JPS5831305A - レ−ザ光のパタ−ン成形装置 - Google Patents

レ−ザ光のパタ−ン成形装置

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JPS5831305A
JPS5831305A JP56130528A JP13052881A JPS5831305A JP S5831305 A JPS5831305 A JP S5831305A JP 56130528 A JP56130528 A JP 56130528A JP 13052881 A JP13052881 A JP 13052881A JP S5831305 A JPS5831305 A JP S5831305A
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JP
Japan
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transparent plate
light
face
rade
lens
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JP56130528A
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Ken Ishikawa
憲 石川
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
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    • G02B27/0994Fibers, light pipes
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 との発明はレーザ光の断面形状を直線状に変換して目的
部位に伝送するレーデ光の伝送装置に関する。
たとえば、レーデ光にようてスリ、トを切りたシ、直線
状の溶接をしたシ、あるいはマー中ンダをする場合など
には上記レーデ光の断面形状を直線状に変換する必要が
ある。
従来、上記種々の目的によってレーデ光の断面形状を直
線状に変換するKH1第1図に示すようにレーデ発振器
島から出力されたレーデ光りを複数の半円柱状レンズb
−・からなる複合レンズ−に入射させることによシ、各
牛円柱状しン、eb−・・でレーデ光りを直線状に集束
して被加工物dに照射するようにしていた。しかしなが
ら、このような手段によると、複雑な構造をした複合レ
ンズ6を必要とするから、コスト高となシ、i九し−デ
発振器−から出力されるレーデ光りの断面形状は円形で
あるから、とのレーデ光Ll1合レンズ・で集束すると
、第2図に示すように各半円柱状レンズb・・・で直線
状に集束されるレーデ光りの長さが均等にならないとい
う問題が生じる。さらに、複合レンズ1を用いることに
より、レーデ発振器aから出力されたレーデ光りをたと
えば光ファイバによって上記複台レン/@の全面に入射
させるということが1111になるので、レーデ光りの
伝送距離や方向に大きな制限を受けることになる。
この発明線上記事情にもとづきなされたもので、その目
的とするところは、形状が複雑な複合レンズを用いずに
レーザ光の断面を直線状に変換することができ、しかも
長さが均等な複数の直線状新聞のレーデ光を得ることが
でき、さもに党ファイバを用いて伝送距離や方向の自由
度が得られるようにしたレーデ光の伝送装置を提供する
ことKある。
以下、この発明の一実施例を第3111Iと第4図を参
照して説−する0図中1はレーデ発振器である。このレ
ーデ発振器1から出力されたレーデ光りは第1のレンズ
2で集束されて光ファイバ3に入射する。この光7アイ
パSの出射端からは、レーデ光りが発散しつつある状態
で出射され、とのレーデ光Lli光ファイバSの出射端
に入射端面4aである一端面が光学的に接続された石英
などからなる透明板状体4に入射するようKなりている
。この透明板状体4に入射したレーデ光りは、透明板状
体4の内面を全反射条件のもとに多重反射をくシ返しな
がら進行し、他端面から発散しながら出射して、この他
端面すなわち出射端面4bと対向して配置された第2の
レンズ5に進み、この第2のレンズ1で集束されるよう
になってい石。
ところで、上記透明板状体4から出射するレーデ光L 
H%この透明板状体4の厚さ方向に断面が直線状の複数
のIり一ンP1〜P真となつていることが実験によ〉確
められ良、このようなノ臂ターンPg−wP、が得られ
る履自紘、十分解明されていないが、光ファイバ1の出
射端と透明板状体40入射端面4aとの間隔に応じて各
パターンpl〜Pnの間隔が変化することが実験により
明らかとなっているので、レーデ光りが透明板状体4内
を多重反射しながら互いに干渉し合りて生じるものと考
えられる。
このような構成の伝送装置によれば、レーデ光りが透明
板状体4の出射端面4bから発散することによって得ら
れた/4ターyp1〜P、が第20レンズ5で集束され
て進むことにょシ、第3111a−m〜・−・断面にお
いて第4図(1)〜(5)のような形状となる。すなわ
ち、a−alliijiにおいては第4図α)のように
透明板状体4の厚さ方向に平行に離間した長さが均一な
直線状の複数のΔターンP1〜P4が得られる。tた、
b−bvtwiで杜第4図(2)K示すように透明板状
体4の厚さ方向に沿う1本の直線状のパターンPxが得
られゐ、このAターンPxの幅は透明板状体4の厚さ寸
法と轟然異なる細い線である。さらに、喀−1断面では
第4図(3)に示すように#11内形のパターンP1と
なシ、透明板状体4の儂を形成する4−纏断面では第4
図(4)K示すように上記透明板状体4の出射端面4b
に対応した矩形状のΔターンPsが得られる。そして、
d−d断面よシも第2のレンズ5から離れた・−・断面
では、第4図(5)に示すように再び透明板状体4の厚
さ方向に平行に離間した直線状の複数のノ々ターンP1
〜P!lが得られる。
したがりて、加工目的に応じて被加工物(図示せず)を
第2のレンズ50゛透過側の任意の位置に設置すれば、
この゛被加工物に複数の直線状、単一の直線状あるいは
円形状などの切断、穴あけ、マーキングあるいは溶接な
どの加工を行なうことができる。
また、b−bIIllr面においてIdv−デ光’Lカ
1本の直線状のノ々ターンPxとなるから、大きなエネ
ルギを必要とするレーデ加工を行なう場合にヒのb−b
断面の位置に被加工物を設置すれば効果的に行なえる。
さらに%ζO発明によれば、レーデ発IIAIa1から
出力されたレーデ光りを多数0光信号に分波することが
できる。たとえば、実験によると、0.5−のコア径を
もつ光ファイバ3によりてレーデ発振lIlから出力さ
れたレーデ光りを厚さ1.5−1長さ60−1輻11■
のサイズの石英からなる透明板状体4に入射させて焦点
距離が50mの第2のレンズ5で集束したところ、長さ
が10−の6本の直線状の/臂ターンP1〜P−を00
s−のビ、チで得ることができた。したがりて、各直線
パターンP1〜Psに0.6霞径の光ファイバの入射端
を位置させるととによシ、合計120本の光ファイバに
レーデ光りを分波することができる。
なお、この発明は上記一実施例に限定されず、たとえば
第5図に示すように透明板状体4の出射端w4−と第2
のレンズ5との関に矢示方向に変位させることKよシ複
数の直線状のノ譬ターンF1〜デ、〇一部を除去する遮
光!スク−を般社るようにすれと、第2のレンズ5を通
過するパターンデ1〜P聰の本数を変えることができる
から、コードの多様化が計れる。
さらに、第6図に示すように透明板状体4に複数、たと
えば3本の光ファイバ3・・・でレーデ光りを入射させ
るようにすれば、第3図におけるb−by@の位置にお
いては第7図に示すようK11l加工物rに透明板状体
4の厚さ方向に沿う3本の直線状のパターンPxを得る
ことができる。
なお、上記各実施例では透明板状体4から出射され九レ
ーデ光を第2のレンズで集束するようKしたが、この第
2のレンズを用いなくとも直線状の複数のパターンが得
られることは明らかである。
以上述べ九ようにこの発明は、レーデ発振器から出力さ
れたレーデ光を光学系で集束して透明板状体にこの一端
面から入射させ、他端面から発散させて出射させること
によシ、仁の出射端面から離れた位置で断面直線状のレ
ーデ光を得るようにした。したがって、従来のように形
状が複雑な半円柱状レンズを複数組合せ九複合レンズを
用いずに複数の直線状のレーデ光を得ることができ、し
かも複数の直線状のレーデ光の長さを均一圧することが
できる。さらに、光ファイバによりてレーザ発振器から
出力され九レーデ光を透明板状体に入射させて直線状の
レーデ光を得ることができるから、レーデ発振器からの
レーデ光を方向中距離に制限を受けずに伝送することが
できるなど実用上極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
第11IFi従来の伝送装置の構成図、第2図は同じく
第1図1−1線に沿う側面図、第311Iはこの発明の
一実施例を示す全体の構成図、第4図(1)〜(5)は
同じく第3図Oa −a〜・−・におけるレーデ光の断
面図、第5図はこの発明の他の実施例の構成図、第6図
はこの発明のさらに他のIK施例の構成図、第7図は同
じく第6図■−■線に沿う側面図である。 I−レーデ発振器、2−第1のレンズ(光学系)、3・
・・光ファイΔ、4−透明板状体。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  レーデ発振器と、このレーデ発振器から出力
    されたレーデ光を集束する光学系と、この光学系で集束
    されて一端面から入射し九レーザ光を他端面から発散さ
    せて出射する透明板状体とを真備し、この透明板状体の
    出射端面から離れた位置で断面直線状のレーデ光を得る
    ことを特徴とするレーデ光の伝送装置。
  2. (2)  レーデ発振−からのレーデ光を光ファイバで
    透vi板状体に入射させることを特徴とする特許請求の
    範儒第1項記載のレーデ光の伝送装置。
  3. (3)  レーデ発振器からのレーデ光を複数の光ファ
    イΔで透明板状体に入射させ、出射端面から離れ九位置
    で光ファイバの数に応じた複数の断面直線状のレーデ光
    を得ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のレ
    ーザ光の伝送装置。
JP56130528A 1981-08-20 1981-08-20 レ−ザ光のパタ−ン成形装置 Granted JPS5831305A (ja)

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JP56130528A JPS5831305A (ja) 1981-08-20 1981-08-20 レ−ザ光のパタ−ン成形装置

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JP56130528A JPS5831305A (ja) 1981-08-20 1981-08-20 レ−ザ光のパタ−ン成形装置

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JPS5831305A true JPS5831305A (ja) 1983-02-24
JPS6161657B2 JPS6161657B2 (ja) 1986-12-26

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ID=15036449

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JP56130528A Granted JPS5831305A (ja) 1981-08-20 1981-08-20 レ−ザ光のパタ−ン成形装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0750253A (ja) * 1984-06-21 1995-02-21 At & T Corp ディープ紫外線リソグラフィー

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50153941A (ja) * 1974-06-03 1975-12-11
JPS50161253A (ja) * 1974-06-18 1975-12-27

Patent Citations (2)

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JPS50153941A (ja) * 1974-06-03 1975-12-11
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JPH0750253A (ja) * 1984-06-21 1995-02-21 At & T Corp ディープ紫外線リソグラフィー

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JPS6161657B2 (ja) 1986-12-26

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