JPS5821315A - Method of producing composite pyroelectric element - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、複合焦電体の製造方法に関し、特に、焦電性
結晶の粒子を極性配向して積層することによシ多結晶焦
電体を製造した後に、結合剤（バインダー）を含浸させ
て複合焦電体を製造する方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a composite pyroelectric material, and in particular, after manufacturing a polycrystalline pyroelectric material by layering pyroelectric crystal particles with polar orientation, The present invention relates to a method of manufacturing a composite pyroelectric material by impregnating it with a binder.

先ず、本発明における焦電体について説明する。First, the pyroelectric material in the present invention will be explained.

一般に圧電体は、電気的な自発分極（５ｐｏｎｔａｎｅ
−ｏｕｓ　ｐｏｌａｒｉｚａｔｉｏｎ　）Ｐｓの有無に
応じて焦電体と罪焦電体とに分類でき、さらにとの焦電
体は、上記自発分極Ｐｓが電界によって方向を反転し得
るか否かに応じて、強誘電体と非強誘電体とに分類でき
る。シヘかって、焦電体はすべて圧電体としても使用で
き、また、焦電体の一部に強誘電体として使用できるも
のもある。そして、焦電体自体の特有の性質としては、
焦電効果（Ｐｙｒｏ−ｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｅｆｆｅｃｔ
）、すなわち、材料の一部を熱したときに表面に電荷が
現われるという性質が知られておシ、この性質を利用し
て、たとえば赤外線センサ、感熱素子等への応用が進め
られている。In general, piezoelectric materials exhibit electrical spontaneous polarization (5 pontane polarization).
-ous polarization) Ps can be classified into pyroelectric materials and pyroelectric materials depending on the presence or absence of Ps, and pyroelectric materials can be classified into pyroelectric materials depending on whether the spontaneous polarization Ps can be reversed in direction by an electric field or not. It can be classified into ferroelectric materials and non-ferroelectric materials. All pyroelectric materials can also be used as piezoelectric materials, and some pyroelectric materials can also be used as ferroelectric materials. The unique properties of the pyroelectric substance itself are:
Pyro-electric effect
), that is, it is known that when a part of a material is heated, an electric charge appears on its surface, and this property is being utilized to be applied to, for example, infrared sensors, heat-sensitive elements, etc.

ここで、通常、焦電体は焦電性結晶の単結晶体、多結晶
体、ちるいは他物質との複合体のいずれかの形態をとる
。そして一般的に、単結晶体を得るためには、設備費、
材料費が嵩み、製造時間も長くかかり、また、大形のも
のや任意の形の単結晶焦電体が作り難い。これに対して
、上記多結晶体や複合体は、上記設備費、材料費、およ
び製造時間のいずれの点でも有利であり、また、大形の
ものや任意の形のものを作り易いという利点もある。Here, the pyroelectric substance usually takes the form of a single pyroelectric crystal, a polycrystal, a sieve, or a composite with another substance. In general, in order to obtain a single crystal, equipment costs,
Material costs are high, manufacturing time is long, and it is difficult to produce large-sized or arbitrarily shaped single-crystal pyroelectric materials. On the other hand, polycrystals and composites are advantageous in terms of equipment costs, material costs, and manufacturing time, and they also have the advantage of being easy to manufacture in large sizes and in arbitrary shapes. There is also.

なお、上記多結晶焦電体は焦電性結晶材料のみから成る
ため、上記複合焦電体に比べて、より大きな焦電効果を
生じ得る◇ ところで、このような多結晶焦電体や複合焦電体を製造
する従来の方法は、原材料として、前記強誘電体のうち
の自発分極Ｐ８が比較的容易に方向反転（スイッチング
）するようなたとえばＢａＴＬ０３等の焦電性結晶粒子
あるいは粉末を用い、との焦電性結晶粒子を集積又は積
層して焼結した後、電界を引加して上記自発分極Ｐｓを
ほぼ同じ向きにそろえるような、いわゆるポーリングを
行なっている。しかしながら、原材料が比較的容易に反
転し得る強誘電性の焦電性結晶に限定され、上記反転が
実質的にほぼ不可能な強誘電体材料や、非強誘電性の焦
電体材料を用いて、多結晶焦電体や複合焦電体を製造す
ることができなかった。また、上記焼結後にポーリング
を行なっても、自発分極Ｐｓの方向を完全に一致させる
ことはほぼ不可能であシ、上記単結晶焦電体程度の焦電
特性を得ることが困難であった。In addition, since the polycrystalline pyroelectric material described above is composed only of pyroelectric crystal material, it can produce a larger pyroelectric effect than the above-mentioned composite pyroelectric material. A conventional method for producing an electric body uses, as a raw material, pyroelectric crystal particles or powder, such as BaTL03, in which the spontaneous polarization P8 of the ferroelectric substance relatively easily reverses direction (switching). After the pyroelectric crystal particles are accumulated or stacked and sintered, so-called poling is performed in which an electric field is applied to align the spontaneous polarization Ps in substantially the same direction. However, the raw materials are limited to ferroelectric pyroelectric crystals that can be inverted relatively easily, and ferroelectric materials that are virtually impossible to invert and non-ferroelectric pyroelectric materials are used. Therefore, it was not possible to produce polycrystalline pyroelectric materials or composite pyroelectric materials. Furthermore, even if poling is performed after the above sintering, it is almost impossible to completely match the directions of the spontaneous polarization Ps, and it is difficult to obtain pyroelectric properties comparable to the above single crystal pyroelectric material. .

そこで、本件発明者は、電気泳動電着法や雲霧法によシ
、焦電性結晶粒子を電界が板面に垂直に形成された電極
基板上に積層する際に、上記結晶粒子に温度変化を与え
ることによって、焦電軸が配向された積層粒子層を得る
ような焦電体の製造方法を既に提案したが、本発明はこ
れらをさらに改善し、粒子間や粒子と基板との間を結合
するだめの結合剤を上記方法によシ製造された焦電体に
含浸することによって、焦電性結晶粒子の充填密度の高
い複合焦電体を製造することを目的としている。Therefore, the present inventor proposed that when pyroelectric crystal particles are laminated on an electrode substrate in which an electric field is formed perpendicularly to the plate surface by electrophoretic electrodeposition method or atomization method, the temperature changes in the crystal particles. A method for producing a pyroelectric material has already been proposed in which a laminated particle layer with oriented pyroelectric axes is obtained by giving The object of the present invention is to produce a composite pyroelectric material having a high packing density of pyroelectric crystal particles by impregnating the pyroelectric material produced by the above method with a bonding agent.

すなわち、本発明に係る複合焦電体の製造方法の特徴は
、基板上に焦電軸を配向した状態で焦電性結晶粒子を積
層して多結晶焦電体層を得る工程と、該多結晶焦電体層
に結合剤を含浸する工程とより成ることである。That is, the characteristics of the method for manufacturing a composite pyroelectric material according to the present invention include a step of laminating pyroelectric crystal particles on a substrate with the pyroelectric axis oriented to obtain a polycrystalline pyroelectric layer; The method consists of a step of impregnating the crystalline pyroelectric layer with a binder.

ここで、上記結合剤（バインダー）としては、熱可塑性
あるいは共重合硬化性の有機材料が使用でき、たとえば
、パラフィンや、塩ビ、酢ビの共重合体や、ポリウレタ
ン、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂等の溶液を、単一
もしくは組み合わせて用いればよい。また、この結合剤
は、加熱等によシ分解あるいは結合して最終的にバイン
ダーとなるものも含み、たとえば、無水ホウ酸と酢ば鉛
の水溶液のように加熱によシ最終的にホウ酸鉛系ガラス
が得られる混合材料を用いることもできる。Here, as the binder, thermoplastic or copolymerizable organic materials can be used, such as paraffin, copolymers of vinyl chloride, vinyl acetate, polyurethane, epoxy resins, polyester resins, etc. Solutions may be used singly or in combination. In addition, this binder also includes those that are decomposed or combined by heating etc. to finally become a binder. For example, an aqueous solution of boric anhydride and vinegar or lead is It is also possible to use mixed materials from which lead-based glasses are obtained.

次に、本発明の詳細な説明に先立ち、焦電性結晶粒子の
一般的性質について第１図ＡＳＢを参照しながら説明す
る。Next, prior to a detailed explanation of the present invention, the general properties of pyroelectric crystal particles will be explained with reference to FIG. 1 ASB.

第１図Ａは、定常状態における焦電性結晶粒子１の内部
の状態を模式的に表わすものであシ、図中の矢印が電気
的な自発分極Ｐｓを、また■、θが内部電荷（電気双極
子）をそれぞれ示している。FIG. 1A schematically represents the internal state of the pyroelectric crystal particle 1 in a steady state. The arrows in the figure indicate the electrical spontaneous polarization Ps, and electric dipole).

そして、１本の矢印Ｐ８と１対の内部電荷■、Ｏとが、
互いに電気的に等しく対応するものとする０第１図Ａの
定常状態では、自発分極Ｐｓと、これを打消す、あるい
は中和させる内部電荷対とが、互いに等しい量だけ存在
するため、焦電性結晶粒子１の外部からの見かけ上の電
荷、見′かけ上の電気双極子はゼロとなっている。この
ような定常状態にある焦電性結晶粒子１に温度変化を与
えることによって、たとえば自発分極Ｐｓが第１図Ｂの
ように減少した場合には、内部電荷対の量がＰｓよシも
多くなり、この差分の内部電荷対が実効的に表われるこ
とになる０すなわち、焦電性結晶粒子ＩＫは、見かけ上
第１図Ｂの矢印Ｐｅｆｆに示すような電気双極子が表わ
れる０そして、上記温度変化後に、いわゆる誘電緩和時
間に応じた時間変化を伴なう緩オロ現象によって、たと
えば上記差分の電荷対が結合して消滅し、内部電荷対と
Ｐｓとの量が互いに等しい平衡状態（定常状態）に戻る
。Then, one arrow P8 and a pair of internal charges ■ and O are
In the steady state shown in Figure 1A, the spontaneous polarization Ps and the internal charge pairs that cancel or neutralize it exist in equal amounts, so the pyroelectricity The apparent electric charge and the apparent electric dipole from the outside of the sexual crystal particle 1 are zero. For example, if the spontaneous polarization Ps decreases as shown in FIG. 1B by applying a temperature change to the pyroelectric crystal particle 1 in such a steady state, the amount of internal charge pairs will be much larger than Ps. The internal charge pair of this difference effectively appears as 0. In other words, the pyroelectric crystal particle IK appears to have an electric dipole as shown by the arrow Peff in FIG. 1B. After the above-mentioned temperature change, due to the so-called slow rolling phenomenon that accompanies a time change according to the dielectric relaxation time, for example, the charge pairs of the above-mentioned difference combine and disappear, resulting in an equilibrium state in which the amounts of the internal charge pairs and Ps are equal to each other ( steady state).

なお、温度変化の向き〔昇温あるいは降温）によって、
上記自発分極ＰｓＯ量の変化も異なり、内部電荷対より
もＰｓが増加した場合には、見かけ上の電気双極子Ｐｅ
ｆｆはＰｇと同じ向きに表われ、緩和現象は新たな内部
電荷対の発生となることは勿論である。In addition, depending on the direction of temperature change (temperature increase or temperature decrease),
The change in the amount of spontaneous polarization PsO is also different, and when Ps increases more than the internal charge pair, the apparent electric dipole Pe
Of course, ff appears in the same direction as Pg, and the relaxation phenomenon results in the generation of a new internal charge pair.

次に、電気泳動電着法（あるいは単に電着法ともいう。Next, there is an electrophoretic electrodeposition method (or simply called an electrodeposition method).

）について説明する〇 一般に固体粒子を液体中に分散すると、液体中で固体粒
子は正あるいは負の電荷を持つ０たとえば第２図におい
て、液体（分散液）２中の固体粒子（分散粒子）１は、
負の電荷を持っている。そして、この分散液２中に、互
いに分離されて対向する２つの電極３，４を配設し、両
電極３，４間に直流電源５からの直流電圧を印加すると
、分散粒子１は電界Ｅによって正極側の電極３に向かっ
て移動（電気泳動）シ、基板としての電極３０表面上に
付着、積層する。この現象は電気泳動電着法として、塗
装などに利用されている。なお、分散粒子が正の電荷を
持つ場合には、負極側の電極に向かって電気泳動するこ
とは勿論である。) In general, when solid particles are dispersed in a liquid, the solid particles have a positive or negative charge in the liquid. teeth,
It has a negative charge. Then, when two electrodes 3 and 4 that are separated from each other and face each other are arranged in this dispersion liquid 2, and a DC voltage from a DC power source 5 is applied between both electrodes 3 and 4, the dispersed particles 1 are The particles move (electrophoresis) toward the positive electrode 3 and are deposited and stacked on the surface of the electrode 30 serving as a substrate. This phenomenon is used as an electrophoretic electrodeposition method for painting, etc. In addition, when the dispersed particles have a positive charge, it goes without saying that they electrophores toward the negative electrode.

ここで、本発明の前提となる電気泳動性による焦電体の
製造方法においては、上記分散粒子として、たとえばＬ
ＬＮｂ０３−　ＬＬＴａＯｓ　、ｎａＴ＝Ｏｓ　、ジル
コン・チタン酸鉛系の材料（いわゆるＰＺＴ等）、その
他の強誘電体および非強誘電体を含む焦電性結晶粒子を
用いるとともに、上記分散液としては、たとえばトリク
ロルエチレン等の高抵抗率（テ〉１０’Ωｃｒｎ）を持
つ液体を用、、いている。さらに、上記電界による電気
泳動で上記結晶粒子が基板ともなる電極面に付着し固定
するまでに、どの結晶粒子もほぼ一様に昇温あるいは降
温の温度変化を受けるようにする。このためには、分散
液中に上記電気泳動の方向に后った温度分布を与えるか
、あるいは、液の全体又は一部を加熱又は冷却すればよ
い。この他、電極面に向う上記結晶粒子を、該粒子が吸
収し易い波長の光、マイクロ波等の電磁輻射によって直
接的に加熱させても良く、この場合には、上記吸収波長
に応じた着色等の表面処理を上記結晶粒子に対１て予め
施すことが好ましい。Here, in the method for manufacturing a pyroelectric material using electrophoresis, which is the premise of the present invention, the above-mentioned dispersed particles include, for example, L
Pyroelectric crystal particles containing LNb03-LLTaOs, naT=Os, zircon-lead titanate-based materials (so-called PZT, etc.), and other ferroelectric and non-ferroelectric materials are used, and the dispersion liquid is, for example, A liquid with high resistivity (TE>10'Ωcrn) such as trichlorethylene is used. Furthermore, all the crystal particles are made to undergo temperature changes almost uniformly, such as increasing or decreasing temperature, until the crystal particles adhere to and are fixed on the electrode surface, which also serves as a substrate, by electrophoresis caused by the electric field. For this purpose, it is sufficient to provide the dispersion with a temperature distribution that extends in the direction of electrophoresis, or to heat or cool the entire or part of the liquid. In addition, the crystal particles facing the electrode surface may be directly heated by electromagnetic radiation such as light or microwaves with wavelengths that are easily absorbed by the particles, and in this case, the crystal particles may be colored in accordance with the absorption wavelength. It is preferable that the crystal particles are previously subjected to a surface treatment such as the following.

このようにすると、電界下で電極面に近づこうとしてい
る粒子は、いずれもが一様な温度変化を受け、前述した
焦電効果により焦電極性に対応した電気双極子を持つこ
とになるため、上記電界下で極性配向しながら電極面に
付着沈積する。この沈積した積層を液中から取り出して
乾燥することにより、極性配向した焦電結晶粒子層、す
なわち多結晶焦電体が得られる。In this way, all particles approaching the electrode surface under an electric field will undergo a uniform temperature change, and due to the pyroelectric effect described above, they will have an electric dipole corresponding to pyropolarity. , is deposited on the electrode surface with polar orientation under the above electric field. By taking out this deposited layer from the liquid and drying it, a polar oriented pyroelectric crystal particle layer, that is, a polycrystalline pyroelectric material is obtained.

また、本発明の前提となる多結晶焦電体の他の製造方法
、すなわち雲霧法による方法は、上記焦電性結晶粒子を
、電気絶縁性の良い高抵抗率（たとえば、’；　＞　ｌ
　Ｏ１０Ωｍ程度）の有機液体中に分散、してコロイド
液を作り、このコロイド液を、電界が表面に垂直に印加
されている基板電極面上に雲霧することによって、該基
板の面上に、極性を含めて焦電軸の配向した（極性配向
した）結晶粒子層が積層され、有機成分を蒸発あるいは
分解させて乾燥して多結晶焦電体を得るものである。In addition, in another method for manufacturing a polycrystalline pyroelectric material, which is a premise of the present invention, that is, a method using a fog method, the pyroelectric crystal particles are prepared using a material having a high resistivity (for example, ';
A colloidal liquid is created by dispersing it in an organic liquid of about 10Ωm), and by atomizing this colloidal liquid onto the substrate electrode surface to which an electric field is applied perpendicularly to the surface, polarity is created on the surface of the substrate. A polycrystalline pyroelectric material is obtained by stacking layers of crystal grains with oriented (polarly oriented) pyroelectric axes including the pyroelectric components, and drying the organic components by evaporating or decomposing them.

このようにしユ得られた多結晶焦電体は、粒子間や粒子
と基板との間の結合力が比較的弱いため、たとえば高温
で焼成して焼結体とすることが行なわれるが、焦電性結
晶粒子が酸化物の場合等では、焼結に必要な焼成温度が
極めて高く、使用可能な基板材料としては、たとえば白
金板のように高耐熱性を要求されるため、安価な材料（
ガラス板等）を使用できない。ここで、上記分散液中に
、パラフィン等のバインダー材料を予め分散あるいは溶
解させておくことも考えられるが、液の粘性が高いと、
上記電気泳動や配向が困難となり、また、ガラス粒子等
を分散させた場合には、積層時の焦電性結晶粒子の充填
密度が低下する。Since the polycrystalline pyroelectric material thus obtained has relatively weak bonding forces between particles and between particles and the substrate, it is often fired at high temperatures to form a sintered body. In cases where the conductive crystal particles are oxides, the firing temperature required for sintering is extremely high, and the substrate materials that can be used are inexpensive materials such as platinum plates, which require high heat resistance (
glass plates, etc.) cannot be used. Here, it is possible to disperse or dissolve a binder material such as paraffin in the above dispersion liquid in advance, but if the viscosity of the liquid is high,
The above-mentioned electrophoresis and orientation become difficult, and when glass particles or the like are dispersed, the packing density of the pyroelectric crystal particles during lamination is reduced.

そこで、本発明においては、上記のようにして得られた
多結晶焦電体に対し、バインダーとしての結合剤を後か
ら含浸させて、複合焦電体を製造している。この結合剤
として、パラフィン等の熱可塑性有機材料、エポキシ系
接着剤等の重合硬化性有機材料等が使用できることは前
述のとおりである。Therefore, in the present invention, a composite pyroelectric material is manufactured by impregnating the polycrystalline pyroelectric material obtained as described above with a binder as a binder afterwards. As described above, thermoplastic organic materials such as paraffin, polymerizable curable organic materials such as epoxy adhesives, etc. can be used as this binder.

以下、本発明の好ましい実施例について説明する０ まず、本発明の第１の実施例として、原材料となる焦電
性結晶材料に、常温では自発分極Ｐ８の反転が実質的に
ほぼ不可能な強誘電性結晶であるＬ　ＬＮ　ｂ　Ｏｓを
用い、極性配向された多結晶焦電体を得た後、上記結合
剤を含浸させて複合焦電体を製造する方法について説明
する。Preferred embodiments of the present invention will be described below. First, as a first embodiment of the present invention, a pyroelectric crystal material used as a raw material is given a strong A method of manufacturing a composite pyroelectric material by obtaining a polar-oriented polycrystalline pyroelectric material using L LN b Os, which is a dielectric crystal, and then impregnating it with the binder described above will be described.

ＬＬＮｂ　Ｏｓの単結晶を乳鉢で粉砕して粉末化し、こ
れをエタノール中で沈降分離することにより、約１μｍ
＆以下の粒子のみから成るＬ＝Ｎｂ０３　　粉末を得る
。この粉末粒子を上記分散粒子として上記分散液中に分
散させるわけであるが、この分散液としてトリクロルエ
チレンを用いるため、上記ＬＬＮｂ０３粉末の粒子表面
を親油性に表面処理することが必要である。すなわち、
上記粉末を、シランカップリング剤〔たとえばトーレシ
リコーン社製の５ｚ−６０７０）等を添加したトルエン
の中に混合して、たとえば超音波を加え寿から十分に攪
拌した後、遠心分離機を用いて粉末を回収し、この粉末
をさらに十分にトルエンで洗浄した後、熱風乾燥機を用
いて乾燥した。このようにして表面処理されたＬＬＮｂ
Ｏｓ粉末粒子を、上記分散液としてのトリクロルエチレ
ン中に、超音波を加えながら十分に分散した。このトリ
クロルエチレン中のＬＬＮｂ　Ｏｓ粒子は負の電荷を持
つ。A single crystal of LLNb Os was crushed into powder in a mortar, and the powder was separated by sedimentation in ethanol to form a powder with a size of about 1 μm.
& Obtain L=Nb03 powder consisting only of the following particles. These powder particles are dispersed as the dispersed particles in the dispersion liquid, but since trichlorethylene is used as the dispersion liquid, it is necessary to surface-treat the particle surface of the LLNb03 powder to make it lipophilic. That is,
The above powder is mixed in toluene to which a silane coupling agent (for example, 5z-6070 manufactured by Toray Silicone Co., Ltd.) has been added, and the mixture is thoroughly stirred by applying ultrasonic waves, and then mixed using a centrifuge. The powder was collected, washed thoroughly with toluene, and then dried using a hot air dryer. LLNb surface treated in this way
The Os powder particles were sufficiently dispersed in trichlorethylene as the dispersion liquid while applying ultrasonic waves. The LLNb Os particles in this trichlorethylene have a negative charge.

第３図に示す容器１１中には、上記ＬＬＮｂＯｓ粉末粒
子がトリクロルエチレン中に分散された分散液１２が満
たされておシ、この液中に、鉛直方向（図中上下方向）
に対向する２枚の電極板１３゜１４をそれぞれ水平方向
に配設している。これらの電極板１３．１４は、たとえ
ばガラス板１３ａ、１４ａの表面、特に対向面上に、導
電性のネサ膜（Ｓ、Ｏ２膜）１５，１６を被着形成して
電極としている。そして、これらの電極板１３．１４は
、たとえばテフロン等で作られた電極支持柱１７によシ
水平方向に支持されるとともに、電気接続金具１３ｂ、
１４ｂおよびリード線等を介して、直流電源１８に電気
的に接続されている。ここで、図中上方の電極板１３は
、分散液１２中の液面近傍に配置しておシ、この液面で
の蒸発による気化熱によってこの電極板１３近傍を冷却
している。A container 11 shown in FIG. 3 is filled with a dispersion liquid 12 in which the LLNbOs powder particles are dispersed in trichlorethylene.
Two electrode plates 13 and 14 facing each other are arranged horizontally. These electrode plates 13, 14 are formed by depositing conductive NESA films (S, O2 films) 15, 16 on the surfaces of the glass plates 13a, 14a, particularly on the opposing surfaces. These electrode plates 13, 14 are supported in the horizontal direction by electrode support columns 17 made of Teflon or the like, and electrical connection fittings 13b,
It is electrically connected to the DC power supply 18 via 14b and lead wires. Here, the electrode plate 13 in the upper part of the figure is arranged near the liquid level in the dispersion liquid 12, and the vicinity of the electrode plate 13 is cooled by the heat of vaporization due to evaporation at this liquid level.

この電極板１３を正極側（陽極側）として、両電極間に
約５ＫＶの電圧を印加する。このとき、正の電極板１３
のネサ膜１５表面上に、１記ＬｉＮｂ□。This electrode plate 13 is set as the positive electrode side (anode side), and a voltage of about 5 KV is applied between both electrodes. At this time, the positive electrode plate 13
1 LiNb□ on the surface of the NESA film 15.

粒子が付着積層するとともに、この電極板１３近傍では
、トリクロルエチレンの液面での蒸発による冷却作用に
よってＬＬＮｂ　Ｏｓ粒子目体が降温され、前述したよ
うな見かけ上の電気双極子が表われるため、上記電極間
の電界によって焦電軸が極性を含めて配向（極性配向）
される。As the particles adhere and stack, the temperature of the LLNb Os particles is lowered near the electrode plate 13 by the cooling effect of the evaporation of trichlorethylene on the liquid surface, and an apparent electric dipole as described above appears. The pyroelectric axis is oriented including the polarity by the electric field between the above electrodes (polar orientation)
be done.

このようにして、電極板１３０対向面上に極性配向しな
がら付着積層したＬＬＮｂＯｓ粒子層２１を電極板１３
ごと液中から静かに取）出し、乾燥すれば、極性配向し
た多結晶焦電体が得られる。この多結晶焦電体の結晶粒
子表面は親油性になっているため、たとえば、溶融した
パラフィンや、シンブーで希釈した透明ラッカー塗料等
の高分子を溶解した油性溶媒は、上記粒子間隙に容易に
浸み込み、結晶粒子間や粒子と基板との間を結合するバ
インダーとなって、複合焦電体を得ることができる。ま
た、上記液中から取出された多結晶焦電体を、たとえば
約５００℃で加熱処理することによ”）、ＬＬＮｂＯａ
結晶粒子表面のシランカップリング剤が分解蒸発して９
該粒子表面は親水性になる。In this way, the LLNbOs particle layer 21 adhered and laminated with polar orientation on the surface facing the electrode plate 130 is deposited on the electrode plate 130.
If it is gently removed from the solution and dried, a polar-oriented polycrystalline pyroelectric material can be obtained. Since the surface of the crystal particles of this polycrystalline pyroelectric material is lipophilic, for example, an oil-based solvent in which polymers such as melted paraffin or transparent lacquer paint diluted with simbu can be easily penetrated into the gaps between the particles. It penetrates and becomes a binder that binds between crystal grains and between grains and the substrate, making it possible to obtain a composite pyroelectric material. In addition, by heat-treating the polycrystalline pyroelectric material taken out from the above liquid at, for example, about 500°C, LLNbOa
The silane coupling agent on the surface of the crystal particles decomposes and evaporates.9
The particle surface becomes hydrophilic.

このように表面を親水性にした後に、ポリビニルアルコ
ール（いわゆるＰＶＡ）の水溶液をこの多結晶焦電体に
浸み込ませ、乾燥して複合焦電体を得ることもできる。After making the surface hydrophilic in this way, a composite pyroelectric material can also be obtained by impregnating the polyvinyl alcohol (so-called PVA) aqueous solution into the polycrystalline pyroelectric material and drying it.

次に、第４図は、このようにして得られた複合焦電体２
１の焦電効果を試験するための装置の一例を示している
。この第４図において、白熱電球や赤外線ランプ等の光
源２３からの光を、レンズ２４で集束して焦電体２１の
表面の一点Ｑに照射することによシ、この点Ｑの温度を
高めている。Next, FIG. 4 shows the composite pyroelectric material 2 obtained in this way.
1 shows an example of an apparatus for testing the pyroelectric effect of No. 1. In FIG. 4, light from a light source 23 such as an incandescent lamp or an infrared lamp is focused by a lens 24 and irradiated onto a point Q on the surface of the pyroelectric body 21, thereby increasing the temperature of this point Q. ing.

そして、レンズ２４と焦電体２１との間に、゛開口窓２
６を有する回転円板２５を光シヤツターとして配設し、
この回転円板２５を軸２７の回シに回転駆動することに
よシ、上記点Ｑへの光を照射、遮断制御して温度変化を
与えている。複合焦電体２１の上記点Ｑには、たとえば
銀ペースト付着等によシ約２霞径の電極２２を設け、こ
の電極２２をリード線等を介して高感度電流計２８の一
端に電気的に接続している。また、複合焦電体２１の裏
面側のたとえばネサ膜１５からもリード線を引き出し、
高感度電流計２８の他端に電気的に接続している。Then, between the lens 24 and the pyroelectric body 21, an aperture window 2 is provided.
A rotating disk 25 having a diameter of 6 is disposed as a light shutter,
By rotating this rotary disk 25 with the rotation of the shaft 27, the irradiation and blocking of light to the point Q is controlled to change the temperature. At the point Q of the composite pyroelectric material 21, an electrode 22 having a diameter of approximately 2 dia is provided by adhering silver paste, for example, and this electrode 22 is electrically connected to one end of the high-sensitivity ammeter 28 via a lead wire or the like. is connected to. Also, lead wires are drawn out from the back side of the composite pyroelectric material 21, for example, from the Nesa film 15,
It is electrically connected to the other end of the high-sensitivity ammeter 28.

このような試験装置における回転円板２５を回転１駆動
したとぎの高感度電流計２８から得られる電流は、たと
えば第５図のようになる。この第５図において、光源２
３からの光が開口窓２６を介して上記点Ｑに照射される
時間Ｔ。Ｎが昇温状態に、上記光が円板２５で遮断され
る時間Ｔ。ＦＦが降温状態にそれぞれ対応し、焦電効果
が得られていることが明らかである。The current obtained from the high-sensitivity ammeter 28 after driving the rotary disk 25 one rotation in such a test apparatus is as shown in FIG. 5, for example. In this FIG. 5, light source 2
3 is irradiated to the point Q through the aperture window 26. The time T during which the light is blocked by the disk 25 while N is heated. It is clear that the FF corresponds to the temperature decreasing state, and a pyroelectric effect is obtained.

ここで、第３図とともに説明したように、はぼ一様な温
度変化を与えながら電気泳動電着により得られた焦電体
の場合には、全領域で一様な焦電効果が得られるのに対
し、第２図のように温度変化が一様でない場合には、局
所的に配向するのみで、場所によって焦電効果のばらつ
きが生じ、実用的な焦電体は得られなかった０これは、
焦電性結晶粒子を液中に分散させるために超音波を加え
たことによって局所的に温度上昇が起ったものと考えら
れる。As explained in conjunction with Figure 3, in the case of a pyroelectric material obtained by electrophoretic electrodeposition while applying a uniform temperature change, a uniform pyroelectric effect can be obtained over the entire area. On the other hand, if the temperature change is not uniform as shown in Figure 2, the pyroelectric effect will vary depending on the location due to only local orientation, making it impossible to obtain a practical pyroelectric material. this is,
It is thought that the local temperature rise occurred due to the application of ultrasonic waves to disperse the pyroelectric crystal particles in the liquid.

次に、本発明の第２の実施例について第６図を参照しな
がら説明する。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

この第６図において、容器１１内にはＬ↓Ｎｂ　Ｏｓ粉
末粒子がトリクロルエチレン中に分散された分散液１２
が満たされ、２枚の電極板１３．１４が図中上下方向に
対向して配置されていること等は、前述した第３図の例
と同様であるが、この第６図の第２の実施例では、図中
上方の電極板１３の近傍にヒーターコイル等の発熱体３
１を配設し、さらに、２枚の電極板１３．１４をたとえ
ばテフロン材で作られて回転台３３で支持し、この回転
台３３の軸に連結されたプーリ３４をモータ３５で回転
駆動するように構成している。In FIG. 6, a dispersion liquid 12 in which L↓Nb Os powder particles are dispersed in trichlorethylene is contained in a container 11.
is satisfied and the two electrode plates 13 and 14 are arranged facing each other in the vertical direction in the figure, which is the same as the example shown in FIG. 3 described above. In the embodiment, a heating element 3 such as a heater coil is placed near the electrode plate 13 in the upper part of the figure.
Further, two electrode plates 13 and 14 made of, for example, Teflon material are supported by a rotary table 33, and a pulley 34 connected to the shaft of this rotary table 33 is rotationally driven by a motor 35. It is configured as follows.

このように、分散液１２の上部で加熱が行なわれる場合
には、いわゆる液体の対流現象が発生せず、液中の下部
から上部に向かって液温が上昇するようなほぼ一様の温
度分布が得られる。したがって、対向電極間の電界によ
Ｊ）　ＬｂＮｂＯｓ粉末粒子が上方の電極板１３に移動
（電気泳動）するに伴って昇温され、焦電効果による見
かけ上の電気双極子によって極性配向されて、ネサ膜１
５の表面上に付着積層される。このときの極性配向の向
き（極性）は、前述した第３図の場合（降温される場合
）に対して逆となることは勿論である。In this way, when heating is performed at the upper part of the dispersion liquid 12, so-called liquid convection phenomenon does not occur, and a substantially uniform temperature distribution is created in which the liquid temperature increases from the lower part of the liquid to the upper part. is obtained. Therefore, due to the electric field between the opposing electrodes, as the LbNbOs powder particles move (electrophoresis) to the upper electrode plate 13, the temperature rises, and the particles are polarized by an apparent electric dipole due to the pyroelectric effect. Nesa membrane 1
5 is adhered and laminated on the surface of 5. Of course, the direction of polar orientation (polarity) at this time is opposite to that in the case of FIG. 3 described above (when the temperature is lowered).

すなわち、この第６図に示す第２の実施例において、焦
電体を電着形成する側（正極側）の電極板１３が重力方
向の上部に配置される（すなわち、対向面となるネサ膜
１５は下向きとなる）状態で、両電極板１３．１４を分
散液１２中に沈めた後、両電極間に直流５ＫＶ程度の電
圧を印加するとともに発熱体３１で電極−板１３の近傍
のみを加熱する。そして、所定時間（たとえば１０分程
度）経過してほとんどのＬＬＮｂＯｓ粒子が電極板１３
のネサ膜１５上に積層した後、上記直流電圧を印加した
ままの状態で両電極を分散液１２中に沈めたまま、回転
台３３をゆっくりと回転させ、電極板１３が下部に配置
され電極対向面が上方を向くような位置で上記回転を停
止する。次に、上記直流電圧をオフして、両電極板１３
．１４を回転台３３ごとゆっくりと引上げることによシ
、電極板１３上の電着粒子層をほとんど脱落させること
なく、液外に取出すことができる。また、上記引上げの
際に、上記直流電圧を印加したままの状態としてもよく
、この場合には、対向する電極板１４の方が先に液外に
出るため、その後は実質的な電界が粒子層に印加されず
、したがって、電極板１３が液外に出るときに粒子層に
対して何らの静電力も加わらないものと考えられる。That is, in the second embodiment shown in FIG. 6, the electrode plate 13 on the side on which the pyroelectric material is electrodeposited (positive electrode side) is arranged at the upper part in the direction of gravity (that is, the Nesa film serving as the opposing surface After both electrode plates 13 and 14 are submerged in the dispersion liquid 12 in a state in which the electrodes 15 and 15 are facing downward, a voltage of about 5 KV DC is applied between the two electrodes, and the heating element 31 is used to heat only the vicinity of the electrode plate 13. Heat. Then, after a predetermined period of time (for example, about 10 minutes) has passed, most of the LLNbOs particles are removed from the electrode plate 13.
After stacking the electrodes on the Nesa membrane 15, the rotary table 33 is slowly rotated while both electrodes are submerged in the dispersion liquid 12 while the DC voltage is still applied. The rotation is stopped at a position where the opposing surface faces upward. Next, the DC voltage is turned off, and both electrode plates 13
．． 14 along with the rotary table 33, the electrodeposited particle layer on the electrode plate 13 can be taken out of the liquid without falling off. Further, during the above-mentioned pulling, the above-mentioned DC voltage may remain applied. In this case, since the opposing electrode plate 14 comes out of the liquid first, a substantial electric field is then applied to the particles. It is believed that no electrostatic force is applied to the layer and therefore no electrostatic force is applied to the particle layer when the electrode plate 13 exits the liquid.

このようにして得られた多結晶焦電体に対し、前述した
第１の実施例と同様に結合剤を含浸させることによって
、複合焦電体を得ることができる。A composite pyroelectric material can be obtained by impregnating the thus obtained polycrystalline pyroelectric material with a binder in the same manner as in the first embodiment described above.

これらの第１、第２の実施例中の多結晶焦電体を得るま
での工程は、前記雲霧法を用いてもよいことは勿論であ
る。It goes without saying that the atomization method described above may be used in the steps up to obtaining the polycrystalline pyroelectric material in these first and second embodiments.

次に、本発明の第３の実施例として、雲霧法により多結
晶焦電体を得、これに加熱によりガラスとなる混合物質
を含浸させた後、加熱処理を行なって複合焦電体を製造
する方法について説明する。Next, as a third embodiment of the present invention, a polycrystalline pyroelectric material is obtained by a fog method, and after impregnated with a mixed substance that becomes glass by heating, a composite pyroelectric material is manufactured by heat treatment. This section explains how to do this.

まず、焦電性結晶としてはＬＬＮｂＯｓ結晶を用い、前
述した第１、第２の実施例と同様に、粉砕、沈降分離、
シラン力・ツブリング剤による表面親油性化処理等を行
なって、ＬＬＮｂＯｓ粉末粒子を得る。First, a LLNbOs crystal was used as the pyroelectric crystal, and the same procedures as in the first and second embodiments were carried out by crushing, sedimentation, and separation.
LLNbOs powder particles are obtained by performing surface lipophilic treatment using a silane force and a bubbling agent.

これを、たとえばトリクロルエチレン等の液中に、超音
波を加えながら十分に分散してコロイド液とする。この
トリクロルエチレン中に、たとえば（固形）パラフィン
を約０．１重量％程度予め添加しておいてもよい０ 次に、第７図に示すように、加熱台４１上に石英板４２
等の電気絶縁板を載置し、この石英板４２上に、電極と
もなる基板４３を載置する。この基板４３は、ガラス板
４３ａの一表面上に、透明導電性のネサ膜ＣＳ、Ｏ２膜
）４５′を被着形成したものであシ、このネサ膜４５を
電極として図中上方約５簡程度の対向する位置に、たと
えば金網状電極４６を配設し、これらのネサ膜４５の電
極と金網状電極４６との間に直流電源４８を挿入接続し
ている。そして、これらの電極間にたとえば約２ＫＶ程
度の直流電圧を印加して電界を形成し、上記コロイド液
をスプレーノズル４７を介して、この電界が形成された
空間に雲霧する。ここで、第７図においては、上記金網
状電極４６の外側にスプレーノズル４７の噴出口を配し
ているが、金網状電極４６とネサ膜電極４５との間に上
記噴出口を配してもよい。This is sufficiently dispersed in a liquid such as trichlorethylene while applying ultrasonic waves to form a colloidal liquid. For example, about 0.1% by weight (solid) paraffin may be added in advance to this trichlorethylene. Next, as shown in FIG.
A substrate 43 which also serves as an electrode is placed on this quartz plate 42. This substrate 43 has a transparent conductive NESA film CS, O2 film) 45' deposited on one surface of a glass plate 43a. For example, wire mesh electrodes 46 are disposed at positions facing each other, and a DC power source 48 is inserted and connected between the electrodes of the Nesa membrane 45 and the wire mesh electrodes 46. Then, a DC voltage of about 2 KV, for example, is applied between these electrodes to form an electric field, and the colloidal liquid is atomized through the spray nozzle 47 into the space where this electric field is formed. Here, in FIG. 7, the spout of the spray nozzle 47 is arranged outside the wire mesh electrode 46, but the jet nozzle is arranged between the wire mesh electrode 46 and the Nesa membrane electrode 45. Good too.

このようにしてスプレーノズル４７から噴出すれた上記
コロイド液は、トリクロルエチレンの雲霧時の気化熱に
よシ分散粒子であるＬｉ、ＮｂＯ５粉末粒子が冷却され
、また、基板４３のネサ膜４５上に到達したときも、加
熱台１１の加熱により）リクロルエテレンが蒸発して気
化熱が奪われ、冷却される。すなわち、加熱台１１は、
たとえば約２００℃に加熱してトリクロルエチレンを蒸
発させるために設けられるものであ’）、Ｌ＝ＮｂＯｓ
粉末粒子は常に降温変化を受ける。この降温時に、前述
した焦電効果によシ各ＬＬＮｂ　Ｏａ粉末粒子に電気双
極子が表われ、上記電界によって焦電軸が極性を含めて
配向（極性配向）されながら、基板１３のネサ膜１５上
に積層される。そして、積層された粒子層の厚さが、た
とえば約０．２ｍとなった時点で雲霧を停止し、冷却後
に基板１３ごと取出せばよい。In the colloidal liquid spouted from the spray nozzle 47 in this way, the Li and NbO5 powder particles, which are dispersed particles, are cooled by the heat of vaporization during atomization of trichlorethylene, and the colloidal liquid is sprayed onto the Nesa film 45 of the substrate 43. When the temperature reaches the temperature, the lychlorethylene is evaporated (by the heating of the heating table 11), the heat of vaporization is taken away, and it is cooled. That is, the heating table 11 is
For example, it is provided to evaporate trichlorethylene by heating to about 200°C'), L=NbOs
Powder particles are constantly subjected to temperature changes. During this temperature drop, an electric dipole appears in each LLNb Oa powder particle due to the pyroelectric effect described above, and while the pyroelectric axis is oriented including the polarity (polar orientation) by the electric field, the NESA film 15 of the substrate 13 is oriented. layered on top. Then, when the thickness of the laminated particle layer reaches, for example, about 0.2 m, the atomization may be stopped, and the entire substrate 13 may be taken out after cooling.

この実施例における焦電軸の配向は、次のような作用に
よるものと考えられる。すなわ・ち、コロイド液の雲霧
粒は、雲霧された時点で多数のＬｊＮｂ　Ｏｓ結晶粒子
を含むが、その後のトリクロルエチレンの蒸発による、
気化熱で急冷されるために、焦電効果によシ、上記結晶
粒子は液粒の中でそれぞれ焦電軸に対応した電気双極子
を持つ。これが印加電界のもとで配向するとともに、ト
リクロルエチレン液は蒸発して、各雲霧粒は配向したＬ
ＬＮｂ０３粒子から成る２次粒子となって、基板電極上
に積層するものである。The orientation of the pyroelectric axis in this example is considered to be due to the following effect. That is, the colloidal liquid cloud particles contain a large number of LjNb Os crystal particles at the time of atomization, but due to the subsequent evaporation of trichlorethylene,
Since the crystal particles are rapidly cooled by the heat of vaporization, each of the crystal particles has an electric dipole corresponding to the pyroelectric axis within the liquid droplet due to the pyroelectric effect. As this becomes oriented under the applied electric field, the trichlorethylene liquid evaporates and each cloud droplet becomes oriented with L
Secondary particles consisting of LNb03 particles are layered on the substrate electrode.

次に、結合剤としては、加熱によシ最終的にガラス組成
となるような混合物質の溶液を用いる。Next, as the binder, a solution of a mixed substance that will eventually form a glass composition upon heating is used.

この溶液は、たとえば、 無水ホウ酸（Ｂ２０３）　　・・・３．４８　ｆ酢酸鉛
　　　　　　　・・・１　Ｂ、９６　ｆ（ｐｂ　（ＣＨ
３Ｃ０ｘ）２・３Ｈ２０）水（Ｈ２Ｏ）°・・１００を 酢酸（ＣＨ３ＣＯＯＨ）　　−−−少量（＜ｌｆ）を混
合して得られる水溶液である０ ここで、上記多結晶焦電体の結晶粒子表面は、親油性と
なっているため、たとえば約４５０℃で加熱処理してシ
ランカップリング剤を分解蒸発し、表面を親水性化した
後に、上記混合水溶液を十分に含浸させる。そして、自
然乾燥した後、たとえば電気炉内で約４８０℃、３０分
の加熱を行なうことに、よシ、ＬＬＮｂＯｓ結晶粒子層
はガラス融着されて、結合力の強固な複合焦電体が得ら
れる。このガラス融着による強化によっても、焦電特性
の低下は特に認められない。This solution contains, for example, boric anhydride (B203)...3.48 flead acetate...1 B, 96 f(pb (CH
3CO Since it is lipophilic, it is heat-treated at, for example, about 450° C. to decompose and evaporate the silane coupling agent and make the surface hydrophilic, and then it is sufficiently impregnated with the mixed aqueous solution. After air drying, the LLNbOs crystal particle layer is glass-fused by heating at about 480°C for 30 minutes in an electric furnace, for example, to obtain a composite pyroelectric material with strong bonding strength. It will be done. Even with this reinforcement by glass fusion, no particular deterioration of the pyroelectric properties was observed.

この第３の実施例によれば、ガラス粒子を分散したコロ
イド液を含浸させる場合に、結晶粒子層の隙間をガラス
粒子が塞ぐことによって内部まで十分に浸み込ませるこ
とができないことに比較して、気泡等の混入のない均質
なガラス材料の含浸が行なえ、また、焦電性結晶粒子の
充填密度が高く、焦電特性の優れた複合焦電体を製造す
ることができる。According to this third embodiment, when impregnating a colloidal liquid in which glass particles are dispersed, the glass particles close the gaps in the crystal particle layer, making it impossible to sufficiently penetrate into the interior. As a result, a homogeneous glass material can be impregnated without inclusion of air bubbles, etc., and a composite pyroelectric material having a high packing density of pyroelectric crystal particles and excellent pyroelectric properties can be manufactured.

この第３の実施例に用いた多結晶焦電体を、前述の電気
泳動電着法によって得てもよいことは勿論である。また
、結合剤としては、加熱によシ上記ホウ酸鉛系のガラス
組成を形成する混合溶液の他に、たとえばホウ酸亜鉛系
、ホウ酸バシウム系、リン酸アルミアルカリ系、ケイ酸
アルカリ鉛系等のガラスとなる混合溶液を用いることも
できる。Of course, the polycrystalline pyroelectric material used in this third embodiment may be obtained by the electrophoretic electrodeposition method described above. In addition, as a binder, in addition to the mixed solution that forms the above-mentioned lead borate glass composition when heated, examples of binders include zinc borate, basium borate, alkali aluminum phosphate, and alkali lead silicate. It is also possible to use a mixed solution that forms glass.

また、水溶液に、エチルアルコールや石鹸等を微量添加
することによシ、水溶液が結晶粒子層に授み込み易くな
ることが確認されている。Furthermore, it has been confirmed that adding a small amount of ethyl alcohol, soap, etc. to the aqueous solution makes it easier for the aqueous solution to penetrate into the crystal particle layer.

さらに、上記コロイド液の雲霧のためにスプレィノズル
を用いたが、この代シに超音波による雲霧装置（いわゆ
る加湿器）を用いてもよく、この超音波雲霧装置を用い
た場合には、長時間の安定な雲霧が可能となって、さら
に均質性の′良好な極性配向されたＬＬＮｂＯｓ粒子層
を得ることができる。Furthermore, although a spray nozzle was used to atomize the colloidal liquid, an ultrasonic atomizing device (so-called humidifier) may be used instead. Time-stable atomization becomes possible, and a polar-oriented LLNbOs particle layer with good homogeneity can be obtained.

また、粒子に与える温度変化としては、気化熱による降
温変化の代わりに、昇温変化を与えてもよい０In addition, as for the temperature change given to the particles, instead of the temperature drop change due to the heat of vaporization, a temperature increase change may be given.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図Ａ、Ｂは焦電効果を説明するだめの模式的な説明
図、第２図は電気泳動電着法を説明するための概略断面
図、第３図は本発明の第１の実施例を説明するための断
面図、第４図は焦電体の試験装置の一例を示す概略断面
図、第５図は第４図の装置により得られる電流信号の一
例を示すタイムチャート、第６図は本発明の第２の実施
例を説明するための断面図、第７図は本発明の第３の実
施例を説明するための断面図である。 １・・・焦電体結晶粒子 ２・・・分散液 ３．４，１３，１４・・拳電極板 １５．１６，４５・・・ネサ膜 １８．４８・・・直流電源 ２１・・・電着粒子層 ３１・拳・発熱体 ４３・・・電極基板 ４６・・・金網状電極 ４７・・・スプレーノズル 特許出願人　ソニー株式会社 代理人　弁理士　小　池　　　晃 同　　　　　　　　　１）　　村　　榮　　　−１１４
ρ 第５ｓ＋ Ｗ＆６聞 第７ａｍFigures 1A and B are schematic explanatory diagrams for explaining the pyroelectric effect, Figure 2 is a schematic cross-sectional diagram for explaining the electrophoretic electrodeposition method, and Figure 3 is a first embodiment of the present invention. 4 is a schematic sectional view showing an example of a pyroelectric testing device; FIG. 5 is a time chart showing an example of a current signal obtained by the device shown in FIG. 4; FIG. The figure is a sectional view for explaining the second embodiment of the invention, and FIG. 7 is a sectional view for explaining the third embodiment of the invention. 1... Pyroelectric crystal particles 2... Dispersion liquid 3.4, 13, 14... Fist electrode plate 15.16, 45... Nesa membrane 18.48... DC power supply 21... Electric Adhesive particle layer 31, fist, heating element 43...electrode substrate 46...wire mesh electrode 47...spray nozzle patent applicant Sony Corporation representative patent attorney Kodo Koike 1) Sakae Mura -114
ρ 5th s + W & 6th period 7am

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 基板上に焦電軸を配向した状態で焦電性結晶粒子を積層
して多結晶焦電体層を得る工程と、該多結晶焦電体層に
結合剤を含浸する工程とより成る複合焦電体の製造方法
。A composite pyroelectric material comprising the steps of: obtaining a polycrystalline pyroelectric layer by laminating pyroelectric crystal particles on a substrate with the pyroelectric axis oriented; and impregnating the polycrystalline pyroelectric layer with a binder. Electrical body manufacturing method.