JPS6310814A - 縦振動型圧電振動片の電極構造 - Google Patents
縦振動型圧電振動片の電極構造Info
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- JPS6310814A JPS6310814A JP15446186A JP15446186A JPS6310814A JP S6310814 A JPS6310814 A JP S6310814A JP 15446186 A JP15446186 A JP 15446186A JP 15446186 A JP15446186 A JP 15446186A JP S6310814 A JPS6310814 A JP S6310814A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は縦振動型圧電振動片のｔ匝構造に関する。
従来の縦振動型圧電振動片の電匝ｌｌ１Ｉ造は、嬉４図
に示すよりに、前記振動片の２ｑＰ面及び２側面の４面
に電極を設けたも、のであった、その製法の１９１１ｋ
ｌＥ５図−）〜（ロ）に示した。まず水晶ウェハ上に振
動片パターンをＣデ、五２等の金属膜で作った後、さら
にフォトレジストでｔ １１ パターンのみを表裏面に
作シ、水晶をエツチングした後、前記Ｃｆ、五襲等の金
ＩＩＥｌ［ヲエッチングし、メタルマスクや、水晶によ
るマスクで、精度よく位置合わせを行なめ１片面づつ両
面共、スパッタリングや、斜め蒸着等によシ側面の膜付
けを行なって炸りていた。この場合の振動子としての直
列共、振インピーダンスｔ−ＷＸＧ図に示した。
に示すよりに、前記振動片の２ｑＰ面及び２側面の４面
に電極を設けたも、のであった、その製法の１９１１ｋ
ｌＥ５図−）〜（ロ）に示した。まず水晶ウェハ上に振
動片パターンをＣデ、五２等の金属膜で作った後、さら
にフォトレジストでｔ １１ パターンのみを表裏面に
作シ、水晶をエツチングした後、前記Ｃｆ、五襲等の金
ＩＩＥｌ［ヲエッチングし、メタルマスクや、水晶によ
るマスクで、精度よく位置合わせを行なめ１片面づつ両
面共、スパッタリングや、斜め蒸着等によシ側面の膜付
けを行なって炸りていた。この場合の振動子としての直
列共、振インピーダンスｔ−ＷＸＧ図に示した。
〔発明が解決しようとする問題点、７Ｊｌ。
従来技術の方法では、電極ｔ−２平面及び２側面の４面
ナベてに形成していた為２乎面へのバターニング及び片
面ずつ両面共スパッタリングや斜め蒸着等によ多側面の
膜付けを行なう必要があシ振動片が高価なものになって
いた。
ナベてに形成していた為２乎面へのバターニング及び片
面ずつ両面共スパッタリングや斜め蒸着等によ多側面の
膜付けを行なう必要があシ振動片が高価なものになって
いた。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、振動子の直列共振インピーダン
スを変えずに、製造方法が簡単で低価格の縦振動型圧電
振動片を提供するところにある。
の目的とするところは、振動子の直列共振インピーダン
スを変えずに、製造方法が簡単で低価格の縦振動型圧電
振動片を提供するところにある。
本発明の縦振動をする主振動部と、前記振動部を支持す
る支持体部とを、フォトエツチング加工によシ一体で形
成する縦振動型圧電振動片の電極［造は、前記振動片の
乎面及び側面のうち、ＩＫＦ面及び２側面の３辺のみに
電匝が設けられたことを特徴とする。
る支持体部とを、フォトエツチング加工によシ一体で形
成する縦振動型圧電振動片の電極［造は、前記振動片の
乎面及び側面のうち、ＩＫＦ面及び２側面の３辺のみに
電匝が設けられたことを特徴とする。
本発明の上記の構造によれば２ＩＩＦ面のうち、＾づれ
か０片側のみより膜付けを行なうことによシ、１平面及
び２側面のみにＩＥＩｉ膜が形成されるのである。
か０片側のみより膜付けを行なうことによシ、１平面及
び２側面のみにＩＥＩｉ膜が形成されるのである。
以下本発明の縦振動型圧電振動片の１！甑１ｌｌＩ造に
りいて、実施列で説明する。
りいて、実施列で説明する。
第１図μ）（ｂ）に本発明による前記振動片の電属構造
を示す、また、その製造方法の１列ｔ−第２図にそって
説明する。（ｔＬ）図に示す様に水晶２１にＣＴ。
を示す、また、その製造方法の１列ｔ−第２図にそって
説明する。（ｔＬ）図に示す様に水晶２１にＣＴ。
ムＵ等の金属＊２２１−．蒸着・スパッタ等によシ両面
付着した後、フォトレジスト２３を両面塗布し両面へ振
動片パターンを露光する９次に（６）図に示す様に露光
の後、現まし、さらにＣＴ、ムＵ等の前記金属膜２２ヲ
エツチングして、振動片パターンを作る。さらに、フォ
トレジストを剥離した後１片面のみよりフォトレジスト
２３ｔ−塗布し１片面のみよシ、前記振動片のＫｌパタ
ーン１ｋｇ光・現像する。さらに（６）図のごとく水晶
をエツチングし、ＣＴ、ムを等の前記金属膜２２ｔ−エ
ツチングし、１子面部のｔａパターンを形成する。そし
て（社）図の様に７オトレジストを剥離したｉ、ｔａパ
ターンの形成した方の面に１サイド電匝形成の為の、メ
タルあるｉは水晶等によるマスキング板２６ｆｔは少つ
け、ｃｙ、ムＵ等の金属１［２７ｔ−蒸着・スパッタ等
により２側面の電匝パターンを形成する。
付着した後、フォトレジスト２３を両面塗布し両面へ振
動片パターンを露光する９次に（６）図に示す様に露光
の後、現まし、さらにＣＴ、ムＵ等の前記金属膜２２ヲ
エツチングして、振動片パターンを作る。さらに、フォ
トレジストを剥離した後１片面のみよりフォトレジスト
２３ｔ−塗布し１片面のみよシ、前記振動片のＫｌパタ
ーン１ｋｇ光・現像する。さらに（６）図のごとく水晶
をエツチングし、ＣＴ、ムを等の前記金属膜２２ｔ−エ
ツチングし、１子面部のｔａパターンを形成する。そし
て（社）図の様に７オトレジストを剥離したｉ、ｔａパ
ターンの形成した方の面に１サイド電匝形成の為の、メ
タルあるｉは水晶等によるマスキング板２６ｆｔは少つ
け、ｃｙ、ムＵ等の金属１［２７ｔ−蒸着・スパッタ等
により２側面の電匝パターンを形成する。
このような方法で作った縦振動製圧電振動片の電界のか
か夕方は眞１図（６）の様であシ、さらに直列共振イン
ピーダンスｔ−ＩＥａ図に示す、これは従来の［１構造
の場合の第６図と比較してわかる様に従来とほぼ同程度
である。
か夕方は眞１図（６）の様であシ、さらに直列共振イン
ピーダンスｔ−ＩＥａ図に示す、これは従来の［１構造
の場合の第６図と比較してわかる様に従来とほぼ同程度
である。
本実施列では、マスキング板による側面電属の形成方法
の例で示したが、本発明はリフトオフ方法、あるｖｈは
、露光方法による形成方法でもよい。
の例で示したが、本発明はリフトオフ方法、あるｖｈは
、露光方法による形成方法でもよい。
また、屓ＴαＯ，、ＬｓＮ６０ｓ ｖ圧電セラミック等
の圧電材料を用＾た場合も同様である。
の圧電材料を用＾た場合も同様である。
以上述べたように１本発明の縦振動型圧電振動片のＷＬ
匝溝構造よれば、前記振動片の１子面のみにパターニン
グをして１子面のみよシ、スパッタリングある−は斜め
蒸着等によシミ甑膜付けをして１平面及び２側面の３辺
のみにｔｌを設けたことＫよシ、振動子の特性を維持し
象まま、加工工数を減らし、Ｍ／ｃ能力をＵＰさせ、材
料費を節減し、〒面電極が一面であるととＫよシ、ショ
ートの発生率を半減させることができ、低価格の縦振動
型圧電振動片を提供するものである。
匝溝構造よれば、前記振動片の１子面のみにパターニン
グをして１子面のみよシ、スパッタリングある−は斜め
蒸着等によシミ甑膜付けをして１平面及び２側面の３辺
のみにｔｌを設けたことＫよシ、振動子の特性を維持し
象まま、加工工数を減らし、Ｍ／ｃ能力をＵＰさせ、材
料費を節減し、〒面電極が一面であるととＫよシ、ショ
ートの発生率を半減させることができ、低価格の縦振動
型圧電振動片を提供するものである。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明の縦振動型圧電振動片の子
面図及び断面図。 ！２図（ロ）（ｂ） （ｃ）（ロ）は本発明の縦振動型
圧電振動片の製造方法の−ｎｔ−示す図。 飢３図は本発明の縦振動型圧電振動片の直列共振インピ
ーダンスを示す図。 窮４図は従来の縦振動型圧電振動片の一列を示す断面図
。 灯５図（ａ） （ｂ） （ｃ）（ロ）は従来の縦振動型
圧電振動片の製造方法の一例を示す図。 第６図は従来の縦振動型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 ｌＯ・・・水晶 １１・・・一方の［匝 １２・・・他方のＷ１匝 １３・・・電界のかが）方 ２１ ＠・・水晶 ｎ拳・・Ｃｒ、Ａ％等の金属膜 幻・・・７オトレジスト あ・Φ・マスク ２５＋１・・光 加・・・マスキング板 ２７ｍｍ＊Ｃｒ、Ａｗ等の金ＩＩ４瞑 ４０−・・水晶 ４１ ＠鳴曝一方の１翫 ４２−・・他方のｔ甑 ４３・・・電界のかが多方 ５１６・・Ｃデ、五Ｕ等の金属膜 ５２・・・フォトレジスト ５３ ｏ １１ ＠マスク ８−一−光 Ｉ・・・水晶 団・・・Ｃデ、ムＵ等の金属膜 ５６・・・マスキング板 以 上
面図及び断面図。 ！２図（ロ）（ｂ） （ｃ）（ロ）は本発明の縦振動型
圧電振動片の製造方法の−ｎｔ−示す図。 飢３図は本発明の縦振動型圧電振動片の直列共振インピ
ーダンスを示す図。 窮４図は従来の縦振動型圧電振動片の一列を示す断面図
。 灯５図（ａ） （ｂ） （ｃ）（ロ）は従来の縦振動型
圧電振動片の製造方法の一例を示す図。 第６図は従来の縦振動型圧電振動片の直列共振インピー
ダンスを示す図。 ｌＯ・・・水晶 １１・・・一方の［匝 １２・・・他方のＷ１匝 １３・・・電界のかが）方 ２１ ＠・・水晶 ｎ拳・・Ｃｒ、Ａ％等の金属膜 幻・・・７オトレジスト あ・Φ・マスク ２５＋１・・光 加・・・マスキング板 ２７ｍｍ＊Ｃｒ、Ａｗ等の金ＩＩ４瞑 ４０−・・水晶 ４１ ＠鳴曝一方の１翫 ４２−・・他方のｔ甑 ４３・・・電界のかが多方 ５１６・・Ｃデ、五Ｕ等の金属膜 ５２・・・フォトレジスト ５３ ｏ １１ ＠マスク ８−一−光 Ｉ・・・水晶 団・・・Ｃデ、ムＵ等の金属膜 ５６・・・マスキング板 以 上
Claims (1)
- 縦振動をする主振動部と、前記主振動部を支持する支
持体部とを、フォトエッチング加工により一体で形成す
る縦振動型圧電振動片の電極構造において、前記振動片
の平面及び側面のうち、１平面及び２側面の３辺のみに
電極が設けられたことを特徴とする縦振動型圧電振動片
の電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15446186A JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15446186A JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310814A true JPS6310814A (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15584746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15446186A Pending JPS6310814A (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | 縦振動型圧電振動片の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6310814A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275213A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH02132911A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15446186A patent/JPS6310814A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0275213A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-14 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
| JPH02132911A (ja) * | 1988-11-14 | 1990-05-22 | Seiko Electronic Components Ltd | 縦水晶振動子 |
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