JPS5843421A - 回転鏡光偏向器 - Google Patents
回転鏡光偏向器Info
- Publication number
- JPS5843421A JPS5843421A JP56142107A JP14210781A JPS5843421A JP S5843421 A JPS5843421 A JP S5843421A JP 56142107 A JP56142107 A JP 56142107A JP 14210781 A JP14210781 A JP 14210781A JP S5843421 A JPS5843421 A JP S5843421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor shaft
- motor
- shaft
- rotating mirror
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
- F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
- F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0402—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means combined with other supporting means, e.g. hybrid bearings with both magnetic and fluid supporting means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/041—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part
- F16C32/0417—Passive magnetic bearings with permanent magnets on one part attracting the other part for axial load mainly
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
- H02K7/08—Structural association with bearings
- H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments
- F16C2370/20—Optical, e.g. movable lenses or mirrors; Spectacles
- F16C2370/22—Polygon mirror
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、鏡を機械的に回転させて光偏向を行なう回転
鏡゛光偏向器に関する。
鏡゛光偏向器に関する。
回転鏡光偏向器は電気光学的結晶に比べ太きな偏向角が
得られるといった長所があシ、レーデ光を坩いて走査す
る走査装置等に採用されている。しかし、偏向速度祉回
転数に依・存するため高い分解能を得るには1分間に敵
方回転という非常に高速度で回転鏡を回転させる必要が
ある。
得られるといった長所があシ、レーデ光を坩いて走査す
る走査装置等に採用されている。しかし、偏向速度祉回
転数に依・存するため高い分解能を得るには1分間に敵
方回転という非常に高速度で回転鏡を回転させる必要が
ある。
一方、このような高速回転を実現するためには回転鏡駆
動用モータOモータシャフトと軸受との摩擦を極力小さ
くする必l!がある。
動用モータOモータシャフトと軸受との摩擦を極力小さ
くする必l!がある。
そζで、近時ティルテーイングΔ、1′型等の動圧空気
ジャーナル軸受を用いてモータシャフトの半径方向の支
持を行なうとともにモータシャフトの下端部に補強材を
介して取−付けられた永久磁石とモータハウジングの端
板(モータエンドグレート)に取付けられた永久磁石と
の反撥力で浮上させることにモータシャフトの軸方向の
支持を行なうようにしたものが開発された・しかしなが
ら、こめ種モータにおいては永久磁石の反撥力のばらつ
き等によシモータハウジングに対する毫−タシャフトの
軸方向の位置がばらついてしまうといった問題がある。
ジャーナル軸受を用いてモータシャフトの半径方向の支
持を行なうとともにモータシャフトの下端部に補強材を
介して取−付けられた永久磁石とモータハウジングの端
板(モータエンドグレート)に取付けられた永久磁石と
の反撥力で浮上させることにモータシャフトの軸方向の
支持を行なうようにしたものが開発された・しかしなが
ら、こめ種モータにおいては永久磁石の反撥力のばらつ
き等によシモータハウジングに対する毫−タシャフトの
軸方向の位置がばらついてしまうといった問題がある。
この場合、モータシャフトに取付けられた回転鏡も必然
的にその位置にばらつきが生じ、回転鏡への入射光の反
射点がモータシャ7′トの軸方向に変化し、高価−回転
鏡の厚みをその分厚くしておかなけれにならず、コスト
が高くなるばかシでなく回転負荷が大きくなって起動特
性が悪くなる。また回転鏡の反射面をモータシャフトの
軸心線に対して傾斜させであるものにあっては、回転鏡
への入射光の反射点が変化することによシ走査スピード
が変化してしまうといった重大な問題がある・ 本発明は一上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、動圧空気ジャーナル軸受によシその
一部に回転鏡が取付けられたモータシャフトの半径:方
向の支持を行なうものにおいて、モーターフ・センダに
対してのモータシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実
に調整し得るようにした回転鏡光偏向器を提供しようと
する、ものである。
的にその位置にばらつきが生じ、回転鏡への入射光の反
射点がモータシャ7′トの軸方向に変化し、高価−回転
鏡の厚みをその分厚くしておかなけれにならず、コスト
が高くなるばかシでなく回転負荷が大きくなって起動特
性が悪くなる。また回転鏡の反射面をモータシャフトの
軸心線に対して傾斜させであるものにあっては、回転鏡
への入射光の反射点が変化することによシ走査スピード
が変化してしまうといった重大な問題がある・ 本発明は一上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、動圧空気ジャーナル軸受によシその
一部に回転鏡が取付けられたモータシャフトの半径:方
向の支持を行なうものにおいて、モーターフ・センダに
対してのモータシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実
に調整し得るようにした回転鏡光偏向器を提供しようと
する、ものである。
以下、本発明を図示の一実施例を参照しながら枳明する
。第1図は回転鏡光偏向器を示し、この回転鏡光偏向器
は回転鏡1とこの回転鏡1を高速回転させるモータ2と
からなっている。
。第1図は回転鏡光偏向器を示し、この回転鏡光偏向器
は回転鏡1とこの回転鏡1を高速回転させるモータ2と
からなっている。
・ 上記回転@1は、モータ2のモータシャフト3の
上端チー8部Jaに嵌着された回転鏡アダツタ4とモー
タシャフト3の上端ねじ部、sbに螺合されたす、ト5
によシ押圧される回転鏡押え体6とによル定位置に保持
されている。また、七−タシャフト3の軸方向はソ中央
部にはロータ1が取付けられているとともにこのロータ
1を囲繞する状態にモータハウジング8側にはステータ
9が取シ付けられておル、モータシャフト3を駆動す゛
るシャフト駆動部10を構成している。
上端チー8部Jaに嵌着された回転鏡アダツタ4とモー
タシャフト3の上端ねじ部、sbに螺合されたす、ト5
によシ押圧される回転鏡押え体6とによル定位置に保持
されている。また、七−タシャフト3の軸方向はソ中央
部にはロータ1が取付けられているとともにこのロータ
1を囲繞する状態にモータハウジング8側にはステータ
9が取シ付けられておル、モータシャフト3を駆動す゛
るシャフト駆動部10を構成している。
また、シャ ト駆動部10の上下両方向には、・、・!
7 ヘリングが−ジ(型の動圧9気ジャーナル軸受11.1
1が設けられていて一モータシャフト3の半径方向の支
持を行うようになりている。すなわち、モータシャ7)
JKはその周面にくの字状のヘリングが一ングルーf1
2・・・を形成したグループ形成部3*、Ierが形成
されているととも1にこれらグループ形成部3e、3g
をその相互対向面部に数ンク四ンの微小な間隙を存して
囲繞する状態にモータハウジング8に円筒状の軸受部材
13.JJが取付けられている。−また、上記モータシ
ャフト3の下端部には4枚の内側マグネッ〆りング14
・・・が嵌合されモータシャ7′)J4の下端面にIシ
ト15を介して取付けられたリング押え16に−よ〕保
持されて−いるとともにモータハウジング8側にはこれ
ら内側マグネットリング14−・・をその相互対向面部
に数百ミクロン程度の間隙を存して囲繞する状態に4枚
の外側マグネットリング1グ・・・が設けられている。
7 ヘリングが−ジ(型の動圧9気ジャーナル軸受11.1
1が設けられていて一モータシャフト3の半径方向の支
持を行うようになりている。すなわち、モータシャ7)
JKはその周面にくの字状のヘリングが一ングルーf1
2・・・を形成したグループ形成部3*、Ierが形成
されているととも1にこれらグループ形成部3e、3g
をその相互対向面部に数ンク四ンの微小な間隙を存して
囲繞する状態にモータハウジング8に円筒状の軸受部材
13.JJが取付けられている。−また、上記モータシ
ャフト3の下端部には4枚の内側マグネッ〆りング14
・・・が嵌合されモータシャ7′)J4の下端面にIシ
ト15を介して取付けられたリング押え16に−よ〕保
持されて−いるとともにモータハウジング8側にはこれ
ら内側マグネットリング14−・・をその相互対向面部
に数百ミクロン程度の間隙を存して囲繞する状態に4枚
の外側マグネットリング1グ・・・が設けられている。
上記内側マグネットリング14・・・と外側マグネット
リング12・・・と廷吸引力が働くように着磁されてい
る働そして、これらの吸引力によシモータシャフト3の
軸方向の力(主に自重)を受けてモータシャ7′ト3を
鴇吊シの状態に支持する磁気的スラスト軸受18を構成
している。
リング12・・・と廷吸引力が働くように着磁されてい
る働そして、これらの吸引力によシモータシャフト3の
軸方向の力(主に自重)を受けてモータシャ7′ト3を
鴇吊シの状態に支持する磁気的スラスト軸受18を構成
している。
また、上記外側マグネ、トリング11・−紘リングホル
ダ19によって保持されておシ、このリングホルダ19
はモータハウジング8のホル・ダ嵌合部20・に対して
摺動自在に嵌合されている。そして、このリングホルダ
1#をこの上面餉に介在−させた弾性体としての血dね
21とホ・ルダ嵌合部20の開口端部に螺着した位置調
兼リング22とで挾持することによシ外側マグネ、トリ
ング17−・の位置決めを行なう構成となっている・ なお、モータハウジング8紘、段付孔を有したハウジン
グ本体8aと、このハウジング本体8aの下端開口部を
開基する端板(モータエンドプレート)8bと、ハウジ
ング本体8aの上14開口部を閉塞するモータキャ、f
8・とからなりている。
ダ19によって保持されておシ、このリングホルダ19
はモータハウジング8のホル・ダ嵌合部20・に対して
摺動自在に嵌合されている。そして、このリングホルダ
1#をこの上面餉に介在−させた弾性体としての血dね
21とホ・ルダ嵌合部20の開口端部に螺着した位置調
兼リング22とで挾持することによシ外側マグネ、トリ
ング17−・の位置決めを行なう構成となっている・ なお、モータハウジング8紘、段付孔を有したハウジン
グ本体8aと、このハウジング本体8aの下端開口部を
開基する端板(モータエンドプレート)8bと、ハウジ
ング本体8aの上14開口部を閉塞するモータキャ、f
8・とからなりている。
しかして、ステータ9に通電されるとロータ7との磁力
によシモータシャ7ト8を回転させる力が働き、七−タ
レヤ7ト3は回転を始める。
によシモータシャ7ト8を回転させる力が働き、七−タ
レヤ7ト3は回転を始める。
このトキ、ヘリングが−ングループ12・・・の傾斜方
向によシモータシャ 1ト 定され、゛図示の状態においては上端面側から見て反時
計方向(矢印方向)に回転する。モータシャフト3の回
転が始まるとヘリングが−ン型動圧空気ジャーナル軸受
部JJ、71ではへリングが−ングルーf J J −
・・の効果で空気が軸受部材IJjmlBとの数ミクロ
ンの隙間に流入される事によシ数ミクロンのすきま内部
の圧力分布が軸受の中央部が高くな、シ、その圧力によ
りて半径方向(ラジアル方向)の力を受ける。
向によシモータシャ 1ト 定され、゛図示の状態においては上端面側から見て反時
計方向(矢印方向)に回転する。モータシャフト3の回
転が始まるとヘリングが−ン型動圧空気ジャーナル軸受
部JJ、71ではへリングが−ングルーf J J −
・・の効果で空気が軸受部材IJjmlBとの数ミクロ
ンの隙間に流入される事によシ数ミクロンのすきま内部
の圧力分布が軸受の中央部が高くな、シ、その圧力によ
りて半径方向(ラジアル方向)の力を受ける。
一方、モータシャフト1社その下端部に取着した内側マ
グネットリング14・・・とモータ/Sウジフグ8側に
取着したた側ブネットリング17・−との吸引力とスラ
スニ五:と、9釣合った状態で維持されている。し
て、−一タシャフト3は非接触の状態で 続ける
ことができる。、 そして、モータシャフト3の上端側に取着された回転f
klが゛高速回転され、入射光aを高速度で偏向するこ
とになる。
グネットリング14・・・とモータ/Sウジフグ8側に
取着したた側ブネットリング17・−との吸引力とスラ
スニ五:と、9釣合った状態で維持されている。し
て、−一タシャフト3は非接触の状態で 続ける
ことができる。、 そして、モータシャフト3の上端側に取着された回転f
klが゛高速回転され、入射光aを高速度で偏向するこ
とになる。
また、入射光aの回転鏡1°に対する反射点の位置を調
整、たとえは回転鏡1番上方に移動させたい場合には、
第2図に示すように位置調整リング22を回転させてね
じ込んで上方(矢印A方向)に移動させること′によシ
リングホルダ19を弾性体(皿ばね)21の押下刃に抗
して上方に移動させ、外側マグネットリング11・・・
を上方(矢印B方向)に移動させる。しかして、内側マ
ンネットリンダ14・・・は移動した外側マグネ、トリ
ング11・・・と釣合いがとれる位置まで上方(矢印e
方向)に移動することになる。
整、たとえは回転鏡1番上方に移動させたい場合には、
第2図に示すように位置調整リング22を回転させてね
じ込んで上方(矢印A方向)に移動させること′によシ
リングホルダ19を弾性体(皿ばね)21の押下刃に抗
して上方に移動させ、外側マグネットリング11・・・
を上方(矢印B方向)に移動させる。しかして、内側マ
ンネットリンダ14・・・は移動した外側マグネ、トリ
ング11・・・と釣合いがとれる位置まで上方(矢印e
方向)に移動することになる。
また、1転跳1を下げたい場合には位置調整リング22
を緩めればよい。
を緩めればよい。
そして、外側マグネ、トリング17・・・の位置を変え
、ることによ、ルそ一タノ1ウジング8に対してのモー
タシャ7+&、、3の軸方向の位置を1tllluし、
彫3図に示すように回転鏡1に対する入射光aの反射点
の位置を防騰することになる。
、ることによ、ルそ一タノ1ウジング8に対してのモー
タシャ7+&、、3の軸方向の位置を1tllluし、
彫3図に示すように回転鏡1に対する入射光aの反射点
の位置を防騰することになる。
なお、上述の一実施例において、動圧空気ジャーナル軸
受11をヘリングが一ン型とした力I本発明はこれに限
るものでなく、テイルテイングパ、ド型、浮動ブ、シ、
型等であってもよい。
受11をヘリングが一ン型とした力I本発明はこれに限
るものでなく、テイルテイングパ、ド型、浮動ブ、シ、
型等であってもよい。
また、モータハウジング8側に設けた外側マグネ、トリ
ング11・−を上下方向に調整することによシモータハ
ウジンr8に対□してのモータシャフト3の軸方向の位
置を調整し得るようにしたが、モータシャフトs側の内
側マグネットリングJ 4−・・の位置を調整するよう
にしても1川様の効果が得られる。
ング11・−を上下方向に調整することによシモータハ
ウジンr8に対□してのモータシャフト3の軸方向の位
置を調整し得るようにしたが、モータシャフトs側の内
側マグネットリングJ 4−・・の位置を調整するよう
にしても1川様の効果が得られる。
その他、本発明は上記実施例に限らず本発明の袂旨を変
えない範囲で種々女形実施可會ヒなことは勿論である。
えない範囲で種々女形実施可會ヒなことは勿論である。
本発明は以上説明したように、動圧空気ジャーナル軸受
によシその一部に回転鏡が取付けられたモータシャフト
の半径方向の支持を行なうものにおいて、上記モータシ
ャフトの軸方向のマグネットリングとの磁気的吸引力で
行なうとともに上記外側マグネ、トもしくは内側マグネ
、トO取・付位量を必要に応じて調整して回転鏡が堆付
けられたモータシャフトの軸方向の支持位置を可変する
マグネ、ト位置鉤整手段を設けた仁とを%愼とする一転
鏡光偏向器にある。
によシその一部に回転鏡が取付けられたモータシャフト
の半径方向の支持を行なうものにおいて、上記モータシ
ャフトの軸方向のマグネットリングとの磁気的吸引力で
行なうとともに上記外側マグネ、トもしくは内側マグネ
、トO取・付位量を必要に応じて調整して回転鏡が堆付
けられたモータシャフトの軸方向の支持位置を可変する
マグネ、ト位置鉤整手段を設けた仁とを%愼とする一転
鏡光偏向器にある。
したがりて、モータ/1ウジンダに灯してのモ・、、−
タシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実に□れな容易
に補正でき、従来のように反射鏡を予め犀<珍成す′る
必要がない、また、回転鏡の反゛ 射面をモータシャフ
トの軸心線に対して傾斜させ九ものにあっても、入射光
の反射点の位置ずれが容易に補正できるため従来のよう
に走査スピードが灸化するといったことが確実に防止で
きるといった幼釆を奏する。
タシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実に□れな容易
に補正でき、従来のように反射鏡を予め犀<珍成す′る
必要がない、また、回転鏡の反゛ 射面をモータシャフ
トの軸心線に対して傾斜させ九ものにあっても、入射光
の反射点の位置ずれが容易に補正できるため従来のよう
に走査スピードが灸化するといったことが確実に防止で
きるといった幼釆を奏する。
一血社本発明の一実施例を示すもので、石1図社縦断1
trbi、第2図は賛部の断面図、第3図は1転銚に対
する入射光の反射点の位置vI4I4扉状態す胱明図で
ある。 1五回転鏡、2・・・回転鏡駆動用モータ、3・・・モ
ータシャ7′ト、8・・・モータハウジング、11・・
・動圧空気ジャーナル軸受、14・・・内側マグネ、ト
リング、11・・・外側マグネ、トリング、18・・・
磁気的スラスト軸受、19・・・′リングホルダ、21
・・・弾性弁(皿ばね)、2 j −・・位置調整リン
グ、a・・・入射光。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦1 心 本町
trbi、第2図は賛部の断面図、第3図は1転銚に対
する入射光の反射点の位置vI4I4扉状態す胱明図で
ある。 1五回転鏡、2・・・回転鏡駆動用モータ、3・・・モ
ータシャ7′ト、8・・・モータハウジング、11・・
・動圧空気ジャーナル軸受、14・・・内側マグネ、ト
リング、11・・・外側マグネ、トリング、18・・・
磁気的スラスト軸受、19・・・′リングホルダ、21
・・・弾性弁(皿ばね)、2 j −・・位置調整リン
グ、a・・・入射光。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦1 心 本町
Claims (1)
- 動圧空気ジャーナル軸受忙よりその一部に回転鏡が取付
けられたモータシャフトの半径方向の支持を行なうもの
において、上記モータシャフトの軸方向や支持、を、モ
ータシャフトに取付けた内側マグネットリングとモータ
ハウジングに取付けた外側マグネットリングとの磁気的
吸引力で行なうとともに上記外側マグネ、トもしくは内
側マグネ、トの取付位置を必要に応1て調整して回転鏡
が取付けられたモータシャフトの軸方向の支持位置を可
変するマグネ、ト位簀調整手段を設けたことを特徴とす
る回転鏡光偏向器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56142107A JPS5843421A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 回転鏡光偏向器 |
US06/411,959 US4443043A (en) | 1981-09-09 | 1982-08-26 | Electric motor unit |
DE3233216A DE3233216C2 (de) | 1981-09-09 | 1982-09-07 | Elektromotor mit senkrechter Welle |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56142107A JPS5843421A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 回転鏡光偏向器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5843421A true JPS5843421A (ja) | 1983-03-14 |
Family
ID=15307581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56142107A Pending JPS5843421A (ja) | 1981-09-09 | 1981-09-09 | 回転鏡光偏向器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4443043A (ja) |
JP (1) | JPS5843421A (ja) |
DE (1) | DE3233216C2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60241518A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 動圧スピンドルユニツト |
US5617241A (en) * | 1993-06-29 | 1997-04-01 | Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho | Optical beam scanner |
Families Citing this family (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4523800A (en) * | 1982-07-20 | 1985-06-18 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Polygonal mirror optical deflector |
JPS5917019A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-28 | Toshiba Corp | 回転体支持装置 |
US4623216A (en) * | 1983-02-10 | 1986-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Light beam scanning apparatus |
JPS6011746A (ja) * | 1983-06-30 | 1985-01-22 | Toshiba Corp | フライホイ−ル装置 |
DE3345554A1 (de) * | 1983-12-16 | 1985-08-29 | Teldix Gmbh, 6900 Heidelberg | Kollektorloser gleichstrommotor zum antrieb eines optischen deflektors |
JPS60244913A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Toshiba Corp | 回転体支持装置 |
DE3425805A1 (de) * | 1984-07-13 | 1986-01-23 | Teldix Gmbh, 6900 Heidelberg | Kollektorloser gleichstrommotor in scheibenlaeuferbauweise |
JPH0226215Y2 (ja) * | 1984-12-07 | 1990-07-17 | ||
NL8501142A (nl) * | 1985-04-19 | 1986-11-17 | Oce Nederland B V Patents And | Omwentelingslichaam, in het bijzonder polygoonspiegel. |
US4726640A (en) * | 1985-09-24 | 1988-02-23 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflector with a pneumatic and a magnetic bearing |
US4820950A (en) * | 1987-03-03 | 1989-04-11 | Copal Company Limited | Fluid Bearing |
SU1704839A1 (ru) * | 1988-07-18 | 1992-01-15 | Московское научно-производственное объединение "Биофизприбор" | Привод ультрацентрифуги |
JPH0216820U (ja) * | 1988-07-19 | 1990-02-02 | ||
US4934836A (en) * | 1988-08-18 | 1990-06-19 | Nippon Seiko Kabushiki Kaisha | Dynamic pressure type fluid bearing device |
US5069515A (en) * | 1989-09-22 | 1991-12-03 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflector of air bearing type |
ES2090074T3 (es) * | 1989-10-20 | 1996-10-16 | Applied Materials Inc | Robot biaxial con acoplamiento magnetico. |
US5447409A (en) * | 1989-10-20 | 1995-09-05 | Applied Materials, Inc. | Robot assembly |
US5173797A (en) * | 1990-05-08 | 1992-12-22 | Xerox Corporation | Rotating mirror optical scanner with grooved grease bearings |
US5187612A (en) * | 1990-11-15 | 1993-02-16 | Gap Technologies, Inc. | Gyrating programmable scanner |
JP2946793B2 (ja) * | 1991-03-19 | 1999-09-06 | ブラザー工業株式会社 | 光偏向器 |
GB2258699A (en) * | 1991-08-10 | 1993-02-17 | Rolls Royce Business Ventures | Shaft bearing arrangement |
US5196748A (en) * | 1991-09-03 | 1993-03-23 | Allied-Signal Inc. | Laminated magnetic structure for superconducting bearings |
US5220232A (en) * | 1991-09-03 | 1993-06-15 | Allied Signal Aerospace | Stacked magnet superconducting bearing |
US5289067A (en) * | 1992-01-31 | 1994-02-22 | Nsk Ltd. | Bearing device |
JP3306933B2 (ja) * | 1992-11-30 | 2002-07-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 空気磁気軸受型モータ |
US5376862A (en) * | 1993-01-28 | 1994-12-27 | Applied Materials, Inc. | Dual coaxial magnetic couplers for vacuum chamber robot assembly |
JPH0749463A (ja) * | 1993-08-05 | 1995-02-21 | Fuji Xerox Co Ltd | 光偏向器 |
DE4401262C2 (de) * | 1994-01-18 | 1997-07-03 | Langenbeck Peter | Aerostatische und aerodynamische Lagerung eines Motors |
US5541460A (en) * | 1994-02-25 | 1996-07-30 | Seagate Technology, Inc. | Passive magnetic bearings for a spindle motor |
DE19823630C2 (de) * | 1998-05-27 | 2003-08-21 | Pmdm Prec Motors Deutsche Mine | Motorlager für schnelldrehende Kleinmotoren |
US7075204B2 (en) * | 2003-08-06 | 2006-07-11 | Honeywell International, Inc. | Threaded inner sleeve for generator magnet |
US9261104B2 (en) * | 2005-09-19 | 2016-02-16 | Ingersoll-Rand Company | Air blower for a motor-driven compressor |
CN100458198C (zh) * | 2006-11-21 | 2009-02-04 | 浙江大学 | 一种自适应转子重量的永磁推力轴承 |
US8212444B2 (en) * | 2007-12-11 | 2012-07-03 | Minebea Co., Ltd. | Magnetic axial bearing and a spindle motor having this kind of magnetic axial bearing |
DE102007059467B4 (de) * | 2007-12-11 | 2010-06-02 | Minebea Co., Ltd. | Magnetisches Axiallager |
CN101252301A (zh) * | 2008-03-13 | 2008-08-27 | 王誉燕 | 磁悬浮垂直轴风车 |
AU2009244608B2 (en) * | 2008-05-06 | 2014-04-24 | Fmc Technologies, Inc. | In-line flow mixer |
DE102008062679A1 (de) * | 2008-12-17 | 2010-06-24 | Minebea Co., Ltd. | Fluiddynamisches Lagersystem |
DE202009012924U1 (de) * | 2009-09-25 | 2010-01-14 | Precitec Kg | Einschub zur Halterung einer Optik in einem Laserbearbeitungskopf sowie ein Laserbearbeitungskopf |
FR2962505B1 (fr) * | 2010-07-08 | 2012-08-10 | Mecanique Magnetique Sa | Palier magnetique a reglage axial et procede de montage |
US8714916B2 (en) | 2010-09-28 | 2014-05-06 | General Electric Company | Variable vane assembly for a turbine compressor |
US8668444B2 (en) | 2010-09-28 | 2014-03-11 | General Electric Company | Attachment stud for a variable vane assembly of a turbine compressor |
CN102237834B (zh) * | 2011-03-25 | 2013-10-23 | 哈尔滨工业大学 | 多自由度磁悬浮电机 |
CN109322918A (zh) * | 2018-11-05 | 2019-02-12 | 南京航空航天大学 | 一种磁悬浮轴承径向保护结构 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3150822A (en) * | 1961-02-09 | 1964-09-29 | Commissariat Energie Atomique | Sealing and centering device for rotary shaft |
US3612630A (en) * | 1970-01-23 | 1971-10-12 | Ferrofluidics Corp | Bearing arrangement with magnetic fluid defining bearing pads |
US3614181A (en) * | 1970-07-02 | 1971-10-19 | Us Air Force | Magnetic bearing for combined radial and thrust loads |
US3851933A (en) * | 1972-06-12 | 1974-12-03 | Sperry Rand Corp | Hydrodynamic fluid-film bearings |
DE2421853A1 (de) * | 1974-05-06 | 1975-11-20 | Michael Smit | Lager fuer schnelldrehende wellen |
CH582838A5 (ja) * | 1975-03-18 | 1976-12-15 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
US4043612A (en) * | 1975-06-06 | 1977-08-23 | Ampex Corporation | Bearing structure |
US4072370A (en) * | 1976-08-24 | 1978-02-07 | Spectra-Flux, Inc. | Radial magnetic bearing |
JPS6028502B2 (ja) * | 1977-01-25 | 1985-07-05 | 株式会社モリタ製作所 | 歯科用空気軸受ハンドピ−スの軸受機構 |
FR2384174A1 (fr) * | 1977-03-15 | 1978-10-13 | Aerospatiale | Roue d'inertie |
GB1524662A (en) * | 1977-03-24 | 1978-09-13 | Univ Southampton | Agnetic disc stores |
DE2825551C3 (de) * | 1978-06-10 | 1982-06-09 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetische Lagerung |
US4310757A (en) * | 1978-07-07 | 1982-01-12 | Pitney Bowes Inc. | Apparatus for correcting scanning speed in a polygon used for laser scanning |
US4332428A (en) * | 1979-01-16 | 1982-06-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Rotary mechanism with axial bearings |
US4268110A (en) * | 1979-10-12 | 1981-05-19 | Itek Corporation | Facet angle corrector for multi-faceted optical scanner |
-
1981
- 1981-09-09 JP JP56142107A patent/JPS5843421A/ja active Pending
-
1982
- 1982-08-26 US US06/411,959 patent/US4443043A/en not_active Expired - Fee Related
- 1982-09-07 DE DE3233216A patent/DE3233216C2/de not_active Expired
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60241518A (ja) * | 1984-05-15 | 1985-11-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 動圧スピンドルユニツト |
US5617241A (en) * | 1993-06-29 | 1997-04-01 | Kabushiki Kaisha Sankyo Seiki Seisakusho | Optical beam scanner |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3233216C2 (de) | 1991-03-28 |
US4443043A (en) | 1984-04-17 |
DE3233216A1 (de) | 1983-04-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5843421A (ja) | 回転鏡光偏向器 | |
US4523800A (en) | Polygonal mirror optical deflector | |
JPH04235522A (ja) | 溝付グリースベアリングを有する回転鏡光学スキャナ | |
US4552417A (en) | Polygonal type optical deflector | |
EP0598950B1 (en) | Rotary mirror system | |
US6031651A (en) | Scanning optical apparatus | |
US4820005A (en) | Method of fixing a polygon mirror and an optical deflector having such polygon mirror | |
JPS5917020A (ja) | 回転体支持装置 | |
JP3406198B2 (ja) | スピンドルモータ及びスピンドルモータを採用した回転体装置 | |
JPS63241517A (ja) | ポリゴンミラ− | |
JPS6219070Y2 (ja) | ||
JPS5968716A (ja) | 回転体支持装置 | |
JPH0112532Y2 (ja) | ||
JPH02157716A (ja) | 回転多面鏡装置 | |
JPH0565852B2 (ja) | ||
JPS63259510A (ja) | 空気磁気軸受型光偏向器 | |
JPH02186118A (ja) | 回転装置 | |
JPS5923324A (ja) | 光偏向器 | |
JPS63266420A (ja) | ポリゴンミラ− | |
JPS63257716A (ja) | ポリゴンミラ− | |
JP3128819B2 (ja) | 動圧型気体軸受装置 | |
JPH03157612A (ja) | 流体軸受型光偏向器 | |
JPS5923319A (ja) | 回転体支持装置 | |
JPH0675185A (ja) | 走査光学装置 | |
JPS5917023A (ja) | 回転体支持装置 |