JPS5819556A - 超音波顕微鏡用音波探触子 - Google Patents
超音波顕微鏡用音波探触子Info
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- JPS5819556A JPS5819556A JP56117523A JP11752381A JPS5819556A JP S5819556 A JPS5819556 A JP S5819556A JP 56117523 A JP56117523 A JP 56117523A JP 11752381 A JP11752381 A JP 11752381A JP S5819556 A JPS5819556 A JP S5819556A
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- wave
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/221—Arrangements for directing or focusing the acoustical waves
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波顕微鏡に適用し超音波の送受を行なう音
波探触子に関するものである。
波探触子に関するものである。
超音波顕微鏡には反射型、透過盤等があり、反射型にも
１つの音波探触子により超音波の送受を行ない試料を走
査するものや、試料の被観察面に対して２つの音波探触
子を所定の角度に配置し・一方の探触子より射出した超
音波を他方の探触子で受けて試料の走査を行なうものが
ある。このような構成の１１ｉｖ１１１超音波顕微鏡に
使用する音波探触子としては例えば特開昭Ｕ−Ｊ？参ｏ
ｉ号公報に示されたものがある。第７図に示すように送
波側と受渡・側の２つの音波探触子／＆、／ｂを互いに
所定の角度をなすように傾け、音波探触子／＆、／ｂの
夫々の音響レンズＪＩＬ、コｂが共に同一の焦点！を有
するように配置されている・音波探触子／ＪＬ。
１つの音波探触子により超音波の送受を行ない試料を走
査するものや、試料の被観察面に対して２つの音波探触
子を所定の角度に配置し・一方の探触子より射出した超
音波を他方の探触子で受けて試料の走査を行なうものが
ある。このような構成の１１ｉｖ１１１超音波顕微鏡に
使用する音波探触子としては例えば特開昭Ｕ−Ｊ？参ｏ
ｉ号公報に示されたものがある。第７図に示すように送
波側と受渡・側の２つの音波探触子／＆、／ｂを互いに
所定の角度をなすように傾け、音波探触子／＆、／ｂの
夫々の音響レンズＪＩＬ、コｂが共に同一の焦点！を有
するように配置されている・音波探触子／ＪＬ。
／ｂは夫々送波用伝搬素子Ｊａ、受渡用伝搬素子Ｊｂ・
、。
、。
の一端に夫々電気信号を超音波に変換する送波用のトラ
シスデューサ亭ａと、母音波を電気信号に変換する受渡
用のＦランスデエーサ参すとが設けられ、他端には夫々
送ｉ用の音響レンズ２ａ”、受波用の音響レンズコｂが
形成されている。２つの音波探触子の共焦点１に超音波
伝達媒体ｊ（例えば液体）を介して観察すべき試料ｔが
配置されている０このような構成の音波探触子による動
作は送波用トランスユーサダａに印加された１１ｇＩＩ
信号は送波用トランデユー′を参ａにより超音波に変換
され、この超音波は送波用の伝搬素子Ｊａ内を伝搬し、
送波用音響レンズ２ａにより射出され超音波伝達媒体！
を介して焦点Ｆに集束する。焦点！で試料乙により反射
される超音波等を焦点ｔを共有するように設けた受渡用
音響レンズ２ｂにて集音する。
シスデューサ亭ａと、母音波を電気信号に変換する受渡
用のＦランスデエーサ参すとが設けられ、他端には夫々
送ｉ用の音響レンズ２ａ”、受波用の音響レンズコｂが
形成されている。２つの音波探触子の共焦点１に超音波
伝達媒体ｊ（例えば液体）を介して観察すべき試料ｔが
配置されている０このような構成の音波探触子による動
作は送波用トランスユーサダａに印加された１１ｇＩＩ
信号は送波用トランデユー′を参ａにより超音波に変換
され、この超音波は送波用の伝搬素子Ｊａ内を伝搬し、
送波用音響レンズ２ａにより射出され超音波伝達媒体！
を介して焦点Ｆに集束する。焦点！で試料乙により反射
される超音波等を焦点ｔを共有するように設けた受渡用
音響レンズ２ｂにて集音する。
試料≦は図示しない走査装置により探触子と相対運動を
行なう０この超音波は受波用伝搬素子３ｂ内を伝搬して
受渡用トランスデューサダｂに達し、ここで超音波から
電気信号に変換される。この信号を処理することにより
試料面の像を得ることができる。
行なう０この超音波は受波用伝搬素子３ｂ内を伝搬して
受渡用トランスデューサダｂに達し、ここで超音波から
電気信号に変換される。この信号を処理することにより
試料面の像を得ることができる。
しかし、このような構成の音波探触子では、２つの音波
探触子を所定の角度で接近して配置しなければならず音
響レンズの焦点距離をはじめ音波探触子の寸法を制限し
なければならない欠点があると共に、不明確な焦点位置
を共有するように２つの音波探触子を配置しなければな
らず調節が非常に雌かしくなる。特に一旦調節を行なっ
ても音波探触子と試料との間に満たす超音波伝達媒体を
興なる種類のものに交換すると、その超音波伝達媒体中
での音速が異なるため焦点位置が移動し再調節の必要が
ある。このような焦点位置への位置決めは試料について
も同様であり調節を内鑵にしている。また、２つの音波
探触子が互いに共焦点となるよう調節するには複雑な調
節機構を必要とするため、試料の画像を得る場合の試料
の走査は音波探触子側を駆動させることは内鑵なため試
料側のみを走査振動だせることになる。このため試料は
その振動に耐えれるように大きざや重量等の制限を受け
るという欠点がある。
探触子を所定の角度で接近して配置しなければならず音
響レンズの焦点距離をはじめ音波探触子の寸法を制限し
なければならない欠点があると共に、不明確な焦点位置
を共有するように２つの音波探触子を配置しなければな
らず調節が非常に雌かしくなる。特に一旦調節を行なっ
ても音波探触子と試料との間に満たす超音波伝達媒体を
興なる種類のものに交換すると、その超音波伝達媒体中
での音速が異なるため焦点位置が移動し再調節の必要が
ある。このような焦点位置への位置決めは試料について
も同様であり調節を内鑵にしている。また、２つの音波
探触子が互いに共焦点となるよう調節するには複雑な調
節機構を必要とするため、試料の画像を得る場合の試料
の走査は音波探触子側を駆動させることは内鑵なため試
料側のみを走査振動だせることになる。このため試料は
その振動に耐えれるように大きざや重量等の制限を受け
るという欠点がある。
ざらに、超音波顕微鏡に使用する音波探触子の他の例と
しては特開昭＃ −１１６０１１号明細書に示されるも
のがある。この明細書の音波探触子を第２図に示す。図
において第１図と同様の部分に同一の符号を付け、同様
の構成と動作の説明を省略する。は埋プリズム形をした
一体の送波・受渡伝搬素子ｌに、送波用と受渡用の各々
のトランスデューサダａ、＊ｂが互いに９００の角度を
なすように設けられている。＠／図と同様にこれらトラ
ンスデユーサ参ａ、ダｂに対応して形成される夫々の音
曹しンズコａ、λｂは同一の焦点！を共有している。・
このような構成の音波探触子では、送波側と受渡側の伝
搬素子を一体にしであるため探触子側を移動させて走査
することは比較的容易であり、この場合試料にＳさられ
る大きざや重量等の制限は除去される。しかｔ第１図に
示した従来例の上述した欠点以外の欠点に加えてλつの
音響レンズの軸がデＯ０に交わり、かつ共焦点となるよ
うな送波・受渡伝搬素子の製造がかなり醸しいという欠
点がある。
しては特開昭＃ −１１６０１１号明細書に示されるも
のがある。この明細書の音波探触子を第２図に示す。図
において第１図と同様の部分に同一の符号を付け、同様
の構成と動作の説明を省略する。は埋プリズム形をした
一体の送波・受渡伝搬素子ｌに、送波用と受渡用の各々
のトランスデューサダａ、＊ｂが互いに９００の角度を
なすように設けられている。＠／図と同様にこれらトラ
ンスデユーサ参ａ、ダｂに対応して形成される夫々の音
曹しンズコａ、λｂは同一の焦点！を共有している。・
このような構成の音波探触子では、送波側と受渡側の伝
搬素子を一体にしであるため探触子側を移動させて走査
することは比較的容易であり、この場合試料にＳさられ
る大きざや重量等の制限は除去される。しかｔ第１図に
示した従来例の上述した欠点以外の欠点に加えてλつの
音響レンズの軸がデＯ０に交わり、かつ共焦点となるよ
うな送波・受渡伝搬素子の製造がかなり醸しいという欠
点がある。
本発明の目的は上述した欠点を除去し複数個の電気−音
波変換部材の位置調節を簡単にするよう適切に構成した
超音波顕微鏡用の音波探触子を提供しようとするもので
ある〇 本発明は音波伝搬素子の一端に電気−音響トランスデユ
ーサを設け、４他端に同一の曲率の曲面より成る音響レ
ンズを形成した少なくとも２つの電気−音波変換部材を
中心軸に対称°にかつ前記各音響レンズが前記中心軸上
に同一の焦点を有するように互いに音波分離体を介して
一体に結合し、前記中心軸に対しそ一方の変換部材な送
波側として他方の変換部材を受渡側として夫々独立に使
用することを特徴とするものである。
波変換部材の位置調節を簡単にするよう適切に構成した
超音波顕微鏡用の音波探触子を提供しようとするもので
ある〇 本発明は音波伝搬素子の一端に電気−音響トランスデユ
ーサを設け、４他端に同一の曲率の曲面より成る音響レ
ンズを形成した少なくとも２つの電気−音波変換部材を
中心軸に対称°にかつ前記各音響レンズが前記中心軸上
に同一の焦点を有するように互いに音波分離体を介して
一体に結合し、前記中心軸に対しそ一方の変換部材な送
波側として他方の変換部材を受渡側として夫々独立に使
用することを特徴とするものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明による超音波顕微鏡用音波探触子の一例
の構成の外観を示す斜視図である。斜照射型の音波探触
子デは中心軸に対称に参つの電気−音波変換部材ｌａ＆
、 １０ｂ、 ／Ｄｏ、 ／σｄをは埋円筒状に一体に
して構成されている。各々の音波探触子ｔｏａ−ｔｏｃ
ｌは中心軸について送波側の電気−音波変換部材ＩＯ＆
、１０６に対して反対側に夫々受波側の電気−音波変換
部材／（Ｉｂ、１０ｅｉが配置されている。
の構成の外観を示す斜視図である。斜照射型の音波探触
子デは中心軸に対称に参つの電気−音波変換部材ｌａ＆
、 １０ｂ、 ／Ｄｏ、 ／σｄをは埋円筒状に一体に
して構成されている。各々の音波探触子ｔｏａ−ｔｏｃ
ｌは中心軸について送波側の電気−音波変換部材ＩＯ＆
、１０６に対して反対側に夫々受波側の電気−音波変換
部材／（Ｉｂ、１０ｅｉが配置されている。
第参図（６）、Φ）および幹）、は夫々第３図の斜照射
型音波探触子の平面図、底面図およびｓ！Ａ−ムで切断
して示す断面図である。ｓ参図（〜に示すように参つの
電気−音波変換部材７０ａ−１０ａの上部−面に夫々金
チタン、アルミニつ＾、り田−ム等の下部電極／Ｊａ、
／ｌ、 ／２０． ／Ｊｄ ｔ ８着し、これら下部
電極７２１−／Ｊｄの上の中心付近に、夫々４１１１３
’ａ円の形状をした酸化亜鉛等の薄膜状の圧電体ｌＪ＆
、／Ｊｂ。
型音波探触子の平面図、底面図およびｓ！Ａ−ムで切断
して示す断面図である。ｓ参図（〜に示すように参つの
電気−音波変換部材７０ａ−１０ａの上部−面に夫々金
チタン、アルミニつ＾、り田−ム等の下部電極／Ｊａ、
／ｌ、 ／２０． ／Ｊｄ ｔ ８着し、これら下部
電極７２１−／Ｊｄの上の中心付近に、夫々４１１１３
’ａ円の形状をした酸化亜鉛等の薄膜状の圧電体ｌＪ＆
、／Ｊｂ。
／１０，１３６１ｇ設け、ざらｉｃ コｎら圧電体／Ｊ
ＩＬ−／Ｊｄの上に夫々円形の上部電極ｌ参ａ、／参す
、／亭０．／参ｄを設ける。これら圧電体を挾む上下の
電極は各々トランスデユーサを構成する。即ち、送波側
の電気−音波変換部材１０＆、／Ｄｏの上部に夫々送波
用のトランスデユーサ／３＆、／１０を、受渡側の電気
−音波変換部材１０ｂ、ＩＯａの上部に夫々送波用のト
ランスデユーサ／！ｂ、／ｊｃ１を、％ｌ１ＩＩ′＠亀
気＼普箇変換部階〜”％％Ｎ％％形成している。参つの
電気−音波変換部材１０＆−／Ｄａは互いに干渉するこ
となく独立して作物するように音波分離体ｎを挾んで一
体に成形する。音波分離体ｎは高分子材料または音波探
触子の音波伝搬素子の音響特性が大きく興なる材料等よ
り成り、音波゛探触子で送受する音響エネルギを吸収ま
たは反射する。第Ｏ帥）および（０）に示すように参つ
の電気−音波変換部材１０ａ〜１０ｄの底面には夫々す
７アイヤ等の音波伝搬素子／９＆、／９ｂ。
ＩＬ−／Ｊｄの上に夫々円形の上部電極ｌ参ａ、／参す
、／亭０．／参ｄを設ける。これら圧電体を挾む上下の
電極は各々トランスデユーサを構成する。即ち、送波側
の電気−音波変換部材１０＆、／Ｄｏの上部に夫々送波
用のトランスデユーサ／３＆、／１０を、受渡側の電気
−音波変換部材１０ｂ、ＩＯａの上部に夫々送波用のト
ランスデユーサ／！ｂ、／ｊｃ１を、％ｌ１ＩＩ′＠亀
気＼普箇変換部階〜”％％Ｎ％％形成している。参つの
電気−音波変換部材１０＆−／Ｄａは互いに干渉するこ
となく独立して作物するように音波分離体ｎを挾んで一
体に成形する。音波分離体ｎは高分子材料または音波探
触子の音波伝搬素子の音響特性が大きく興なる材料等よ
り成り、音波゛探触子で送受する音響エネルギを吸収ま
たは反射する。第Ｏ帥）および（０）に示すように参つ
の電気−音波変換部材１０ａ〜１０ｄの底面には夫々す
７アイヤ等の音波伝搬素子／９＆、／９ｂ。
／９０．／９（１が表われる。これら音波伝搬素子／９
ａ〜／９ａの底面の所定位置に夫々音響レンズ２１ａ、
ｘｂ。
ａ〜／９ａの底面の所定位置に夫々音響レンズ２１ａ、
ｘｂ。
Ｊｏ、ｘｄを形成する。これら音響レンズ−ａ、Ｊｄお
よび音波分離体１７の表［１ｆｔ形状はその中心軸上の
一点を中心とする球面となっている０従ってこれら参つ
の音響レンズＭ＆−：ｌｌＣｌはその中心軸上＋７）
一点を同一の焦点として、同−焦点距一を有する共焦点
構ｍ′！−持つ。
よび音波分離体１７の表［１ｆｔ形状はその中心軸上の
一点を中心とする球面となっている０従ってこれら参つ
の音響レンズＭ＆−：ｌｌＣｌはその中心軸上＋７）
一点を同一の焦点として、同−焦点距一を有する共焦点
構ｍ′！−持つ。
第３図はＩＩＩ参図（０）を拡大して示す断面図である
。
。
音波伝搬素子／９＆、／９ｂの底面の音響レンズＪＪＪ
１７１）は、軸線方向に夫々上部電極１＊＆、Ｉ＃ｂの
下方に位置するみこの音波探触子により観察を行なう際
には、音波探触子の音響レンズと観察すべき試料との間
に液体の音波伝達媒体Ｊを充填して観察！に童かれ□る
。中心軸線上で音波伝搬素子の上面と音波分離体の最端
部との距離１は、例えばフレネル焦点長ざをｌとして ρ２ ノー＝ｒ ρ富トランスデエーサの半径 λＸ伝搬素子内での超音波の波長 のように定める。
１７１）は、軸線方向に夫々上部電極１＊＆、Ｉ＃ｂの
下方に位置するみこの音波探触子により観察を行なう際
には、音波探触子の音響レンズと観察すべき試料との間
に液体の音波伝達媒体Ｊを充填して観察！に童かれ□る
。中心軸線上で音波伝搬素子の上面と音波分離体の最端
部との距離１は、例えばフレネル焦点長ざをｌとして ρ２ ノー＝ｒ ρ富トランスデエーサの半径 λＸ伝搬素子内での超音波の波長 のように定める。
このような構成の斜照射型の音波探触子の動作を説明す
る。送波用のトランスデユーサＩｊ＆、／３０に高周波
電気信号を印加し超音波に変携する。この超音波は送波
用の夫々ａ音波伝搬素子／９ｔＬ、／ツ０内を平面波と
して伝搬し、夫々送波用音響レンズ、ｖａ、 ｘａよう
音波伝達媒体〃中に射出され焦点Ｆに集束する。超音波
は試料面で吸収、散乱反射するものと、試料面上の法線
に対して臨界角をなして入射へ４し試料表面を極部的に
伝搬する過程で再放射されるものになる。これらの超音
波のうち受波用音響レンズ°に集音されたものは受渡伝
搬素子／９ｂ、／９ａ内を平面波として伝搬し、夫々受
波用トランスデユーサ／ｊｂ、／ｊ（１により高周波電
気信号に変換され、信号処理部に送られる。送波側の音
波探触子と受渡側の音波探触子は互いに直角に配置され
るので試料面と音波探触子を相対的に移動して走査して
この電気信号を処理することにより試料表面の２次元像
を得ることができる〇各音響レンズと試料との間に満た
した音波伝達媒体Ｊを種々のものに取換えると、音波伝
達媒体の中の音速の違いによって音響レンズの焦点距離
は変化する、が、変化した焦点位置が各音響レンズにと
って共焦点であることには変りなく、超音波の射出、試
料面上での反射、反射波の集音については何ら変ること
がない。
る。送波用のトランスデユーサＩｊ＆、／３０に高周波
電気信号を印加し超音波に変携する。この超音波は送波
用の夫々ａ音波伝搬素子／９ｔＬ、／ツ０内を平面波と
して伝搬し、夫々送波用音響レンズ、ｖａ、 ｘａよう
音波伝達媒体〃中に射出され焦点Ｆに集束する。超音波
は試料面で吸収、散乱反射するものと、試料面上の法線
に対して臨界角をなして入射へ４し試料表面を極部的に
伝搬する過程で再放射されるものになる。これらの超音
波のうち受波用音響レンズ°に集音されたものは受渡伝
搬素子／９ｂ、／９ａ内を平面波として伝搬し、夫々受
波用トランスデユーサ／ｊｂ、／ｊ（１により高周波電
気信号に変換され、信号処理部に送られる。送波側の音
波探触子と受渡側の音波探触子は互いに直角に配置され
るので試料面と音波探触子を相対的に移動して走査して
この電気信号を処理することにより試料表面の２次元像
を得ることができる〇各音響レンズと試料との間に満た
した音波伝達媒体Ｊを種々のものに取換えると、音波伝
達媒体の中の音速の違いによって音響レンズの焦点距離
は変化する、が、変化した焦点位置が各音響レンズにと
って共焦点であることには変りなく、超音波の射出、試
料面上での反射、反射波の集音については何ら変ること
がない。
第４図は８１Ｊ図に示す斜照射型の音波探触子の一例の
使用方法を説明するための線図である０送波側の電気−
音波変換部材１０＆、１００と受渡側の電気−音波変換
部材１０ｂ、１０（１の下に試料ｎを配置する。受渡側
の変換部材１０ｂ、１０（１は夫々別個の表示装置２１
、２ｓに接続する・表示装置Ｍ、Ｂはそれぞれ音波変
換部材１０ｂ、／Ｄｅｎから発生される電気信号に基い
て試、斜面の像を表示する。このような構成の装置で、
試料Ｂの２次元走査を行なえば試料の特性のため走査方
向によって音波の反射状態が変化する場合、例えば試料
が方向性を有、する結晶であり、試料の同一部分におけ
る表示装置２１．Ｈの像に、鮮明である方向と不群明で
ある方向が生じるような場合に、試料に方向性があるこ
とが解る。
使用方法を説明するための線図である０送波側の電気−
音波変換部材１０＆、１００と受渡側の電気−音波変換
部材１０ｂ、１０（１の下に試料ｎを配置する。受渡側
の変換部材１０ｂ、１０（１は夫々別個の表示装置２１
、２ｓに接続する・表示装置Ｍ、Ｂはそれぞれ音波変
換部材１０ｂ、／Ｄｅｎから発生される電気信号に基い
て試、斜面の像を表示する。このような構成の装置で、
試料Ｂの２次元走査を行なえば試料の特性のため走査方
向によって音波の反射状態が変化する場合、例えば試料
が方向性を有、する結晶であり、試料の同一部分におけ
る表示装置２１．Ｈの像に、鮮明である方向と不群明で
ある方向が生じるような場合に、試料に方向性があるこ
とが解る。
また、このような場合に２つの受渡側の電気−音波１＋
侠部材の信号を組合わせて１つの表示装置に表示すれば
試料の方向性にかかわらず試ｐ＃表面のより鮮明な１像
を得ることができる０また試料面の＠転に対しては送波
側の電気−音波変換部材の出力を同一にして直交する２
つの走向方向に配電した受渡側の電気−音波変換部材の
出力信号を重畳させて信号処理を行なうことにより、試
料面の回転にかかわらず得られる１像の変化をなくすこ
とができる・ ９７図は本発明による超音波顕微鏡用音波探触子の池の
例の構成を線図的に示す斜視図である。
侠部材の信号を組合わせて１つの表示装置に表示すれば
試料の方向性にかかわらず試ｐ＃表面のより鮮明な１像
を得ることができる０また試料面の＠転に対しては送波
側の電気−音波変換部材の出力を同一にして直交する２
つの走向方向に配電した受渡側の電気−音波変換部材の
出力信号を重畳させて信号処理を行なうことにより、試
料面の回転にかかわらず得られる１像の変化をなくすこ
とができる・ ９７図は本発明による超音波顕微鏡用音波探触子の池の
例の構成を線図的に示す斜視図である。
上述した実施例では２次元走査を行なう斜照射型の音波
探−子を示したが、ここでは従来例のような１次元走査
を行なう斜照射型の音波探触子スを示す。１１７図に示
した斜、照射型の音波探触子と同一部分に同一の符号を
付け、同様の構成と動作の説明を省略する。本例では１
個の送波側の電気−音波変換部材１０＆と受渡側の１個
の電気−音波変換部材１０ｂは音波分離体７７′ｆ：介
して一体に構成され、中心軸に対して対称である。
探−子を示したが、ここでは従来例のような１次元走査
を行なう斜照射型の音波探触子スを示す。１１７図に示
した斜、照射型の音波探触子と同一部分に同一の符号を
付け、同様の構成と動作の説明を省略する。本例では１
個の送波側の電気−音波変換部材１０＆と受渡側の１個
の電気−音波変換部材１０ｂは音波分離体７７′ｆ：介
して一体に構成され、中心軸に対して対称である。
なお本発明による斜照射型の音波探触子の外形ははば円
柱状のものとしたが、これに限定されることなく角柱状
にしても良い。
柱状のものとしたが、これに限定されることなく角柱状
にしても良い。
以上の説明から明らかなように、本発明による斜照射型
の音波探触子によれば、参つまたは２つの電気−音波変
換部材の音響レンズが常に同一の焦点距離を有し、同一
の焦点を共有するよう、構成したので、観察に際して個
々の音波探触子を互い４に同一の焦点位置な有するよう
に、調節する必要がなく、音速の異なる種々の音波伝達
媒体を取換えて使用しても各電音−レンズが共焦点を有
することには変りがないため、従来のように再度焦点調
節をしないで済むという効果がある０また、複数の電気
習音波変換部材を一体に構成したため各変換部材間のス
ペースを省くことかで＠装置の小を化が可岬となると共
に、試料−像を得るための走査は音波探触子１Ｉｒｔ走
査移動させることができ、試料に大ｔざ、重量等の５ｅ
ａｔ加えることがな（なるという効果がある。
の音波探触子によれば、参つまたは２つの電気−音波変
換部材の音響レンズが常に同一の焦点距離を有し、同一
の焦点を共有するよう、構成したので、観察に際して個
々の音波探触子を互い４に同一の焦点位置な有するよう
に、調節する必要がなく、音速の異なる種々の音波伝達
媒体を取換えて使用しても各電音−レンズが共焦点を有
することには変りがないため、従来のように再度焦点調
節をしないで済むという効果がある０また、複数の電気
習音波変換部材を一体に構成したため各変換部材間のス
ペースを省くことかで＠装置の小を化が可岬となると共
に、試料−像を得るための走査は音波探触子１Ｉｒｔ走
査移動させることができ、試料に大ｔざ、重量等の５ｅ
ａｔ加えることがな（なるという効果がある。
ざらに、個々お電気−音波変換部材の焦点が同一である
ため、音波探触子を観察したい試料の観察位置に容易に
焦点合せできる効果もあるＯざら□に試料表面を２次元
走査するので試料表面についてコ組の情報に基づき試料
の方向性の有無が解ると共に、これら２組の受渡信号を
組み合せて又は重畳させて信号処理を行なうことにより
、１次元走査に比べて試料の方向性や回転にもかかわら
ず安定した１像が得られ、試料の観察が正確となる利点
がある。
ため、音波探触子を観察したい試料の観察位置に容易に
焦点合せできる効果もあるＯざら□に試料表面を２次元
走査するので試料表面についてコ組の情報に基づき試料
の方向性の有無が解ると共に、これら２組の受渡信号を
組み合せて又は重畳させて信号処理を行なうことにより
、１次元走査に比べて試料の方向性や回転にもかかわら
ず安定した１像が得られ、試料の観察が正確となる利点
がある。
第１図は従来の超音波顕微鏡に適用する音波探触子の一
例の構成を示すｆｌｉｉ図、第２ｖ４は従来の超音波ｌ
ｌ景−に適用する音波探触子の池の例の構成を示す線図
、第３図は本発明による超音波顕微鏡用音波探触子の一
例の構成の外観を示す斜視図１＠４１図（〜、Φ）およ
び（０）は夫々９７図の音波探触子の平＠１図、底面図
および線Ａ−ムで切断して示讐断Ｗ１図、第５図は第１
−）を拡大して示す断面図、１１４図は第３図に示す斜
照射型の音波探峡子の−゛方法説明するための線図、第
７図は本 発明による超音波顕微鏡用音波探鯨子の他の例の構成を
線図的に示す斜視図である。 ９・・・斜照射−の音波探触子、１０＆−１０ａ・・・
電気−／２１〜／２ａ−・・下部電極、／１＆ 〜１１
６−争・圧電体、ｉ亭ａ〜ｔ９ａ−・・上部電極、／ｊ
５Ｌ 〜／３ｅｉ−？ランスデエーサ、１７・・・音波
分離体、／９＆−／９（１・・・音波伝搬素子、２７５
Ｌ−ｒｄ・・・音響レンズ。 特許出履人 オリンパス光学工業株式会社第５図 第６図 第７ｒ？：Ｉ
例の構成を示すｆｌｉｉ図、第２ｖ４は従来の超音波ｌ
ｌ景−に適用する音波探触子の池の例の構成を示す線図
、第３図は本発明による超音波顕微鏡用音波探触子の一
例の構成の外観を示す斜視図１＠４１図（〜、Φ）およ
び（０）は夫々９７図の音波探触子の平＠１図、底面図
および線Ａ−ムで切断して示讐断Ｗ１図、第５図は第１
−）を拡大して示す断面図、１１４図は第３図に示す斜
照射型の音波探峡子の−゛方法説明するための線図、第
７図は本 発明による超音波顕微鏡用音波探鯨子の他の例の構成を
線図的に示す斜視図である。 ９・・・斜照射−の音波探触子、１０＆−１０ａ・・・
電気−／２１〜／２ａ−・・下部電極、／１＆ 〜１１
６−争・圧電体、ｉ亭ａ〜ｔ９ａ−・・上部電極、／ｊ
５Ｌ 〜／３ｅｉ−？ランスデエーサ、１７・・・音波
分離体、／９＆−／９（１・・・音波伝搬素子、２７５
Ｌ−ｒｄ・・・音響レンズ。 特許出履人 オリンパス光学工業株式会社第５図 第６図 第７ｒ？：Ｉ
Claims (1)
- Ｌ 音波伝搬素子の一端に電気−音響トランスデユーサ
ｒｔｅけ、他端に同一の曲率の曲面より成る音響レンズ
を形成した少なくともλつの電気−音波変換部材を、中
心軸に対称にかつ前記各音響レンズが前記中心軸上に同
一の焦点［−Ｈするように互いに音波分離体を介して一
体に結合し、前記中心軸に対して一方の変換部材を送波
側として他方の変換部材を受渡側として夫々独立に使用
することを特徴とする超音波顕微鏡用音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56117523A JPS5819556A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡用音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56117523A JPS5819556A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡用音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5819556A true JPS5819556A (ja) | 1983-02-04 |
Family
ID=14713878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56117523A Pending JPS5819556A (ja) | 1981-07-27 | 1981-07-27 | 超音波顕微鏡用音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5819556A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63293462A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-11-30 | Koji Toda | 超音波装置 |
| JPS63302361A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-09 | Koji Toda | 超音波走査装置 |
| JPS63302362A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-09 | Koji Toda | 超音波撮像装置 |
| JPS63308557A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Koji Toda | 超音波顕微鏡 |
| JPH0273104U (ja) * | 1988-11-22 | 1990-06-04 | ||
| JPH05338605A (ja) * | 1992-06-03 | 1993-12-21 | Teraoka Seisakusho:Kk | 筒状フイルム片の自動装着方法及び装置 |
| JP2021511485A (ja) * | 2018-01-26 | 2021-05-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325389A (en) * | 1976-08-22 | 1978-03-09 | Noritaka Nakahachi | Vhf band ultrasonic focusing recess transducer |
-
1981
- 1981-07-27 JP JP56117523A patent/JPS5819556A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5325389A (en) * | 1976-08-22 | 1978-03-09 | Noritaka Nakahachi | Vhf band ultrasonic focusing recess transducer |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63293462A (ja) * | 1987-05-27 | 1988-11-30 | Koji Toda | 超音波装置 |
| JPS63302361A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-09 | Koji Toda | 超音波走査装置 |
| JPS63302362A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-09 | Koji Toda | 超音波撮像装置 |
| JPS63308557A (ja) * | 1987-06-10 | 1988-12-15 | Koji Toda | 超音波顕微鏡 |
| JPH0273104U (ja) * | 1988-11-22 | 1990-06-04 | ||
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| JP2021511485A (ja) * | 2018-01-26 | 2021-05-06 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 基板上のターゲット構造の位置を決定するための装置及び方法 |
| US11927891B2 (en) | 2018-01-26 | 2024-03-12 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and methods for determining the position of a target structure on a substrate |
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