｏ走引を行なっても画像品質の劣化は認められなかった
。
た時の結果であるが、飛翔速度のばらつ龜は、約±２０
Ｘで６つ九。次に各オリフィスから吐出し九液滴の速度
を検出シ、最も遅い速度の液滴と同じ速度になるように
他のセグメントの滴飛翔速度を、レーザビームトリミン
グで調整抵抗をトリミングすることＫよ）、そろえ電圧
を４０Ｖに増加させて駆動し九結果、各セグメントの滴
飛翔速ＦＩＬ杜、第５図（ｂ） Ｋ示したように±５Ｘ
Ｋおさまり九。トリミング調整なしの記録ヘッドで記録
した画像は、高速記録の為に記録ヘッドを走引した時に
画像品質が悪くなったが、上述の如くトリミングによシ
各セグメントの吐出状態をそろえた記録ヘッドでは高速
Ｏ走引を行なっても画像品質の劣化は認められなかった
。
第１図（ａ）、（ｂ）は、本発＃４に係わる記録ヘッド
の構造を説明する為のものであって、第１図（→社模式
的正面部分図、第１図（ｂ）は第１図（ａ） Ｋ 一点
鎖線ＸＹで示す部分で切断し九場合の模式的切断面部分
図、第２図（ａ）、（ロ）は、本発明の記録ヘッドの構
造を説明する為のもので、第２図（荀は模式的平面図、
第２図（ロ）は第２図（姉に一点鎖線Ｘ’ Ｙ’で示し
た部分で切断面した場合の模式的切断両図、第３図は、
本発明の記録ヘッドを作成する第１の方法を説明する為
の模式的説明図、第４図は第２の方法を説明する為の模
式的説明図、第５図（ａ）、第５図（ロ）は各々本発明
の実施例に於ける結果を説明する為の説明図である。 １０１−記録ヘッド、 １０２−電気・熱変換体、１０
３−・基板、１０４−溝付板、１０５・−オリフィス、
１０６・−液吐出部、１０７・−熱作用部、１０８−熱
発生部、１０９・・・熱作用面、１１Ｇ・・・下部層、
１１１−発熱抵抗層、１１２−・上部層、１１３，１１
４−電極層、２０１一基板、２０２−・・下部層、２０
３−発熱抵抗層、２０４−・上部層、２０５−・・電気
・熱変換体、２０６・・・抵抗体、２０７，２０８−配
線導体、２１０，２１１−・電極パラ）、３０１−記録
ヘッド、３ｏ２−電気・熱変換体、３０３・・・抵抗体
、３０４−駆動電源、３０５・−赤外線温度針、３０６
−レーザドリンング装置、４０１−記録ヘッド、４０９
−・溝付板。 出 願 人 キャノン株式会社 −す１ 代 理 人 丸 島 儀 −・・ ・ト
、二、−“へ （α） ０１ （θつ （ｂ）
の構造を説明する為のものであって、第１図（→社模式
的正面部分図、第１図（ｂ）は第１図（ａ） Ｋ 一点
鎖線ＸＹで示す部分で切断し九場合の模式的切断面部分
図、第２図（ａ）、（ロ）は、本発明の記録ヘッドの構
造を説明する為のもので、第２図（荀は模式的平面図、
第２図（ロ）は第２図（姉に一点鎖線Ｘ’ Ｙ’で示し
た部分で切断面した場合の模式的切断両図、第３図は、
本発明の記録ヘッドを作成する第１の方法を説明する為
の模式的説明図、第４図は第２の方法を説明する為の模
式的説明図、第５図（ａ）、第５図（ロ）は各々本発明
の実施例に於ける結果を説明する為の説明図である。 １０１−記録ヘッド、 １０２−電気・熱変換体、１０
３−・基板、１０４−溝付板、１０５・−オリフィス、
１０６・−液吐出部、１０７・−熱作用部、１０８−熱
発生部、１０９・・・熱作用面、１１Ｇ・・・下部層、
１１１−発熱抵抗層、１１２−・上部層、１１３，１１
４−電極層、２０１一基板、２０２−・・下部層、２０
３−発熱抵抗層、２０４−・上部層、２０５−・・電気
・熱変換体、２０６・・・抵抗体、２０７，２０８−配
線導体、２１０，２１１−・電極パラ）、３０１−記録
ヘッド、３ｏ２−電気・熱変換体、３０３・・・抵抗体
、３０４−駆動電源、３０５・−赤外線温度針、３０６
−レーザドリンング装置、４０１−記録ヘッド、４０９
−・溝付板。 出 願 人 キャノン株式会社 −す１ 代 理 人 丸 島 儀 −・・ ・ト
、二、−“へ （α） ０１ （θつ （ｂ）
Claims (1)
- 液体を吐出する為に設けられ九オリアイスの複数と、こ
れ等複数のオリスイスの各々に対応して設けられ、対応
したオリスイスと連通し、飛翔的液滴を形成する為の熱
エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部の複数
と、各熱作用部毎に設けられ、該熱作用部を満たす液体
に作用する熱エネルギーを発生する手段としての電気・
熱変換体の複数と、各電気・熱変換体毎に電気的に接続
されて設けられ、各電気・熱変換体より発生される熱量
が均一に揃う様に、対応する電気・熱変換体の電気・熱
変換特性に合せて抵抗値が調整された抵抗体０１１数と
を有する事を特徴とする液体噴射記嚢ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10485181A JPS587361A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 液体噴射記録ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10485181A JPS587361A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 液体噴射記録ヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS587361A true JPS587361A (ja) | 1983-01-17 |
| JPH0466703B2 JPH0466703B2 (ja) | 1992-10-26 |
Family
ID=14391795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10485181A Granted JPS587361A (ja) | 1981-07-03 | 1981-07-03 | 液体噴射記録ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS587361A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2543884A1 (fr) * | 1983-04-06 | 1984-10-12 | Canon Kk | Appareil d'enregistrement a energie thermique |
| JPS619457A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-17 | Kanebo Ltd | 耐光性を有するポリアミド成形体 |
| JPS63156540A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Kanebo Ltd | 抗菌性を有する吸水シ−ト |
| US5075690A (en) * | 1989-12-18 | 1991-12-24 | Xerox Corporation | Temperature sensor for an ink jet printhead |
| US5559543A (en) * | 1989-03-01 | 1996-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of making uniformly printing ink jet recording head |
| JP2006228956A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Sharp Corp | 双方向フォトサイリスタチップ、光点弧カプラ、および、ソリッドステートリレー |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5184648A (ja) * | 1975-01-23 | 1976-07-24 | Shinshu Seiki Kk | |
| JPS5561474A (en) * | 1978-11-01 | 1980-05-09 | Ricoh Co Ltd | Multi-head recording apparatus |
| JPS55132291A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recording device |
| JPS5677161A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-25 | Fujitsu Ltd | Operating mode of ink jet recorder |
-
1981
- 1981-07-03 JP JP10485181A patent/JPS587361A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5184648A (ja) * | 1975-01-23 | 1976-07-24 | Shinshu Seiki Kk | |
| JPS5561474A (en) * | 1978-11-01 | 1980-05-09 | Ricoh Co Ltd | Multi-head recording apparatus |
| JPS55132291A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Recording device |
| JPS5677161A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-25 | Fujitsu Ltd | Operating mode of ink jet recorder |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2543884A1 (fr) * | 1983-04-06 | 1984-10-12 | Canon Kk | Appareil d'enregistrement a energie thermique |
| JPS619457A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-17 | Kanebo Ltd | 耐光性を有するポリアミド成形体 |
| JPH0251940B2 (ja) * | 1984-06-22 | 1990-11-09 | Kanebo Ltd | |
| JPS63156540A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Kanebo Ltd | 抗菌性を有する吸水シ−ト |
| JPH0545292B2 (ja) * | 1986-12-19 | 1993-07-08 | Kanebo Ltd | |
| US5559543A (en) * | 1989-03-01 | 1996-09-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of making uniformly printing ink jet recording head |
| US5075690A (en) * | 1989-12-18 | 1991-12-24 | Xerox Corporation | Temperature sensor for an ink jet printhead |
| JP2006228956A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Sharp Corp | 双方向フォトサイリスタチップ、光点弧カプラ、および、ソリッドステートリレー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0466703B2 (ja) | 1992-10-26 |
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