JPS5831305A - レ−ザ光のパタ−ン成形装置 - Google Patents
レ−ザ光のパタ−ン成形装置Info
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- JPS5831305A JPS5831305A JP56130528A JP13052881A JPS5831305A JP S5831305 A JPS5831305 A JP S5831305A JP 56130528 A JP56130528 A JP 56130528A JP 13052881 A JP13052881 A JP 13052881A JP S5831305 A JPS5831305 A JP S5831305A
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- Japan
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- light
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- rade
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/0994—Fibers, light pipes
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
との発明はレーザ光の断面形状を直線状に変換して目的
部位に伝送するレーデ光の伝送装置に関する。
部位に伝送するレーデ光の伝送装置に関する。
たとえば、レーデ光にようてスリ、トを切りたシ、直線
状の溶接をしたシ、あるいはマー中ンダをする場合など
には上記レーデ光の断面形状を直線状に変換する必要が
ある。
状の溶接をしたシ、あるいはマー中ンダをする場合など
には上記レーデ光の断面形状を直線状に変換する必要が
ある。
従来、上記種々の目的によってレーデ光の断面形状を直
線状に変換するKH1第1図に示すようにレーデ発振器
島から出力されたレーデ光りを複数の半円柱状レンズb
−・からなる複合レンズ−に入射させることによシ、各
牛円柱状しン、eb−・・でレーデ光りを直線状に集束
して被加工物dに照射するようにしていた。しかしなが
ら、このような手段によると、複雑な構造をした複合レ
ンズ6を必要とするから、コスト高となシ、i九し−デ
発振器−から出力されるレーデ光りの断面形状は円形で
あるから、とのレーデ光Ll1合レンズ・で集束すると
、第2図に示すように各半円柱状レンズb・・・で直線
状に集束されるレーデ光りの長さが均等にならないとい
う問題が生じる。さらに、複合レンズ1を用いることに
より、レーデ発振器aから出力されたレーデ光りをたと
えば光ファイバによって上記複台レン/@の全面に入射
させるということが1111になるので、レーデ光りの
伝送距離や方向に大きな制限を受けることになる。
線状に変換するKH1第1図に示すようにレーデ発振器
島から出力されたレーデ光りを複数の半円柱状レンズb
−・からなる複合レンズ−に入射させることによシ、各
牛円柱状しン、eb−・・でレーデ光りを直線状に集束
して被加工物dに照射するようにしていた。しかしなが
ら、このような手段によると、複雑な構造をした複合レ
ンズ6を必要とするから、コスト高となシ、i九し−デ
発振器−から出力されるレーデ光りの断面形状は円形で
あるから、とのレーデ光Ll1合レンズ・で集束すると
、第2図に示すように各半円柱状レンズb・・・で直線
状に集束されるレーデ光りの長さが均等にならないとい
う問題が生じる。さらに、複合レンズ1を用いることに
より、レーデ発振器aから出力されたレーデ光りをたと
えば光ファイバによって上記複台レン/@の全面に入射
させるということが1111になるので、レーデ光りの
伝送距離や方向に大きな制限を受けることになる。
この発明線上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、形状が複雑な複合レンズを用いずに
レーザ光の断面を直線状に変換することができ、しかも
長さが均等な複数の直線状新聞のレーデ光を得ることが
でき、さもに党ファイバを用いて伝送距離や方向の自由
度が得られるようにしたレーデ光の伝送装置を提供する
ことKある。
的とするところは、形状が複雑な複合レンズを用いずに
レーザ光の断面を直線状に変換することができ、しかも
長さが均等な複数の直線状新聞のレーデ光を得ることが
でき、さもに党ファイバを用いて伝送距離や方向の自由
度が得られるようにしたレーデ光の伝送装置を提供する
ことKある。
以下、この発明の一実施例を第3111Iと第4図を参
照して説−する0図中1はレーデ発振器である。このレ
ーデ発振器1から出力されたレーデ光りは第1のレンズ
2で集束されて光ファイバ3に入射する。この光7アイ
パSの出射端からは、レーデ光りが発散しつつある状態
で出射され、とのレーデ光Lli光ファイバSの出射端
に入射端面4aである一端面が光学的に接続された石英
などからなる透明板状体4に入射するようKなりている
。この透明板状体4に入射したレーデ光りは、透明板状
体4の内面を全反射条件のもとに多重反射をくシ返しな
がら進行し、他端面から発散しながら出射して、この他
端面すなわち出射端面4bと対向して配置された第2の
レンズ5に進み、この第2のレンズ1で集束されるよう
になってい石。
照して説−する0図中1はレーデ発振器である。このレ
ーデ発振器1から出力されたレーデ光りは第1のレンズ
2で集束されて光ファイバ3に入射する。この光7アイ
パSの出射端からは、レーデ光りが発散しつつある状態
で出射され、とのレーデ光Lli光ファイバSの出射端
に入射端面4aである一端面が光学的に接続された石英
などからなる透明板状体4に入射するようKなりている
。この透明板状体4に入射したレーデ光りは、透明板状
体4の内面を全反射条件のもとに多重反射をくシ返しな
がら進行し、他端面から発散しながら出射して、この他
端面すなわち出射端面4bと対向して配置された第2の
レンズ5に進み、この第2のレンズ1で集束されるよう
になってい石。
ところで、上記透明板状体4から出射するレーデ光L
H%この透明板状体4の厚さ方向に断面が直線状の複数
のIり一ンP1〜P真となつていることが実験によ〉確
められ良、このようなノ臂ターンPg−wP、が得られ
る履自紘、十分解明されていないが、光ファイバ1の出
射端と透明板状体40入射端面4aとの間隔に応じて各
パターンpl〜Pnの間隔が変化することが実験により
明らかとなっているので、レーデ光りが透明板状体4内
を多重反射しながら互いに干渉し合りて生じるものと考
えられる。
H%この透明板状体4の厚さ方向に断面が直線状の複数
のIり一ンP1〜P真となつていることが実験によ〉確
められ良、このようなノ臂ターンPg−wP、が得られ
る履自紘、十分解明されていないが、光ファイバ1の出
射端と透明板状体40入射端面4aとの間隔に応じて各
パターンpl〜Pnの間隔が変化することが実験により
明らかとなっているので、レーデ光りが透明板状体4内
を多重反射しながら互いに干渉し合りて生じるものと考
えられる。
このような構成の伝送装置によれば、レーデ光りが透明
板状体4の出射端面4bから発散することによって得ら
れた/4ターyp1〜P、が第20レンズ5で集束され
て進むことにょシ、第3111a−m〜・−・断面にお
いて第4図(1)〜(5)のような形状となる。すなわ
ち、a−alliijiにおいては第4図α)のように
透明板状体4の厚さ方向に平行に離間した長さが均一な
直線状の複数のΔターンP1〜P4が得られる。tた、
b−bvtwiで杜第4図(2)K示すように透明板状
体4の厚さ方向に沿う1本の直線状のパターンPxが得
られゐ、このAターンPxの幅は透明板状体4の厚さ寸
法と轟然異なる細い線である。さらに、喀−1断面では
第4図(3)に示すように#11内形のパターンP1と
なシ、透明板状体4の儂を形成する4−纏断面では第4
図(4)K示すように上記透明板状体4の出射端面4b
に対応した矩形状のΔターンPsが得られる。そして、
d−d断面よシも第2のレンズ5から離れた・−・断面
では、第4図(5)に示すように再び透明板状体4の厚
さ方向に平行に離間した直線状の複数のノ々ターンP1
〜P!lが得られる。
板状体4の出射端面4bから発散することによって得ら
れた/4ターyp1〜P、が第20レンズ5で集束され
て進むことにょシ、第3111a−m〜・−・断面にお
いて第4図(1)〜(5)のような形状となる。すなわ
ち、a−alliijiにおいては第4図α)のように
透明板状体4の厚さ方向に平行に離間した長さが均一な
直線状の複数のΔターンP1〜P4が得られる。tた、
b−bvtwiで杜第4図(2)K示すように透明板状
体4の厚さ方向に沿う1本の直線状のパターンPxが得
られゐ、このAターンPxの幅は透明板状体4の厚さ寸
法と轟然異なる細い線である。さらに、喀−1断面では
第4図(3)に示すように#11内形のパターンP1と
なシ、透明板状体4の儂を形成する4−纏断面では第4
図(4)K示すように上記透明板状体4の出射端面4b
に対応した矩形状のΔターンPsが得られる。そして、
d−d断面よシも第2のレンズ5から離れた・−・断面
では、第4図(5)に示すように再び透明板状体4の厚
さ方向に平行に離間した直線状の複数のノ々ターンP1
〜P!lが得られる。
したがりて、加工目的に応じて被加工物(図示せず)を
第2のレンズ50゛透過側の任意の位置に設置すれば、
この゛被加工物に複数の直線状、単一の直線状あるいは
円形状などの切断、穴あけ、マーキングあるいは溶接な
どの加工を行なうことができる。
第2のレンズ50゛透過側の任意の位置に設置すれば、
この゛被加工物に複数の直線状、単一の直線状あるいは
円形状などの切断、穴あけ、マーキングあるいは溶接な
どの加工を行なうことができる。
また、b−bIIllr面においてIdv−デ光’Lカ
1本の直線状のノ々ターンPxとなるから、大きなエネ
ルギを必要とするレーデ加工を行なう場合にヒのb−b
断面の位置に被加工物を設置すれば効果的に行なえる。
1本の直線状のノ々ターンPxとなるから、大きなエネ
ルギを必要とするレーデ加工を行なう場合にヒのb−b
断面の位置に被加工物を設置すれば効果的に行なえる。
さらに%ζO発明によれば、レーデ発IIAIa1から
出力されたレーデ光りを多数0光信号に分波することが
できる。たとえば、実験によると、0.5−のコア径を
もつ光ファイバ3によりてレーデ発振lIlから出力さ
れたレーデ光りを厚さ1.5−1長さ60−1輻11■
のサイズの石英からなる透明板状体4に入射させて焦点
距離が50mの第2のレンズ5で集束したところ、長さ
が10−の6本の直線状の/臂ターンP1〜P−を00
s−のビ、チで得ることができた。したがりて、各直線
パターンP1〜Psに0.6霞径の光ファイバの入射端
を位置させるととによシ、合計120本の光ファイバに
レーデ光りを分波することができる。
出力されたレーデ光りを多数0光信号に分波することが
できる。たとえば、実験によると、0.5−のコア径を
もつ光ファイバ3によりてレーデ発振lIlから出力さ
れたレーデ光りを厚さ1.5−1長さ60−1輻11■
のサイズの石英からなる透明板状体4に入射させて焦点
距離が50mの第2のレンズ5で集束したところ、長さ
が10−の6本の直線状の/臂ターンP1〜P−を00
s−のビ、チで得ることができた。したがりて、各直線
パターンP1〜Psに0.6霞径の光ファイバの入射端
を位置させるととによシ、合計120本の光ファイバに
レーデ光りを分波することができる。
なお、この発明は上記一実施例に限定されず、たとえば
第5図に示すように透明板状体4の出射端w4−と第2
のレンズ5との関に矢示方向に変位させることKよシ複
数の直線状のノ譬ターンF1〜デ、〇一部を除去する遮
光!スク−を般社るようにすれと、第2のレンズ5を通
過するパターンデ1〜P聰の本数を変えることができる
から、コードの多様化が計れる。
第5図に示すように透明板状体4の出射端w4−と第2
のレンズ5との関に矢示方向に変位させることKよシ複
数の直線状のノ譬ターンF1〜デ、〇一部を除去する遮
光!スク−を般社るようにすれと、第2のレンズ5を通
過するパターンデ1〜P聰の本数を変えることができる
から、コードの多様化が計れる。
さらに、第6図に示すように透明板状体4に複数、たと
えば3本の光ファイバ3・・・でレーデ光りを入射させ
るようにすれば、第3図におけるb−by@の位置にお
いては第7図に示すようK11l加工物rに透明板状体
4の厚さ方向に沿う3本の直線状のパターンPxを得る
ことができる。
えば3本の光ファイバ3・・・でレーデ光りを入射させ
るようにすれば、第3図におけるb−by@の位置にお
いては第7図に示すようK11l加工物rに透明板状体
4の厚さ方向に沿う3本の直線状のパターンPxを得る
ことができる。
なお、上記各実施例では透明板状体4から出射され九レ
ーデ光を第2のレンズで集束するようKしたが、この第
2のレンズを用いなくとも直線状の複数のパターンが得
られることは明らかである。
ーデ光を第2のレンズで集束するようKしたが、この第
2のレンズを用いなくとも直線状の複数のパターンが得
られることは明らかである。
以上述べ九ようにこの発明は、レーデ発振器から出力さ
れたレーデ光を光学系で集束して透明板状体にこの一端
面から入射させ、他端面から発散させて出射させること
によシ、仁の出射端面から離れた位置で断面直線状のレ
ーデ光を得るようにした。したがって、従来のように形
状が複雑な半円柱状レンズを複数組合せ九複合レンズを
用いずに複数の直線状のレーデ光を得ることができ、し
かも複数の直線状のレーデ光の長さを均一圧することが
できる。さらに、光ファイバによりてレーザ発振器から
出力され九レーデ光を透明板状体に入射させて直線状の
レーデ光を得ることができるから、レーデ発振器からの
レーデ光を方向中距離に制限を受けずに伝送することが
できるなど実用上極めて有用である。
れたレーデ光を光学系で集束して透明板状体にこの一端
面から入射させ、他端面から発散させて出射させること
によシ、仁の出射端面から離れた位置で断面直線状のレ
ーデ光を得るようにした。したがって、従来のように形
状が複雑な半円柱状レンズを複数組合せ九複合レンズを
用いずに複数の直線状のレーデ光を得ることができ、し
かも複数の直線状のレーデ光の長さを均一圧することが
できる。さらに、光ファイバによりてレーザ発振器から
出力され九レーデ光を透明板状体に入射させて直線状の
レーデ光を得ることができるから、レーデ発振器からの
レーデ光を方向中距離に制限を受けずに伝送することが
できるなど実用上極めて有用である。
第11IFi従来の伝送装置の構成図、第2図は同じく
第1図1−1線に沿う側面図、第311Iはこの発明の
一実施例を示す全体の構成図、第4図(1)〜(5)は
同じく第3図Oa −a〜・−・におけるレーデ光の断
面図、第5図はこの発明の他の実施例の構成図、第6図
はこの発明のさらに他のIK施例の構成図、第7図は同
じく第6図■−■線に沿う側面図である。 I−レーデ発振器、2−第1のレンズ(光学系)、3・
・・光ファイΔ、4−透明板状体。
第1図1−1線に沿う側面図、第311Iはこの発明の
一実施例を示す全体の構成図、第4図(1)〜(5)は
同じく第3図Oa −a〜・−・におけるレーデ光の断
面図、第5図はこの発明の他の実施例の構成図、第6図
はこの発明のさらに他のIK施例の構成図、第7図は同
じく第6図■−■線に沿う側面図である。 I−レーデ発振器、2−第1のレンズ(光学系)、3・
・・光ファイΔ、4−透明板状体。
Claims (3)
- (1) レーデ発振器と、このレーデ発振器から出力
されたレーデ光を集束する光学系と、この光学系で集束
されて一端面から入射し九レーザ光を他端面から発散さ
せて出射する透明板状体とを真備し、この透明板状体の
出射端面から離れた位置で断面直線状のレーデ光を得る
ことを特徴とするレーデ光の伝送装置。 - (2) レーデ発振−からのレーデ光を光ファイバで
透vi板状体に入射させることを特徴とする特許請求の
範儒第1項記載のレーデ光の伝送装置。 - (3) レーデ発振器からのレーデ光を複数の光ファ
イΔで透明板状体に入射させ、出射端面から離れ九位置
で光ファイバの数に応じた複数の断面直線状のレーデ光
を得ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレ
ーザ光の伝送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56130528A JPS5831305A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | レ−ザ光のパタ−ン成形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56130528A JPS5831305A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | レ−ザ光のパタ−ン成形装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5831305A true JPS5831305A (ja) | 1983-02-24 |
JPS6161657B2 JPS6161657B2 (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15036449
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56130528A Granted JPS5831305A (ja) | 1981-08-20 | 1981-08-20 | レ−ザ光のパタ−ン成形装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5831305A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0750253A (ja) * | 1984-06-21 | 1995-02-21 | At & T Corp | ディープ紫外線リソグラフィー |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50153941A (ja) * | 1974-06-03 | 1975-12-11 | ||
JPS50161253A (ja) * | 1974-06-18 | 1975-12-27 |
-
1981
- 1981-08-20 JP JP56130528A patent/JPS5831305A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50153941A (ja) * | 1974-06-03 | 1975-12-11 | ||
JPS50161253A (ja) * | 1974-06-18 | 1975-12-27 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0750253A (ja) * | 1984-06-21 | 1995-02-21 | At & T Corp | ディープ紫外線リソグラフィー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6161657B2 (ja) | 1986-12-26 |
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