JPS5814589A - レ−ザ光発生装置用ブロア - Google Patents

レ−ザ光発生装置用ブロア

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Publication number
JPS5814589A
JPS5814589A JP11070581A JP11070581A JPS5814589A JP S5814589 A JPS5814589 A JP S5814589A JP 11070581 A JP11070581 A JP 11070581A JP 11070581 A JP11070581 A JP 11070581A JP S5814589 A JPS5814589 A JP S5814589A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
blower
main body
piping
bypass passage
lubricating oil
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11070581A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Kuwabara
桑原 皓二
Hiroyuki Sugawara
宏之 菅原
Toshiji Shirokura
白倉 利治
Yukio Kawakubo
川久保 幸雄
Hiroharu Sasaki
弘治 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP11070581A priority Critical patent/JPS5814589A/ja
Publication of JPS5814589A publication Critical patent/JPS5814589A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/036Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はレーザ光発生装置用プロアに係り、特にブロア
駆動用モータに軸受用潤滑油給油装置を備えたブロアに
関する。
第1図は従来の炭酸ガスレーザ光発生装置の1例を示し
たものである。放電管1の両端には電極2.3が配設さ
れ、放電管1の内部にはCO2゜N、、Heの混合ガス
から成るV−ザ媒体4が充填さnている。電極2.3間
でグロー放電5を発生させると、CO,ガスを励起状態
として誘導放出によりレーザ光が発生する。放電管1の
両側には両端に鏡6.7を有する室が接続されており、
前記放電管1内に発生したV−ザ光はこ扛ら伊6゜7間
で往復反射し、増幅されて一部が祷6を通してレーザ光
8として外部に取出さ扛る。@7が設けられている室に
は熱交換器9を介してブロア10の吸込側が接続さ扛、
このブロア10の排気側は配管11により伊6が設けら
れている室に接続している。グロー放電により熱せらf
t、;x放電管1内のレーザ媒体4は熱交換器9で冷却
さlrした後、ブロア10により再び放電管1内へ送り
込1nる。
第2図は上記ブロア10の詳細断面図である。
駆動用モータ12の出力軸13の先端には羽根車14が
取付けである。この羽根車14の先端部付近のケーシン
グには吸込口15が設けら扛、外周部付近のケーシング
には排気口16が設けら扛ている。前記出力軸長3は軸
受17a、17bにより支承さn1軸受17aと羽根車
14との間の出力軸外周にはラビリンス18が装置され
ている。
ま次、世力軸13内部には軸方向に伸びる孔が形成〜さ
扛ており、軸受17a、17b付近上部には給油口19
a、19bが前記孔と連通している。
また、駆動用モータの固定子外周部と外殻を形成してい
るケーシングとの間には空間20が設けらrている。更
に、このケーシングの底部には潤滑″ニニ;!7二:二
富ニー、1゜KIAi。7回転さするため、レーザ媒体
4は吸込口15より入り羽根車14を経て排気口16へ
と導びか扛る。
軸受17a、17bには、遠心力により出力軸13内部
の孔を通して吸上げられた潤滑油21が、給油口19a
、1・9bを経て供給される。この際潤滑油21の蒸気
が羽根車’14の方へ流出するのをラビリンス18が防
止している。
ところで、上記のような従来構造のブロア10において
は、下記のような不具合を生ずることが、 判明した。
即ち、V−ザ光発生装置内をIQ””l’orr程度筐
で真空ポンプ(図示せず)により排気して、レーザ媒体
2を交換する場合、ブロア10と吸込口15及び排気口
16により接続さ扛るレーザ光発生装置本体と、モータ
12の空間20はコンダクタンスの小さいラビリンス1
8を通じて連通されるととになる。このため、レーザ装
置本体内部の圧力低下速度に比較して、空間20の圧力
低下は極端に遅くなる。このため、空間20よりレー 
 1ザ装置本体内部へ向かう圧力差系中じて、潤滑油2
1が羽根車14の方へ流出する。従って、再びレーザ装
置本体内にレーザ媒体4を充填した時、潤滑油21がレ
ーザ媒体4中へ混入して、レーザ発振特性を著しく阻害
する欠点が生じる。
本発明の目的は上記の欠点に鑑み、レーザ装置本体にラ
ビリンス部を通して潤滑油が混入することを防止したレ
ーザ光発生装置用ブロアを提供することにある。
本発明は、駆動用モータの外周部付近にある空間部と、
ブロアの吸込口の近傍とを配管により連通して、前記空
間部とレーザ光発生装置本体内部とをラビリンス部を迂
回して連通し、駆動用モータの空間部よりレーザ装置本
体内部へ向かう圧力差が生ずることを防止したものであ
る。
以下本発明のレーザ光発生装置用ブロアの一実施例を従
来と同部品は同符号で示し第3図により説明する。
駆動用モータ12の出力軸13の先端に羽根車14が取
付けらnl この羽根車14によりレーザ媒体を吸込口
15から吸込み排気口16へ排出する従来例と略同様の
構造を有している。従来例と異、なる所は、駆動用モー
タ12の固定子外周部に設けらnている空間20と吸込
口15とは配管22、オイルミストトラップ23、配管
24を通して連通さ扛るバイパス通路が設けらtている
所にある。このパイ・パス通路を形成する配′管部分の
コンダクタンスはラビリンス18におけるコンダクタン
スに比較して十分大きく取ってあり、また、バイパス通
路にはオイルミス))ラップ23が挿入さ【ているため
、このバイパス通路を通じて潤滑油21の蒸気がV−ザ
光装置本体部に流入することを防止している。
本実施例によnば、駆動用モータ12の空間20と、吸
込口15とを配管22、オイルミストトラップ23、配
管24より成るコンダクタンスの大きなバイパス通路に
より連通することにより、レーザ媒体交換時にラビリン
ス18の両端に生ずる圧力差を解消する効果がある。こ
のため、潤滑油21が圧力差によってV−ザ光発生装置
本体内部に流入することがなくなり、安定したレーザ発
振特性をレーザ光発生装置を持友せる効果がある。
なお、本実施例では、ブロア10が運転状態にある時に
は、排気口16は吸込口15よりブロアの圧力ヘッド分
だけ高い圧力となっている。それ故、羽根車14の裏面
の空間25(この部分の圧力は排気口16における圧力
に等しい)は駆動用モータ12の空間20(この部分の
圧力はバイパス通路により吸込口15の圧力と等しい)
より高い圧力になるため、レーザ媒体は極く僅かである
がうビリンス18を通して空間20へと流入する。従っ
て、逆に潤滑油21の蒸気の空間25への流入を完全に
防止し、レーザ光発生装置本体へ潤滑油21の蒸気が流
入することを完全に防止している。
以上記述した如く本発明のレーザ光発生装置用ブロアに
よrしば、レーザ装置本体にラビリンス部を通して潤滑
油が混入することを防止することができる効果を有する
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の炭酸ガスレーザ光発生装置の1例を示し
た概略構成図、第2図は第1図のブロアの詳細を示した
断面図、第3図は本発明に係るレーザ光発生装置用ブロ
アの一実施例を示した縦断面図である。 1・・・放電管、2.3・・・電極、4・・・レーザ媒
体、6゜7・・・鐘、9・・・熱交換器、10・・・ブ
ロア、12・・・駆動用モータ、13・!・出力軸、1
4・・・羽根車、15・・・吸込口、16・・・排気口
、17a、17b・・・軸受、18・・・ラビリンス、
19a、19b・・・給油口、20.25・・・空間、
21・・・潤滑油、22.24・・・第1図 ■ 第2図 垢3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、L/−ザ光発生装置のレーザ媒体を循環させる羽根
    車を回転させる駆動用モータを備え、該モータの軸受に
    は潤滑油給油装置によって常時潤滑油が給油さ扛るレー
    ザ光発生装置用ブロアにおいて、レーザ媒体の吸込口に
    、前記モータの回転軸シール部を介して連通ずる前記モ
    ータの内部空間と、前記吸込口近傍とを配管より成るバ
    イパス通路で連通したことを特徴とするレーザ光発生装
    置用プロア。 2、バイパス通路に油蒸気凝縮装置を挿入したことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載のレーザ光発生装置
    用プロア。
JP11070581A 1981-07-17 1981-07-17 レ−ザ光発生装置用ブロア Pending JPS5814589A (ja)

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JP11070581A JPS5814589A (ja) 1981-07-17 1981-07-17 レ−ザ光発生装置用ブロア

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JPS5814589A true JPS5814589A (ja) 1983-01-27

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ID=14542361

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62273492A (ja) * 1986-03-07 1987-11-27 エレクトリシテ ドウ フランス−セルヴイス ナシヨナル− 加圧水形原子炉用の逆流防止弁装置
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WO1989012921A1 (en) * 1988-06-24 1989-12-28 Fanuc Ltd Laser oscillator
JPH021193A (ja) * 1988-03-03 1990-01-05 Fanuc Ltd レーザ発振装置
WO1991005384A1 (fr) * 1989-10-04 1991-04-18 Fanuc Ltd Turbosoufflante pour laser et oscillateur laser l'utilisant
US5114320A (en) * 1989-12-27 1992-05-19 Leybold Ag Blower or pump with capillary filter for replenishment of oil separated by vacuum pump

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