JPS5830129A - Horizontal fine adjustment device - Google Patents
Horizontal fine adjustment deviceInfo
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- JPS5830129A JPS5830129A JP12778981A JP12778981A JPS5830129A JP S5830129 A JPS5830129 A JP S5830129A JP 12778981 A JP12778981 A JP 12778981A JP 12778981 A JP12778981 A JP 12778981A JP S5830129 A JPS5830129 A JP S5830129A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ウェハなどの試料をのせたテーブルを
、平面上で高精ｆＫ移動位置決めする精密平面移動装置
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a precision plane movement device that positions a table on which a sample such as a semiconductor wafer is placed on a plane with high-precision fK movement.
半導体集積回路の微細化にょシ、１−以下のパターンを
形成することが要求されている。この度めＫＦｉ高精度
の露光装置が必要とされるがこの露ｙｔｉｉｔＫ不可欠
のものが高精度の移動、位置決め装置である。従って、
従来より高精度の移動、位置決め装置が提案されて来た
が、これ勢はテーブルの粗送シ機構と微少送り機構とが
別々であ夛、構造が複雑で、かつ大汲である欠点を有し
ていた。ｊ！ｔｃ％粗送）機構では高精度の位置決めは
できず、微少送）機構では高精度位置決めが可能であっ
ても、その微少送ル量が極めて小さい欠点を有してい友
。まえ、微少送り機構は一般には粗送〕機構上に載置さ
れる構造のものが多く、従って装置全体が高ぐなシ取Ｉ
ＩｋＫ不便である欠点を有してい友。With the miniaturization of semiconductor integrated circuits, it is required to form patterns of 1- or less. Nowadays, KFi high-precision exposure equipment is required, and what is essential for this exposure is a high-precision movement and positioning device. Therefore,
High-precision movement and positioning devices have been proposed in the past, but these devices have the drawbacks of separate coarse and fine table feed mechanisms, complex structures, and large scales. Was. j! The (tc% coarse feed) mechanism cannot perform highly accurate positioning, and even though the fine (fine feed) mechanism is capable of highly accurate positioning, it has the disadvantage that the minute feed amount is extremely small. First, the fine feed mechanism is generally mounted on the coarse feed mechanism, and therefore the entire device requires a high removal rate.
IkK has the disadvantage of being inconvenient.
第１図にこれ等の欠点を有する従来技術の移動装置の一
例を示す。FIG. 1 shows an example of a prior art mobile device that has these drawbacks.
基本的構造としては示矢Ｘ方向およびＹ方向に１１動す
る２つの粗動テーブル１と、その粗動テーブル１に載架
され、同じく示矢Ｘ方向およびＹ方向に微動する２つの
微動テーブル２から構成されている。すなわち、基板に
形成される２本の直線軸受案内７には粗動Ｘテーブル３
が載架されてＡる。そして、この粗動Ｘテーブル３は、
基板上に設置されたサーボモータ５およびボールネジ６
Ｉ／ｃより直線軸受案内７に沿って示矢Ｘ方向に粗送シ
される。粗動Ｘテーブル３の上面には２本の直線軸受案
内７・が形成され、この直線軸受案内７′にけ粗動Ｙテ
ーブル４が載架されている。粗動Ｙテーブル４け、粗動
Ｘテーブル上に設置されたサーボモータ５′およびボー
ルネジ６′によシ直線軸受案内７′に沿って示矢Ｙ方向
Ｆｃ＠送シされる。The basic structure consists of two coarse movement tables 1 that move 11 times in the X and Y directions, and two fine movement tables 2 that are mounted on the coarse movement tables 1 and that also make fine movements in the X and Y directions. It consists of That is, the two linear bearing guides 7 formed on the board are provided with a coarse movement X table 3.
is placed on the shelf at A. And this coarse movement X table 3 is
Servo motor 5 and ball screw 6 installed on the board
It is roughly fed from the I/c along the linear bearing guide 7 in the direction of the arrow X. Two linear bearing guides 7 are formed on the upper surface of the coarse movement X table 3, and the coarse movement Y table 4 is mounted on these linear bearing guides 7'. Four coarse-moving Y tables are fed along a linear bearing guide 7' in the direction of arrow Y by a servo motor 5' and a ball screw 6' installed on the coarse-moving X table.
粗動Ｙテーブル４の上面側には微動Ｘテーブル８が配設
され、この微動Ｘテーブル８と粗動Ｙテーブル４とには
、示矢Ｘ方向に自由ｆをもつ平行板バネ１１が跨設され
ている。截動Ｙテーブル９は微動Ｘテーブル８の上面側
に配設され１、微動Ｙテーブル９と微動Ｘテーブル８と
には。A fine movement X table 8 is disposed on the upper surface side of the coarse movement Y table 4, and a parallel leaf spring 11 having a free f in the direction of the arrow X is straddled between the fine movement X table 8 and the coarse movement Y table 4. has been done. The cutting Y table 9 is arranged on the upper surface side of the fine movement X table 8, and the fine movement Y table 9 and the fine movement X table 8 are separated.
示矢Ｙ方向に自由ＩＩＬｆ：もつ平行板バネ１１′が跨
設されている。微動Ｙテーブル９の上面には試料１０、
たとえば半導体ウニへなどが載置される。A parallel plate spring 11' having a free IILf is provided astride the parallel plate spring 11' in the direction of the arrow Y. A sample 10 is placed on the top surface of the fine movement Y table 9.
For example, semiconductors are placed on the surface.
微動Ｘテーブル８および微動Ｙテーブル９の移動方向に
直交する端ｉ１には、磁性体ブロック１２が取着してい
る。そして、この磁性体ブロック１２に対峙する位置に
は、間隙ルを介して電磁石１５１？よび１３′が配設さ
れてｂる。なお、電磁石１３および１５′は粗動Ｙテー
ブル上に取着されている。微動Ｘテーブル８および微動
Ｙｆ−ｊｋｇは、電磁石１５および１３′と磁性体ブロ
ック１２の間に生ずる電磁力と平行板バネ１１および１
１′のバネ力との釣合う位置に微小移動する仁とができ
る。A magnetic block 12 is attached to an end i1 orthogonal to the movement direction of the fine movement X table 8 and the fine movement Y table 9. An electromagnet 151 is placed at a position facing the magnetic block 12 through a gap. and 13' are arranged. Note that the electromagnets 13 and 15' are mounted on a coarse movement Y table. The fine movement
A slight movement is made to a position that balances the spring force of 1'.
微動Ｙテーブル９のＸおよびＹ方向の面側には光学ミラ
ー１５が取着してｂる。この光学ミラー１５には、たと
えばレーザ光１６によるレーザ干渉−長器１７が係合し
ている。そして、この検知信号は、コントロー−ｙ１４
に入力される。An optical mirror 15 is attached to the surface side of the fine movement Y table 9 in the X and Y directions. The optical mirror 15 is engaged with a laser interference length device 17 using, for example, a laser beam 16 . Then, this detection signal is transmitted to the controller y14.
is input.
さて、目標移動量がコントローラ１４に与えられると、
まづサーボモータ５および５Ｉが作動し、ボールネジ６
および６゛によシ粗動Ｘテーブル３および粗動Ｙテーブ
ル４を移動し、目標値のわづか手前の位置で停止する。Now, when the target movement amount is given to the controller 14,
First, servo motors 5 and 5I operate, and ball screw 6
Then, the coarse movement X table 3 and the coarse movement Y table 4 are moved by 6 degrees and stopped at a position slightly before the target value.
次に、光学ミラー１５とレーザ光１６を用い九し−ザ干
渉側長器によ）、目標値と測定値との差をコントローラ
ー４にフィードバックしながら、微動Ｘテーブル８およ
び微動Ｙテーブル９の電磁石１５および１３′の入力を
制御し、定位Ｒまでテーブルを移動する。Next, the fine movement The table is moved to the local position R by controlling the inputs of the electromagnets 15 and 13'.
これによって目標値に対し±α１声の精度で位置決めす
ることができる。This allows positioning with an accuracy of ±α1 voice relative to the target value.
以上のごとく、粗動送りと微動送シとを組合せた構造と
しなければならな込理由として、粗動テーブルのみでは
士Ｊ７にないし±１０μ篇程度０位置決め精度しか保証
できず、微動テーブルのみでは１移動速度がおそく、か
つ、そのストロークが小さ＾九めである。従って、粗動
テーブルと微動テーブルとの二段重ね構造となり、前記
し友ごとく構造が複雑となる。そして、微動テーブルｔ
ＩＲ架するため粗動テーブルの鰯性ヲ高める必要があシ
、試料のわシには不必要な大型のものとなる欠点を有し
てい友。更に、前記のごとく、二段重ね構造となる丸め
全体が高くなシ、取扱が不便になるのみならず、重心位
置が粗動テーブルの駆動軸から遠ざかシ、粗動テーブル
誤差が拡大されると共に、外部からの振動等の影響が受
は易くなるため、高精度位置決めが困難となる欠点を有
していた。As mentioned above, the reason why the structure must be a combination of coarse movement feed and fine movement feed is that a coarse movement table alone cannot guarantee a positioning accuracy of about ±10 μm, whereas a fine movement table alone cannot guarantee zero positioning accuracy. 1. The movement speed is slow and the stroke is small. Therefore, the coarse movement table and the fine movement table are stacked in two stages, and the structure becomes complicated as mentioned above. And the fine movement table t
In order to install the IR rack, it is necessary to improve the characteristics of the coarse movement table, which has the disadvantage of being large and unnecessary for the sample. Furthermore, as mentioned above, the height of the double-layered structure is not only inconvenient to handle, but also causes the center of gravity to move away from the drive shaft of the coarse movement table, increasing the coarse movement table error. However, since it is easily influenced by external vibrations, etc., it has the disadvantage that high-precision positioning is difficult.
本発明は、以上の欠点を解消するもので、その目的は、
構造簡単で、小形であ〕、高速かつ容易に高精密移動位
置決めが可能であると共和、安価である精密平面移動装
置を提供するにある。The present invention solves the above-mentioned drawbacks, and its purpose is to:
The object of the present invention is to provide a precision plane moving device which is simple in structure, small in size, capable of high-speed and easy high-precision movement and positioning, and is inexpensive.
本発明は、以上の目的を達成するために、粗動テーブル
と微動テーブルとを分離せず一体化し、直線軸受案内に
沿ってＸおよびＹ方向に移動する第１および第２のテー
ブルのみの構造とした口また、この第１および第２のテ
ーブルを駆動する駆動装置とそれぞれのテーブルとの間
に、該テーブルに着脱自在であるブロックを設け、着時
において、テーブルに粗動送シを与えるようＫＬ九もの
である。そして、前記ブロック内にテーブルを微動送シ
する微少変位機構を設け、前記ブロックがテーブルから
離脱し、定位置に固定され良状態で、前記敬少変位機構
を制御し、前記の同一の直線軸受案内に沿ってテーブル
に歓動送シを与え位置決めする構成を有する精密平面移
動装置ｔ−特徴とし次ものであるＯ以下、本発明の実施
例を図に基づ＾て説明するＯ
第２図において、示矢Ｘ方同に動くＸテーブル１８は基
板２２上に形成される軸受７に載架されている。この軸
受７は、静圧空気軸受又は、摺動時の摩擦やスティック
・スリップ（つｔ、ｂ、物体を面上ですべらす時、途中
でひっかかったシ、滑ったシすることを繰返す現象）の
非常に少な込軸受を用いた直線軸受案内から構成される
。In order to achieve the above object, the present invention integrates a coarse movement table and a fine movement table without separating them, and has a structure in which only the first and second tables move in the X and Y directions along linear bearing guides. Additionally, a block is provided between the drive device that drives the first and second tables and each table, and is detachable from the table, and provides coarse movement to the table when the table is loaded. This is KL9. A fine displacement mechanism for finely moving the table is provided in the block, and when the block is detached from the table and fixed at a fixed position in good condition, the fine displacement mechanism is controlled, and the same linear bearing is A precision plane moving device having a configuration for positioning a table by moving it along a guide.It has the following characteristics.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.FIG. , an X table 18 that moves in the direction of the arrow X is mounted on a bearing 7 formed on a substrate 22. This bearing 7 is a static pressure air bearing, or friction during sliding, stick-slip (a phenomenon in which an object repeatedly gets caught or slipped in the middle when sliding on a surface). Consists of a linear bearing guide using very small bearings.
試料１０を載置する試料テーブル１９は、Ｘテーブル上
に形成される直線軸受案内７′上に載架され、示矢Ｙ方
向に移動する。The sample table 19 on which the sample 10 is placed is placed on a linear bearing guide 7' formed on the X table and moves in the direction of the arrow Y.
基板２２にはサーボモータ５が取着され、サーボモータ
５にはボールネジ６が接続しているＯこのボールネジ６
にはナツト３１を介してブロック２０が螺合し、ブロッ
ク２０は基板２２上に取着し友ガイドプレート２５に沿
い、ボールネジ６の回転によりてＸ方向に移動するよう
になっている。A servo motor 5 is attached to the board 22, and a ball screw 6 is connected to the servo motor 5.
A block 20 is screwed onto the base plate 20 through a nut 31, and the block 20 is attached to a base plate 22 and is moved along a companion guide plate 25 in the X direction by rotation of a ball screw 6.
回や止め機構はブロック２０に取着し、ブロック２０が
ガイドプレート２５に沿って円滑に移動し得るようにし
ている。また、１μツク２０は、第３図に示すごとく、
固定手段、たとえば真９チヤツク２７により、適宜の位
置において、ガイドプレート２５に固着されるようにな
っている。The turning and stopping mechanism is attached to the block 20 so that the block 20 can move smoothly along the guide plate 25. In addition, the 1 μtuk 20 is as shown in FIG.
It is fixed to the guide plate 25 at an appropriate position by a fixing means, for example, a square chuck 27.
ブロック２０は、更に、Ｘテーブル１８に着脱し得るよ
うになっている。すなわち、第３図に示すごとく真空チ
ャック２８によりＸテーブル１８に吸着する構造を有し
ている。従って、真空チャ、り２７が作動せず、真空チ
ャック２８が作動している状ＩＩにおいては、Ｘテーブ
ル１８は、ポールネジ６０回転によシ、ブロック２０１
＆：介してＸ方向に移動し得るよう罠なっている。ま九
、ブロック２０とＸテーブル１８との間には引張シコイ
ルパネ２５が張架されている。これによシ、ブロック２
０とＸテーブル１８とは、互に当接する向きに付勢され
ている・
プ薗ツク２０内には、直進製微少変位機構２１が配設さ
れている。この直進製微少変位機構２１は、電歪素子中
磁歪素子を構成要素とし、これ勢に加わる電圧中電流の
変化によシ厘進方向に伸縮するもので、入力に対し線形
的に伸縮し、クリープやヒステリシスの少ないものであ
る。これ等にヨーｚ ”ｔ”±α１μ罵の位置決めが可
能である。更に、複数の電歪素子を雫いて交互に電圧の
引加順序を変えるものではｌ１０１μ票以下の分解能で
ステップ微動を行うことも可能である。The block 20 is further adapted to be attachable to and detachable from the X-table 18. That is, as shown in FIG. 3, it has a structure in which it is attracted to the X table 18 by a vacuum chuck 28. Therefore, in state II in which the vacuum chuck 27 is not operating and the vacuum chuck 28 is operating, the X table 18 is rotated 60 times by the pole screw, and the block 201 is
&: It is a trap so that it can move in the X direction through. Finally, a tension coil panel 25 is stretched between the block 20 and the X-table 18. For this, block 2
0 and the X table 18 are biased in a direction in which they come into contact with each other. A linear minute displacement mechanism 21 is disposed within the pushbutton 20. This linear minute displacement mechanism 21 has an electrostrictive element and a magnetostrictive element as its constituent elements, and expands and contracts in the forward direction according to changes in voltage and current applied to the force, and expands and contracts linearly in response to input. It has less creep and hysteresis. Positioning of yaw z"t"±α1μ is possible for these. Furthermore, if a plurality of electrostrictive elements are dropped and the order in which voltages are applied is alternately changed, it is possible to perform step fine movement with a resolution of 1101 μm or less.
同様に、試料テーブル１９側にもブロック２０′、直進
製微少変位機構２１、ガイドプレート２５′、回〕止め
機構２４′、引張シコイルバネ２５、サーボモータ５＃
、ボールネジ６′等が配設されている。これ等により試
料テーブル１９は、Ｘテーブル１Ｂを基としてＹ方向に
粗動、微動しうるように構成されている。Similarly, on the sample table 19 side, there is a block 20', a linear minute displacement mechanism 21, a guide plate 25', a rotation stop mechanism 24', a tension coil spring 25, and a servo motor 5#.
, a ball screw 6', etc. are provided. As a result, the sample table 19 is configured to be able to make coarse and fine movements in the Y direction based on the X table 1B.
試料テーブル１９上には、光学ンラー１５が取着し、レ
ーザ光１６、レーザ干渉測長！！１７によシ、Ｘ方向お
よびＹ方向の位置信号がコントローラ１４に入力される
。コント筒−２１４は、本装置の全体を制御するもので
、サーボモータ５．５’、真空チャック２７．２８ 、
直進型微少変位機構２１等を適宜制御する。An optical angler 15 is mounted on the sample table 19, and a laser beam 16 is used for laser interferometric length measurement! ! 17, position signals in the X and Y directions are input to the controller 14. The control tube 214 controls the entire device, and includes a servo motor 5.5', a vacuum chuck 27.28,
The linear minute displacement mechanism 21 and the like are appropriately controlled.
次に、第５図によブチ−プルの位置制御方法ｔ−ａ嘱す
る。まず、目標値Ｌ（第５図（句）がコントロー９１４
に与えられ石と、サーボモータ５とボールネジ６によ〕
、Ｘテーブル１８は目標位置２６のノＸだけ手前のＸ１
位置まで移動して停止する。このときまでは真空チャッ
ク２日は作動状態にある。反対に真空チャック２７はＯ
ＦＦの状態にある。以上が粗動過多であシ、通常位置決
め精度は士数μ襲ないし±１０μ隅程度である。従って
ΔＸの値は、目標位置２６から最大限１０μ篤となる。Next, a method for controlling the position of the button pull will be explained in FIG. First, the target value L (Fig. 5 (phrase) is the controller 914
by the stone given to, the servo motor 5 and the ball screw 6]
, the X table 18 is set at X1, which is X in front of the target position 26.
Move to the position and stop. Until this time, the vacuum chuck has been in operation for two days. On the other hand, the vacuum chuck 27 is O.
It is in FF state. The above is excessive coarse movement, and the normal positioning accuracy is approximately 10 μm or ±10 μm. Therefore, the value of ΔX is at most 10 microns from the target position 26.
Ｘテーブル１８が停止すると、まず、真空パルプ２９が
ＯＦＦされ、Ｘテーブル１８とブロック２０との結合が
解除される。従って、Ｘテーブル１８とブロック２０と
は、引張シコイルバネ２５の引張り力のみで結合される
ことに々る。When the X-table 18 stops, the vacuum pulp 29 is first turned off, and the connection between the X-table 18 and the block 20 is released. Therefore, the X-table 18 and the block 20 are often connected only by the tensile force of the tension coil spring 25.
Ｘテーブル１８の前記停止に伴って、真空パルプ５０が
ＯＮとなシ、ブロック２０は真９チヤツク２７により、
ガイドプレート２５に固着する。従って、サーボモータ
５０回転によってＸテーブル１８は移動しなくなる。こ
の丸め、ボールネジ６とナツト３１とのバックラッシ轟
量や、サーボモータ５のドリフト量等はＸテーブル１８
の移動に影響を与えな匹。With the stop of the X table 18, the vacuum pulp 50 is turned on, and the block 20 is turned on by the true 9 chuck 27.
It is fixed to the guide plate 25. Therefore, the X table 18 does not move by 50 rotations of the servo motor. This rounding, the amount of backlash between the ball screw 6 and the nut 31, the amount of drift of the servo motor 5, etc. are determined using the X table 18.
Do not affect the movement of the animal.
目標位置２６からの位置ずれΔＸの補正には、１［迩型
微少変位機構２１が用いられる。これによって±α１μ
簿以下の高ｆｌ密の位置決めができる。For correcting the positional deviation ΔX from the target position 26, a 1-type minute displacement mechanism 21 is used. As a result, ±α1μ
High fl density positioning is possible below the register.
ｉ［重量微少変位機構２１は、Ｘテーブル１８と微少隙
間Ｓｔ隔てて配設される（第３図（ａ））。この微少隙
間Ｓは、粗動時に、Ｘテーブル１８の慣性力により直進
型微少変位機構２１が破損することを防ぐためのもので
ある。i [The weight minute displacement mechanism 21 is disposed apart from the X table 18 by a minute gap St (FIG. 3(a)). This minute gap S is provided to prevent the linear minute displacement mechanism 21 from being damaged by the inertial force of the X table 18 during coarse movement.
Ｘテーブル１８の位置ずれ４ｘは、レーザ干渉副長器１
７によシ検知され、この信号が前記し九ごとくコントロ
ー９１４に送られ、コントは一う１４によシ厘進製微少
変位機構に移動指示が与えられて補正が行なわれる。こ
の場合、引張シコイルバネ２５によ）Ｘテーブル１８は
プロ、り２０＠に引張られているため、正確な位置決め
が可能となる。The positional deviation 4x of the X table 18 is caused by the laser interference sub-length device 1.
7 is detected, and this signal is sent to the controller 914 as described above, which in turn gives a movement instruction to the minute displacement mechanism manufactured by Renshin at 14 to perform correction. In this case, since the X table 18 is pulled by the tension coil spring 25, accurate positioning is possible.
同様のことが試料テーブル１９についても行なわれる。The same thing is done for the sample table 19.
従って、試料１０は、ＸおよびＹ方向において、正確な
位置決めされる。Therefore, the sample 10 is accurately positioned in the X and Y directions.
本実施例によれば、粗動テーブル上に微動テーブルを載
架する必要がないため、構造が簡単とな夛、小形化が図
れる。そして、装置全体の高さｔ低く押えることができ
、重心が低く、装置の剛性金高く保つことができ、高精
密の位置決めが可能となる。更に、微細送夛についても
、シンプルでかつコンパクトの直進型微少変位機構を用
い、確実、迅速かつ、容易に精密位置決めができる。According to this embodiment, since there is no need to mount the fine movement table on the coarse movement table, the structure can be simplified and downsized. In addition, the height of the entire device can be kept low, the center of gravity can be kept low, the rigidity of the device can be kept high, and highly precise positioning can be achieved. Furthermore, regarding fine feeding, precise positioning can be performed reliably, quickly, and easily using a simple and compact linear minute displacement mechanism.
本実例では、位置ずれ値の検出にレーザ光を用いたが、
これに限定するものではない。又、真空チャックを着脱
および固定手段に用い九が、特に限定するものでもない
。In this example, a laser beam was used to detect the positional deviation value, but
It is not limited to this. Further, although a vacuum chuck is used as the attachment/detachment and fixing means, there is no particular limitation.
以上の説明によって明らかのごとく、本発明によれば、
構造簡単で、小形でＩｌ）り、高速かつ、容易に高精密
移動位置決めができ、かつ、安価である効果を上げるこ
とができる。As is clear from the above description, according to the present invention,
It has a simple structure, is small in size, allows high-speed and easy high-precision movement and positioning, and is inexpensive.
＃１１図は従来の平面移動装置の構成を示し几斜視図、
第２図は本発明の実施例を示す斜視図。
第３図は実施例のテーブル位置制御方法を説明する説明
図である。
５．５′・・・サーボモータ ６．６′・・・ボール
ネジ７．７′・・・直線軸受案内 １０・・・試料１
４・・・コントローラ １５・・・光学ミラー１６
・・・レーザ光・ １７・・・レーザ干渉１１＆
器１８・・・Ｘテーブル １９・・・試料テーブ
ル２０・・・ブロック ２１・・・直進型微
少変位機構２ト・・ガイドプレート ２４・・・回如
止め機構２５・・・引張夛コイルバネ ２７．２８・・
・真空チャック２？、 ５０・・・真空パルプ ５１
・・・ナット第１旧
率Ｚ肥Figure #11 is a perspective view showing the configuration of a conventional plane moving device;
FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the present invention. FIG. 3 is an explanatory diagram illustrating the table position control method of the embodiment. 5.5'... Servo motor 6.6'... Ball screw 7.7'... Linear bearing guide 10... Sample 1
4... Controller 15... Optical mirror 16
... Laser light 17... Laser interference 11 &
Instrument 18...X table 19...Sample table 20...Block 21...Linear type minute displacement mechanism 2...Guide plate 24...Rotation stop mechanism 25...Tensile coil spring 27. 28...
・Vacuum chuck 2? , 50...Vacuum pulp 51
... Nut 1st old rate Z fertilizer
Claims (1)
ルと、この第１のテーブル上に形成される直線軸受案内
に載架され、前記第１のテーブルと直交する向きに移動
可能な第２のテーブルと、前記第１および第２のテーブ
ルのそれぞれに、着脱自在に係合し、吸着時において、
テーブル駆動装置の送夛をそれぞれのテーブルに伝える
ブロックと、このブロックに配設され、前記ブロックと
前記テーブルとの離脱時におｈて、前記テーブルに微少
送シを与える微少変位機構と、咳微少変位機構の作動時
において、前記ブロックを定位置に固定する固定手段と
、前記ブロックと前記テーブルとの間Ｋｉｊｌ架される
バネと、前記ブロックとテーブルとの着脱および該ブロ
ックの前記固定手段の動作を制御すると共に、前記テー
ブル駆動装置の動作を制御する制御装置と。 前記テーブルの位置を光学的に測定すゐ測定装置と、こ
の測定装置の信号によシ、前記微少変位機構の動作を制
御する制御表とを備え、前記第１および＃！２のテーブ
ルの粗動および微動送シを同一の前記直線軸受案内によ
って行なうようにしたことを特徴とする精密平面移動装
置。 λ 前記微少変位機構が、電歪素子（ピエゾ素子）の電
圧制御によって微動量を制御する微動伸縮機構から構成
され友ものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の精密平面移動装置。 五 前記微少変位機構が、磁歪素子の電流制御によって
微動量を制御する微動伸縮機構から構成されたものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の精密
平面移動装置。[Claims] 111! a first table mounted on a linear bearing guide on a plate; and a second table mounted on a linear bearing guide formed on the first table and movable in a direction orthogonal to the first table. The table is removably engaged with the first and second tables respectively, and during suction,
a block that transmits the force of the table drive device to each table; a minute displacement mechanism that is disposed in this block and gives minute force to the table when the block and the table are separated from each other; When the displacement mechanism is operated, a fixing means for fixing the block in a fixed position, a spring suspended between the block and the table, attachment and detachment of the block and table, and operation of the fixing means for the block. and a control device that controls the operation of the table driving device. The first and #! A precision plane moving device characterized in that coarse movement and fine movement of two tables are performed by the same linear bearing guide. λ The micro-displacement mechanism is comprised of a micro-movement expansion/contraction mechanism that controls the amount of micro-movement by voltage control of an electrostrictive element (piezo element).
Precision planar moving device as described in section. 5. The precision plane movement device according to claim 1, wherein the minute displacement mechanism is constituted by a fine movement expansion and contraction mechanism that controls the amount of fine movement by controlling the current of a magnetostrictive element.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12778981A JPS5830129A (en) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | Horizontal fine adjustment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12778981A JPS5830129A (en) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | Horizontal fine adjustment device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830129A true JPS5830129A (en) | 1983-02-22 |
| JPH0434166B2 JPH0434166B2 (en) | 1992-06-05 |
Family
ID=14968713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12778981A Granted JPS5830129A (en) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | Horizontal fine adjustment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830129A (en) |
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1981
- 1981-08-17 JP JP12778981A patent/JPS5830129A/en active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0434166B2 (en) | 1992-06-05 |
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