JPS58151078A - 圧電効果装置 - Google Patents

圧電効果装置

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Publication number
JPS58151078A
JPS58151078A JP57033702A JP3370282A JPS58151078A JP S58151078 A JPS58151078 A JP S58151078A JP 57033702 A JP57033702 A JP 57033702A JP 3370282 A JP3370282 A JP 3370282A JP S58151078 A JPS58151078 A JP S58151078A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric
electrode
electrodes
sandwiching
unevenness
Prior art date
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Pending
Application number
JP57033702A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Iwamatsu
誠一 岩松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は圧電効果装置の構造に関する。
圧電効果装置は従来、圧電材料単体のもつ圧電効果を応
用し九装置が多く、例えば超音波発振素子、水晶振動子
等は圧電体の両面に電極を形成して用いられてい九〇が
通例であった。
しかし、上記従来技術では、圧電材のもつ応用の広ｉｉ
ｋ対して充分な対応がなされていないという欠点があり
え。
そこて、不発Ｗｉ４は、圧電材料のもつ可能性を一層広
げる事を目的として、圧電装置に集積回路技術を応用す
ることとした。
上記目的を達成する喪めの本発明の基本的な構成は、圧
電装置において、双極子モーメン）０異なる２枚の圧電
体を電極を挾んで形成し、＃２枚の圧電体の他の表面に
互に交叉する状態で電極を形成した事を特徴とする。
以下、実施例によシ本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す圧電装置の立体図であ
る。１は第１の双極子モーメントをもつ圧電膜、２は第
２の多極子モーメントをもつ圧電膜３は圧電膜１壱２の
間に挾んで形成され九電極で、引出し電極２による電圧
印加される。”１ｓｘｌ＊およびＹｌ、Ｙ、、Ｙ、は圧
電膜ｌと２の表面に形成され九互に交叉する電極である
。
第１図の圧電装置に於て、２に負の電圧を、ｘｌ、τＩ
Ｋ正の電圧を印加すると、その交点は一方向く歪んで凹
又は凸状態となる。この様に部分的に凹又は凸状態を現
出することＫよ）、表示装置、半導体ウェーハの凹凸に
対応し九凹凸チャック、半導体ウニ〜ハの凹凸に対応し
た凹凸マスクとして用いることができ、すなわち平面効
果を持つ圧電装置が形成できる効果がある。
■ＩＩＯ簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を示す圧電装置の立体図であ
る。
１・・−ｇｘｏ圧電体　２１・第２の圧電体３　ｖ　Ｚ
＊Ｙｔｔ　Ｙｅｔ　”ｉｐ　”ｉｓ　ｘ、、　Ｘｓ”　
”電１ｉ以　　　上 出願人　株式会社諏訪精工舎 代理人　弁理士最　上　　務 第１図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 双極子モーメントの異なる２枚の圧電体を電極を挾んで
    形成し、＃２枚の圧電体の他の表面に互に交叉する状態
    で電極を形成した事を特徴とする圧電−実装置。
JP57033702A 1982-03-03 1982-03-03 圧電効果装置 Pending JPS58151078A (ja)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52135287A (en) * 1976-05-28 1977-11-12 Kureha Chemical Ind Co Ltd Method of inputting piezooelectric signal
JPS5336209A (en) * 1976-09-13 1978-04-04 Ampex Structure for mounting position adjustable converter and device for driveng same
JPS5497007A (en) * 1978-01-17 1979-07-31 Sony Corp Head supporting structure

Patent Citations (3)

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