JPS5830720A - 実体顕微鏡の同軸照明装置 - Google Patents
実体顕微鏡の同軸照明装置Info
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- JPS5830720A JPS5830720A JP12955881A JP12955881A JPS5830720A JP S5830720 A JPS5830720 A JP S5830720A JP 12955881 A JP12955881 A JP 12955881A JP 12955881 A JP12955881 A JP 12955881A JP S5830720 A JPS5830720 A JP S5830720A
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- light
- illumination
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
- G02B21/08—Condensers
- G02B21/086—Condensers for transillumination only
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は通當使用されている実体顕微鏡の鏡筒先端部に
取付けるＯみで同軸照明を可能とする同軸照明装置に関
するｅ 第１図は一般の実体顕微鏡の原理図である０本図におい
て１．ＩＩは接眼レンズ ２．２ ／はプリズム、３，
３’は対物レンズ、４は試料、５は光源である０ ８１図の如き構造を有すゐ実体顕微鏡で鏡面を有する半
導体つ風バー等を観測すると、アル電配線部等の粗面は
観察できるが、鏡面では光＃５からの照明光が光学系の
外部に反射してしまい観察が困難となる・ そこでレンズ系の光軸と照明光の光軸を一致させた同軸
照明系を内蔵した実体顕微鏡が市販されている・第２図
は同軸照明系を内蔵した実体顕微鏡の原理図である・本
図において６，６′はコンデンサレンズ％７，７’は偏
光子、８，８′は検光子、９．９Ｉは半透明鏡％１０，
１０’は光源％第１図と同一番号は同一部位を示す・ 同軸照明系を内蔵した実体顕微鏡では、照明光は半透−
鏡９，９′を介して試料４に照射される・従うて鏡面を
観察した場合でも照−光はレンズ系外に反射す石ことな
（−察可能となる・しかしながら第２図の如く接眼レン
ズ１，１’ と対物レンズ３．３′間に半透明鏡９，９
′を入れる方法では、照明光が対物レンズ３，３′の表
面で反射するため像のコントラスが極めて弱くな９てし
まうため、偏光子７７′の偏光軸を互いに反対方向とし
、さら！ に検光子８，８′の偏光軸も互いに反対方向としてかつ
偏光子７，１′の偏光軸に対してｉ反対方向に設暑し対
物レンズ３，３′の表面からの反射光を偏光子８，８′
で除去するようにしている。
取付けるＯみで同軸照明を可能とする同軸照明装置に関
するｅ 第１図は一般の実体顕微鏡の原理図である０本図におい
て１．ＩＩは接眼レンズ ２．２ ／はプリズム、３，
３’は対物レンズ、４は試料、５は光源である０ ８１図の如き構造を有すゐ実体顕微鏡で鏡面を有する半
導体つ風バー等を観測すると、アル電配線部等の粗面は
観察できるが、鏡面では光＃５からの照明光が光学系の
外部に反射してしまい観察が困難となる・ そこでレンズ系の光軸と照明光の光軸を一致させた同軸
照明系を内蔵した実体顕微鏡が市販されている・第２図
は同軸照明系を内蔵した実体顕微鏡の原理図である・本
図において６，６′はコンデンサレンズ％７，７’は偏
光子、８，８′は検光子、９．９Ｉは半透明鏡％１０，
１０’は光源％第１図と同一番号は同一部位を示す・ 同軸照明系を内蔵した実体顕微鏡では、照明光は半透−
鏡９，９′を介して試料４に照射される・従うて鏡面を
観察した場合でも照−光はレンズ系外に反射す石ことな
（−察可能となる・しかしながら第２図の如く接眼レン
ズ１，１’ と対物レンズ３．３′間に半透明鏡９，９
′を入れる方法では、照明光が対物レンズ３，３′の表
面で反射するため像のコントラスが極めて弱くな９てし
まうため、偏光子７７′の偏光軸を互いに反対方向とし
、さら！ に検光子８，８′の偏光軸も互いに反対方向としてかつ
偏光子７，１′の偏光軸に対してｉ反対方向に設暑し対
物レンズ３，３′の表面からの反射光を偏光子８，８′
で除去するようにしている。
この様に従来使用されている一軸照≠系を内蔵した実体
顕微鏡は偏光子等の複雑な光学系を必要とし、さらに、
そＯ価格も非ｔＫ高価なものである・また現有の顕微鏡
を第２図０ＩＩＯ自構成に変更することは不可能である
・ 本発明は上記の問題点を解消し、複雑な光学系を必要と
せず、現有の実体−微鏡の光学系を着しく乱すことなく
、容易に着脱可能な同軸照明装置ｔ４１供することを目
的とし、２つの光学系を有しそれぞれの光軸が試料面で
会合する集体顕微鏡Ｏ鏡筒先端に着脱可能な筐体とす〈
麿くとも該筐体内に設けられ該２つの光学系の光軸を含
む平面に対し照明光の光軸が直角に交差すｂように配置
された２つＯ光−１該光学系の光軸と跋光柳の光軸Ｏ光
差４ｒ配曾された２枚の半透明鏡、蚊光源と該半透明鏡
開に挿入され九コンデンサレンズからなること全特徴と
するものである・ 以下に図を用いて本発明の詳細な説−する・第３図は本
発明の原理図であＣ、（Ｍｌは正面図、（ｂ）は側面図
、（Ｃ）は斜視図である・本図において、１１．１１′
は半透明鏡、１２，１２’はコンデンサレンズ、１３．
１３’は光−である。
顕微鏡は偏光子等の複雑な光学系を必要とし、さらに、
そＯ価格も非ｔＫ高価なものである・また現有の顕微鏡
を第２図０ＩＩＯ自構成に変更することは不可能である
・ 本発明は上記の問題点を解消し、複雑な光学系を必要と
せず、現有の実体−微鏡の光学系を着しく乱すことなく
、容易に着脱可能な同軸照明装置ｔ４１供することを目
的とし、２つの光学系を有しそれぞれの光軸が試料面で
会合する集体顕微鏡Ｏ鏡筒先端に着脱可能な筐体とす〈
麿くとも該筐体内に設けられ該２つの光学系の光軸を含
む平面に対し照明光の光軸が直角に交差すｂように配置
された２つＯ光−１該光学系の光軸と跋光柳の光軸Ｏ光
差４ｒ配曾された２枚の半透明鏡、蚊光源と該半透明鏡
開に挿入され九コンデンサレンズからなること全特徴と
するものである・ 以下に図を用いて本発明の詳細な説−する・第３図は本
発明の原理図であＣ、（Ｍｌは正面図、（ｂ）は側面図
、（Ｃ）は斜視図である・本図において、１１．１１′
は半透明鏡、１２，１２’はコンデンサレンズ、１３．
１３’は光−である。
本発明にかかる同軸照明装置は第３因に示す光学系を有
するものであり、実体−黴鏡の対物レンズ下に取付けら
れる・試料に対する照明は半透明１１１１、ｌｌ’を介
して行なわれ、その光軸は実体■黴鏡のレンズ系の光軸
と同軸上にある・なお第１！！ｉｌＩ／ｃおいて実体顕
微鏡０２本の光軸を含む平面に対して直角方向ＫｌｆＡ
明系を配置したＯは、本発明にかかゐ岡軸照明俵雪の装
着時と未装着時に訃ける実体■黴鏡Ｏ対物しｙｘｅ光軸
交差点のずれを最小にｔ″為えめである・すなわち第４
図の如く照−系を配置すると同軸照ｌ！鋏置ＯＳＳ着時
には対物レンズの焦点と一致したＡ点にあうた光軸交差
点が、装着時には半透明鏡１４，１４’ｅ厚みｋよゐ屈
折Ｏため光軸交差点のみが試料ＩＴ方ｔ）ＢＡＫずれて
しｔい、ずれ畠を生じゐ・以上のｗＫ第４ａｉ１０如き
照明系の配置では光軸交差点は垂直方向に移動すｂｅ）
Ｋ対して、第３図Ｏ配置にすると光軸交差点は水平方向
に移動するが焦点と同一平面上にあるためそＯずれはほ
とんど問題となら擾い、 。
するものであり、実体−黴鏡の対物レンズ下に取付けら
れる・試料に対する照明は半透明１１１１、ｌｌ’を介
して行なわれ、その光軸は実体■黴鏡のレンズ系の光軸
と同軸上にある・なお第１！！ｉｌＩ／ｃおいて実体顕
微鏡０２本の光軸を含む平面に対して直角方向ＫｌｆＡ
明系を配置したＯは、本発明にかかゐ岡軸照明俵雪の装
着時と未装着時に訃ける実体■黴鏡Ｏ対物しｙｘｅ光軸
交差点のずれを最小にｔ″為えめである・すなわち第４
図の如く照−系を配置すると同軸照ｌ！鋏置ＯＳＳ着時
には対物レンズの焦点と一致したＡ点にあうた光軸交差
点が、装着時には半透明鏡１４，１４’ｅ厚みｋよゐ屈
折Ｏため光軸交差点のみが試料ＩＴ方ｔ）ＢＡＫずれて
しｔい、ずれ畠を生じゐ・以上のｗＫ第４ａｉ１０如き
照明系の配置では光軸交差点は垂直方向に移動すｂｅ）
Ｋ対して、第３図Ｏ配置にすると光軸交差点は水平方向
に移動するが焦点と同一平面上にあるためそＯずれはほ
とんど問題となら擾い、 。
以下に具体的１ｋｌ！施例を本とに不発＠をさらに詳細
に説明すゐ・ 第５ａｉｔは本発明〇一実施例であシ（ａ）紘平面−１
−）は電源コード２４１１かも見えＳ＠ １１ ａｉｌ
ｓ （Ｃ）は調断面−である・ 本ｓｏにおいて１６は筺１に％１７はりンダ％１８．１
８は光瀞、１９．１９’ａプνデンナレンズ、！０．２
０’社半透明鏡％ ２１１２１’けフィルタ、２２社対
物レンズ、２３は実体−黴鏡の鏡筒、２４は電ｊ＠ ：
ｙ−ドである０ ｉ１３図に示した光学系は、第５図の筐体１６内に収容
され、筐体１６０回転可能なリング１７のオネジにより
ｍｓ図の如く集体ｉｉ微鏡２６の鏡筒２３Ｃ）内部のメ
ネジ部へネジ止めされる・光ｉ１［１８，１８’として
は照明光を柔らげるため表面がすシガラス加工されたラ
ンプ等が使用され、照−光はフィルタ２１．２１’及び
コンデンサレンズ１９、 Ｈ１’ を通過して半透明鏡
２０．２０’において試料面方向へ反射される。この時
照明光の光軸は実体顕微鏡の対物レンズ２２０光軸と同
軸上にある６以上の様に本発明にかかる同軸照明装置を
用いれば通常使用されている実体−微鏡に何ら改造を加
えることなく同軸照明が可能となる。
に説明すゐ・ 第５ａｉｔは本発明〇一実施例であシ（ａ）紘平面−１
−）は電源コード２４１１かも見えＳ＠ １１ ａｉｌ
ｓ （Ｃ）は調断面−である・ 本ｓｏにおいて１６は筺１に％１７はりンダ％１８．１
８は光瀞、１９．１９’ａプνデンナレンズ、！０．２
０’社半透明鏡％ ２１１２１’けフィルタ、２２社対
物レンズ、２３は実体−黴鏡の鏡筒、２４は電ｊ＠ ：
ｙ−ドである０ ｉ１３図に示した光学系は、第５図の筐体１６内に収容
され、筐体１６０回転可能なリング１７のオネジにより
ｍｓ図の如く集体ｉｉ微鏡２６の鏡筒２３Ｃ）内部のメ
ネジ部へネジ止めされる・光ｉ１［１８，１８’として
は照明光を柔らげるため表面がすシガラス加工されたラ
ンプ等が使用され、照−光はフィルタ２１．２１’及び
コンデンサレンズ１９、 Ｈ１’ を通過して半透明鏡
２０．２０’において試料面方向へ反射される。この時
照明光の光軸は実体顕微鏡の対物レンズ２２０光軸と同
軸上にある６以上の様に本発明にかかる同軸照明装置を
用いれば通常使用されている実体−微鏡に何ら改造を加
えることなく同軸照明が可能となる。
なお実体−機銃Ｏ鏡筒２３のメネジは従来から設けられ
ているので１＃九に形成する必要はない。
ているので１＃九に形成する必要はない。
またフィルタ２１ｅ ２ｘ’は目Ｏ疲労防止〇丸めのも
ので、例えば淡青色フィルタを用いればよい。ま九光＃
１８，１Ｂ’φ光量のパラクキ補正Ｏため独立Ｏ光量調
贅機馳を持たせるようにしてもよい・第７−は本発明Ｏ
仙Ｏ実施例である・本図に訃いて２７は反射鏡、２８は
ツマζであｐ第５ＩｉＩと同一番号は同一部位を示す・ 鶴７幀において第５閣と異なるのは早道明鏡２０、２０
’を外ｆｇＯクマン２８によｐ回動可能とし反射鏡２７
を設けた点である・この様にすることＫよｐ同軸ＪＩＩ
Ｉｊ１１が必要な場合は早ａ明鏡２０を破線で示した位
置に固足し、第５図と同ｗに同軸照明を行ない、通常Ｏ
落射照明を必要とする場合にはツマＲ２８により半ａ＠
鏡２０會水平にして１照明光を反射鏡２７により反射し
て落射照明を行なう・ 従嘩て本発明Ｋかかる同−照＠懐懺ＹｔＷ＆着した秋１
１０ま壕で即座に同軸照明と落射＊ｆ１４ｏ切曽が可能
となる・ 第８１１は不発＠Ｏ他ｏｈｍ例である・本園において２
９は反射鏡であｎ５５ｍと同一１１勺は同一部位を示す
拳 きくシ、半ａ明ＳＯ平面精屓のばらつきによる解偉力の
劣化を防いだ膚である・この場合１照明光は一旦反射鏡
２９で反射されさらに半透Ｉｐｊ鈍２θで反射される自
一方、牛ａ明鏡は水平に近い状態で配置されるので、１
ｉＬＢＨＩＣ比べ手透明鏡２０’Ｏ平ＷＪｆ＃度、すな
わち各部における厚み０ばらつきによる解像カベ０影舎
は低振される・以上貌−した４Ｉｌｌ＃ｃ本発明によれ
ば本発明にかかる同軸Ｉｓ＠鯖ｆＩを現有している通常
０夾体励黴鏡？Ｃ執着するのみで同軸照明が可能となる
ので祖有０１！体顕黴鏡を有効に利用でき、非常Ｋｔｈ
Ｉ済的である・ また対物レンズ表面から反射を勇躍する必要がないＯで
同軸照明系を内蔵した従来の実体＊ａ鏡のように偏光子
等の複雑な光学系を必要しないので、非常に簡単１ｓ造
で済み、安価ＫＭ造することが可能である。
ので、例えば淡青色フィルタを用いればよい。ま九光＃
１８，１Ｂ’φ光量のパラクキ補正Ｏため独立Ｏ光量調
贅機馳を持たせるようにしてもよい・第７−は本発明Ｏ
仙Ｏ実施例である・本図に訃いて２７は反射鏡、２８は
ツマζであｐ第５ＩｉＩと同一番号は同一部位を示す・ 鶴７幀において第５閣と異なるのは早道明鏡２０、２０
’を外ｆｇＯクマン２８によｐ回動可能とし反射鏡２７
を設けた点である・この様にすることＫよｐ同軸ＪＩＩ
Ｉｊ１１が必要な場合は早ａ明鏡２０を破線で示した位
置に固足し、第５図と同ｗに同軸照明を行ない、通常Ｏ
落射照明を必要とする場合にはツマＲ２８により半ａ＠
鏡２０會水平にして１照明光を反射鏡２７により反射し
て落射照明を行なう・ 従嘩て本発明Ｋかかる同−照＠懐懺ＹｔＷ＆着した秋１
１０ま壕で即座に同軸照明と落射＊ｆ１４ｏ切曽が可能
となる・ 第８１１は不発＠Ｏ他ｏｈｍ例である・本園において２
９は反射鏡であｎ５５ｍと同一１１勺は同一部位を示す
拳 きくシ、半ａ明ＳＯ平面精屓のばらつきによる解偉力の
劣化を防いだ膚である・この場合１照明光は一旦反射鏡
２９で反射されさらに半透Ｉｐｊ鈍２θで反射される自
一方、牛ａ明鏡は水平に近い状態で配置されるので、１
ｉＬＢＨＩＣ比べ手透明鏡２０’Ｏ平ＷＪｆ＃度、すな
わち各部における厚み０ばらつきによる解像カベ０影舎
は低振される・以上貌−した４Ｉｌｌ＃ｃ本発明によれ
ば本発明にかかる同軸Ｉｓ＠鯖ｆＩを現有している通常
０夾体励黴鏡？Ｃ執着するのみで同軸照明が可能となる
ので祖有０１！体顕黴鏡を有効に利用でき、非常Ｋｔｈ
Ｉ済的である・ また対物レンズ表面から反射を勇躍する必要がないＯで
同軸照明系を内蔵した従来の実体＊ａ鏡のように偏光子
等の複雑な光学系を必要しないので、非常に簡単１ｓ造
で済み、安価ＫＭ造することが可能である。
錦１因り一般の実体【微鋳のｆｆＦ理図、第２図は同軸
照明系を自販した集体ｍｌ鏡Ｏ腺理囚、第３ＩＷＪａ本
尭明Ｏ原理図、第４図は本発明の説明図、第５図は本発
明の一実施例、第６図は取付状態を示すａ、第７図、第
８因は本発明の他の実施例である。 ４・・・・・・試料ｓ ｌｌｅ １１’ 、１４ａ １
４’ 、２０＋ ２０””・・・半透割駒、１２ｅ １
２’ ｓ １９＊ １９’・・・・・・コンデンナレン
ズｓ １３＠ １３’ 、１５．１５’ １８＠ １８
’・・・・・・光が、１６・・・・・・筐体、１７・・
・・・・リング、２１１２１’・−・・・フィルタ、２
２・・・・・・対物レンズ、２３・・・・・・実体鴎徴
銚Ｏ競筒、２４・・・・・・Ｉｔ−コード、２７．２９
・・・・−反射鏡〇 芋ｔｒｊＪ ｚ１２１
照明系を自販した集体ｍｌ鏡Ｏ腺理囚、第３ＩＷＪａ本
尭明Ｏ原理図、第４図は本発明の説明図、第５図は本発
明の一実施例、第６図は取付状態を示すａ、第７図、第
８因は本発明の他の実施例である。 ４・・・・・・試料ｓ ｌｌｅ １１’ 、１４ａ １
４’ 、２０＋ ２０””・・・半透割駒、１２ｅ １
２’ ｓ １９＊ １９’・・・・・・コンデンナレン
ズｓ １３＠ １３’ 、１５．１５’ １８＠ １８
’・・・・・・光が、１６・・・・・・筐体、１７・・
・・・・リング、２１１２１’・−・・・フィルタ、２
２・・・・・・対物レンズ、２３・・・・・・実体鴎徴
銚Ｏ競筒、２４・・・・・・Ｉｔ−コード、２７．２９
・・・・−反射鏡〇 芋ｔｒｊＪ ｚ１２１
Claims (1)
- （１）２つの光学系を有しそれぞれの光学系が試料面で
会合する実体顕微鏡Ｏ鏡曽先端に着脱可能な筐体と少な
くと４該筐体内に投けられ＃２っＯ光学系の光軸を含む
平面に対して照明光の光軸が直角に交差すゐように配量
された２りＯ光源、該光学系の光軸と骸光ＩＩＯ光軸Ｏ
交差点に配量された２枚の半透明鏡、該光源と峡半透明
鋺関に挿入された；ンデンサレンズからなることｔ特徴
とする実体顕微鏡の同軸ｆｌｌ明装置。 ｅ）前記牛透明鏡ｔｉＩ動可義とし１骸筐体内に該半透
明鏡を水平にした場合に、該光ｓｏｆを反射し試料面に
落剥する反射鏡を設けたこと會特像とする特許請求の範
囲第１項記載の実体顕微鏡の同軸照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12955881A JPS5830720A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 実体顕微鏡の同軸照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12955881A JPS5830720A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 実体顕微鏡の同軸照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830720A true JPS5830720A (ja) | 1983-02-23 |
| JPS6310408B2 JPS6310408B2 (ja) | 1988-03-07 |
Family
ID=15012459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12955881A Granted JPS5830720A (ja) | 1981-08-19 | 1981-08-19 | 実体顕微鏡の同軸照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830720A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229710A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡 |
| JPH0459819U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-22 | ||
| JP2004361744A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Olympus Corp | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4521163B2 (ja) * | 2003-06-03 | 2010-08-11 | オリンパス株式会社 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5592110U (ja) * | 1978-12-21 | 1980-06-25 |
-
1981
- 1981-08-19 JP JP12955881A patent/JPS5830720A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5592110U (ja) * | 1978-12-21 | 1980-06-25 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0229710A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Olympus Optical Co Ltd | 実体顕微鏡 |
| JPH0459819U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-22 | ||
| JP2004361744A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Olympus Corp | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6310408B2 (ja) | 1988-03-07 |
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