JPS58186984A - 高分子圧電フイルムの製造方法及び装置 - Google Patents
高分子圧電フイルムの製造方法及び装置Info
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- JPS58186984A JPS58186984A JP57068744A JP6874482A JPS58186984A JP S58186984 A JPS58186984 A JP S58186984A JP 57068744 A JP57068744 A JP 57068744A JP 6874482 A JP6874482 A JP 6874482A JP S58186984 A JPS58186984 A JP S58186984A
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- piezoelectric
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/098—Forming organic materials
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、フッ化ビニリゾ/系樹脂を素材とした高分子
圧電フづルムO製造方法及び装置K11lするものであ
る。
圧電フづルムO製造方法及び装置K11lするものであ
る。
圧電材料は、一般にオーディオ用トランスシューす(ヘ
ッドホーン、マイクロホーン)、医1M用トランスゾエ
ーす、#i音波用トランスゾユーサ。
ッドホーン、マイクロホーン)、医1M用トランスゾエ
ーす、#i音波用トランスゾユーサ。
物場計欄用トランスシューす、感圧素子、その他の圧電
性を応用した工業分野に広く利用されている。エネルイ
ー変換機能として知られる圧電性は。
性を応用した工業分野に広く利用されている。エネルイ
ー変換機能として知られる圧電性は。
対称中心を持たない結晶体の性質として知られており、
現在実用化されている圧電体の主なものは水晶、ロッシ
ェル塩、PZT (ジルコン酸鉛系セラミツタス)など
の−一材料より成るものであるが、これらの材料は硬く
てしかも脆いので成形加工に限度があり、そのため無機
材料によって薄くて大面積の圧電材料を製造することが
非常に困―であ夛、まして柔軟性のある圧電材料の製造
社不可能である。
現在実用化されている圧電体の主なものは水晶、ロッシ
ェル塩、PZT (ジルコン酸鉛系セラミツタス)など
の−一材料より成るものであるが、これらの材料は硬く
てしかも脆いので成形加工に限度があり、そのため無機
材料によって薄くて大面積の圧電材料を製造することが
非常に困―であ夛、まして柔軟性のある圧電材料の製造
社不可能である。
これに対して特定の^分子材料をエレクトレット化する
ととKより、薄くて柔軟性のある大面積の圧電材料を製
造することができる。例えばコラーデン、セルローズな
どの天然高分子物質及びポリーr−メチルーL−ダルタ
メートに代111i!れる脅威高分子物質の嬌伸フィル
ム紘圧電性な示す。
ととKより、薄くて柔軟性のある大面積の圧電材料を製
造することができる。例えばコラーデン、セルローズな
どの天然高分子物質及びポリーr−メチルーL−ダルタ
メートに代111i!れる脅威高分子物質の嬌伸フィル
ム紘圧電性な示す。
またこれらとは別の497フ化ビニ9デン、−97フ化
ビニル、lダアクダルニト9に、I9カーボネートなど
の合成鳥分子物質の延伸フィルムを高温下で電界を印加
しそ0まま0状態で冷却することにより圧電性を示すよ
うになることが明らかにされている。これらの高分子物
質のうち配崗I臘(IItjl)結晶を含むポリフッ化
ビニリデンの嬌伸フィルム紘最も大きな圧電性を示すこ
とが知られている。そして従来においては5例えばIダ
フフ化ビニリデンのフィルムを延伸し、こo砥伸yイル
ムを加熱して轟皺フィルムの融解温度から0〜120℃
低い温II!にまで昇温し、そ01111!に遭してか
ら一定時間の間直流電界を印加し、七all直流電界を
印加したままの状態で常温にまで冷却する方法によって
圧電フィルムを製造している。
ビニル、lダアクダルニト9に、I9カーボネートなど
の合成鳥分子物質の延伸フィルムを高温下で電界を印加
しそ0まま0状態で冷却することにより圧電性を示すよ
うになることが明らかにされている。これらの高分子物
質のうち配崗I臘(IItjl)結晶を含むポリフッ化
ビニリデンの嬌伸フィルム紘最も大きな圧電性を示すこ
とが知られている。そして従来においては5例えばIダ
フフ化ビニリデンのフィルムを延伸し、こo砥伸yイル
ムを加熱して轟皺フィルムの融解温度から0〜120℃
低い温II!にまで昇温し、そ01111!に遭してか
ら一定時間の間直流電界を印加し、七all直流電界を
印加したままの状態で常温にまで冷却する方法によって
圧電フィルムを製造している。
しかしながらこの方法によって得られる197フ化ビニ
リデン圧電フイル五轄、その圧電率(dll)カたかだ
かs x t o c、g、s−e、t+a、4度の
も0であった。。
リデン圧電フイル五轄、その圧電率(dll)カたかだ
かs x t o c、g、s−e、t+a、4度の
も0であった。。
本発明者等は、上1ポリフッ化ビニリデンフィルムの示
す圧電率よ抄も更に大きな圧電率を示す高分子圧電フィ
ルムの製造方法及び装置を確立することを目的として鋭
意検討した結果1本発明を完成するに至った。
す圧電率よ抄も更に大きな圧電率を示す高分子圧電フィ
ルムの製造方法及び装置を確立することを目的として鋭
意検討した結果1本発明を完成するに至った。
本発明は、ポリフッ化ビニリデンまたはフッ化ビニリデ
ンを主成分とする共重合体等のフッ化ビニリデン系am
フィルムを素材として、大きな圧電率な示す高分子圧電
フィルムを製造することのできる方法を提供する仁とを
目的とする。
ンを主成分とする共重合体等のフッ化ビニリデン系am
フィルムを素材として、大きな圧電率な示す高分子圧電
フィルムを製造することのできる方法を提供する仁とを
目的とする。
本発明の他の目的は、上述の方法を工業的に有利に実施
することのできる装置を提供することにろる。
することのできる装置を提供することにろる。
本発明方法の%徴とするところは、フッ化ビニリデン系
樹mフィルムを延伸させながら加熱した後急冷し続いて
コロナ放電処理を施す点にある。
樹mフィルムを延伸させながら加熱した後急冷し続いて
コロナ放電処理を施す点にある。
本発明装置の特徴とするところは、7ツ化げ二すデン系
樹脂フィルムを延伸するフィルム延伸機構と、このフィ
ルム延伸機構により延伸されるフィルムに沿って相対的
に移動される。先頭冷却部。
樹脂フィルムを延伸するフィルム延伸機構と、このフィ
ルム延伸機構により延伸されるフィルムに沿って相対的
に移動される。先頭冷却部。
中間加熱部及び後尾冷却部より成るゾーンドローイング
装置と、このゾーンドローイング装置の出口に設けた、
前記フィルムにコロナ放電を作用せしめるコロナ放電電
極とを具えて成る点KToる。
装置と、このゾーンドローイング装置の出口に設けた、
前記フィルムにコロナ放電を作用せしめるコロナ放電電
極とを具えて成る点KToる。
以下本発明を具体的に説明する。
本発明方法においては、4リフフ化ビニリデンまたはフ
ッ化ビニリデンを主成分とする共重合体等のフッ化ビニ
リデン系樹脂フィルムを延伸ぜしめながら加熱し、或い
は嬌仰せしめるよう引張力を加えた状態で加熱すること
によ拳延伸せしめる。
ッ化ビニリデンを主成分とする共重合体等のフッ化ビニ
リデン系樹脂フィルムを延伸ぜしめながら加熱し、或い
は嬌仰せしめるよう引張力を加えた状態で加熱すること
によ拳延伸せしめる。
この加熱の温度[40〜250CO範囲内であることが
好ましく、特に60〜21G、Cの範囲内である仁とが
好ましい。次に前記フィルムの延伸ka1mしたまま、
或いは延伸されるよう引張力を纏えた状態のまま、当骸
フィルムを急冷せしめる。こO冷却温1111−40〜
G℃の@回内であることが好ましく、特に−40−−2
0℃の範囲内である仁とが好ましい。そしてこめ冷却に
続いて轟骸フィルムにコロナ放電を作用せしめ、以って
前記フィルムをエレクトレット化して高分子圧電フィル
ムを製造する。
好ましく、特に60〜21G、Cの範囲内である仁とが
好ましい。次に前記フィルムの延伸ka1mしたまま、
或いは延伸されるよう引張力を纏えた状態のまま、当骸
フィルムを急冷せしめる。こO冷却温1111−40〜
G℃の@回内であることが好ましく、特に−40−−2
0℃の範囲内である仁とが好ましい。そしてこめ冷却に
続いて轟骸フィルムにコロナ放電を作用せしめ、以って
前記フィルムをエレクトレット化して高分子圧電フィル
ムを製造する。
以上において、前記フィルムの延伸は延伸倍率が300
チ以上となるような条件で行なうことが好ましい。延伸
倍率が300−未満の場合には、七分尚い圧電率のもの
を得ることができない場合がある。処伸倍*Fiフイ□
ルムの状態、加熱温度及び冷却m度の^さ、延伸のため
の引張力の大きさ等によって定まるので、それらの条件
を、延伸倍率が300%以上となるよう適宜設定すれば
よいっ本発明において素材として用いられるフィルムゐ
材質であるポリフッ化ビニリデン系樹脂とは。
チ以上となるような条件で行なうことが好ましい。延伸
倍率が300−未満の場合には、七分尚い圧電率のもの
を得ることができない場合がある。処伸倍*Fiフイ□
ルムの状態、加熱温度及び冷却m度の^さ、延伸のため
の引張力の大きさ等によって定まるので、それらの条件
を、延伸倍率が300%以上となるよう適宜設定すれば
よいっ本発明において素材として用いられるフィルムゐ
材質であるポリフッ化ビニリデン系樹脂とは。
フッ化ビニリデン(以下rVDFJと記す。)のホモポ
リマーまたはVDPを主成分とし、これと共重合可能な
他の1棟類以上の七ツマ−とにより得られる共電合体で
アや、これらのポリマーは、乳化重合法、WA濁重重合
法溶液重合法等の何れの方法で飯台されたものであって
もよい。VDFと共重合可能なモノマーとしては、7ツ
化−ビニル、四フッ化エチレン、三フッ化エチレン、三
フッ化塩化エチレン、六フッ化!ロビレン、パー70ロ
ビニルエーテル、ヘキサフルオロデテン等が挙げられる
が、これらに限定されるものではない。本発明において
素材として用いられるもの轄、このようなポリフッ化ビ
ニリデン系樹脂を溶融法、溶解法等の方法により適当な
厚み(例えば30〜200.uttl )に製膜するこ
とによって得られる。ここで溶融法と祉、押出機にTダ
イ、あるいはインフレーションダイを装着してフィルム
を成形する方法又社加熱プレスを用いてフィルムを成形
する方法である。
リマーまたはVDPを主成分とし、これと共重合可能な
他の1棟類以上の七ツマ−とにより得られる共電合体で
アや、これらのポリマーは、乳化重合法、WA濁重重合
法溶液重合法等の何れの方法で飯台されたものであって
もよい。VDFと共重合可能なモノマーとしては、7ツ
化−ビニル、四フッ化エチレン、三フッ化エチレン、三
フッ化塩化エチレン、六フッ化!ロビレン、パー70ロ
ビニルエーテル、ヘキサフルオロデテン等が挙げられる
が、これらに限定されるものではない。本発明において
素材として用いられるもの轄、このようなポリフッ化ビ
ニリデン系樹脂を溶融法、溶解法等の方法により適当な
厚み(例えば30〜200.uttl )に製膜するこ
とによって得られる。ここで溶融法と祉、押出機にTダ
イ、あるいはインフレーションダイを装着してフィルム
を成形する方法又社加熱プレスを用いてフィルムを成形
する方法である。
溶解法とは該*mの良溶媒(例えばジメチルホルムアミ
ド、ジメチルスルホキシドなどの極性溶媒)に溶解した
後キャスティングにより製膜する方法でわるう 本発明方法によって製造された高分子圧電フィルム社、
その適当な大きさのものの両面に、真空蒸着、化学メッ
キ、金属塗膜形成、導電ペースト塗布、金属箔若しくは
金属板の接着、その他の方法により、電極を形成するこ
とによって圧電素子とすることができ、実用に供するこ
とができる。
ド、ジメチルスルホキシドなどの極性溶媒)に溶解した
後キャスティングにより製膜する方法でわるう 本発明方法によって製造された高分子圧電フィルム社、
その適当な大きさのものの両面に、真空蒸着、化学メッ
キ、金属塗膜形成、導電ペースト塗布、金属箔若しくは
金属板の接着、その他の方法により、電極を形成するこ
とによって圧電素子とすることができ、実用に供するこ
とができる。
以上の如き本発明方法を実施するためには、第1図及び
第2図に示した装置を用いることが工業上有利である
との装置は、基台l上に垂設された門型の7レーム2の
上梁@zAに一方のチャック3が取9付けられ、フレー
ム2の柱11zBに沿って上下動自在に設けられた可動
枠4に他方のチャック5が前記一方のチャック3の直下
に対向して取り付けられており、基本的に引張り試験機
と同様の構成を有する。そしてチャック3.5間に張W
&されたフィルムFに沿って上下動するよう、ゾーンド
ローイング(zone drawing )装置6が設
けられる。即ち、フレーム2の上梁s2Aに螺合せしめ
て設けた2本の垂直なウオームロッド7.7の)′熾に
支台8を支持せしめ、この支台8上に前1フイルムドが
挿通された状態となるよう、ゾーンドローイング装置6
が配設されるうこのゾーンドローイング装置b Fi*
上部に位置する先頭冷却m6Aと、中間加熱部6Bと、
下部に位置する後尾冷却166Cとよ構成るものである
。そして前記支台8の下面には、前記フィルムFが伸び
出る位置において、互に当該フィルムFを介して対向す
るようコロナ放電電極9.9が配設され、これらには直
流電源(図示せず)が接続される。
第2図に示した装置を用いることが工業上有利である
との装置は、基台l上に垂設された門型の7レーム2の
上梁@zAに一方のチャック3が取9付けられ、フレー
ム2の柱11zBに沿って上下動自在に設けられた可動
枠4に他方のチャック5が前記一方のチャック3の直下
に対向して取り付けられており、基本的に引張り試験機
と同様の構成を有する。そしてチャック3.5間に張W
&されたフィルムFに沿って上下動するよう、ゾーンド
ローイング(zone drawing )装置6が設
けられる。即ち、フレーム2の上梁s2Aに螺合せしめ
て設けた2本の垂直なウオームロッド7.7の)′熾に
支台8を支持せしめ、この支台8上に前1フイルムドが
挿通された状態となるよう、ゾーンドローイング装置6
が配設されるうこのゾーンドローイング装置b Fi*
上部に位置する先頭冷却m6Aと、中間加熱部6Bと、
下部に位置する後尾冷却166Cとよ構成るものである
。そして前記支台8の下面には、前記フィルムFが伸び
出る位置において、互に当該フィルムFを介して対向す
るようコロナ放電電極9.9が配設され、これらには直
流電源(図示せず)が接続される。
以上において、ゾーンドローイング値数6における先頭
冷却部6A及び後尾冷却SaCは何れも一40℃〜25
℃の範囲でm度可変であ〕、また中間加熱部6Bは25
〜300″CO範囲で温度可変であることが好ましい。
冷却部6A及び後尾冷却SaCは何れも一40℃〜25
℃の範囲でm度可変であ〕、また中間加熱部6Bは25
〜300″CO範囲で温度可変であることが好ましい。
コロナ放電電@’ e 9 d針状のものであることが
好ましく、フィルムPとこのコロナ放電電極9との間隙
幅は5〜zoswaであることが好ましい。このコロ、
す放電電11i9,9間には例えば±6KVの直流電圧
が印加されてコロナ放電が生起される。
好ましく、フィルムPとこのコロナ放電電極9との間隙
幅は5〜zoswaであることが好ましい。このコロ、
す放電電11i9,9間には例えば±6KVの直流電圧
が印加されてコロナ放電が生起される。
斯かる構成の装置においては、フィルムFとして既述の
如き7ツ化ビニリデン系樹脂フイルムを用いて、次のよ
うにしてエレクトレット化が行われる。即ち、素材フィ
ルムをチャック3,5に張架して可動枠4に下方に適当
な荷重な印加せしめると共に、ゾーンドローイング値数
6を作動せしめて先頭冷却部6Aの温度を−20−(1
,また後尾冷却部6Cの温度を−40−QC,好ましく
#′1−40〜−z6℃の温度に維持した状態におい
て、コロナ放電電極9.9に放電用電力を供給しながら
、ウオームロッド7.7を回転せしめることにより、i
台8及びこれに装着された前記ゾーンドローイング装置
6及びコロナ放電電1i9.9を一定の相対速度でフィ
ルムに沿って上昇せしめる。この上昇速度は0.5〜3
601111/分であることが好ましいがこれに限定さ
れるものではない。
如き7ツ化ビニリデン系樹脂フイルムを用いて、次のよ
うにしてエレクトレット化が行われる。即ち、素材フィ
ルムをチャック3,5に張架して可動枠4に下方に適当
な荷重な印加せしめると共に、ゾーンドローイング値数
6を作動せしめて先頭冷却部6Aの温度を−20−(1
,また後尾冷却部6Cの温度を−40−QC,好ましく
#′1−40〜−z6℃の温度に維持した状態におい
て、コロナ放電電極9.9に放電用電力を供給しながら
、ウオームロッド7.7を回転せしめることにより、i
台8及びこれに装着された前記ゾーンドローイング装置
6及びコロナ放電電1i9.9を一定の相対速度でフィ
ルムに沿って上昇せしめる。この上昇速度は0.5〜3
601111/分であることが好ましいがこれに限定さ
れるものではない。
駒<シて、フィルムにおいては、先頭冷却1i6Aと後
尾冷却s6Cによる2つの冷却帯に挾まれた中間加熱g
6Bによる加熱帯がフィルムに沿って上昇して行くこと
になる。そして主として加熱帯において前に2iqIL
によってフィルムに延伸が生シ。
尾冷却s6Cによる2つの冷却帯に挾まれた中間加熱g
6Bによる加熱帯がフィルムに沿って上昇して行くこと
になる。そして主として加熱帯において前に2iqIL
によってフィルムに延伸が生シ。
これによりMl動枠4が下降する。或いは強制的にμ工
動砕4が下降されてフィルムが延伸される。
動砕4が下降されてフィルムが延伸される。
フィルムの延伸倍率は既述のように300%以上である
ことが型費であるが、可動枠4の下降速度即ちフィルム
の延伸速度は1〜500■/分であることが好ましい。
ことが型費であるが、可動枠4の下降速度即ちフィルム
の延伸速度は1〜500■/分であることが好ましい。
しかしこの範囲に限定されるものではない。
そしてフィルムの各部分について説明すると。
各部分は先ずゾーンドローイング装置6の先馴冷却部6
ムが通過することによって冷却され1次に中間加熱部6
Bによって急激に加熱されて少なくともこれによシ延伸
が生じ1次いで後尾冷却s6Cによって急冷された後続
いてコロナ放電電極9.9によりコロナ放電が作用せし
められ、結局既述の本発明方法によってエレクトレット
化されて高分子圧電フィルムが製造される。
ムが通過することによって冷却され1次に中間加熱部6
Bによって急激に加熱されて少なくともこれによシ延伸
が生じ1次いで後尾冷却s6Cによって急冷された後続
いてコロナ放電電極9.9によりコロナ放電が作用せし
められ、結局既述の本発明方法によってエレクトレット
化されて高分子圧電フィルムが製造される。
本発明方法によれば、後述する実施例の説明からも明か
なように、圧電率の著しく大きい高分子圧電フィルムを
製造することができる。そして本発明方法によって得ら
れる高分子圧電フィルムが。
なように、圧電率の著しく大きい高分子圧電フィルムを
製造することができる。そして本発明方法によって得ら
れる高分子圧電フィルムが。
ゾーンドローイング装置で素材フィルムを延伸した後に
直ちにコロナ放電処理なせずにチャックから*b外した
彼にコロナ放電処理を施す方法、或いはチャックからj
41?J)外した後の延伸フィルムの両面に電極を設け
て高温下で直流電圧を印加する方法によって得られる高
分子圧電フィルムに比し。
直ちにコロナ放電処理なせずにチャックから*b外した
彼にコロナ放電処理を施す方法、或いはチャックからj
41?J)外した後の延伸フィルムの両面に電極を設け
て高温下で直流電圧を印加する方法によって得られる高
分子圧電フィルムに比し。
格段に大きな圧電率を示すことは驚くべきことである。
本発明方法によってこのような効果が奏される理由は明
確ではないが、上記の事実から、lA材フィルムを加熱
後急冷し続いてコロナ放電処理することが斯かる現象の
生ずる重要な条件である。
確ではないが、上記の事実から、lA材フィルムを加熱
後急冷し続いてコロナ放電処理することが斯かる現象の
生ずる重要な条件である。
本発明値数によれば、上述の方法が確実に遂行されると
共に、中間加熱g6Bのフィルムに対する遊行方向の前
後に先−冷却部6人及び後尾冷却s6Cがあって加熱帯
の両−が冷却されるために。
共に、中間加熱g6Bのフィルムに対する遊行方向の前
後に先−冷却部6人及び後尾冷却s6Cがあって加熱帯
の両−が冷却されるために。
フィルムにおいてネッキングが生ずる部分が特定の部分
に限定され、従って安定な延伸が行なわれると共に、後
尾冷却s6Cによる冷却によシ、加熱帯での加熱による
延伸されたフィルムの組織における配向の低下を確実に
回避抑制することができ、この点からも大きな圧電率の
高分子圧電フィルムを製造することができ、加えて高い
効率で安定した特性の高分子圧電フィルムを容易に製造
することが可能である。
に限定され、従って安定な延伸が行なわれると共に、後
尾冷却s6Cによる冷却によシ、加熱帯での加熱による
延伸されたフィルムの組織における配向の低下を確実に
回避抑制することができ、この点からも大きな圧電率の
高分子圧電フィルムを製造することができ、加えて高い
効率で安定した特性の高分子圧電フィルムを容易に製造
することが可能である。
以下1本発明の実施例について説明するが、これらによ
って本発明が限定されるものではないっ実施例1 Tダイ付き40■押出機を用いて4リフフ化ビニリデン
[v−レy tOtOJ(80LVAY社II)を温度
250℃で成形し、厚さ100戸lll0フイルムを作
製した。このフィルムを第111及び第2図に示した構
成の装置にセットし、オートグラフのチャック移動速度
を50■/分とし、ゾーンドローイング装置6の先頭冷
却部6ムを一10℃、中間加熱Il@Bを80℃、後尾
冷却SaCを一20℃として冨Oss/分の速度で移動
させると共に、コロナ放電電tis、sに6KVの直流
電圧を印加してコロナ放電を生ぜしめ、これによって延
伸倍率40091の本発明圧電フィルムを製造した。
って本発明が限定されるものではないっ実施例1 Tダイ付き40■押出機を用いて4リフフ化ビニリデン
[v−レy tOtOJ(80LVAY社II)を温度
250℃で成形し、厚さ100戸lll0フイルムを作
製した。このフィルムを第111及び第2図に示した構
成の装置にセットし、オートグラフのチャック移動速度
を50■/分とし、ゾーンドローイング装置6の先頭冷
却部6ムを一10℃、中間加熱Il@Bを80℃、後尾
冷却SaCを一20℃として冨Oss/分の速度で移動
させると共に、コロナ放電電tis、sに6KVの直流
電圧を印加してコロナ放電を生ぜしめ、これによって延
伸倍率40091の本発明圧電フィルムを製造した。
この圧電フィルムの両画に金を真空蒸着して電極を形成
した後、温[25℃でレオログラフ(東洋精機■製)を
用いて圧電率(櫨−1)を測定した。
した後、温[25℃でレオログラフ(東洋精機■製)を
用いて圧電率(櫨−1)を測定した。
測定結果を第1表に示す。
比較例1
コロナ放電電極9.9に電圧を印加しないなかは実施例
1と同様にして圧電フィルムを製造した。
1と同様にして圧電フィルムを製造した。
この圧電フィルムの両画に会を蒸着した後、a度80℃
で直流電界1000 KV/cI11を30分間MI
L テメーリンダを行い、同様にして圧電率を#j定し
た。
で直流電界1000 KV/cI11を30分間MI
L テメーリンダを行い、同様にして圧電率を#j定し
た。
測定結果を第1費に示す〇
比較例2
比較例1の圧電フィルムの両面に±6KV4Dt圧でコ
ロナ放電を10分間行ない、その後フィルムの両面に金
を蒸涜して電極を形成し、同様にして圧電率k m定し
た。一定結果を第1表に示す。
ロナ放電を10分間行ない、その後フィルムの両面に金
を蒸涜して電極を形成し、同様にして圧電率k m定し
た。一定結果を第1表に示す。
実施例2
オートグラフのチャック移動速度を505m/分とし、
ゾーンドローイング装置6 の先頭冷却部6人を−lO
℃、中間加熱@6Bを150c、後尾冷却部6Cを一3
0℃として20■/分の速度で移動させるようにしたほ
かは実施例1と同様にして延伸倍率43O$の本発明圧
電フィルムを製造し゛た。
ゾーンドローイング装置6 の先頭冷却部6人を−lO
℃、中間加熱@6Bを150c、後尾冷却部6Cを一3
0℃として20■/分の速度で移動させるようにしたほ
かは実施例1と同様にして延伸倍率43O$の本発明圧
電フィルムを製造し゛た。
この圧電フィルムの両画に金を真空蒸着して電極を形成
した後、温度25℃で圧電率を一定した。
した後、温度25℃で圧電率を一定した。
測定結果を第2表に示す。
比較例3
コロナ放電電極9,9に電圧を印加しないはか紘実施例
2と同様にして圧電フィルムを製造した。
2と同様にして圧電フィルムを製造した。
この圧電フィルムの両画に金を蒸着した後、温!180
℃で直流電界1000 KV7611を印加してSo分
開示−リングをおこない、温度zSCで圧電率を測定し
た。測定結果を第2表に示す。
℃で直流電界1000 KV7611を印加してSo分
開示−リングをおこない、温度zSCで圧電率を測定し
た。測定結果を第2表に示す。
比較例4
比較例3の圧電フィルムの両画に±6KVO電圧でコロ
ナ放電を10分間行ない、七〇m1.フィルムの両面に
金を蒸着して電極を形威し、同様にして圧電率を一定し
た。測定結果を#I2表に示す。
ナ放電を10分間行ない、七〇m1.フィルムの両面に
金を蒸着して電極を形威し、同様にして圧電率を一定し
た。測定結果を#I2表に示す。
第2表
実施例3
オートグラフのチャツク移動速度300■/分とし。
ゾーンドローイング装置6の先頭冷却s6人を一10℃
、中間加熱−6Btt190℃、後尾冷却@6Cを一4
0℃として20−72分の速度で移動さぜるよシにした
ほかは実施?!1と同様にして延伸倍率620チの本発
明圧@フィルムを製造した。
、中間加熱−6Btt190℃、後尾冷却@6Cを一4
0℃として20−72分の速度で移動さぜるよシにした
ほかは実施?!1と同様にして延伸倍率620チの本発
明圧@フィルムを製造した。
この圧電フィルムの両面に金を蒸着して電極を形成した
後、温度25℃で圧電率を測定した。測定M朱を第3表
に示す。
後、温度25℃で圧電率を測定した。測定M朱を第3表
に示す。
比較1j’lj5
コロナ放電電極9,9に電圧を印加しないほかは実施例
3と同様にして圧電フィルムを製造した。
3と同様にして圧電フィルムを製造した。
この1鴫フィルムの両面に金を蒸着した後、温[80℃
で直流電界i 000 KV/cmを30分間印加して
ポーリングを行ない、温度25℃で圧電率を一定しだ。
で直流電界i 000 KV/cmを30分間印加して
ポーリングを行ない、温度25℃で圧電率を一定しだ。
#j定帖来を第3表に示す。
比較例6
比較?115の圧電フィルムの両面に±SKYの電圧で
コロナ放電を10分間行ない、その(&、フィルム両面
に金を蒸着して電極を形成し、同様にして圧電率を測定
した。測定結果を第3表に示す。
コロナ放電を10分間行ない、その(&、フィルム両面
に金を蒸着して電極を形成し、同様にして圧電率を測定
した。測定結果を第3表に示す。
第1図及び第wildそれぞれ本発明高分子圧電フィル
ムの製造値数Om1明用正am及び儒画閣である。 !・・・基台 2・・・フレーム 3.5 ・・・
チャツタ4・・・可動枠 6・・・ゾーンドローイング
装置7.7・・・ウオームロッド $−!台9・・・
コロナ放電電極
ムの製造値数Om1明用正am及び儒画閣である。 !・・・基台 2・・・フレーム 3.5 ・・・
チャツタ4・・・可動枠 6・・・ゾーンドローイング
装置7.7・・・ウオームロッド $−!台9・・・
コロナ放電電極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 l)フッ化ビニリゾ/系樹脂フィルムを延伸させ表から
加熱し良後急冷し続いてコロナ放電@IIを施すことを
特徴とする高分子圧電フィルムの製造方法。 2)フッ化ビニリゾ/系樹脂フィルムを延伸するフィル
ム延伸機構と、このフィルム地神機構により延伸される
フィルムに沿って相対的に移動される、先頭冷却部、中
間加熱部及び後尾冷却部より成るシー/ドローイング装
置と、このシー/ドローイング装置の出口に殴り良、前
記フィルムにコロナ放電を作用せしめるコロナ放電電極
とtAえて成ることを特徴とする高分子圧電フィルムの
製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57068744A JPS58186984A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 高分子圧電フイルムの製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57068744A JPS58186984A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 高分子圧電フイルムの製造方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58186984A true JPS58186984A (ja) | 1983-11-01 |
Family
ID=13382588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57068744A Pending JPS58186984A (ja) | 1982-04-26 | 1982-04-26 | 高分子圧電フイルムの製造方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58186984A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010001634A1 (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 有機圧電材料、超音波振動子及び超音波医用画像診断装置 |
-
1982
- 1982-04-26 JP JP57068744A patent/JPS58186984A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010001634A1 (ja) * | 2008-07-03 | 2010-01-07 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 有機圧電材料、超音波振動子及び超音波医用画像診断装置 |
JP5533651B2 (ja) * | 2008-07-03 | 2014-06-25 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料の製造方法、超音波振動子及び超音波医用画像診断装置 |
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