JPS58171830A - 集積回路装置の分類方法 - Google Patents
集積回路装置の分類方法Info
- Publication number
- JPS58171830A JPS58171830A JP5488382A JP5488382A JPS58171830A JP S58171830 A JPS58171830 A JP S58171830A JP 5488382 A JP5488382 A JP 5488382A JP 5488382 A JP5488382 A JP 5488382A JP S58171830 A JPS58171830 A JP S58171830A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- resistance
- integrated circuit
- chips
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路装置の分類方法に係ハ特に異なる機能
を判別するに有利な集積回路装置の分類方法に関する。
を判別するに有利な集積回路装置の分類方法に関する。
辺部の技術進歩により集極回路装fil(以下ICと略
す)の集積fは大規模化の一途を辿ハ例えば同−機能管
有するICの1装置当りの使用数が1個であるといつ九
1IWIも現実となりつつある。
す)の集積fは大規模化の一途を辿ハ例えば同−機能管
有するICの1装置当りの使用数が1個であるといつ九
1IWIも現実となりつつある。
しかしこのことは、一方ではIC用途の専用化を惹起し
、その4!e能檀類を増大させることになる。
、その4!e能檀類を増大させることになる。
即ち少量多品−の開発生産が求められている。−飯に、
ICチップは同一基板上に被数個を配列して同時に製造
するいわゆるバッチ処理による大量生産で製造費用の大
巾の低減全可能として1!i九。
ICチップは同一基板上に被数個を配列して同時に製造
するいわゆるバッチ処理による大量生産で製造費用の大
巾の低減全可能として1!i九。
この特I[全損なうことなく前述の参勤に対応する手段
として同一基板上に何槙餉かの機能を有するチップを同
atKal造してしまうことがおる。この味な場合、同
一基板に配列されている各々のICチ、プがどのat類
の4!I!能を笑現することを目的として製造されたか
を判別する必要がある。
として同一基板上に何槙餉かの機能を有するチップを同
atKal造してしまうことがおる。この味な場合、同
一基板に配列されている各々のICチ、プがどのat類
の4!I!能を笑現することを目的として製造されたか
を判別する必要がある。
また、同一形状のパヅケージに81!装され九ICをプ
リント板等に搭載する場合や、検査する場合などにも、
個々のICの機能を判別する必要があシ、従来は、捺印
された記号を作業者が読みとってい九が生産を目動化す
るには、必ずしも有利ではない。
リント板等に搭載する場合や、検査する場合などにも、
個々のICの機能を判別する必要があシ、従来は、捺印
された記号を作業者が読みとってい九が生産を目動化す
るには、必ずしも有利ではない。
本発明の目的は、このような場合に容易に機能判別でき
るICの分類方法を提供することにある。
るICの分類方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、このような場合に容易に機能判別
できるIC1−提供することにある。
できるIC1−提供することにある。
異なる機能を有する複数極のICに於いて、同一位置に
ある電極間に前記機能毎に異なる値管有する抵抗体を接
続したこと1に%轍とする本発明のIC&用いれば、該
電極の間の抵抗体の値を測定することによってICの判
別分如が行い得る。
ある電極間に前記機能毎に異なる値管有する抵抗体を接
続したこと1に%轍とする本発明のIC&用いれば、該
電極の間の抵抗体の値を測定することによってICの判
別分如が行い得る。
以下1本発明の一1!―例を図によって説明する。
第1図は、シリコン基板lの上にA、8.2alの機能
を有するチップを混載した例でAl @Am・・・・
・・及びBr−Bm・・・・・・Fi、各々ム、Bc)
機能を有するIC?ツブ群である。謳2図は、このチッ
プの拡大図で、人、B両省とも同一位置の電極Tl5T
1間に抵抗体が接続されておりAiはその値が”A #
Bi はその像が81となっている。RAはR1よ
シ大であると仮定する。今、拡散及び配線工程を終えた
基板から良品チャ1選び出そうとする場合、その電気的
特性音測定する必要があるが、その機能が異なるため、
A、B111j省では異なる各々の測定条件が必要であ
る。即ち、Bの測定条件(Cond−B)でAのチップ
會テストすれは、当然不合格となりてしまい1本来人の
チップが持つべき機能を有している場合でも不良と判定
されてしまう、そこでA(0機能を有するべくチ曽プで
あるか否かを予め判別しAの測定条件(Cond−A)
でテスト管行えは%Aの良品チップを容易に選び出すこ
とができ、同様にBの良品チップも選び出すことができ
る。
を有するチップを混載した例でAl @Am・・・・
・・及びBr−Bm・・・・・・Fi、各々ム、Bc)
機能を有するIC?ツブ群である。謳2図は、このチッ
プの拡大図で、人、B両省とも同一位置の電極Tl5T
1間に抵抗体が接続されておりAiはその値が”A #
Bi はその像が81となっている。RAはR1よ
シ大であると仮定する。今、拡散及び配線工程を終えた
基板から良品チャ1選び出そうとする場合、その電気的
特性音測定する必要があるが、その機能が異なるため、
A、B111j省では異なる各々の測定条件が必要であ
る。即ち、Bの測定条件(Cond−B)でAのチップ
會テストすれは、当然不合格となりてしまい1本来人の
チップが持つべき機能を有している場合でも不良と判定
されてしまう、そこでA(0機能を有するべくチ曽プで
あるか否かを予め判別しAの測定条件(Cond−A)
でテスト管行えは%Aの良品チップを容易に選び出すこ
とができ、同様にBの良品チップも選び出すことができ
る。
そこで、前述のt極間の抵抗値を自足し、それによって
Aであるべきチップか、Bであるべきチ、プかを判別し
た後に、各々の適切な測定条件でテストして良否の判定
を行えばよい0通常、このような場合の測定には、自動
テスタで行うのでテスト・プログラムの流れ全編3図に
示すように設定しておけば1判別及び良否判定を一工程
で賽現できる。
Aであるべきチップか、Bであるべきチ、プかを判別し
た後に、各々の適切な測定条件でテストして良否の判定
を行えばよい0通常、このような場合の測定には、自動
テスタで行うのでテスト・プログラムの流れ全編3図に
示すように設定しておけば1判別及び良否判定を一工程
で賽現できる。
もし、同一チップをCond−A 、Cond−Bの
両方で611+足し、いずれか一方で合格したチップ管
良品と判定しようとすると、測定の時間が長くなりてし
まうことや、BのチップをCond−Aで測定すること
で破職してしまうおそれもあること轡の不都合を生ずる
。
両方で611+足し、いずれか一方で合格したチップ管
良品と判定しようとすると、測定の時間が長くなりてし
まうことや、BのチップをCond−Aで測定すること
で破職してしまうおそれもあること轡の不都合を生ずる
。
以上はいわゆるブロービング・テストの例であるが、前
述のその他の例の場合でも同様に予め定めた位置の電極
間の抵抗偽t−測足してそのICの8!能を判別できれ
にその後の適切な製造指定を行うことが可能となるのは
明らかである。
述のその他の例の場合でも同様に予め定めた位置の電極
間の抵抗偽t−測足してそのICの8!能を判別できれ
にその後の適切な製造指定を行うことが可能となるのは
明らかである。
また1判別の為の電極は必ずしもICの最科形腿で外部
に襄出している必要はなく、@別の必要な段隋でのみa
e能すればよいのは当然で、従って。
に襄出している必要はなく、@別の必要な段隋でのみa
e能すればよいのは当然で、従って。
電極の有効利用を妨げるものではない。さらに。
判別すべきIk類数が多い場合には単に2電極間の抵抗
値をatsit数に応じて設定する方法以外により多く
の電極¥if用して、個々の電極間に設定すべき抵抗値
の極mを削減する方法も可能である。継4図は後者の一
例會示すもので3個の電極TanT4−TI と3種の
抵抗値a、sg、a、を用いれば9柚類までの判別が可
能となる。
値をatsit数に応じて設定する方法以外により多く
の電極¥if用して、個々の電極間に設定すべき抵抗値
の極mを削減する方法も可能である。継4図は後者の一
例會示すもので3個の電極TanT4−TI と3種の
抵抗値a、sg、a、を用いれば9柚類までの判別が可
能となる。
これらの説明で明らかなように本発明によれば容易にI
Cの判別ができ、製造の自動化や、m運賃用の低減に資
するところ大である。
Cの判別ができ、製造の自動化や、m運賃用の低減に資
するところ大である。
糾1図は本発明の実施例を適用するICの製造工程中の
シリコン基板、第2囚はそのうちのチップ1示す一実施
例、JIB図は本発明実施例のプロー−ビングーテスト
の流れ図、第4図はよ〕多−類に適用した場合の電惨と
抵抗値を示す概念図である。 なお図において% Al @A電・・・・・・B、I
B、・・・・・・は個々のIC−Ts −Ts・・・
・・・は本発明の実施例を通用する電極s RA a
RB e Re は本発明の実施例を適用する抵抗体
とその値、 Cond−A aCond−11は各々機
能A、Bを測定する測定条件を示す。
シリコン基板、第2囚はそのうちのチップ1示す一実施
例、JIB図は本発明実施例のプロー−ビングーテスト
の流れ図、第4図はよ〕多−類に適用した場合の電惨と
抵抗値を示す概念図である。 なお図において% Al @A電・・・・・・B、I
B、・・・・・・は個々のIC−Ts −Ts・・・
・・・は本発明の実施例を通用する電極s RA a
RB e Re は本発明の実施例を適用する抵抗体
とその値、 Cond−A aCond−11は各々機
能A、Bを測定する測定条件を示す。
Claims (1)
- 異なるai能を有する複数種の集積回路装置の分類方法
に於いて、同一位置にある電極間に、前記機能毎KJ!
なるfIiを有する抵抗体f接続した集積回路Wtfk
を用い、該抵抗体の抵抗値を軸足することによプ分類を
行なうことを%黴とする集積回路装置の分類方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5488382A JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5488382A JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58171830A true JPS58171830A (ja) | 1983-10-08 |
Family
ID=12982980
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5488382A Pending JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58171830A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61274341A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-12-04 | Nec Corp | 半導体論理装置 |
JPS63293852A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-30 | Nec Corp | マスタスライス集積回路 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5650526A (en) * | 1979-10-02 | 1981-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
-
1982
- 1982-04-02 JP JP5488382A patent/JPS58171830A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5650526A (en) * | 1979-10-02 | 1981-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61274341A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-12-04 | Nec Corp | 半導体論理装置 |
JPS63293852A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-30 | Nec Corp | マスタスライス集積回路 |
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