JPS58127107A - Ｘｙテ−ブルのミラ−取付構造 - Google Patents
Ｘｙテ−ブルのミラ−取付構造Info
- Publication number
- JPS58127107A JPS58127107A JP893182A JP893182A JPS58127107A JP S58127107 A JPS58127107 A JP S58127107A JP 893182 A JP893182 A JP 893182A JP 893182 A JP893182 A JP 893182A JP S58127107 A JPS58127107 A JP S58127107A
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- Japan
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- mirror
- parallelism
- adjusted
- opposing
- support member
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ測長機を有するＸＹテーブルに関し、特
にレーザ光の反射用としてＸＹテーブルに取付けられる
ミラーの取付構造に関するものである。
にレーザ光の反射用としてＸＹテーブルに取付けられる
ミラーの取付構造に関するものである。
牛導体装置の製造装置の一つであるベレントボンダやワ
イヤボンダ、更にはマスクやレチクルの外観検査装置で
はＸＹテーブルを利用しているが、このＸＹテーブルに
はその移動位置を検出するためのレーザ測長機を付設す
ることが多い。このレーザ測長機は、例えば第１図に示
すように、ＸＹテーブル１の一側面にミラー２（平面鏡
〕を取付けておき、レーザ発振器３から射出されたレー
ザ光をこのミラー２にて反射させ、その反射光をカウン
トすることによりテーブルの位置を検出するようにした
ものである。このため、前記ミラー２はＸＹテーブル１
のＸ方向（あるいはＹ方向）と平行に取付ける必要があ
る。
イヤボンダ、更にはマスクやレチクルの外観検査装置で
はＸＹテーブルを利用しているが、このＸＹテーブルに
はその移動位置を検出するためのレーザ測長機を付設す
ることが多い。このレーザ測長機は、例えば第１図に示
すように、ＸＹテーブル１の一側面にミラー２（平面鏡
〕を取付けておき、レーザ発振器３から射出されたレー
ザ光をこのミラー２にて反射させ、その反射光をカウン
トすることによりテーブルの位置を検出するようにした
ものである。このため、前記ミラー２はＸＹテーブル１
のＸ方向（あるいはＹ方向）と平行に取付ける必要があ
る。
しかしながら、従来ではミラー２をねじ等を用いてＸＹ
テーブル１に直接取付けているため、テーブル側面の平
行度を工作加工によって出すことが難かしいことと相俟
って、ミラーの平行度を高精度に設定することが困難で
ある。このため、ねじの締付程度を調整する等の操作に
よってミラーの平行度を調整する作業が必要とされるが
、ミラーを三次元的に平行用してることは極めて難かし
く、充分満足できろ精度が得られないという問題がある
。
テーブル１に直接取付けているため、テーブル側面の平
行度を工作加工によって出すことが難かしいことと相俟
って、ミラーの平行度を高精度に設定することが困難で
ある。このため、ねじの締付程度を調整する等の操作に
よってミラーの平行度を調整する作業が必要とされるが
、ミラーを三次元的に平行用してることは極めて難かし
く、充分満足できろ精度が得られないという問題がある
。
したがって本発明の目的は、断面略Ｕ字状でボルト手段
にてその対向片の対向姿勢を調整可能な支持部材ケ、夫
々姿勢変化方向を異えて重なるように配置してミラーを
その最前面に固着し、各支持部材を夫々調整することに
よりミラーの姿勢を三次元的に調整できるように構成す
ることにより、テーブルの移動方向に対するミラーの平
行度出しを高精度に行なうことができるＸＹテーブルの
ミラー取付構造夕祈供することにある。
にてその対向片の対向姿勢を調整可能な支持部材ケ、夫
々姿勢変化方向を異えて重なるように配置してミラーを
その最前面に固着し、各支持部材を夫々調整することに
よりミラーの姿勢を三次元的に調整できるように構成す
ることにより、テーブルの移動方向に対するミラーの平
行度出しを高精度に行なうことができるＸＹテーブルの
ミラー取付構造夕祈供することにある。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第２図ないし第４図は本発明の一実施例を示し、１０は
例えばＸテーブル、１１はこのＸテーブル１０の一側面
に取付けるべきミラーであり、このミラー１１は前記Ｘ
テーブル１０の一側面に取着した一対の支持部材１２．
１３を介して取付けている。前記一対の支持部材１２，
１３の中、Ｘテーブル１０の一側面に直接取着した支持
部材１２はその厚さ方向の略中央部に長さ方向のスリッ
ト１４を一端から他端近傍にまで形成して平面形状な略
Ｕ字状に形成し、このスリット１４により形成された内
側、外側の各対向片１５．１６の一端側の位置には調整
ボルト１７を厚さ方向に螺合させている。そして、前記
内側の対向片１５をボルト１８，１８にて前記Ｘテーブ
ル１０の一側面に取着し、外側の対向片１６には他の支
持部材１３を例えば接着等により固着している。
例えばＸテーブル、１１はこのＸテーブル１０の一側面
に取付けるべきミラーであり、このミラー１１は前記Ｘ
テーブル１０の一側面に取着した一対の支持部材１２．
１３を介して取付けている。前記一対の支持部材１２，
１３の中、Ｘテーブル１０の一側面に直接取着した支持
部材１２はその厚さ方向の略中央部に長さ方向のスリッ
ト１４を一端から他端近傍にまで形成して平面形状な略
Ｕ字状に形成し、このスリット１４により形成された内
側、外側の各対向片１５．１６の一端側の位置には調整
ボルト１７を厚さ方向に螺合させている。そして、前記
内側の対向片１５をボルト１８，１８にて前記Ｘテーブ
ル１０の一側面に取着し、外側の対向片１６には他の支
持部材１３を例えば接着等により固着している。
この他の支持部材１３はその厚さ方向の中央部に長さ方
向のスリット１９を一側（上側）から他側（下側）近傍
にまで形成して立面形状を略Ｕ字状に形成し、内側、外
側の各対向片２０．２１を形成している。そして、内側
の対向片２０を前記一方の支持部材１２の外側対向片１
６に固着すると共に、外側の対向片２１の前面にミラー
１１を貼付等によって取着している。また、支持部材１
３の両端部近傍には一対の調整ポル）２２．２３を内、
外側の対向片２０．２１にわたって厚さ方向に螺設して
いる。
向のスリット１９を一側（上側）から他側（下側）近傍
にまで形成して立面形状を略Ｕ字状に形成し、内側、外
側の各対向片２０．２１を形成している。そして、内側
の対向片２０を前記一方の支持部材１２の外側対向片１
６に固着すると共に、外側の対向片２１の前面にミラー
１１を貼付等によって取着している。また、支持部材１
３の両端部近傍には一対の調整ポル）２２．２３を内、
外側の対向片２０．２１にわたって厚さ方向に螺設して
いる。
なお、前記各支持部材１２，１３は割付の高い材質にて
形成しているが若干の弾性を備えることが肝要である。
形成しているが若干の弾性を備えることが肝要である。
以上の構成によれば、ミラー１１のＸテーブル１０に対
する平行度はＸテーブル１０とミラー１１との間に介装
した各支持部材１２．１３の夫々の内、外側対向片１５
と１６．２０と２１の平行度によって決定される。した
がって、支持部材１２に螺合した調整ボルト１７を締緩
することにより内、外側の対向片１５．１６は他端を支
点としてその一端を第３図の矢印のように厚さ方向に接
近させあるいは離反させる。これにより、内側対向片１
５を基準としたときの外側対向片１６の対向姿勢、即ち
平行度をＸテーブルの平面方向に変化でき、同時にミラ
ー１１の平面方向の平行度を変化調整できる。一方、支
持部材１３に螺合した調整ポル）２２．２３を締緩する
と支持部材１３の内、外側の対向片２０．２１は下側を
支思としてその上１Ｍ＋＋を第４図の矢印のように厚さ
方向に接近させあるいは離反させる。これにより、内側
対向片２０！基準としたときの外側対向片２１０対向姿
勢、即ち平行度ｉＸテーブルの立面方向に変化でき、同
時にミラー１１の立面方向の平行度を変化調整すること
ができる。なお、ｖ４整ボルト２２゜２３位置における
支持部材１３の内、外側対向片２０．２１間の対向姿勢
（寸法）を相違させればミラー１１にねじりを生じさせ
、更に複雑な平行度出しを行なうことができる。
する平行度はＸテーブル１０とミラー１１との間に介装
した各支持部材１２．１３の夫々の内、外側対向片１５
と１６．２０と２１の平行度によって決定される。した
がって、支持部材１２に螺合した調整ボルト１７を締緩
することにより内、外側の対向片１５．１６は他端を支
点としてその一端を第３図の矢印のように厚さ方向に接
近させあるいは離反させる。これにより、内側対向片１
５を基準としたときの外側対向片１６の対向姿勢、即ち
平行度をＸテーブルの平面方向に変化でき、同時にミラ
ー１１の平面方向の平行度を変化調整できる。一方、支
持部材１３に螺合した調整ポル）２２．２３を締緩する
と支持部材１３の内、外側の対向片２０．２１は下側を
支思としてその上１Ｍ＋＋を第４図の矢印のように厚さ
方向に接近させあるいは離反させる。これにより、内側
対向片２０！基準としたときの外側対向片２１０対向姿
勢、即ち平行度ｉＸテーブルの立面方向に変化でき、同
時にミラー１１の立面方向の平行度を変化調整すること
ができる。なお、ｖ４整ボルト２２゜２３位置における
支持部材１３の内、外側対向片２０．２１間の対向姿勢
（寸法）を相違させればミラー１１にねじりを生じさせ
、更に複雑な平行度出しを行なうことができる。
したがって、ミラー１１のＸテーブルｌＯに対する平行
度の調整は、調整ボルト１７と２２．２３を締緩するだ
けでミラーを三次元的に変化調整することができ、その
作業ケ極めて簡単なものにできる。
度の調整は、調整ボルト１７と２２．２３を締緩するだ
けでミラーを三次元的に変化調整することができ、その
作業ケ極めて簡単なものにできる。
ここで、支持部材１２と１３はその重ね合せＩＩＮ序を
逆にし、支持部材１３をＸテーブル１０に固着し、支持
部材１２にミラー１１を取着てるようにしても同様なミ
ラー調整を行なうことができる。
逆にし、支持部材１３をＸテーブル１０に固着し、支持
部材１２にミラー１１を取着てるようにしても同様なミ
ラー調整を行なうことができる。
また、各支持部材１２．１３のＸテーブル１０への取付
構造や相互の取付構造には他の手段、例えば溶接構造を
採用するようにしてもよい。
構造や相互の取付構造には他の手段、例えば溶接構造を
採用するようにしてもよい。
以上のように本発明のミラー取付構造によれば、断面略
Ｕ字状でボルト手段にてその対向片の対向姿勢を調整可
能な支持部材を夫々姿勢変化方向を異えて重なるように
配置した上でミラーをその最前面に固着し、各支持部材
の姿勢を夫々調整することによりミラーの姿勢を三次元
的に調整できるように構成しているのでＸＹテーブルの
移動方向に対するミラーの平行度を極めて簡単な作業で
高精度に行なうことができるという効果を奏する。
Ｕ字状でボルト手段にてその対向片の対向姿勢を調整可
能な支持部材を夫々姿勢変化方向を異えて重なるように
配置した上でミラーをその最前面に固着し、各支持部材
の姿勢を夫々調整することによりミラーの姿勢を三次元
的に調整できるように構成しているのでＸＹテーブルの
移動方向に対するミラーの平行度を極めて簡単な作業で
高精度に行なうことができるという効果を奏する。
第１図はＸＹテーブルのレーザ測長機の平面図、第２図
は本発明のミラー取付構造の要部斜視図、第３凶はその
平面図、第４図は正面図である。 １０・・・Ｘテーブル（ＸＹテーブル）、１１・・ミラ
ー、１２．１３・・支持部材、１５．１６・・・対向片
、１７・・・調整ボルト、２０．２１・・・対向片、２
２．２３・・・調整ボルト。 代理人 弁理士 薄 １）利 箪・−′１′ （７） ・・ｉ・、・１−・ノ５−１−一 第 １ 図 ′ｂ ＼ 。 ＼
は本発明のミラー取付構造の要部斜視図、第３凶はその
平面図、第４図は正面図である。 １０・・・Ｘテーブル（ＸＹテーブル）、１１・・ミラ
ー、１２．１３・・支持部材、１５．１６・・・対向片
、１７・・・調整ボルト、２０．２１・・・対向片、２
２．２３・・・調整ボルト。 代理人 弁理士 薄 １）利 箪・−′１′ （７） ・・ｉ・、・１−・ノ５−１−一 第 １ 図 ′ｂ ＼ 。 ＼
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 レーザ測長機の一部を構成するミラーを、ＸＹ移
動方向のいずれかあるいは夫々に平行に取付けてなるＸ
Ｙテーブルにおいて、前記ミラーとＸＹテーブルとの間
には断面略Ｕ字状でボルト手段等にてその対向片の対向
姿勢を調整可能な一対の支持部材を介装し、かつこれら
各支持部材は前記対向姿勢の変化方向が夫々異なるよう
にして重ねてなることを特徴とするＸＹテーブルのミラ
ー取付構造。 ２、一方の支持部材は対向片の対向姿勢を平面方向に変
化でき、他方の支持部材は対向片の対向姿勢を立面方向
に変化できるように構成してなる特許請求の範囲第１項
記載のＸＹテーブルのミラー取付構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP893182A JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Ｘｙテ−ブルのミラ−取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP893182A JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Ｘｙテ−ブルのミラ−取付構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58127107A true JPS58127107A (ja) | 1983-07-28 |
Family
ID=11706402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP893182A Pending JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Ｘｙテ−ブルのミラ−取付構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58127107A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3408702A4 (en) * | 2016-01-27 | 2019-10-16 | Bio-rad Laboratories, Inc. | HIGH PRECISION LASER GUIDANCE WITH LOW CROSS COUPLING |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP893182A patent/JPS58127107A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3408702A4 (en) * | 2016-01-27 | 2019-10-16 | Bio-rad Laboratories, Inc. | HIGH PRECISION LASER GUIDANCE WITH LOW CROSS COUPLING |
| US10663690B2 (en) | 2016-01-27 | 2020-05-26 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
| US11391911B2 (en) | 2016-01-27 | 2022-07-19 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
| US11982870B2 (en) | 2016-01-27 | 2024-05-14 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
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