JPS5832652U - 半導体装置の製造装置 - Google Patents
半導体装置の製造装置Info
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- JPS5832652U JPS5832652U JP12775381U JP12775381U JPS5832652U JP S5832652 U JPS5832652 U JP S5832652U JP 12775381 U JP12775381 U JP 12775381U JP 12775381 U JP12775381 U JP 12775381U JP S5832652 U JPS5832652 U JP S5832652U
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- JP
- Japan
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- solder member
- device manufacturing
- semiconductor device
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- semiconductor element
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- Pending
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
- H01L2224/75302—Shape
- H01L2224/75303—Shape of the pressing surface
-
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
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- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本案の一実施例を示す平面図、第2図は第1図
のX−X断面図、第3図は第1図のY−Y断面図、第4
−図は第1図のz−z断面図、第5図〜第7図はマウン
ト方法の説明図であって、第5図は半導体素子の基体へ
の供給前の状態を示す断面図、第6図は位置修正状態を
示す断面図、第7図は急冷状態を示す断面図である。 図中、1はレール、4は供給装置、6は位置決め装置、
7は位置修正爪、9は基体、10は半田部材、11は半
導体素子である。
のX−X断面図、第3図は第1図のY−Y断面図、第4
−図は第1図のz−z断面図、第5図〜第7図はマウン
ト方法の説明図であって、第5図は半導体素子の基体へ
の供給前の状態を示す断面図、第6図は位置修正状態を
示す断面図、第7図は急冷状態を示す断面図である。 図中、1はレール、4は供給装置、6は位置決め装置、
7は位置修正爪、9は基体、10は半田部材、11は半
導体素子である。
Claims (1)
- 上面に基体と共に半田部材を載置すると共に、基体を介
して半田部材を溶融状態にまで加熱するレールと、基体
における溶融状態の半田部材上に半導体素子を真空吸着
によって供給する供給装置と、複数の位置修正爪を有し
、かつレール上に上下動自在に配設した位置決め装置と
を具備し、上記溶融状態にある半田部材上の半導体素子
を位置決め装置の位置修正爪にて挾持することにより、
半導体素子を所定の位置に修正することを特徴とする半
導体装置の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12775381U JPS5832652U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 半導体装置の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12775381U JPS5832652U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 半導体装置の製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5832652U true JPS5832652U (ja) | 1983-03-03 |
Family
ID=29921472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12775381U Pending JPS5832652U (ja) | 1981-08-27 | 1981-08-27 | 半導体装置の製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5832652U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61207205U (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-27 | ||
JPS62185503U (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-25 | ||
JPS63189005U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 |
-
1981
- 1981-08-27 JP JP12775381U patent/JPS5832652U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61207205U (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-27 | ||
JPH0451602Y2 (ja) * | 1985-06-17 | 1992-12-04 | ||
JPS62185503U (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-25 | ||
JPH0130086Y2 (ja) * | 1986-05-19 | 1989-09-13 | ||
JPS63189005U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 |
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