JPS58178206A - 薄膜下引層の膜厚検査法 - Google Patents
薄膜下引層の膜厚検査法Info
- Publication number
- JPS58178206A JPS58178206A JP6152182A JP6152182A JPS58178206A JP S58178206 A JPS58178206 A JP S58178206A JP 6152182 A JP6152182 A JP 6152182A JP 6152182 A JP6152182 A JP 6152182A JP S58178206 A JPS58178206 A JP S58178206A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- film thickness
- under coating
- color
- chromaticity
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、下引層、特に電子写真感光体に使用する下引
層の膜厚を製造工程中で検査できる検査方法に関し、更
(詳しくは、基体上にもうけられた樹脂層の膜厚に従つ
え干渉色の色度からその膜厚を時定する検査方法Kil
!するものである。
層の膜厚を製造工程中で検査できる検査方法に関し、更
(詳しくは、基体上にもうけられた樹脂層の膜厚に従つ
え干渉色の色度からその膜厚を時定する検査方法Kil
!するものである。
電子写真感光体は、基体上に感光層を有するものが基本
構成であるが、基体と感光層の接着性改良、感光層の塗
工性向上、基体の保饅、基体上の欠陥の被覆、感光層の
電気的破壊に対する保4などのために基体と感光層の聞
に下引層 。
構成であるが、基体と感光層の接着性改良、感光層の塗
工性向上、基体の保饅、基体上の欠陥の被覆、感光層の
電気的破壊に対する保4などのために基体と感光層の聞
に下引層 。
と呼げねる樹脂層をもうけることが有効である。
下引層は、感光体の構成要素の一員であるから、その電
気的特性は重要である。下引層に要求式ねる電気的特性
としては、一般に絶縁破壊電圧が奥いこと、電荷注入性
が適度であり、感光特性を低下させなりこと、さらには
体積抵抗率か1010〜1015Ω1であること等が挙
げられる。
気的特性は重要である。下引層に要求式ねる電気的特性
としては、一般に絶縁破壊電圧が奥いこと、電荷注入性
が適度であり、感光特性を低下させなりこと、さらには
体積抵抗率か1010〜1015Ω1であること等が挙
げられる。
特に体積抵抗率は、これが高い場合には感光層に残留電
位が生じ、コピー11ii儂の白地がうす黒ぐかぶる現
像が起こるので重要である。しかし、現実には前述の要
求される特性を十分に満足する材料を吃す出すことが困
難で、%に湿度が但くなった場合には抵抗率が上昇する
傾向があるので、a、b−gらのことである。
位が生じ、コピー11ii儂の白地がうす黒ぐかぶる現
像が起こるので重要である。しかし、現実には前述の要
求される特性を十分に満足する材料を吃す出すことが困
難で、%に湿度が但くなった場合には抵抗率が上昇する
傾向があるので、a、b−gらのことである。
この様な問題を解決する手段として、一般には下引層を
薄層化することKよって漬正な体積抵抗率が得られる様
にして、襟り返し使用し友際に残留電位が蓄積しないよ
うKしている。この目的のためには下引層のPs庫を0
.1〜1μとすることが必要で、たとえ残留電位があっ
ても、それを低電位の範囲内にととめて、見かけ上の影
響を少くすることができる。しかしながら、下引層をこ
のように薄層化すると、膜厚の測定が非常に困嫌とな9
、殊に感光体の製造工程において、簡fK膜厚を検査す
る方法がなかった。
薄層化することKよって漬正な体積抵抗率が得られる様
にして、襟り返し使用し友際に残留電位が蓄積しないよ
うKしている。この目的のためには下引層のPs庫を0
.1〜1μとすることが必要で、たとえ残留電位があっ
ても、それを低電位の範囲内にととめて、見かけ上の影
響を少くすることができる。しかしながら、下引層をこ
のように薄層化すると、膜厚の測定が非常に困嫌とな9
、殊に感光体の製造工程において、簡fK膜厚を検査す
る方法がなかった。
その丸め、製造工程中で下引層の膜厚に変化を生じても
、実際上膜厚の測定を行なっていないので、ロフト中の
感光体が帯電特性にばらつきを生じることがあつ九。こ
れは、感光体の製造コストの上昇に#L因するものであ
る。
、実際上膜厚の測定を行なっていないので、ロフト中の
感光体が帯電特性にばらつきを生じることがあつ九。こ
れは、感光体の製造コストの上昇に#L因するものであ
る。
従って、本発明の目的は、感光体特に電子写真感光体の
製造工程中でも簡便に下引層のls犀を検査できる方法
を提供することであり、延いてはロット中で安定し丸帯
114I性を有する感光体を製造できる方法を提供する
ことKある。
製造工程中でも簡便に下引層のls犀を検査できる方法
を提供することであり、延いてはロット中で安定し丸帯
114I性を有する感光体を製造できる方法を提供する
ことKある。
すなわち、本発明は、下引層を0.1〜1声のような薄
層化すると、下引層の膜厚が光の波長に近くなるので、
下引層に白色光を当てると干渉色を呈するようKなり、
その干渉色の色彩が下引層の膜厚(より変化するととに
基づいている・従って、本発明の方法は、製造工程中で
0.1〜1μの如き薄膜下引層の膜厚を検査する際、下
引層に白色光を照射し、生じた干渉色の色度を測定する
ことKよって、その下引層の膜厚を特定することができ
る。
層化すると、下引層の膜厚が光の波長に近くなるので、
下引層に白色光を当てると干渉色を呈するようKなり、
その干渉色の色彩が下引層の膜厚(より変化するととに
基づいている・従って、本発明の方法は、製造工程中で
0.1〜1μの如き薄膜下引層の膜厚を検査する際、下
引層に白色光を照射し、生じた干渉色の色度を測定する
ことKよって、その下引層の膜厚を特定することができ
る。
干渉色の波長については、次式(1)が成立する。
11+が偶数のとき、そのV長の光が強められ、mが奇
数の時、その波長の光が弱められる。
数の時、その波長の光が弱められる。
色彩ケ測定する方法には、フォトボルト色彩色
計、尤亀色差計、爾電色差計、微小平面色彩計、自動光
電色彩計、望櫨色彩計1色彩輝度計などの各種の方法が
挙げられるが、非接触で反射光が測定可能なことを考慮
して選ぶ必要がある。
電色彩計、望櫨色彩計1色彩輝度計などの各種の方法が
挙げられるが、非接触で反射光が測定可能なことを考慮
して選ぶ必要がある。
色彩を表現する方法には、ClIC(国際照明委阪会)
1951年標準表色系があり、これは測定87″lた色
を!−7色度座標によって表わすものである0色を表示
する方法(はこのほか、IB表色系、USC表色系、i
ン七ル表色系、L、ab表色系などがあるが、どのよう
な方法を用いてもよい。
1951年標準表色系があり、これは測定87″lた色
を!−7色度座標によって表わすものである0色を表示
する方法(はこのほか、IB表色系、USC表色系、i
ン七ル表色系、L、ab表色系などがあるが、どのよう
な方法を用いてもよい。
例えば、干渉色から波長を求める方法としては1色彩表
境をcInニーt9g1年表色系とし友際、第1図に示
すx−7色度とスペクトル主波長曲線の関係図(「光学
技術ハンドブック」(朝倉書店刊、昭和54年8月10
日、第405頁)から波長を求め、次いで前述の式(1
)K示すmとnの値を特定することKよって、下引層の
膜厚を求めることができる。しかし、本発明の好ましい
具体例では、下引層の膜厚とこの下引層に白色光を照射
し走時に生じ九干渉色の色彩t!−78度図から求めた
x−yl[Kついて予め数種類求め、これをチャート(
第2図に示す)として作成しておき、製造工程中で下引
層OS厚について検査することが生じた時、−述と同様
の方法で下引層に白色光を照射し、その時に生じた干渉
色の色彩の!−7値をX−7色度図から求め、この値に
対応する膜厚を前述のチャートから読み取るととによっ
て、その下引層の膜厚を知ることができる。
境をcInニーt9g1年表色系とし友際、第1図に示
すx−7色度とスペクトル主波長曲線の関係図(「光学
技術ハンドブック」(朝倉書店刊、昭和54年8月10
日、第405頁)から波長を求め、次いで前述の式(1
)K示すmとnの値を特定することKよって、下引層の
膜厚を求めることができる。しかし、本発明の好ましい
具体例では、下引層の膜厚とこの下引層に白色光を照射
し走時に生じ九干渉色の色彩t!−78度図から求めた
x−yl[Kついて予め数種類求め、これをチャート(
第2図に示す)として作成しておき、製造工程中で下引
層OS厚について検査することが生じた時、−述と同様
の方法で下引層に白色光を照射し、その時に生じた干渉
色の色彩の!−7値をX−7色度図から求め、この値に
対応する膜厚を前述のチャートから読み取るととによっ
て、その下引層の膜厚を知ることができる。
以上のようKして薄膜下引層の干渉色および該干渉色に
対応する下引層の膜厚の関係茶水すチャートと別に設け
た薄膜下引層の干渉色を比較することKよって皺薄膜下
引層の膜厚を検査することができる。この方法は、非破
壊検査であるから主書される電子写真感光体について全
数検査することも可能であり、下引層の膜厚の生産I′
#壇、品質安定化に役立つものである。
対応する下引層の膜厚の関係茶水すチャートと別に設け
た薄膜下引層の干渉色を比較することKよって皺薄膜下
引層の膜厚を検査することができる。この方法は、非破
壊検査であるから主書される電子写真感光体について全
数検査することも可能であり、下引層の膜厚の生産I′
#壇、品質安定化に役立つものである。
下引Ill K用いられる樹脂としては、ボリアミド、
ポリウレタン、コポリエチレン−アクリル酸、メチルセ
ルロール、ニトロセルロース、アルキド樹脂、フェノー
ル樹脂等が挙げられる。
ポリウレタン、コポリエチレン−アクリル酸、メチルセ
ルロール、ニトロセルロース、アルキド樹脂、フェノー
ル樹脂等が挙げられる。
電子写真感光体は、この下引層の上に感光層が塗布され
て形成される。感光層は、色素増感さt″した酸化会鉛
、セレン粉体、無定形シリコン粉体、ポリビニルカルバ
ゾール、フタ−シアニン顔料、オキサジアゾ−λ額料、
郷を必要に応じて締着m樹脂と共KIk布形成される。
て形成される。感光層は、色素増感さt″した酸化会鉛
、セレン粉体、無定形シリコン粉体、ポリビニルカルバ
ゾール、フタ−シアニン顔料、オキサジアゾ−λ額料、
郷を必要に応じて締着m樹脂と共KIk布形成される。
tた、有機光導電物質を用いる場合、特性の向上の丸め
の効果的な方法として、露光によ炒電荷担体を発生する
電荷発生層と、発生し九電荷担体を移動させる能力を持
つ電荷輸送層を組与合わせることもある。
の効果的な方法として、露光によ炒電荷担体を発生する
電荷発生層と、発生し九電荷担体を移動させる能力を持
つ電荷輸送層を組与合わせることもある。
電荷発生物質としては、例えば、スーダンレッド、ダイ
アンブルーなどのアゾ顔料、アルコールイエロー、ビノ
ンキノンなどのキノン顔料、インジゴ、チオインジゴな
どのインジゴ顔料、−フタロシアニンなど07タ胃シア
ニン−料、ビスベンゾイミダゾール原料、キナタドリン
原料等が挙げられる。
アンブルーなどのアゾ顔料、アルコールイエロー、ビノ
ンキノンなどのキノン顔料、インジゴ、チオインジゴな
どのインジゴ顔料、−フタロシアニンなど07タ胃シア
ニン−料、ビスベンゾイミダゾール原料、キナタドリン
原料等が挙げられる。
電荷輸送層は、一般には主鎖を友は側鎖に、アントラセ
ン、ヒレン、7エナントレン、コロネンなどの多環芳香
族化金物、あるいはインドール、カルバゾール、オキサ
ゾール、イソオキ賃ゾール、チアゾール、イ建ダゾール
、ピラゾール、オキサジアゾールなどの含窒素環式化合
物を有する化合物、ヒドラゾン化合物などが必41に応
じて、ポリスプレン、スチレンーブタジヱンコポリマー
、シリコーン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリサルホン、ポ
リカーボネート、アクリル樹脂、ポリエステル、ポリ塩
化ビニル、スチレン−アクリロニトリルコポリマー、ボ
リアリレート等の成膜性樹脂と共に電荷発生層上に塗布
形成される。電荷輸送層の膜厚は通常5〜20μ穆度で
ある。
ン、ヒレン、7エナントレン、コロネンなどの多環芳香
族化金物、あるいはインドール、カルバゾール、オキサ
ゾール、イソオキ賃ゾール、チアゾール、イ建ダゾール
、ピラゾール、オキサジアゾールなどの含窒素環式化合
物を有する化合物、ヒドラゾン化合物などが必41に応
じて、ポリスプレン、スチレンーブタジヱンコポリマー
、シリコーン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリサルホン、ポ
リカーボネート、アクリル樹脂、ポリエステル、ポリ塩
化ビニル、スチレン−アクリロニトリルコポリマー、ボ
リアリレート等の成膜性樹脂と共に電荷発生層上に塗布
形成される。電荷輸送層の膜厚は通常5〜20μ穆度で
ある。
以下、本発明を実施例に従って説明する。
実施例 1
共重合ナイロンから成るポリアミド樹脂(商品名:アミ
ラン0M8000 ;東し■製)101に重量部、以下
同様)を用意し、50℃に加熱し九メタノール60部に
S解させ、常゛温に冷えてからトルエン50部を加えた
。
ラン0M8000 ;東し■製)101に重量部、以下
同様)を用意し、50℃に加熱し九メタノール60部に
S解させ、常゛温に冷えてからトルエン50部を加えた
。
50μ庫のアルミニウムシートに下引層上塗布してじゅ
うぶんに乾燥させた。このうち40012を切り取り、
重量測定法により膜厚を計算した。比重は1.1である
。一方、写真用電球によりシート表面の照明をして色彩
輝闇計(商品名11M5.東京光学社製)で干渉色の色
(を測定した。このような実験を塗布量を変えて繰勢返
し行い、膜厚と色度の関係を求めえ、この結果を@2F
j!IK示すチャートKtとめえ0次に80φ×500
■Oアルミニウムシリンダーに浸漬法で下引層を塗布し
、100℃10分関0熱凰乾燥して下引層を敷は丸。
うぶんに乾燥させた。このうち40012を切り取り、
重量測定法により膜厚を計算した。比重は1.1である
。一方、写真用電球によりシート表面の照明をして色彩
輝闇計(商品名11M5.東京光学社製)で干渉色の色
(を測定した。このような実験を塗布量を変えて繰勢返
し行い、膜厚と色度の関係を求めえ、この結果を@2F
j!IK示すチャートKtとめえ0次に80φ×500
■Oアルミニウムシリンダーに浸漬法で下引層を塗布し
、100℃10分関0熱凰乾燥して下引層を敷は丸。
下引層上に写真用昼光色電球の光を照射し、この時に生
じ九干渉色08度を測定し友ところ、X冨0.29.7
−0.46であつ九。第2図に示すチャートの比較によ
り膜厚を求めると、o、s o sであることが判明し
友、このように、シリンダー上に塗布して形成した下引
層O膜厚O#I4定であっても、かかる干渉色測定によ
り、膜厚渕定全容異に行なうことがで自る。
じ九干渉色08度を測定し友ところ、X冨0.29.7
−0.46であつ九。第2図に示すチャートの比較によ
り膜厚を求めると、o、s o sであることが判明し
友、このように、シリンダー上に塗布して形成した下引
層O膜厚O#I4定であっても、かかる干渉色測定によ
り、膜厚渕定全容異に行なうことがで自る。
次K、下記構造式のビスアゾ顔料を10部ポリビニルブ
チラール樹脂(商品名: x X V :/りBXL4
水化学−ml)@部およびシクロヘキサノン60部を1
φijヲスビーズを用いたサンドミル装置で20時間分
散し友、この分散液にメチルエチルケトン1’O0部を
加えて、上記下引層上に、0.11/鵬2の塗布量とな
るように浸漬塗布し、100℃5分間の乾燥をして電荷
発生層を形成した。
チラール樹脂(商品名: x X V :/りBXL4
水化学−ml)@部およびシクロヘキサノン60部を1
φijヲスビーズを用いたサンドミル装置で20時間分
散し友、この分散液にメチルエチルケトン1’O0部を
加えて、上記下引層上に、0.11/鵬2の塗布量とな
るように浸漬塗布し、100℃5分間の乾燥をして電荷
発生層を形成した。
久に、
なる構造式のヒドラゾン化合物10部とムg@Ink
(1品名;サンレックス−0:三菱モンサント化成製)
10stモノクロルベンゼン70部に俗解させた。これ
を電荷発生層上Klk布し、100°Cで1時間熱風乾
燥して12μ犀の電荷輸送層を形成した。
(1品名;サンレックス−0:三菱モンサント化成製)
10stモノクロルベンゼン70部に俗解させた。これ
を電荷発生層上Klk布し、100°Cで1時間熱風乾
燥して12μ犀の電荷輸送層を形成した。
電荷輸送層の上からクロス−・クチ法で密着性Iマコロ
ナ帯電、画偉嬉光、乾式トナー現俸、畳過紙へのトナー
転写、ウレタンゴムブレード(硬[70’、圧力5F1
11/31. IA光体FcNfb角g20o)による
タリー二ングエ薯等を有すふ電子写真複写機に攻)付け
て電子写真特性を評価しえ、評価はまず、2G’t)4
0913111の雰囲気で行い、次に20℃10憾Il
lの低11度雰囲気で行い、その帯電電位および感度の
肯定によつえ、感度は、前記−5,61Vt)ブーす帯
電し先後の5秒間暗減衰させた時の電位を4に減衰する
に必要な露光量(1省、ルックス・秒)を一定すること
によって評価し友、これらの結果を第1表に示す。
ナ帯電、画偉嬉光、乾式トナー現俸、畳過紙へのトナー
転写、ウレタンゴムブレード(硬[70’、圧力5F1
11/31. IA光体FcNfb角g20o)による
タリー二ングエ薯等を有すふ電子写真複写機に攻)付け
て電子写真特性を評価しえ、評価はまず、2G’t)4
0913111の雰囲気で行い、次に20℃10憾Il
lの低11度雰囲気で行い、その帯電電位および感度の
肯定によつえ、感度は、前記−5,61Vt)ブーす帯
電し先後の5秒間暗減衰させた時の電位を4に減衰する
に必要な露光量(1省、ルックス・秒)を一定すること
によって評価し友、これらの結果を第1表に示す。
第111!
これに対して、下引層をもうけないで、感光体を製造し
た場合には、電荷輸送層の上からりまた、本発明の膜厚
検査法によらない場合、例えばうず電流式膜厚計(商品
名: Boa−@2τyケソト科学製)を用い九場合に
は、膜厚が2μ以上でないと正確な値が得られないので
、下引層の膜厚が2μとなるよう塗布して、他は全く同
様にして感光体を製造した。評価結果を第2表に示すが
、低湿gにおいて感度の低下が著しかった。
た場合には、電荷輸送層の上からりまた、本発明の膜厚
検査法によらない場合、例えばうず電流式膜厚計(商品
名: Boa−@2τyケソト科学製)を用い九場合に
は、膜厚が2μ以上でないと正確な値が得られないので
、下引層の膜厚が2μとなるよう塗布して、他は全く同
様にして感光体を製造した。評価結果を第2表に示すが
、低湿gにおいて感度の低下が著しかった。
嫡2表
第1図は、!−7色度とスペクトル主波長−線の関係を
示す説明図、第2図はX−y8mと下引層O膜厚の関係
を示すチャートの説ijIwJである。 特許出願人 キャノン株式会社
示す説明図、第2図はX−y8mと下引層O膜厚の関係
を示すチャートの説ijIwJである。 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- 基体上に設は九薄膜下引層の干渉色および皺干渉色に対
応する下引層の膜厚の関係を示すチャートと別に設は九
薄膜下引層の干渉色を比較することによって該薄膜下引
層の膜厚を検査することを特徴とする薄膜下引層の膜厚
検査法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6152182A JPS58178206A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 薄膜下引層の膜厚検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6152182A JPS58178206A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 薄膜下引層の膜厚検査法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58178206A true JPS58178206A (ja) | 1983-10-19 |
Family
ID=13173474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6152182A Pending JPS58178206A (ja) | 1982-04-13 | 1982-04-13 | 薄膜下引層の膜厚検査法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58178206A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0833126A1 (en) * | 1995-06-14 | 1998-04-01 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for inspecting coating film |
CN116045791A (zh) * | 2023-04-03 | 2023-05-02 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种金属漆涂层厚度评估方法 |
-
1982
- 1982-04-13 JP JP6152182A patent/JPS58178206A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0833126A1 (en) * | 1995-06-14 | 1998-04-01 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for inspecting coating film |
EP0833126A4 (en) * | 1995-06-14 | 1998-09-30 | Kirin Brewery | METHOD AND DEVICE FOR TESTING COATINGS |
US5991018A (en) * | 1995-06-14 | 1999-11-23 | Kirin Beer Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for inspecting coating layer |
CN116045791A (zh) * | 2023-04-03 | 2023-05-02 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种金属漆涂层厚度评估方法 |
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