JPS5854717A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPS5854717A JPS5854717A JP15434181A JP15434181A JPS5854717A JP S5854717 A JPS5854717 A JP S5854717A JP 15434181 A JP15434181 A JP 15434181A JP 15434181 A JP15434181 A JP 15434181A JP S5854717 A JPS5854717 A JP S5854717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- oscillation
- bending
- amplitude
- crystal oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
新規な振動モードを有ずろ水晶振動子に関する。
従来、超小型で周波数温度特性が比較的フラツトでかつ
製造しやすい水晶振動子として、音叉型あるいはレンズ
型ＡＴ板があり、水晶時言１等に主として用いられてき
た。しかるに、音叉型においては発振周波数がやや低す
ぎろため、可変分周比の分周器を用いた出力周波数の微
調整が粗くなりすぎろ不便や、音叉の左右の枝の固有振
動数の一致の程度が工作誤作により僅かにずれても特性
劣化を起し易く、量産におけろ歩留り低下の一要因とな
っていた。他方ＡＴ板振動子はその周波数温度特性が補
償の困＠１７ノ、「３次曲線である一ｊ二に極めて切出
角に対して敏感であり、いわゆる副振動も存在するので
特性を揃え対１く、又レンズ加工も１個づつとなるため
、水晶のブロツク又はウェハー内で多数の振動片を同時
加工することが出来ないため必然的にコストが高くなる
欠点があった。
製造しやすい水晶振動子として、音叉型あるいはレンズ
型ＡＴ板があり、水晶時言１等に主として用いられてき
た。しかるに、音叉型においては発振周波数がやや低す
ぎろため、可変分周比の分周器を用いた出力周波数の微
調整が粗くなりすぎろ不便や、音叉の左右の枝の固有振
動数の一致の程度が工作誤作により僅かにずれても特性
劣化を起し易く、量産におけろ歩留り低下の一要因とな
っていた。他方ＡＴ板振動子はその周波数温度特性が補
償の困＠１７ノ、「３次曲線である一ｊ二に極めて切出
角に対して敏感であり、いわゆる副振動も存在するので
特性を揃え対１く、又レンズ加工も１個づつとなるため
、水晶のブロツク又はウェハー内で多数の振動片を同時
加工することが出来ないため必然的にコストが高くなる
欠点があった。
本発明においては、これら従来品の欠点を解消し、長所
を兼ねそなえた振動子を？４Ｊろ目的でなされたもので
、多量生産性にすぐれ、支持も容易で、形状バランスも
特に考慮ずろ必要がなく、比較的すぐれた温度特性がＩ
ＩＩ待でき、周波数も適度に高い振動子が’１４＋られ
るイ）のでＪ’）６。Ｊソ、Ｆ図面に基いて説明する。
を兼ねそなえた振動子を？４Ｊろ目的でなされたもので
、多量生産性にすぐれ、支持も容易で、形状バランスも
特に考慮ずろ必要がなく、比較的すぐれた温度特性がＩ
ＩＩ待でき、周波数も適度に高い振動子が’１４＋られ
るイ）のでＪ’）６。Ｊソ、Ｆ図面に基いて説明する。
第１図は本発明の一実施例の振動子の容器の内部での支
持を含めた構造を示す斜視図である。
持を含めた構造を示す斜視図である。
１は板状の水晶振動子、２及び６は励振電極で板１の上
端が図の一１一方に想像線で示した屈曲モート（端面が
板面に垂直な方向に．両端自由な棒の振動と類似な変形
をする）で振動するのに必要な電界を主として端部附近
に与えるように配置されている。
端が図の一１一方に想像線で示した屈曲モート（端面が
板面に垂直な方向に．両端自由な棒の振動と類似な変形
をする）で振動するのに必要な電界を主として端部附近
に与えるように配置されている。
電極膜２、乙の一部は板１の下端までリートパターンと
して延長され、ハーメチック端子乙のリード線４及び５
に・・ンダ伺等の手段で直結される。
して延長され、ハーメチック端子乙のリード線４及び５
に・・ンダ伺等の手段で直結される。
即ち板１の下端は容器に固定されろ。このため、屈曲振
動は板上端で振ｒｌＪ最犬となり、下方へ向けて次第に
減少し、板上端では振ｒＩＪゼロとなる。板１の任意の
高さでの振動姿態はほぼ相似であり、両端自由な棒の屈
曲振動はそれ自身でバランスかとれている（支持系に対
する反作用が無い）ので、板１は単純な形状にもかかわ
らず、全体としてバランスのとれた、外部への振動漏れ
のない振動を行う。板の下端を振動させようという傾向
は皆無ではないが下端固定効果と電極膜の有効励振部分
が上端にしかないために十分Ｑの高い振動を行うもので
ある。
動は板上端で振ｒｌＪ最犬となり、下方へ向けて次第に
減少し、板上端では振ｒＩＪゼロとなる。板１の任意の
高さでの振動姿態はほぼ相似であり、両端自由な棒の屈
曲振動はそれ自身でバランスかとれている（支持系に対
する反作用が無い）ので、板１は単純な形状にもかかわ
らず、全体としてバランスのとれた、外部への振動漏れ
のない振動を行う。板の下端を振動させようという傾向
は皆無ではないが下端固定効果と電極膜の有効励振部分
が上端にしかないために十分Ｑの高い振動を行うもので
ある。
また本実施例も従来音叉も屈曲振動である点は共通して
いるので、板の端面が音叉を切出す板面（いわゆる＋５
°ＺカツＩ・で、第２図に示才１）と一致するように、
結晶１ｌ（１１に夕゛＝ｔ してどろ方位が第２図１の
ようであれば、少なくとも音叉と同等の温度特性が期待
できろ。また振動モードの１うがいにより、片持力１（
曲の−１）又よりもかなり高い周波数が得やすい。
いるので、板の端面が音叉を切出す板面（いわゆる＋５
°ＺカツＩ・で、第２図に示才１）と一致するように、
結晶１ｌ（１１に夕゛＝ｔ してどろ方位が第２図１の
ようであれば、少なくとも音叉と同等の温度特性が期待
できろ。また振動モードの１うがいにより、片持力１（
曲の−１）又よりもかなり高い周波数が得やすい。
振動エネルギーの板端への閉じ込め効果を一層増すため
の振動板の形状変更の例を他の実施例と１で第３図に示
す。
の振動板の形状変更の例を他の実施例と１で第３図に示
す。
第３図（ａ）は板の途中を絞り、第３１ｍ （ｂ ）は
穴を明けて板［１」に等しい長さの両端自由棒の節点に
相当する部分のみに実質部を残すよラフ、［断面変化を
つけ固定端・＼の絶縁効果を向−４ニさせた例、第３図
（Ｃ）は固定端へ向けて細くシ、第３図（ｄ）に逆に太
くｌ〜て先端部とそれ以外の部分の屈曲の固有振動数を
変えて基部の振動を困難にした例である。これらの形状
は、下馬叉の如く水晶ウェハーからエツチングで直接多
数同時にリノ抜くことも出来ろし、あるいは水晶ブロッ
クに格子状にワイヤーノー又はブレードノーで切込むこ
とにより第１図のような直方体の水晶片を多数得、これ
らをそろえて側面研削加工を施して成形することもでき
ろ。また図示しなかったが、自由端から固定端に至る板
面の途中に、ノ・−フエノチングか研削で板厚の変化を
つげてもよい。更には板端な平にせず、いくらか凸又は
凹にしてみることも考えられる。
穴を明けて板［１」に等しい長さの両端自由棒の節点に
相当する部分のみに実質部を残すよラフ、［断面変化を
つけ固定端・＼の絶縁効果を向−４ニさせた例、第３図
（Ｃ）は固定端へ向けて細くシ、第３図（ｄ）に逆に太
くｌ〜て先端部とそれ以外の部分の屈曲の固有振動数を
変えて基部の振動を困難にした例である。これらの形状
は、下馬叉の如く水晶ウェハーからエツチングで直接多
数同時にリノ抜くことも出来ろし、あるいは水晶ブロッ
クに格子状にワイヤーノー又はブレードノーで切込むこ
とにより第１図のような直方体の水晶片を多数得、これ
らをそろえて側面研削加工を施して成形することもでき
ろ。また図示しなかったが、自由端から固定端に至る板
面の途中に、ノ・−フエノチングか研削で板厚の変化を
つげてもよい。更には板端な平にせず、いくらか凸又は
凹にしてみることも考えられる。
以上述べたところから明らかなように、本発明において
は単純かつそれ自身でバランスのとれ７た形状の板状振
動子を片持支持して振動子を構成したので、量産しやす
く歩留りも良く、支持も容易でコストも安く、周波数も
適度に高く特性も秀れた振動子が得られる効果がある。
は単純かつそれ自身でバランスのとれ７た形状の板状振
動子を片持支持して振動子を構成したので、量産しやす
く歩留りも良く、支持も容易でコストも安く、周波数も
適度に高く特性も秀れた振動子が得られる効果がある。
切出し角度や板材の形状は図示されたものに止らないこ
とはもちろんである。
とはもちろんである。
第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図は水晶板の
切出方位の一例を示す説明図、第３図の各図はそれぞれ
他の実施例における水晶板の輪廓の平面図である。 １ ・・水晶板、 ２．６・・・・・励振電極。
切出方位の一例を示す説明図、第３図の各図はそれぞれ
他の実施例における水晶板の輪廓の平面図である。 １ ・・水晶板、 ２．６・・・・・励振電極。
Claims (1)
- 水晶材より成る板の一端を固定し、該板の自由端部が板
面にほぼ垂直な方向の屈曲振動をなすように表面電極を
配し、かつ振１］が前記固定端部へ近づくに従い減する
よ５に構成したことを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15434181A JPS5854717A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15434181A JPS5854717A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5854717A true JPS5854717A (ja) | 1983-03-31 |
| JPS6410128B2 JPS6410128B2 (ja) | 1989-02-21 |
Family
ID=15582027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15434181A Granted JPS5854717A (ja) | 1981-09-29 | 1981-09-29 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854717A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63165991U (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679515A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-30 | Hiroshi Shimizu | Edge mode ceramic resonator |
-
1981
- 1981-09-29 JP JP15434181A patent/JPS5854717A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5679515A (en) * | 1979-11-30 | 1981-06-30 | Hiroshi Shimizu | Edge mode ceramic resonator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63165991U (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6410128B2 (ja) | 1989-02-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4418299A (en) | Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture | |
| EP0468052B1 (en) | Structure for holding ultrathin plate piezoelectric resonator in package | |
| GB1560537A (en) | Piezoelectric microresonator | |
| EP0483358A1 (en) | Ultra thin quartz crystal filter element of multiple mode | |
| JPH0514442B2 (ja) | ||
| KR20020038462A (ko) | 라메 모드 수정 진동자 | |
| JPS62230108A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS58220515A (ja) | 伸長モ−ド圧電形マイクロ共振器 | |
| US3577180A (en) | Electromechanical filter | |
| JPS5854717A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS6316169Y2 (ja) | ||
| US5041754A (en) | Crystal resonator with acceleration sensitivity adjustable by external circuit means | |
| JPS5851687B2 (ja) | 音叉型水晶振動子 | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JPS5854718A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS5838015A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS587702Y2 (ja) | 幅すべり結晶振動子 | |
| JPS5863212A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS6036901Y2 (ja) | Ｇｔカツト水晶振動子 | |
| JPS62239707A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS5847884B2 (ja) | 短辺水晶振動子 | |
| JPS5838651Y2 (ja) | 結晶振動子 | |
| JPS6320185Y2 (ja) | ||
| JPS5832333Y2 (ja) | 音叉形水晶振動子 | |
| JPS6169208A (ja) | メカニカルフイルタの製造方法 |