JPS58196404A - タッチ信号プロ−ブ - Google Patents

タッチ信号プロ−ブ

Info

Publication number
JPS58196404A
JPS58196404A JP57079678A JP7967882A JPS58196404A JP S58196404 A JPS58196404 A JP S58196404A JP 57079678 A JP57079678 A JP 57079678A JP 7967882 A JP7967882 A JP 7967882A JP S58196404 A JPS58196404 A JP S58196404A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
stationary plate
fixed
ball
contactor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP57079678A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0210881B2 (ja
Inventor
Yoshiro Kanda
神田 芳郎
Hironori Noguchi
宏徳 野口
Tadashi Ikeda
正 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd filed Critical Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
Priority to JP57079678A priority Critical patent/JPS58196404A/ja
Priority to US06/491,573 priority patent/US4516327A/en
Priority to DE19833317299 priority patent/DE3317299A1/de
Priority to GB08312895A priority patent/GB2120388B/en
Publication of JPS58196404A publication Critical patent/JPS58196404A/ja
Publication of JPH0210881B2 publication Critical patent/JPH0210881B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/002Constructional details of contacts for gauges actuating one or more contacts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
    • G01B7/012Contact-making feeler heads therefor

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はタッチ信号ブロー!、特に被測定物との接触を
電気的に検出するタッチ信号プローブの改良に関するも
のである。
測定基盤上に載置された被測定物の大きさ及び形状を測
定する3次元測定機あるいは工作機械の刃物台と被加工
物との位置を測定する装置が周知であり、これらの測定
装置においては、被測定物に対して任意の方向に移動可
能な移動台にタッチ信号グローブが装着される。該タッ
チ信号グローブは、被測定物との接触により電気的信号
を出力し、測定機の正確な測定作用を行なわせる。
この種のタッチ信号プローブは、接触子が被測定物と接
触したときに傾動して接触検出作用を行ない、またその
後の被測定物との離脱時には高精度の測定を維持するた
めに正確に原点復帰されなければならない。従来のタッ
チ信号グローブは、被測定物と接触する接触子が傾動お
よび上下動自在にプローブケース内に収容保持されてお
り、該接触子が被測定物と接触し上下動或いは傾動した
ときにこの接触が電気的に検出され所望の測定作用が行
なわれる。
そして、従来、前記プローブとして各種の形式が提案さ
れているが、これらの従来のタッチ信号プローブにおい
ては、主として接触子がばね等の手段によって所定方向
に付勢され、その静止状態での位置決めが行なわれてい
るが、これらの従来のタッチ信号プローブでは、接触子
を所定の静止位置に保持するために、複雑な構造を必要
としかつ加工が煩雑となり、またこの静止が不安定とな
り、測定精度に悪影響を与える等問題があった。
また、従来のタッチ信号グローブは、同一部材、同一付
勢手段を用いて上下方向位置規制および横方向位置規制
を行なっていたため、その両方向の位置規制が相互に干
渉する等してその規制が十分でなく、このため、位置ず
れが生じ正確な原点復帰が困難であり、測定誤差が生じ
る等の欠点があった。
さらに、従来のタッチ信号プローブにおいては、接触子
の原点復帰静止状態を良好にすると接触子のオーバスト
ロークが小さくなり、原点復帰静止状態とオーバストロ
ークとの両方を良好にすることができないという問題が
あった。
さらに、従来のタッチ信号グローブにおいては、グロー
ブが大型化・大重量化するという問題があった。そして
、このため、グローブを装着する移動台を強固にしなけ
ればならず、測定装置のコストが高くなり、また、操作
性が悪化するという問題があった。
本発明は前記従来の課題に鑑み為されたものであり、そ
の目的は極めて簡単な構造で安定した正確な接触子の原
点復帰静止状態を得ることができ、かつ、接触子のオー
バストロークを拡大することができ、さらに、グローブ
を小型化可能な改良されたタッチ信号グローブを提供す
ることにある、。
前記目的を達成するために、本発明は、被測定物に接触
する接触子を傾動および上下動自在に保持するプローブ
ケースと、移動台に着脱するシャンクを有しプローブケ
ースの上端部に固定された上受台と、前記接触子の上端
部を固定保持しグローブケース内に収容された定置板と
、グローブケースの底部に固定され前記定置板を保持す
る下受塵と、前記定置板に固定され該定置板の横力向に
横周縁が突出固定された1個の当接球及び1個の係合球
と、デローブケー、スに固定され前記当接球に当接して
定置板の横方向の移動を規制する横受座と、プローブケ
ースに固定され前記係合球が2個所で当接する係合溝を
有し定置板の横方向の位置を規制する保合塵と、前記定
置板にほぼ等角間隔に固定され該定置板の下方向に下周
縁が突出固定された3個の接点球と、該接点球に対応し
て下受塵に固定された3個の固定接点と、定置板を下受
塵に押圧付勢する第1付勢手段と、定置板を横受座及び
係合塵に押圧付勢する第2付勢手段と、を含むことを特
徴とする。
以下、図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する
第1.2図には、本発明に係るタッチ信号プローブの好
適な第1実施例が示されている。
図において、上端が開放した円筒筒状のプローブケース
10の上端開放部には、はぼ円板蓋状の上受台12がネ
ジ111!L、1ltlにより固定されており、この上
受台12には図示されていない移動台との着脱作用を行
うためのシャンク14が上方に向って突設されていゐ。
グローブケース10のシャンク14と反対側圧は、開口
16が形成され、接触子軸18が、該開口16を貫通し
、プローブケース10に対して傾動自在に保持されてい
る。プローブケース10内には定置板20が収容され、
定置板20に前記接触子軸18が固定されている。また
、前記接触子細1Bの先端には、接触子22がネジ23
によシ着脱自在に固定されているので、所望の接触子2
2を固定することができる。さらに、接触子22の突出
端には、被測定物と轟接するが−ル24が密着固定され
ている。
前記定置板20をプローブケース10内に正しく位置決
め収容するために、本発明においては、定置板20の傾
動位置および上下動位置がそれぞれ別個の位置規制部材
によって規制されている。
すなわち、定置板20の上下動位置は、定置板20の下
面を位置決め保持する下受塵により、また、定置板2G
の傾動位置は、定置板20の側面を位置決め保持する横
受座及び保合塵によって支持されている。以下、接触子
軸18(定置板20)の傾動及び上下動自在の保持につ
いて説明する。
接触子軸18の上端部に社、はぼ五角柱形状の定置板2
Gが設けられ、定置板20の一側面には、定置板20の
横方向に横周縁が突出する当接味26が固定され、さら
に、定置板20の他の側面には、定置板200横方向に
横周縁が突出する係合球28が係合球支持腕30を介し
て固定されている。
そして、プローブケース10には、帥記当接球26と当
接して定置板20の横方向の移動を規制する横受座32
がネy341L、34klによシ固定され、また、前記
係合球28の2個所で当接する保合溝36!Lを有し定
置板20の横方向の位置を規制する係合塵36がネジ3
ga、381)Kよ如固定されている。したがって、描
接球26が横受座32と轟接し、係合球2Bが係合塵3
6の係合溝36tLの2個所で当接するので、定置板2
0の横方向を3点支持することが可能となり、定置板2
0の横方向の移動を規制することができる。
また、定置板200下面には、定置板20の下方向に下
周縁が突出する3個の接点味40a、40t)。
400がほぼ等角間隔に固定され、また、プローブケー
スlOの底面には、帥記接点球40a、40t)。
40Qと当接し円形板から成る下受塵42がネジ44a
、441Cよ)固定されている。したがって、接点味4
0a、40b、40Qが下受塵42の下受座面421L
と当接するので、定置板20の上下方向を3点支持する
ととが可能となり、定置板2Gの上下方向の移動を規制
することができる。
なお、当接味26、係合球28、及び接点味40 &、
 40 b%40 cハ球状テsc、横受座32、係合
溝36&及び下受座面42&の接触面は平面であるので
、当接味26、係合球2B、接点味401L、40tl
、400.横受座32、係合溝361L及び下受座面4
2aは、加工が容易でかつ安価となる。また、当接味2
6、係合球28及び接点味40a、40b、40Cがそ
れぞれ横受座32、係合溝36a及び下受座面42B−
の接触面を滑動するので、接触面がクリーニングされ導
通不良が生じない。
帥記下受座42、横受座32及び係合塵36によって保
持された定置板20の乱動を防止し、かつ定置板の傾動
復帰を行なうため、定置板20を下受塵42、横受座3
2及び係合塵B6に付勢する第1、第2両付勢手段が設
けられており、以下、第1、第2両付勢手段について説
明する。
接点味40&、401)、40Cの下周縁を下受塵42
の下受座面42aに押圧付勢するためK。
第1付勢手段が設けられ、実施例においては、第1付勢
手段は、一端が定置板20の両端部に装着され他端が下
受塵42に取り付けられた2個の引張バネ46a1・4
61)と、上受台12と定置板20との間に挿入された
押圧バネ48と、から成る。
すなわち、定置板20を下受座面42&に押圧付勢する
第1付勢手段は、第1.2図に示されるように1一端が
定置板20の両端部に装着され他端が下受塵42に取付
けられ定置板20を下受座面421Lに引張り付勢する
2個の引張バネ46a1461)と、一端が上受台12
の中央部に係合され他端が安置板20の中央部に係合さ
れて定置板20を下受座面42aに押圧付勢する押圧バ
ネ48と、から形成されている。なお、抑圧バネ48の
付勢力を調節可能にするために、上受台12に杜、抑圧
バネ48の一端部を受けているバネ受け5Gと、該バネ
受け50を上下動する調整ネジ52とが設けられており
、調整ネジS2の進退位置を調整することによって、抑
圧バネ48の付勢力を調節することができる。
また、当接味26、係合球2Bの横周縁をそれぞれ横受
座32、係合溝36aに押圧付勢するために1第2付勢
手段が設けられ、実施例においては、第2村勢手段は、
その一端が定置板20に固定されその他端がグローブケ
ース10に固定された引張バネ54かも成る。すなわち
、定置板20を横受座32及び係合塵36に押圧付勢す
る第2村勢手段は、第1.2図に示されるように、一端
が定置板200両側面2G&、2011の先端側面部2
00に係合され他端がグローブケース10のバネ受は部
56に固定された引張バネ54から成る。なお、引張バ
ネ54の付勢力を調整可能にするために、!ローブケー
ス10.llf:は、バネ受は部56と、該バネ受は部
56内に調整固定され引張バネ54の他端が取シ付けら
れたバネ受はネジ58とが設けられており、バネ受はネ
ジ5Bの進退位置を調整することKよって、引張バネ5
4の付勢力を調節することができる。
したがって、定置板20は、上述のように、上下動かつ
傾動自在にゾロープケース10内に保持されることとな
る。
なお、実施例においては、定置板20の引張バネ54と
反対の側面からはストツ/譬片6Gが突設し、グローブ
ケース10の下受塵42には前記ストン2片60と係合
するストン/ぐ受片62が設けられ、ストン/9片60
とストツノ譬受片62との保合により、定置板20の過
傾動を防止し、接触子軸18の過傾動を防止することが
できる。すなわち、ストツノ譬片60は、棒状の胴部6
4と該胴部64の一端に設けられ丸板状の頭部66とか
ら成り、胴部64の先端部64aが定置板20に嵌合固
定され、また、ストン・臂受片62は、その中央部に係
合溝62aを有するブロック形状から成り、ストッパ受
片62はネジs8a、5sblcよシ下受座42に固定
されている。そして、ストツル4受片62の係合溝62
&にストツノ前片60の胴部64が遊挿されており、ス
トン2片60の頭部66の裏面は、ストッパ受片62の
端面62aに対向配置されている。このため、第1図に
おいて、定置板20が紙面の表裏方向に傾動したときに
は、ストン/f片60の胴部64がストッパ受片62の
溝壁に係合して定置板20の過傾動が阻止される。
また、定置板20が前記表裏方向と直交するA方向に傾
動したときには、ストン/9片600頭部66の裏面が
ストツノ9受片62の端面621)K当接係合し、定置
板20の過傾動が防止される。
以上のように、接触子軸18の傾動及び上下動自在の保
持が可能となり、当接味26、係合球28の横周縁及び
接点球4 G &、 40 b、 400の下周縁によ
って接触子軸18の静止位置を定置することができる。
そして、本発明においては、接触子22(接触子軸1g
)を固定する定置板20の上下方向位置規制と横方向位
置規制とを別個に分離して、かつ、定置板20側には、
上下方向及び横方向の保合をそれぞれ行なう丸め、下周
縁を有する接点球40!L、40b、40C及び横周縁
を有する当接味26、係合球28を設けたので、簡単な
構造で良好な原点復帰静止状態及び安定した位置決めを
行なえるという利点がある。
次に、接触子軸18の先端に固定された接触子22と被
測定物との接触を検出するための検出手段についで説明
する。
実施例においては、各接点球4Qa、4Qb。
400と下受座面421Lとで主接点組を形成している
。すなわち、下受塵42の下受座面421Lには、前記
接点球40a、401)、40(!+7)下周縁にそれ
ぞれ当接する下固定接点70a、70b。
700が埋め込み固定され、接点球401L、401)
400及び下固定接点70tL、70b、70Qによシ
タッチ信号ゾローブの主接点組が形成される。
さらに、実施例においては、当接味26、係合球28と
横受座32、係合塵36とで補助接点組を形成している
。すなわち、横受座32には、前記当接味26の横周縁
に当接する補助固定接点72が埋め込み固定され、係合
塵36の係合溝36Lには、前記係合球28の横周縁に
当接する2個の補助固定接点74a、741)が埋め込
み固定され、当接味26、係合球28及び補助固定接点
72.74a、741)Icよりタッチ信号プローブの
補助接点組が形成される。
この結果、上記3組の主接点組及び3組の補助接点組に
よりタッチ信号プローブの6組の接点組が形成され、測
定精度を高めるととができる。すなわち、接触子軸1B
の微小の傾動を検出できるので、瞬時の検知性が向上す
る。また、接触子の原点復帰を正確に検出することがで
きる。
そして、各接点味40B−14011,400と各下固
定接点70a、70b、70Gとを交互に直列配置し、
また、当接味26、係合球28と各補助固定接点72.
74a、74t)とを交互に直列配置し、前記主接点組
及び補助接点組により直列囲路を形成しているので、接
触子軸18の先端に固定された接触子22と被測定物と
の接触を、接触検出器(図示せず)Kより検出すること
が可能となる。すなわち、接触子22の被測定物との非
接触状紳においては、(接点味401L、下固定接点7
01)、(接点味40b1下固定接点70b)、(接点
味400、下固定接点7oe)の3個の主接点組が全て
当接し、かつ、(当接味26、補助固定接点72)、(
係合球28、補助固定接点74a)、(係合球28、補
助固定接点74b)の3組の補助接点組が全て当接して
いるので、接触検出器は導通状態にあり、接触子22が
被測定物と接触すると、接触子軸18が傾動あるいは上
下動し、3組の主接点組、3個の補助接点組のうちいず
れか1個の接点組が開離する。したがって、接触検出器
は非導通状態となり、これにより、接触子22と被測定
物との接触を正確に検出することが可能となる。
本発明の実施例は以上の構成から成り、以下その作用を
説明する。
第1.2図において、接触子22は、引張バネ46a、
46t)、押圧バネ4B及び引張バネ54により傾動及
び上下i自在に保持され、また、引張バネ46a、46
t)、押圧バネ48及び引張バネ54により、接点味4
0a−140b、40(!(7)下周縁が下受座面42
1Lに接触し、当接味26、係合球2Bの横周縁が横受
座32、係合塵36に接触するので、接触子22の静止
位置を定置するととができる。さらに、(接点味401
L、下固定接点70a)、(接点味40b1下固定接点
70b)、(接点体40C1下固定接点700)の3個
の主接点組が全て当接し、かつ、(当接味26、補助固
定接点72)、(係合球28、補助固定接点74a)、
(係合球28、補助固定接点74b)の3組の補助接点
組が全て当°接しているので、接触検出器は導通状態に
ある。
そして、接触子軸18の先端に固定された接触子22が
被測定物に接触すると、前述したように、接触子軸1B
が傾動あるいは上下動し、3個の主接点組、3組の補助
接点組のうちいずれか1個の接点組が開離するので、接
触検出器により骸接触を検出することができる。この時
、接触子軸18は、移動台がオーバランしたとして本グ
ローブケース10Kfiして傾動することがで診るので
、接触子軸1B、接触子22が損傷を受けることを防止
することかできる。さらに、ストッパ片60及びストン
・ぐ受片62により、接触子軸18の所定角度以上の傾
動が規制されるので、引張バネ46a146b1押圧バ
ネ48及び引張バネ54のひずみ、破損を防止すること
ができる。
そして、接触子22が被測定物から離脱すると、接触子
軸18は、引張バネ46a、46b、押圧バネ48及び
引張バネ54の付勢力によって迅速に中立位置に復元し
、再び、当接味26、係合球28の横周縁が横受座32
、係合塵36に接触し、接点味40a、40b、40(
!の下周縁が下受塵42の下受座面42aに接触する。
これKよシ、接触子軸18が静止位置く定置するととも
に、接触検出器は当接状態に復帰する。
以上のように、本発明の第1実施例によれば、きわめて
簡単な構造で接触子の良好な原点復帰静止状態及び接触
子の安定した静止状態を得ることができる。また、接触
子のオーバストロークを拡大することができる。さらに
、グローブの姿勢が制限を受けることがない。
また、定置板の上下方向の移動を規制する下受座と、定
置板の横方向の移動を規制する横受座及び保合座が別個
独立に設けられ、さらに、定置板は、第1、第2両付勢
手段によって相互に干渉することなく、前記下受座及び
横受座、保合座にそれぞれ付勢されてずれることなく位
置決め保持されるため、定置板、すなわち接触子の安定
した正確な原点復帰静止状態を得ることができ、測定精
度を高める仁とが可能である。
なお、第1夾施例によれば定置板の上下方向と横方向の
それぞれの移動が別個独立の位置規制部材により行なわ
れるため測定圧、すなわち接触子と被測定物との接触圧
を小さくかつそれぞれを最適圧に調整することができ、
また、定置板および接触子の自重圧よる傾動量を防止で
きるのでプローブの姿勢に制限を受けることなく正確な
測定を行なうことができる。さらに1各位置規制部材に
は、別個独立に第1、第2付勢手段が設けられており、
このため、許容傾動量を大きくしても瞬時の原点復帰が
得られ、いわゆる全方向のオーバラン値を大にできる利
点がある。
また、第1実施例によれば定置板、下受座、横受座、保
合座は前述したように平板等によシ極めて簡単な構造に
形成でき、タッチ信号グローブの部品製作が極めて容易
化されると共に1前述の如く、定置板の位置規制は、上
下方向と横方向とを別個独立としておシ、仁の両者間に
特別の相関関係を有しない丸め、この両者間の相対位置
を超高精度のもとに組立る必要がなく、タッチ信号グロ
ーブを安価に提供することが可能である。
さらに、第1実施例圧おいては、第1付勢手段は、2個
の引張シばねと1個の押圧ばねとで形成されているが、
押圧ばねを省略し定置板の両端部に設けた2個の引張シ
ばねのみによって形成するととも可能である。
また、本発明の第1実施例によれば、小型かつ軽量のタ
ッチ信号グローブを提供することができる。したがって
、グローブを装着する移動台を強固にする必要がないの
で、測定装置のコストが低くなり、また、操作性が向上
する。
さらに、第1実施例においては、3組の主接点組及び3
組の補助接点組によシタッチ信号プローブの接点組を形
成しているが、3組の主接点組、3組の補助接点組のい
ずれか一方によりタッチ信号グローブの接点組を形成す
るととも可能である。
さらに、第1実施例において、横受座32、係合座36
により、定置板20(接触子軸18)の横方向の移動を
規制することができるだけで力く、定置板2G(接触子
軸18)のプローブ軸回りの回動を防止することができ
る。
f[3図には、本発明の第2実施例が示されておシ、第
4図Kidその断面が示されている。
第2実施例においては、当接球26の下周縁を接点体の
1個400として用いている。すなわち、定置板20に
は、接点体40a、40bがそれぞれ接点球支持腕76
a、76m)を介して固定され、さらに、尚接球26(
接点体49O)、係合球28がそれぞれ当接球支持腕7
B、保合球支持腕30を介して固定されている。そして
、接点体40a140bの下周縁及び尚接球26の下周
縁、横周縁係合球28の横周縁によって、接触子軸18
の静止位置を定置するととができる。し九がって、当接
球26によって2方向の支持を行なわせているので、4
個の球で確実な定置作用を行なわせることができ、タッ
チ信号グローブの小型化を達成することができる。
そして、第2実施例においても、第1実施例と同様に、
極めて簡単な構造で接触子の良好な原点復帰静止状態及
び接触子の安定した静止状態を得ることができ、さらに
、接触子のオーバストロークを拡大することができる。
第5図には、本発明の@3夾実施が示されており、第6
図にはその断面が示されている。
第3実施例においては、当接球26の下周縁を接点体の
1個+OCとして用い、さらに、係合球28の下周縁を
接点体の1個401)として用いている。すなわち、定
置板20には、接点体401Lが接点球支持腕76aを
介して固定され、さらに1当接球26(接点体40C)
、係合球28(接点体40b)がそれぞれ当接球支持腕
フ8、係合球支持腕30を介して固定されている。そし
て、接点法40&の下周縁及び当接球26の下周縁、横
周縁係合球28の下周縁、横周縁によって、接触子軸1
Bの静止位置を定置することができる。したがって当接
球26によって2方向の支持を行なわせ、さらに、係合
球28によって2方向の支持を行なわせているので、3
個の球で確実な定置作用を行なわせることができ、タッ
チ信号グローブの小型化を達成することができる。なお
、第6図において、引張バネ54は、係合球支持腕30
と当接球支持腕78との間のどこに配置してもよい。
そして、第3実施例においても、第1実施例と同様に、
極めて簡単な構造で接触子の良好な原点復帰静止状態及
び接触子の安定した静止状態を得ることができ、さらに
、接触子のオーバストロークを拡大することができる。
さらに、第5.6図の第3実施例においても、3組の主
接点組及び3組の補助′接点組によシ、タッチ信号グロ
ーブの接点組を形成することが可能である。すなわち、
当接球26(接点法400)の下周縁、係合球28(接
点法4ob)の下周縁及び接点法40aの下周縁によっ
て、3組の主接点組を形成し、当接球26(接点法40
C)の横周縁及び係合球28(接点法4ob)の横周縁
によって、3組の補助接点組を形成することができる。
そして、3組の主接点組と3組の補助接点組とを直列に
接続した場合には、接触子の原点復帰を正確に検出する
ことが可能となる。
なお、第7図には、本発明の第4実施例が示されており
、第3実施例と同様に、接点法40aの下周縁及び当接
球26の下周縁、横周縁、係合球28の下周縁、横周縁
によって、接触子軸18の静止位置を定置することがで
きる。そして、第4実施例においては、当接球支持腕7
Bと保合球支持腕30とを平行に設けているので、タッ
チ信号グローブの小型化をさらに達成することができる
以上説明したように、本発明に係るタッチ信号j グローブによれば、゛極めて簡単な構造で接触子の良好
な原点復帰静止状態及び接触子の安定した静止状態を得
る仁とができ、さらに、小型かつ軽量のタッチ信号グロ
ーブを得ることができる。さらに、接触子のオーバスト
ロークを拡大することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るタッチ信号プローブの好適な第1
実施例を示す要部断面図、 第2図は第・1図のト」断面図、 第3図は第2実施例の要部断面図、 第4図は第3図のff−If断面図、 第5図は第3実施例の要部断面図゛、 第6図は第5図のVl−Vl断面図、 J@7図は第4実施例の要部断面図である。 各図中同一部材には同一符号を付し、 IQ−一・グローブケース、 12・・・上受台   14・・・シャンク、18・・
・接触子軸、  20・・・定置板、22・・・接触子
、   26・−・当接球、2B・・・係合球、   
32・・・横受座、36−・・係合座、   36&・
・・係合溝、401L、40t)、40e−・・接点法
、42・・・下受座、 46a、46k)−・・引張ハネ、 48・・・押圧バネ、  54・・・引張バネ、701
L、 70 b、 70 C・・・下固定接点。 特開昭58−196404 (8) 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 +1)  被測定物に接触する接触子を傾動および上下
    動自在に保持するグローブケースと、移動台に着脱する
    シャンクを有し7’o−ブケースの上端部に固定された
    上受台と、前記接触子の上端部を固定保持しプローブケ
    ース内に収容された定置板と、プローブケースの底部に
    固定され前記定置板を保持する下受座と、前記定置板に
    固定され骸定置板の横方向に横周縁が突出固定された1
    個の当接球及び1個の係合球と、プローブケースに固定
    すれvJ紀当接球に当接して定置板の横方向の移動を規
    制する横受座と、グローブケースに固定され前記係合球
    が2個所で当接する係合溝を有し定置板の横方向の位置
    を規制する保合座と、前記定置板にはぼ等角間隔に固定
    され該定置板の下方向に下周縁が突出固定された3個の
    接点球と、該接点球に対応して下受座に固定された3個
    の固定接点と、定置板を下受座に押圧付勢する第1付勢
    手段と、定置板を横受座及び係合座忙押圧付勢する第2
    付勢手段と、を含むことを特徴とするタッチ信号プロー
    ブ。   “ (2、特許請求の範囲(り記載のタッチ信号プローブに
    おいて、定置板の尚接球の下周縁を接点球の1個に用い
    たことを特徴とするタッチ信号プローブ。 (3)  特許請求の範囲(1)記載のタッチ信号グロ
    ーブにおいて、定置板の当接球の下周縁及び係合球の下
    周縁を接点球の2個に用いたことを特徴とするタッチ信
    号プローブ。
JP57079678A 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ Granted JPS58196404A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57079678A JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ
US06/491,573 US4516327A (en) 1982-05-11 1983-05-04 Touch signal probe
DE19833317299 DE3317299A1 (de) 1982-05-11 1983-05-11 Beruehrungs-signalsonde
GB08312895A GB2120388B (en) 1982-05-11 1983-05-11 Touch signal probe

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57079678A JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58196404A true JPS58196404A (ja) 1983-11-15
JPH0210881B2 JPH0210881B2 (ja) 1990-03-12

Family

ID=13696852

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57079678A Granted JPS58196404A (ja) 1982-05-11 1982-05-11 タッチ信号プロ−ブ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4516327A (ja)
JP (1) JPS58196404A (ja)
DE (1) DE3317299A1 (ja)
GB (1) GB2120388B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03122308U (ja) * 1990-03-26 1991-12-13
CN108534667A (zh) * 2018-04-09 2018-09-14 浙江大学 一种多点触发的平面度误差检测装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2573865B1 (fr) * 1984-11-23 1989-04-28 Commissariat Energie Atomique Dispositif de retour automatique d'un plateau mobile a sa position de repos et palpeur multidirectionnel utilisant ce dispositif
US4625417A (en) * 1985-06-17 1986-12-02 Gte Valeron Corporation Probe with stylus pressure adjustment
DE3640160A1 (de) * 1986-11-25 1988-06-01 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf
US4752166A (en) * 1987-01-02 1988-06-21 Manuflex Corp. Probing device
US4778313A (en) * 1987-05-18 1988-10-18 Manuflex Corp. Intelligent tool system
CH672370A5 (ja) * 1987-09-15 1989-11-15 Tesa Sa
CH674485A5 (ja) * 1988-03-11 1990-06-15 Saphirwerk Ind Prod
DE3842151A1 (de) * 1988-12-15 1990-06-21 Zeiss Carl Fa Tastkopf vom schaltenden typ
US5212872A (en) * 1989-03-31 1993-05-25 Reinshaw Plc Touch probe
US5491904A (en) * 1990-02-23 1996-02-20 Mcmurtry; David R. Touch probe
DE9117226U1 (de) * 1991-01-08 1997-09-04 Haimer, Franz, 86568 Hollenbach Mehrkoordinaten-Tastmeßgerät
GB9106731D0 (en) * 1991-03-28 1991-05-15 Renishaw Metrology Ltd Touch probe
ATE111590T1 (de) * 1991-07-26 1994-09-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Mehrkoordinaten-tastkopf.
US5146689A (en) * 1992-01-29 1992-09-15 Maromatic Company, Inc. Key reading method and apparatus
US7073271B2 (en) * 2002-02-14 2006-07-11 Faro Technologies Inc. Portable coordinate measurement machine
US6925722B2 (en) * 2002-02-14 2005-08-09 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with improved surface features
US6973734B2 (en) * 2002-02-14 2005-12-13 Faro Technologies, Inc. Method for providing sensory feedback to the operator of a portable measurement machine
USRE42082E1 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
US7881896B2 (en) 2002-02-14 2011-02-01 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US7519493B2 (en) * 2002-02-14 2009-04-14 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6952882B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-11 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine
US7246030B2 (en) * 2002-02-14 2007-07-17 Faro Technologies, Inc. Portable coordinate measurement machine with integrated line laser scanner
US6957496B2 (en) * 2002-02-14 2005-10-25 Faro Technologies, Inc. Method for improving measurement accuracy of a portable coordinate measurement machine
DE102005015890B4 (de) 2005-02-24 2007-05-03 Wolfgang Madlener Tastfühler
DE102005015889B4 (de) * 2005-02-24 2010-01-07 M & H Inprocess Messtechnik Gmbh Tastfühler
US8091142B2 (en) * 2005-04-26 2012-01-03 Microsoft Corporation Supplementary trust model for software licensing/commercial digital distribution policy
JP5179760B2 (ja) * 2007-02-05 2013-04-10 株式会社ミツトヨ 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機
WO2012098355A1 (en) 2011-01-19 2012-07-26 Renishaw Plc Analogue measurement probe for a machine tool apparatus
CN110940245A (zh) * 2019-12-10 2020-03-31 深圳市润泽机器人有限公司 位置校准装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH521601A (fr) * 1970-02-16 1972-04-15 Genevoise Instr Physique Palpeur bidirectionnel de mesure de déplacements
GB1445977A (en) * 1972-09-21 1976-08-11 Rolls Royce Probes
GB1447613A (en) * 1973-06-14 1976-08-25 Rolls Royce Probes
DE2346031C2 (de) * 1973-09-12 1975-08-07 Kugelfischer Georg Schaefer & Co, 8720 Schweinfurt Meßkopf für Koordinatenmeßmaschinen
CH563009A5 (ja) * 1973-09-14 1975-06-13 Maag Zahnraeder & Maschinen Ag
IT1028674B (it) * 1975-06-19 1979-02-10 Finike Italiana Marposs Apparecchiatura per la misura di errori di concentricita relativi a due superfici di rotazione
GB1568053A (en) * 1975-10-04 1980-05-21 Rolls Royce Contactsensing probe
IT1088539B (it) * 1976-12-24 1985-06-10 Rolls Royce Sonda per l'uso in apparecchi di misura
DD141197A1 (de) * 1978-12-27 1980-04-16 Horst Donat Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke
JPS5920642Y2 (ja) * 1979-08-28 1984-06-15 株式会社 三豊製作所 タツチ信号プロ−ブ
SU913031A1 (ru) * 1980-06-30 1982-03-15 Viln Exni I Metall Измерительная головкаi

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03122308U (ja) * 1990-03-26 1991-12-13
CN108534667A (zh) * 2018-04-09 2018-09-14 浙江大学 一种多点触发的平面度误差检测装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0210881B2 (ja) 1990-03-12
GB2120388A (en) 1983-11-30
DE3317299C2 (ja) 1993-08-26
GB2120388B (en) 1985-12-04
DE3317299A1 (de) 1983-11-17
US4516327A (en) 1985-05-14
GB8312895D0 (en) 1983-06-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS58196404A (ja) タッチ信号プロ−ブ
US3869799A (en) Universal multi-coordinate sensor
JP2911753B2 (ja) 多座標接触系で異なった接触力の比率を検出して補償する校正方法
US10514393B2 (en) Gimbal assembly test system and method
US9869347B2 (en) Slide guide unit and surveying instrument
US7142313B2 (en) Interaxis angle correction method
US5154002A (en) Probe, motion guiding device, position sensing apparatus, and position sensing method
US7099008B2 (en) Alignment adjuster of probe, measuring instrument and alignment adjusting method of probe
EP3736527B1 (en) Surface shape measurement device
JP3216085U (ja) 位置検出装置および治具
JP4053156B2 (ja) 光学素子の面間の位置関係を測定する装置に用いる光学素子を保持する保持具
JPH0131924Y2 (ja)
CN107179040B (zh) 直径测量装置及测量设备
US4567672A (en) Coordinate measuring instrument
CN209181685U (zh) 竖向测量水平读数游标式厚度测量器
JPH0131923Y2 (ja)
JPS60302A (ja) 測定機
TWI714449B (zh) 快速量測模組
JP2738178B2 (ja) 傾斜軸の角度測定装置
Ramprasad et al. SIMPLE KINEMATIC BI-AXIAL TRANSLATION STAGE
US11969845B2 (en) Quick measurement module
JP6974274B2 (ja) 形状測定方法および形状測定装置
JPH0548082Y2 (ja)
JP3335098B2 (ja) 形状測定機の位置精度検査装置
JPH06185908A (ja) 接触式プローブ