JPS5854718A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPS5854718A JPS5854718A JP15434281A JP15434281A JPS5854718A JP S5854718 A JPS5854718 A JP S5854718A JP 15434281 A JP15434281 A JP 15434281A JP 15434281 A JP15434281 A JP 15434281A JP S5854718 A JPS5854718 A JP S5854718A
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- JP
- Japan
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- oscillation
- rod
- crystal
- section
- surface electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 235000011511 Diospyros Nutrition 0.000 description 1
- 244000236655 Diospyros kaki Species 0.000 description 1
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 210000003423 ankle Anatomy 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、いわゆるエツジモードの思想に基（新規な振
動モードを有する水晶振動子に関する。
動モードを有する水晶振動子に関する。
従来、超小型で周波数温度特性が比較的フラットでかつ
製造しやすい水晶振動子として、音叉型あるいはレンズ
型ＡＴ板があり、水晶時計等に主として用いられてきた
。しかるに、音叉型１Ｃおいては発振周波数がやや低す
ぎろため、可変分周比の分周器を用いた出力周波数の微
調整が粗くなりすぎろ不便や、音叉の左右の枝の固有振
動数の一致の程度が工作誤作により僅かにずれても特性
劣化を起し易く、量産における歩留り低下の一要因とな
っていた。他方ＡＴ板振動子はその周波数温度特性が補
償の困離な：３次曲線である上に極めて切出角に対して
敏感であり、いわゆる副振動も存在するので特性を揃え
難く、又レンズ加工も１個づつとなるため、水晶のブロ
ック又はウェハー内で多数の振動片を同時加Ｊ：するこ
とが出来ないため必然的にコストが高くなる欠点があっ
た。
製造しやすい水晶振動子として、音叉型あるいはレンズ
型ＡＴ板があり、水晶時計等に主として用いられてきた
。しかるに、音叉型１Ｃおいては発振周波数がやや低す
ぎろため、可変分周比の分周器を用いた出力周波数の微
調整が粗くなりすぎろ不便や、音叉の左右の枝の固有振
動数の一致の程度が工作誤作により僅かにずれても特性
劣化を起し易く、量産における歩留り低下の一要因とな
っていた。他方ＡＴ板振動子はその周波数温度特性が補
償の困離な：３次曲線である上に極めて切出角に対して
敏感であり、いわゆる副振動も存在するので特性を揃え
難く、又レンズ加工も１個づつとなるため、水晶のブロ
ック又はウェハー内で多数の振動片を同時加Ｊ：するこ
とが出来ないため必然的にコストが高くなる欠点があっ
た。
本発明においてはこれら従来品の欠点を解消し長所を兼
ねそなえた振動子をイ（）ろ目的でなされたもので、多
量生産性に１１−ぐれ、支持も容易で、形状バランスも
特に考慮する必要がなく、比較的すぐれた温度特性か期
待でき、周波数も適度に高い振動子が得られるものであ
る。以下図面に基いて説明する。
ねそなえた振動子をイ（）ろ目的でなされたもので、多
量生産性に１１−ぐれ、支持も容易で、形状バランスも
特に考慮する必要がなく、比較的すぐれた温度特性か期
待でき、周波数も適度に高い振動子が得られるものであ
る。以下図面に基いて説明する。
第１図は本発明の一実施例の振動子の容器の内部での、
支持を含めた構造を示す斜視図である。
支持を含めた構造を示す斜視図である。
１は断面かほぼ正方形又はｌ）＋１形の棒状の水晶振動
体で、その上端附近だけを、２点鎖線で示すように断面
がいわゆるＩ） Ｔカット振動板が行う振動モードとし
て知られているのど同じ輪廓ずベリ振動が起るようにさ
れたものである。そのために上端部だけに有効電界を起
すように表面電極膜２及び６が設けられている。
体で、その上端附近だけを、２点鎖線で示すように断面
がいわゆるＩ） Ｔカット振動板が行う振動モードとし
て知られているのど同じ輪廓ずベリ振動が起るようにさ
れたものである。そのために上端部だけに有効電界を起
すように表面電極膜２及び６が設けられている。
電極２及び乙は下端へ向けて極力励振電界を作らないよ
うに引きまわし、棒１の下端附近で、・・−メチツク端
子乙の絶縁ガラス部を貫通している端子ピン４及び５の
容器内突出部に例えば・・ンダ伺などで導電的に接着し
、あるいは端子乙に直接接着して、ピン４．５には導電
ペース！・で連結シ、水晶枠１を片持的に固定する。
うに引きまわし、棒１の下端附近で、・・−メチツク端
子乙の絶縁ガラス部を貫通している端子ピン４及び５の
容器内突出部に例えば・・ンダ伺などで導電的に接着し
、あるいは端子乙に直接接着して、ピン４．５には導電
ペース！・で連結シ、水晶枠１を片持的に固定する。
全体は筒型容器に気密的に収納されるが、これは図示を
省略した。
省略した。
第２図は水晶枠１の結晶軸に関する切出方位の１例を示
したもので、端面の方位がｄぼＤＴ板の方位と一致する
。あるいはＡＴ板と＋ｉぼ直交ずろと言ってもよい。こ
の附近の切出角にて周波数の温度係数がゼロになる可能
性が極めて大きい。励振電極は、それが作る電界のｙ方
向成分が最も大きくなるように、しかも振動の歪の大き
い局部（先端部の各辺の中火）になるべく集中するよう
な配置形状とするのが望ましい。本実施例はそこまでの
細い考慮を払ってい′ｊ［い。
したもので、端面の方位がｄぼＤＴ板の方位と一致する
。あるいはＡＴ板と＋ｉぼ直交ずろと言ってもよい。こ
の附近の切出角にて周波数の温度係数がゼロになる可能
性が極めて大きい。励振電極は、それが作る電界のｙ方
向成分が最も大きくなるように、しかも振動の歪の大き
い局部（先端部の各辺の中火）になるべく集中するよう
な配置形状とするのが望ましい。本実施例はそこまでの
細い考慮を払ってい′ｊ［い。
第３図は水晶枠１を水晶月のグロック７からワイヤーソ
ーやブレードノーで゛切出しつつある状態を示した図で
゛、８はワイヤーである。水晶ブロック７は図示のよう
に２］［オ°−で格子状にカットされ、多数の水晶枠に
（２リリ分け１゛）れイ）。
ーやブレードノーで゛切出しつつある状態を示した図で
゛、８はワイヤーである。水晶ブロック７は図示のよう
に２］［オ°−で格子状にカットされ、多数の水晶枠に
（２リリ分け１゛）れイ）。
第１Ｉ図の各図Ｇ土それぞれ水晶枠１の他の実施例の側
面プロフィルを示す。いずれも上端部への振動エネルギ
ーの閉じ込め効果を増す１］夫をしたものであり、棒の
長手方向に宿って断１ｒｒｊ形状の変化をつけて、任意
断面での’ＩＱ Ｅ’（ｌず・パり振動の固有振動数を
異ならしめ、下端・＼の振動の伝播を極力少クシ」二う
とするものでル、ろ。
面プロフィルを示す。いずれも上端部への振動エネルギ
ーの閉じ込め効果を増す１］夫をしたものであり、棒の
長手方向に宿って断１ｒｒｊ形状の変化をつけて、任意
断面での’ＩＱ Ｅ’（ｌず・パり振動の固有振動数を
異ならしめ、下端・＼の振動の伝播を極力少クシ」二う
とするものでル、ろ。
第４図（ａ）は高さの途中に段数の＋７Ｊ込みを入れた
もので、これは切分は加工途中でワイヤーノーを左右に
振ることで容易に形成できろ。、第４図（ｂ）〜（ｅ）
は直方体の柿の一部に断面を絞る加工を行ったもので、
加工途中にワイヤーソー（の切込方向）を傾けたり、格
子の一方向がカットされた板の状態で板厚変化をつけろ
研削を行い、その後書びそれらの板を重ねてワイヤー切
断ずろ、あるいは直方体にカットされた棒を再びジグプ
レー１１ Ｋ整列接着して一側面づつ研削加工ずろ（ウ
ォッチのアンクル重石と同様な加工）することによって
作られる。
もので、これは切分は加工途中でワイヤーノーを左右に
振ることで容易に形成できろ。、第４図（ｂ）〜（ｅ）
は直方体の柿の一部に断面を絞る加工を行ったもので、
加工途中にワイヤーソー（の切込方向）を傾けたり、格
子の一方向がカットされた板の状態で板厚変化をつけろ
研削を行い、その後書びそれらの板を重ねてワイヤー切
断ずろ、あるいは直方体にカットされた棒を再びジグプ
レー１１ Ｋ整列接着して一側面づつ研削加工ずろ（ウ
ォッチのアンクル重石と同様な加工）することによって
作られる。
第４図（ｆ）は側面に穴加工を行なって断面変化をつけ
た例である。尚これ等のプロフィル加工は、水晶枠の辺
長が例えば２ ｒ） ｒ）μｍ以下の場合には水晶ウェ
ハーからエツチングによって多数同時に切出しうろこと
、電極膜けまで完成させてからウェハーから折って分離
しうろことは現在の水晶薄型音叉振動片の場合と同様可
能性が高い。断面変化を相対する一対の側面だけでなく
、４つの全側面に設けてもよい。本モードの振動子の固
有周波数はほぼ数］ ＯＯＫ〜数メガヘルツの値が得ら
れる。また振動は各断面でＤＴ板同様バランスしている
ため、音叉の如き複雑な形状にずろことを要しない。
た例である。尚これ等のプロフィル加工は、水晶枠の辺
長が例えば２ ｒ） ｒ）μｍ以下の場合には水晶ウェ
ハーからエツチングによって多数同時に切出しうろこと
、電極膜けまで完成させてからウェハーから折って分離
しうろことは現在の水晶薄型音叉振動片の場合と同様可
能性が高い。断面変化を相対する一対の側面だけでなく
、４つの全側面に設けてもよい。本モードの振動子の固
有周波数はほぼ数］ ＯＯＫ〜数メガヘルツの値が得ら
れる。また振動は各断面でＤＴ板同様バランスしている
ため、音叉の如き複雑な形状にずろことを要しない。
以」−述べたところから明らかな如く、本発明において
は単純な形状で支持も容易な振動子が構成できるので量
産に適し製造コストも安く、周波数も適度に高く温度特
性も秀れた振動子が得られる効果がある。１ｔ６切り出
し角度や棒状振動子の細部形状、電極膜の配置構造、支
持の仕ツバ容器の形状は図示されたものに限られないこ
とはもちろんである。
は単純な形状で支持も容易な振動子が構成できるので量
産に適し製造コストも安く、周波数も適度に高く温度特
性も秀れた振動子が得られる効果がある。１ｔ６切り出
し角度や棒状振動子の細部形状、電極膜の配置構造、支
持の仕ツバ容器の形状は図示されたものに限られないこ
とはもちろんである。
第１図は本発明の−・実施例の余１祝図、第２図は水晶
板の切出方位の一例を示す説明図、第３図は水晶枠の加
工法の概略を示す旧祝図、第４図の各図は本発明の各々
他の実施例における水晶枠のプロフィルを示すΔＩ／−
面図で・ある。 １・ ・・水晶枠、 ２．３ ・ 励振電極。
板の切出方位の一例を示す説明図、第３図は水晶枠の加
工法の概略を示す旧祝図、第４図の各図は本発明の各々
他の実施例における水晶枠のプロフィルを示すΔＩ／−
面図で・ある。 １・ ・・水晶枠、 ２．３ ・ 励振電極。
Claims (1)
- 水晶材より成る棒の一端を固定し、該棒の自由端面が輪
廓すべり振動をなすように表面電極を配し、かつ振巾が
前記固定端部に向うに従い減少するように構成したこと
を特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15434281A JPS5854718A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15434281A JPS5854718A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5854718A true JPS5854718A (ja) | 1983-03-31 |
| JPH0129088B2 JPH0129088B2 (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=15582049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15434281A Granted JPS5854718A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854718A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8041072B2 (en) | 2005-10-20 | 2011-10-18 | Sony Corporation | Audio output apparatus and method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679515A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-30 | Hiroshi Shimizu | Edge mode ceramic resonator |
-
1981
- 1981-09-29 JP JP15434281A patent/JPS5854718A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679515A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-30 | Hiroshi Shimizu | Edge mode ceramic resonator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8041072B2 (en) | 2005-10-20 | 2011-10-18 | Sony Corporation | Audio output apparatus and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0129088B2 (ja) | 1989-06-07 |
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