JP3034250B1 - 実体顕微鏡の照明装置 - Google Patents
実体顕微鏡の照明装置Info
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- JP3034250B1 JP3034250B1 JP11095639A JP9563999A JP3034250B1 JP 3034250 B1 JP3034250 B1 JP 3034250B1 JP 11095639 A JP11095639 A JP 11095639A JP 9563999 A JP9563999 A JP 9563999A JP 3034250 B1 JP3034250 B1 JP 3034250B1
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Abstract
【要約】
【課題】 実体顕微鏡に装着させると、照明光度を不足
させることがなく、同軸落射照明装置を装着した場合の
分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させるこ
とができるにも拘らず、同軸落射照明装置よりも安価で
あり、補助対物レンズを取り付けることができ、高い倍
率で試料を観察することができる実体顕微鏡の照明装置
を提供する。 【解決手段】 ２つの接眼レンズ２，２を有する双眼の
実体顕微鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡
のいずれか一方の接眼レンズ２を外して、この接眼レン
ズ２の代わりに取り付けられる集光レンズ１０と、ハロ
ゲンランプ２１が内蔵された光源装置２０と、この光源
装置２０と集光レンズ１０との間に取り付けられ、光源
装置２０のハロゲンランプ２１の光を集光レンズ１０を
通して、試料Ａに垂直にあてるためのファイバーケーブ
ル３０とから構成されている。
させることがなく、同軸落射照明装置を装着した場合の
分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させるこ
とができるにも拘らず、同軸落射照明装置よりも安価で
あり、補助対物レンズを取り付けることができ、高い倍
率で試料を観察することができる実体顕微鏡の照明装置
を提供する。 【解決手段】 ２つの接眼レンズ２，２を有する双眼の
実体顕微鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡
のいずれか一方の接眼レンズ２を外して、この接眼レン
ズ２の代わりに取り付けられる集光レンズ１０と、ハロ
ゲンランプ２１が内蔵された光源装置２０と、この光源
装置２０と集光レンズ１０との間に取り付けられ、光源
装置２０のハロゲンランプ２１の光を集光レンズ１０を
通して、試料Ａに垂直にあてるためのファイバーケーブ
ル３０とから構成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、実体顕微鏡の照明
装置に関する。実体顕微鏡は双眼顕微鏡の一種であり、
接眼レンズが２つあるので、ある角度をもった２方向か
ら試料を観察できるため、肉眼で見るのと同じように、
試料の拡大像が立体的（ステレオ）に見える。実体顕微
鏡の倍率は、ルーペの倍率に比べると高く、汎用顕微鏡
の倍率に比べて低く、５〜200 倍くらいまでのものがあ
る。実体顕微鏡は、解像度や倍率などについては、汎用
顕微鏡に劣るが、焦点深度が深いため、試料の拡大像が
鮮明なことが特徴である。本発明は、かかる実体顕微鏡
の照明装置に関する。
装置に関する。実体顕微鏡は双眼顕微鏡の一種であり、
接眼レンズが２つあるので、ある角度をもった２方向か
ら試料を観察できるため、肉眼で見るのと同じように、
試料の拡大像が立体的（ステレオ）に見える。実体顕微
鏡の倍率は、ルーペの倍率に比べると高く、汎用顕微鏡
の倍率に比べて低く、５〜200 倍くらいまでのものがあ
る。実体顕微鏡は、解像度や倍率などについては、汎用
顕微鏡に劣るが、焦点深度が深いため、試料の拡大像が
鮮明なことが特徴である。本発明は、かかる実体顕微鏡
の照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】実体顕微鏡に取り付ける照明装置として
代表的なものを以下に挙げる。 同軸落射照明装置Ｌ１：主として、生物や金属などの不
透明試料の表面構造を観察するのに便利である。この照
明は接眼レンズと対物レンズの間に半透鏡を入れ、この
半透鏡に横方向から照明して対物レンズを通して光を試
料に垂直にあてる落射照明を行うことができる。生物試
料に利用すると、完全な暗視野観察ができる。普通の照
明では観察不可能な金属表面のキズや、ＩＣチップ、液
晶基板などの観察面が鏡面状の試料であっても、コント
ラストよく観察できる。 簡易同軸照明装置Ｌ２：前記同軸落射照明装置Ｌ１より
も安価であり、普通の照明では観察不可能な金属表面の
キズや、ＩＣチップの回路であっても、コントラストよ
く観察できる。 傾斜照明装置Ｌ３：普通の照明では観察しにくい試料で
あっても、傾斜照明によってよく観察できる。 リングライトガイド照明装置Ｌ４：観察しにくい試料の
影をカットして明るいスッキリした視野が得られる。
代表的なものを以下に挙げる。 同軸落射照明装置Ｌ１：主として、生物や金属などの不
透明試料の表面構造を観察するのに便利である。この照
明は接眼レンズと対物レンズの間に半透鏡を入れ、この
半透鏡に横方向から照明して対物レンズを通して光を試
料に垂直にあてる落射照明を行うことができる。生物試
料に利用すると、完全な暗視野観察ができる。普通の照
明では観察不可能な金属表面のキズや、ＩＣチップ、液
晶基板などの観察面が鏡面状の試料であっても、コント
ラストよく観察できる。 簡易同軸照明装置Ｌ２：前記同軸落射照明装置Ｌ１より
も安価であり、普通の照明では観察不可能な金属表面の
キズや、ＩＣチップの回路であっても、コントラストよ
く観察できる。 傾斜照明装置Ｌ３：普通の照明では観察しにくい試料で
あっても、傾斜照明によってよく観察できる。 リングライトガイド照明装置Ｌ４：観察しにくい試料の
影をカットして明るいスッキリした視野が得られる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来の照明
装置Ｌ１〜Ｌ４には、以下のごとき問題がある。第１
に、同軸落射照明装置Ｌ１は、試料を観察しやすいけれ
ども、非常に高価であり、例えば通常の実体顕微鏡の５
倍の価格であるという問題がある。また、同軸落射照明
装置Ｌ１は、照度が低いランプしか備えていないものが
多く、この場合、照明光度が不足ぎみとなることがある
という問題がある。第２に、簡易同軸照明装置Ｌ２は、
同軸落射照明装置Ｌ１より安価であるが、以下の〜
の問題がある。 同軸落射照明装置Ｌ１を実体顕微鏡に装着した場合に
比べて分解能が劣る。 補助対物レンズの取付け部に、簡易同軸照明装置Ｌ２
を装着するので、補助対物レンズが取付けられない。第
３に、傾斜照明装置Ｌ３やリングライトガイド照明装置
Ｌ４では、金属表面のキズや、ＩＣチップ、液晶基板な
どの観察面が鏡面状の試料を観察しようとしても、光軸
方向に反射が得られないので観察が不可能であるという
問題がある。
装置Ｌ１〜Ｌ４には、以下のごとき問題がある。第１
に、同軸落射照明装置Ｌ１は、試料を観察しやすいけれ
ども、非常に高価であり、例えば通常の実体顕微鏡の５
倍の価格であるという問題がある。また、同軸落射照明
装置Ｌ１は、照度が低いランプしか備えていないものが
多く、この場合、照明光度が不足ぎみとなることがある
という問題がある。第２に、簡易同軸照明装置Ｌ２は、
同軸落射照明装置Ｌ１より安価であるが、以下の〜
の問題がある。 同軸落射照明装置Ｌ１を実体顕微鏡に装着した場合に
比べて分解能が劣る。 補助対物レンズの取付け部に、簡易同軸照明装置Ｌ２
を装着するので、補助対物レンズが取付けられない。第
３に、傾斜照明装置Ｌ３やリングライトガイド照明装置
Ｌ４では、金属表面のキズや、ＩＣチップ、液晶基板な
どの観察面が鏡面状の試料を観察しようとしても、光軸
方向に反射が得られないので観察が不可能であるという
問題がある。
【０００４】本発明はかかる事情に鑑み、実体顕微鏡に
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる実体顕微鏡の照明装置を提供することを目的と
する。
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる実体顕微鏡の照明装置を提供することを目的と
する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１の実体顕微鏡の
照明装置は、２つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に照明するためのファイバ
ーケーブルとからなることを特徴とする。
照明装置は、２つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に照明するためのファイバ
ーケーブルとからなることを特徴とする。
【０００６】請求項１の発明によれば、光源装置のハロ
ゲンランプから発せられた光は、ファイバーケーブルを
経由して、集光レンズによって集められ、この光が試料
に垂直にあたる。他方、観察者は、集光レンズが取り付
けられていない側の接眼レンズをのぞいて前記試料を観
察すると、前記集光レンズによって集められた光が垂直
にあてられた試料の反射光を見ることができる。このた
め、照明光度を不足させることがないのである。そし
て、実体顕微鏡に装着させると、同軸落射照明装置を装
着した場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を
発揮させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置
よりも安価である。また、補助対物レンズの取付け部
は、何物にも塞がれていないので、補助対物レンズを取
り付けることができ、高い倍率で試料を観察することが
できる。
ゲンランプから発せられた光は、ファイバーケーブルを
経由して、集光レンズによって集められ、この光が試料
に垂直にあたる。他方、観察者は、集光レンズが取り付
けられていない側の接眼レンズをのぞいて前記試料を観
察すると、前記集光レンズによって集められた光が垂直
にあてられた試料の反射光を見ることができる。このた
め、照明光度を不足させることがないのである。そし
て、実体顕微鏡に装着させると、同軸落射照明装置を装
着した場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を
発揮させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置
よりも安価である。また、補助対物レンズの取付け部
は、何物にも塞がれていないので、補助対物レンズを取
り付けることができ、高い倍率で試料を観察することが
できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施形態を図面
に基づき説明する。図１は本実施形態の実体顕微鏡の照
明装置の概略斜視図である。図２は本実施形態の実体顕
微鏡の照明装置のブロック図である。図１〜２におい
て、符号１は、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置を装
着させるための実体顕微鏡を示している。本実施形態の
実体顕微鏡の照明装置を装着させる実体顕微鏡１として
は、実体顕微鏡としての基本構成要素、すなわち２つの
接眼レンズ２、２、対物レンズ３、プリズム４、レンズ
群５などを備えていさえすればよく、種々の実体顕微鏡
に装着しうる。
に基づき説明する。図１は本実施形態の実体顕微鏡の照
明装置の概略斜視図である。図２は本実施形態の実体顕
微鏡の照明装置のブロック図である。図１〜２におい
て、符号１は、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置を装
着させるための実体顕微鏡を示している。本実施形態の
実体顕微鏡の照明装置を装着させる実体顕微鏡１として
は、実体顕微鏡としての基本構成要素、すなわち２つの
接眼レンズ２、２、対物レンズ３、プリズム４、レンズ
群５などを備えていさえすればよく、種々の実体顕微鏡
に装着しうる。
【０００８】さて、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
は、集光レンズ１０、光源装置２０およびファイバーケ
ーブル３０から構成されている。符号Ａは観察すべき試
料、例えばウェハやＩＣチップ、液晶基板を示してい
る。
は、集光レンズ１０、光源装置２０およびファイバーケ
ーブル３０から構成されている。符号Ａは観察すべき試
料、例えばウェハやＩＣチップ、液晶基板を示してい
る。
【０００９】まず、集光レンズ１０を説明する。装着す
べき実体顕微鏡１のいずれか一方の接眼レンズ２が外さ
れて、この接眼レンズ２の代わりに集光レンズ１０が取
り付けられている。この集光レンズ１０は、小さな面積
に、光を集中させるものである。残りの接眼レンズ２に
は、何も装着せず観察者が試料Ａを観察できるようにし
ておけばよい。なお、集光レンズ１０は、そのレンズ構
成（ｎ群ｍ枚）や有効径、フィルター径などに特に制限
はなく、用途に応じて好適なものを採択すればよい。
べき実体顕微鏡１のいずれか一方の接眼レンズ２が外さ
れて、この接眼レンズ２の代わりに集光レンズ１０が取
り付けられている。この集光レンズ１０は、小さな面積
に、光を集中させるものである。残りの接眼レンズ２に
は、何も装着せず観察者が試料Ａを観察できるようにし
ておけばよい。なお、集光レンズ１０は、そのレンズ構
成（ｎ群ｍ枚）や有効径、フィルター径などに特に制限
はなく、用途に応じて好適なものを採択すればよい。
【００１０】つぎに、光源装置２０を説明する。光源装
置２０には、ハロゲンランプ２１が内蔵されている。こ
のハロゲンランプ２１は、照度が６０万[ルクス]以上の
光を発生するものが好適である。なお、ハロゲンランプ
２１は、調光つまみが付いているものがよく、この場
合、反射光がまぶしすぎるときに光の照度の調節がで
き、目にやさしいという点で好適である。
置２０には、ハロゲンランプ２１が内蔵されている。こ
のハロゲンランプ２１は、照度が６０万[ルクス]以上の
光を発生するものが好適である。なお、ハロゲンランプ
２１は、調光つまみが付いているものがよく、この場
合、反射光がまぶしすぎるときに光の照度の調節がで
き、目にやさしいという点で好適である。
【００１１】つぎに、ファイバーケーブル３０を説明す
る。前記集光レンズ１０と光源装置２０との間には、フ
ァイバー製のファイバーケーブル３０が取り付けられて
いる。このファイバーケーブル３０は、前記光源装置２
０のハロゲンランプ２１の光を、集光レンズ１０まで伝
達し、この集光レンズ１０を通して光を試料Ａに垂直に
あてるためのものである。なお、ファイバーケーブル３
０は、その内径や長さ等、特に制限はなく、用途に応じ
て好適なものを採択すればよい。
る。前記集光レンズ１０と光源装置２０との間には、フ
ァイバー製のファイバーケーブル３０が取り付けられて
いる。このファイバーケーブル３０は、前記光源装置２
０のハロゲンランプ２１の光を、集光レンズ１０まで伝
達し、この集光レンズ１０を通して光を試料Ａに垂直に
あてるためのものである。なお、ファイバーケーブル３
０は、その内径や長さ等、特に制限はなく、用途に応じ
て好適なものを採択すればよい。
【００１２】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置は、前
記集光レンズ１０、光源装置２０およびファイバーケー
ブル３０の安価な部品で構成されており、同軸落射照明
装置より安価であるという効果を奏する。
記集光レンズ１０、光源装置２０およびファイバーケー
ブル３０の安価な部品で構成されており、同軸落射照明
装置より安価であるという効果を奏する。
【００１３】また、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
によれば、補助対物レンズの取付け部は、何物にも塞が
れていないので、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
によれば、補助対物レンズの取付け部は、何物にも塞が
れていないので、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
【００１４】つぎに、本実施形態の実体顕微鏡の照明装
置の作用効果を説明する。光源装置２０のハロゲンラン
プ２１から発せられた光は、ファイバーケーブル３０を
通って集光レンズ１０に入射する。この集光レンズ１０
によって集められた光は、プリズム４、レンズ群５およ
び対物レンズ３を通って、試料Ａに垂直にあたる。他
方、観察者は、実体顕微鏡１の集光レンズ１０が取り付
けられていない側の接眼レンズ２をのぞいて試料Ａを観
察すると、前記集光レンズ１０によって集められた光が
垂直にあてられた試料Ａの反射光を見ることができる。
このため、観察者は、同軸落射照明装置を装着した場合
の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させる
ことができ、試料Ａをよく観察することができるという
効果を奏する。
置の作用効果を説明する。光源装置２０のハロゲンラン
プ２１から発せられた光は、ファイバーケーブル３０を
通って集光レンズ１０に入射する。この集光レンズ１０
によって集められた光は、プリズム４、レンズ群５およ
び対物レンズ３を通って、試料Ａに垂直にあたる。他
方、観察者は、実体顕微鏡１の集光レンズ１０が取り付
けられていない側の接眼レンズ２をのぞいて試料Ａを観
察すると、前記集光レンズ１０によって集められた光が
垂直にあてられた試料Ａの反射光を見ることができる。
このため、観察者は、同軸落射照明装置を装着した場合
の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮させる
ことができ、試料Ａをよく観察することができるという
効果を奏する。
【００１５】上記のごとく、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置によれば、実体顕微鏡に装着させると、照明光
度を不足させることがなく、同軸落射照明装置を装着し
た場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮
させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置より
も安価であり、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
照明装置によれば、実体顕微鏡に装着させると、照明光
度を不足させることがなく、同軸落射照明装置を装着し
た場合の分解能と同等もしくはそれ以上の分解能を発揮
させることができるにも拘らず、同軸落射照明装置より
も安価であり、補助対物レンズを取り付けることがで
き、高い倍率で試料を観察することができるという効果
を奏する。
【００１６】なお、本実施形態の実体顕微鏡の照明装置
を装着しうる実体顕微鏡１は、図２のごとき平行（ズー
ム）光学系だけでなく、図３に示すような内斜（ズー
ム）光学系であってもよく、内斜光学系の実体顕微鏡１
に装着した場合であっても、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置の効果は、平行（ズーム）光学系の実体顕微鏡
１を装着した場合と同等である。
を装着しうる実体顕微鏡１は、図２のごとき平行（ズー
ム）光学系だけでなく、図３に示すような内斜（ズー
ム）光学系であってもよく、内斜光学系の実体顕微鏡１
に装着した場合であっても、本実施形態の実体顕微鏡の
照明装置の効果は、平行（ズーム）光学系の実体顕微鏡
１を装着した場合と同等である。
【００１７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、実体顕微鏡に
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる。
装着させると、照明光度を不足させることがなく、同軸
落射照明装置を装着した場合の分解能と同等もしくはそ
れ以上の分解能を発揮させることができるにも拘らず、
同軸落射照明装置よりも安価であり、補助対物レンズを
取り付けることができ、高い倍率で試料を観察すること
ができる。
【図１】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置の概略斜視
図である。
図である。
【図２】本実施形態の実体顕微鏡の照明装置のブロック
図である。
図である。
【図３】他の実体顕微鏡１の適用した場合の本実施形態
の実体顕微鏡の照明装置のブロック図である。
の実体顕微鏡の照明装置のブロック図である。
１ 実体顕微鏡 ２ 接眼レンズ １０ 集光レンズ ２０ 光源装置 ２１ ハロゲンランプ ３０ ファイバーケーブル Ａ 試料
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 21/00 G02B 21/06 - 21/36 ＷＰＩ（ＤＩＡＬＯＧ)
Claims (1)
- 【請求項１】２つの接眼レンズを有する双眼の実体顕微
鏡に装着させる装置であって、前記実体顕微鏡のいずれ
か一方の接眼レンズを外して、該接眼レンズの代わりに
取り付けられる集光レンズと、ハロゲンランプが内蔵さ
れた光源装置と、該光源装置と前記集光レンズとの間に
取り付けられ、前記光源装置のハロゲンランプの光を前
記集光レンズを通して、試料に垂直にあてるためのファ
イバーケーブルとからなることを特徴とする実体顕微鏡
の照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11095639A JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11095639A JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3034250B1 true JP3034250B1 (ja) | 2000-04-17 |
| JP2000292706A JP2000292706A (ja) | 2000-10-20 |
Family
ID=14143089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11095639A Expired - Fee Related JP3034250B1 (ja) | 1999-04-02 | 1999-04-02 | 実体顕微鏡の照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3034250B1 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067846A1 (ja) * | 2004-12-22 | 2006-06-29 | Takashi Yoshimine | 顕微鏡用照明装置及び顕微鏡用照明システム |
-
1999
- 1999-04-02 JP JP11095639A patent/JP3034250B1/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP2000292706A (ja) | 2000-10-20 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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