JPS5843421A - 回転鏡光偏向器 - Google Patents

回転鏡光偏向器

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JPS5843421A
JPS5843421A JP56142107A JP14210781A JPS5843421A JP S5843421 A JPS5843421 A JP S5843421A JP 56142107 A JP56142107 A JP 56142107A JP 14210781 A JP14210781 A JP 14210781A JP S5843421 A JPS5843421 A JP S5843421A
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JP
Japan
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motor shaft
motor
shaft
rotating mirror
ring
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JP56142107A
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Inventor
Ryoji Yamaguchi
山口　良治
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • F16C17/00—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/026—Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with helical grooves in the bearing surface to generate hydrodynamic pressure, e.g. herringbone grooves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • G02—OPTICS
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    • G02B26/121—Mechanical drive devices for polygonal mirrors
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    • H02K7/08—Structural association with bearings
    • H02K7/09—Structural association with bearings with magnetic bearings
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、鏡を機械的に回転させて光偏向を行なう回転
鏡゛光偏向器に関する。
回転鏡光偏向器は電気光学的結晶に比べ太きな偏向角が
得られるといった長所があシ、レーデ光を坩いて走査す
る走査装置等に採用されている。しかし、偏向速度祉回
転数に依・存するため高い分解能を得るには１分間に敵
方回転という非常に高速度で回転鏡を回転させる必要が
ある。
一方、このような高速回転を実現するためには回転鏡駆
動用モータＯモータシャフトと軸受との摩擦を極力小さ
くする必ｌ！がある。
そζで、近時ティルテーイングΔ、１′型等の動圧空気
ジャーナル軸受を用いてモータシャフトの半径方向の支
持を行なうとともにモータシャフトの下端部に補強材を
介して取−付けられた永久磁石とモータハウジングの端
板（モータエンドグレート）に取付けられた永久磁石と
の反撥力で浮上させることにモータシャフトの軸方向の
支持を行なうようにしたものが開発された・しかしなが
ら、こめ種モータにおいては永久磁石の反撥力のばらつ
き等によシモータハウジングに対する毫−タシャフトの
軸方向の位置がばらついてしまうといった問題がある。
この場合、モータシャフトに取付けられた回転鏡も必然
的にその位置にばらつきが生じ、回転鏡への入射光の反
射点がモータシャ７′トの軸方向に変化し、高価−回転
鏡の厚みをその分厚くしておかなけれにならず、コスト
が高くなるばかシでなく回転負荷が大きくなって起動特
性が悪くなる。また回転鏡の反射面をモータシャフトの
軸心線に対して傾斜させであるものにあっては、回転鏡
への入射光の反射点が変化することによシ走査スピード
が変化してしまうといった重大な問題がある・ 本発明は一上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、動圧空気ジャーナル軸受によシその
一部に回転鏡が取付けられたモータシャフトの半径：方
向の支持を行なうものにおいて、モーターフ・センダに
対してのモータシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実
に調整し得るようにした回転鏡光偏向器を提供しようと
する、ものである。
以下、本発明を図示の一実施例を参照しながら枳明する
。第１図は回転鏡光偏向器を示し、この回転鏡光偏向器
は回転鏡１とこの回転鏡１を高速回転させるモータ２と
からなっている。
・　　上記回転＠１は、モータ２のモータシャフト３の
上端チー８部Ｊａに嵌着された回転鏡アダツタ４とモー
タシャフト３の上端ねじ部、ｓｂに螺合されたす、ト５
によシ押圧される回転鏡押え体６とによル定位置に保持
されている。また、七−タシャフト３の軸方向はソ中央
部にはロータ１が取付けられているとともにこのロータ
１を囲繞する状態にモータハウジング８側にはステータ
９が取シ付けられておル、モータシャフト３を駆動す゛
るシャフト駆動部１０を構成している。
また、シャ　ト駆動部１０の上下両方向には、・、・！
７ ヘリングが−ジ（型の動圧９気ジャーナル軸受１１．１
１が設けられていて一モータシャフト３の半径方向の支
持を行うようになりている。すなわち、モータシャ７）
ＪＫはその周面にくの字状のヘリングが一ングルーｆ１
２・・・を形成したグループ形成部３＊、Ｉｅｒが形成
されているととも１にこれらグループ形成部３ｅ、３ｇ
をその相互対向面部に数ンク四ンの微小な間隙を存して
囲繞する状態にモータハウジング８に円筒状の軸受部材
１３．ＪＪが取付けられている。−また、上記モータシ
ャフト３の下端部には４枚の内側マグネッ〆りング１４
・・・が嵌合されモータシャ７′）Ｊ４の下端面にＩシ
ト１５を介して取付けられたリング押え１６に−よ〕保
持されて−いるとともにモータハウジング８側にはこれ
ら内側マグネットリング１４−・・をその相互対向面部
に数百ミクロン程度の間隙を存して囲繞する状態に４枚
の外側マグネットリング１グ・・・が設けられている。
上記内側マグネットリング１４・・・と外側マグネット
リング１２・・・と廷吸引力が働くように着磁されてい
る働そして、これらの吸引力によシモータシャフト３の
軸方向の力（主に自重）を受けてモータシャ７′ト３を
鴇吊シの状態に支持する磁気的スラスト軸受１８を構成
している。
また、上記外側マグネ、トリング１１・−紘リングホル
ダ１９によって保持されておシ、このリングホルダ１９
はモータハウジング８のホル・ダ嵌合部２０・に対して
摺動自在に嵌合されている。そして、このリングホルダ
１＃をこの上面餉に介在−させた弾性体としての血ｄね
２１とホ・ルダ嵌合部２０の開口端部に螺着した位置調
兼リング２２とで挾持することによシ外側マグネ、トリ
ング１７−・の位置決めを行なう構成となっている・ なお、モータハウジング８紘、段付孔を有したハウジン
グ本体８ａと、このハウジング本体８ａの下端開口部を
開基する端板（モータエンドプレート）８ｂと、ハウジ
ング本体８ａの上１４開口部を閉塞するモータキャ、ｆ
８・とからなりている。
しかして、ステータ９に通電されるとロータ７との磁力
によシモータシャ７ト８を回転させる力が働き、七−タ
レヤ７ト３は回転を始める。
このトキ、ヘリングが−ングループ１２・・・の傾斜方
向によシモータシャ　１ト 定され、゛図示の状態においては上端面側から見て反時
計方向（矢印方向）に回転する。モータシャフト３の回
転が始まるとヘリングが−ン型動圧空気ジャーナル軸受
部ＪＪ、７１ではへリングが−ングルーｆ　Ｊ　Ｊ　−
・・の効果で空気が軸受部材ＩＪｊｍｌＢとの数ミクロ
ンの隙間に流入される事によシ数ミクロンのすきま内部
の圧力分布が軸受の中央部が高くな、シ、その圧力によ
りて半径方向（ラジアル方向）の力を受ける。
一方、モータシャフト１社その下端部に取着した内側マ
グネットリング１４・・・とモータ／Ｓウジフグ８側に
取着したた側ブネットリング１７・−との吸引力とスラ
スニ五：と、９釣合った状態で維持されている。し　　
　て、−一タシャフト３は非接触の状態で　　　続ける
ことができる。、 そして、モータシャフト３の上端側に取着された回転ｆ
ｋｌが゛高速回転され、入射光ａを高速度で偏向するこ
とになる。
また、入射光ａの回転鏡１°に対する反射点の位置を調
整、たとえは回転鏡１番上方に移動させたい場合には、
第２図に示すように位置調整リング２２を回転させてね
じ込んで上方（矢印Ａ方向）に移動させること′によシ
リングホルダ１９を弾性体（皿ばね）２１の押下刃に抗
して上方に移動させ、外側マグネットリング１１・・・
を上方（矢印Ｂ方向）に移動させる。しかして、内側マ
ンネットリンダ１４・・・は移動した外側マグネ、トリ
ング１１・・・と釣合いがとれる位置まで上方（矢印ｅ
方向）に移動することになる。
また、１転跳１を下げたい場合には位置調整リング２２
を緩めればよい。
そして、外側マグネ、トリング１７・・・の位置を変え
、ることによ、ルそ一タノ１ウジング８に対してのモー
タシャ７＋＆、、３の軸方向の位置を１ｔｌｌｌｕし、
彫３図に示すように回転鏡１に対する入射光ａの反射点
の位置を防騰することになる。
なお、上述の一実施例において、動圧空気ジャーナル軸
受１１をヘリングが一ン型とした力Ｉ本発明はこれに限
るものでなく、テイルテイングパ、ド型、浮動ブ、シ、
型等であってもよい。
また、モータハウジング８側に設けた外側マグネ、トリ
ング１１・−を上下方向に調整することによシモータハ
ウジンｒ８に対□してのモータシャフト３の軸方向の位
置を調整し得るようにしたが、モータシャフトｓ側の内
側マグネットリングＪ　４−・・の位置を調整するよう
にしても１川様の効果が得られる。
その他、本発明は上記実施例に限らず本発明の袂旨を変
えない範囲で種々女形実施可會ヒなことは勿論である。
本発明は以上説明したように、動圧空気ジャーナル軸受
によシその一部に回転鏡が取付けられたモータシャフト
の半径方向の支持を行なうものにおいて、上記モータシ
ャフトの軸方向のマグネットリングとの磁気的吸引力で
行なうとともに上記外側マグネ、トもしくは内側マグネ
、トＯ取・付位量を必要に応じて調整して回転鏡が堆付
けられたモータシャフトの軸方向の支持位置を可変する
マグネ、ト位置鉤整手段を設けた仁とを％愼とする一転
鏡光偏向器にある。
したがりて、モータ／１ウジンダに灯してのモ・、、−
タシャフトの軸方向の位置を容易かつ確実に□れな容易
に補正でき、従来のように反射鏡を予め犀＜珍成す′る
必要がない、また、回転鏡の反゛　射面をモータシャフ
トの軸心線に対して傾斜させ九ものにあっても、入射光
の反射点の位置ずれが容易に補正できるため従来のよう
に走査スピードが灸化するといったことが確実に防止で
きるといった幼釆を奏する。
【図面の簡単な説明】
一血社本発明の一実施例を示すもので、石１図社縦断１
ｔｒｂｉ、第２図は賛部の断面図、第３図は１転銚に対
する入射光の反射点の位置ｖＩ４Ｉ４扉状態す胱明図で
ある。 １五回転鏡、２・・・回転鏡駆動用モータ、３・・・モ
ータシャ７′ト、８・・・モータハウジング、１１・・
・動圧空気ジャーナル軸受、１４・・・内側マグネ、ト
リング、１１・・・外側マグネ、トリング、１８・・・
磁気的スラスト軸受、１９・・・′リングホルダ、２１
・・・弾性弁（皿ばね）、２　ｊ　−・・位置調整リン
グ、ａ・・・入射光。 出願人代理人　　弁理士　鈴　江　武　彦１ 心 本町

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 動圧空気ジャーナル軸受忙よりその一部に回転鏡が取付
    けられたモータシャフトの半径方向の支持を行なうもの
    において、上記モータシャフトの軸方向や支持、を、モ
    ータシャフトに取付けた内側マグネットリングとモータ
    ハウジングに取付けた外側マグネットリングとの磁気的
    吸引力で行なうとともに上記外側マグネ、トもしくは内
    側マグネ、トの取付位置を必要に応１て調整して回転鏡
    が取付けられたモータシャフトの軸方向の支持位置を可
    変するマグネ、ト位簀調整手段を設けたことを特徴とす
    る回転鏡光偏向器。
JP56142107A 1981-09-09 1981-09-09 回転鏡光偏向器 Pending JPS5843421A (ja)

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US06/411,959 US4443043A (en) 1981-09-09 1982-08-26 Electric motor unit
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