JPS58127107A - Xyテ−ブルのミラ−取付構造 - Google Patents
Xyテ−ブルのミラ−取付構造Info
- Publication number
- JPS58127107A JPS58127107A JP893182A JP893182A JPS58127107A JP S58127107 A JPS58127107 A JP S58127107A JP 893182 A JP893182 A JP 893182A JP 893182 A JP893182 A JP 893182A JP S58127107 A JPS58127107 A JP S58127107A
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- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- parallelism
- adjusted
- opposing
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- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1822—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors comprising means for aligning the optical axis
- G02B7/1824—Manual alignment
- G02B7/1825—Manual alignment made by screws, e.g. for laser mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ測長機を有するXYテーブルに関し、特
にレーザ光の反射用としてXYテーブルに取付けられる
ミラーの取付構造に関するものである。
にレーザ光の反射用としてXYテーブルに取付けられる
ミラーの取付構造に関するものである。
牛導体装置の製造装置の一つであるベレントボンダやワ
イヤボンダ、更にはマスクやレチクルの外観検査装置で
はXYテーブルを利用しているが、このXYテーブルに
はその移動位置を検出するためのレーザ測長機を付設す
ることが多い。このレーザ測長機は、例えば第1図に示
すように、XYテーブル1の一側面にミラー2(平面鏡
〕を取付けておき、レーザ発振器3から射出されたレー
ザ光をこのミラー2にて反射させ、その反射光をカウン
トすることによりテーブルの位置を検出するようにした
ものである。このため、前記ミラー2はXYテーブル1
のX方向(あるいはY方向)と平行に取付ける必要があ
る。
イヤボンダ、更にはマスクやレチクルの外観検査装置で
はXYテーブルを利用しているが、このXYテーブルに
はその移動位置を検出するためのレーザ測長機を付設す
ることが多い。このレーザ測長機は、例えば第1図に示
すように、XYテーブル1の一側面にミラー2(平面鏡
〕を取付けておき、レーザ発振器3から射出されたレー
ザ光をこのミラー2にて反射させ、その反射光をカウン
トすることによりテーブルの位置を検出するようにした
ものである。このため、前記ミラー2はXYテーブル1
のX方向(あるいはY方向)と平行に取付ける必要があ
る。
しかしながら、従来ではミラー2をねじ等を用いてXY
テーブル1に直接取付けているため、テーブル側面の平
行度を工作加工によって出すことが難かしいことと相俟
って、ミラーの平行度を高精度に設定することが困難で
ある。このため、ねじの締付程度を調整する等の操作に
よってミラーの平行度を調整する作業が必要とされるが
、ミラーを三次元的に平行用してることは極めて難かし
く、充分満足できろ精度が得られないという問題がある
。
テーブル1に直接取付けているため、テーブル側面の平
行度を工作加工によって出すことが難かしいことと相俟
って、ミラーの平行度を高精度に設定することが困難で
ある。このため、ねじの締付程度を調整する等の操作に
よってミラーの平行度を調整する作業が必要とされるが
、ミラーを三次元的に平行用してることは極めて難かし
く、充分満足できろ精度が得られないという問題がある
。
したがって本発明の目的は、断面略U字状でボルト手段
にてその対向片の対向姿勢を調整可能な支持部材ケ、夫
々姿勢変化方向を異えて重なるように配置してミラーを
その最前面に固着し、各支持部材を夫々調整することに
よりミラーの姿勢を三次元的に調整できるように構成す
ることにより、テーブルの移動方向に対するミラーの平
行度出しを高精度に行なうことができるXYテーブルの
ミラー取付構造夕祈供することにある。
にてその対向片の対向姿勢を調整可能な支持部材ケ、夫
々姿勢変化方向を異えて重なるように配置してミラーを
その最前面に固着し、各支持部材を夫々調整することに
よりミラーの姿勢を三次元的に調整できるように構成す
ることにより、テーブルの移動方向に対するミラーの平
行度出しを高精度に行なうことができるXYテーブルの
ミラー取付構造夕祈供することにある。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第2図ないし第4図は本発明の一実施例を示し、10は
例えばXテーブル、11はこのXテーブル10の一側面
に取付けるべきミラーであり、このミラー11は前記X
テーブル10の一側面に取着した一対の支持部材12.
13を介して取付けている。前記一対の支持部材12,
13の中、Xテーブル10の一側面に直接取着した支持
部材12はその厚さ方向の略中央部に長さ方向のスリッ
ト14を一端から他端近傍にまで形成して平面形状な略
U字状に形成し、このスリット14により形成された内
側、外側の各対向片15.16の一端側の位置には調整
ボルト17を厚さ方向に螺合させている。そして、前記
内側の対向片15をボルト18,18にて前記Xテーブ
ル10の一側面に取着し、外側の対向片16には他の支
持部材13を例えば接着等により固着している。
例えばXテーブル、11はこのXテーブル10の一側面
に取付けるべきミラーであり、このミラー11は前記X
テーブル10の一側面に取着した一対の支持部材12.
13を介して取付けている。前記一対の支持部材12,
13の中、Xテーブル10の一側面に直接取着した支持
部材12はその厚さ方向の略中央部に長さ方向のスリッ
ト14を一端から他端近傍にまで形成して平面形状な略
U字状に形成し、このスリット14により形成された内
側、外側の各対向片15.16の一端側の位置には調整
ボルト17を厚さ方向に螺合させている。そして、前記
内側の対向片15をボルト18,18にて前記Xテーブ
ル10の一側面に取着し、外側の対向片16には他の支
持部材13を例えば接着等により固着している。
この他の支持部材13はその厚さ方向の中央部に長さ方
向のスリット19を一側(上側)から他側(下側)近傍
にまで形成して立面形状を略U字状に形成し、内側、外
側の各対向片20.21を形成している。そして、内側
の対向片20を前記一方の支持部材12の外側対向片1
6に固着すると共に、外側の対向片21の前面にミラー
11を貼付等によって取着している。また、支持部材1
3の両端部近傍には一対の調整ポル)22.23を内、
外側の対向片20.21にわたって厚さ方向に螺設して
いる。
向のスリット19を一側(上側)から他側(下側)近傍
にまで形成して立面形状を略U字状に形成し、内側、外
側の各対向片20.21を形成している。そして、内側
の対向片20を前記一方の支持部材12の外側対向片1
6に固着すると共に、外側の対向片21の前面にミラー
11を貼付等によって取着している。また、支持部材1
3の両端部近傍には一対の調整ポル)22.23を内、
外側の対向片20.21にわたって厚さ方向に螺設して
いる。
なお、前記各支持部材12,13は割付の高い材質にて
形成しているが若干の弾性を備えることが肝要である。
形成しているが若干の弾性を備えることが肝要である。
以上の構成によれば、ミラー11のXテーブル10に対
する平行度はXテーブル10とミラー11との間に介装
した各支持部材12.13の夫々の内、外側対向片15
と16.20と21の平行度によって決定される。した
がって、支持部材12に螺合した調整ボルト17を締緩
することにより内、外側の対向片15.16は他端を支
点としてその一端を第3図の矢印のように厚さ方向に接
近させあるいは離反させる。これにより、内側対向片1
5を基準としたときの外側対向片16の対向姿勢、即ち
平行度をXテーブルの平面方向に変化でき、同時にミラ
ー11の平面方向の平行度を変化調整できる。一方、支
持部材13に螺合した調整ポル)22.23を締緩する
と支持部材13の内、外側の対向片20.21は下側を
支思としてその上1M++を第4図の矢印のように厚さ
方向に接近させあるいは離反させる。これにより、内側
対向片20!基準としたときの外側対向片210対向姿
勢、即ち平行度iXテーブルの立面方向に変化でき、同
時にミラー11の立面方向の平行度を変化調整すること
ができる。なお、v4整ボルト22゜23位置における
支持部材13の内、外側対向片20.21間の対向姿勢
(寸法)を相違させればミラー11にねじりを生じさせ
、更に複雑な平行度出しを行なうことができる。
する平行度はXテーブル10とミラー11との間に介装
した各支持部材12.13の夫々の内、外側対向片15
と16.20と21の平行度によって決定される。した
がって、支持部材12に螺合した調整ボルト17を締緩
することにより内、外側の対向片15.16は他端を支
点としてその一端を第3図の矢印のように厚さ方向に接
近させあるいは離反させる。これにより、内側対向片1
5を基準としたときの外側対向片16の対向姿勢、即ち
平行度をXテーブルの平面方向に変化でき、同時にミラ
ー11の平面方向の平行度を変化調整できる。一方、支
持部材13に螺合した調整ポル)22.23を締緩する
と支持部材13の内、外側の対向片20.21は下側を
支思としてその上1M++を第4図の矢印のように厚さ
方向に接近させあるいは離反させる。これにより、内側
対向片20!基準としたときの外側対向片210対向姿
勢、即ち平行度iXテーブルの立面方向に変化でき、同
時にミラー11の立面方向の平行度を変化調整すること
ができる。なお、v4整ボルト22゜23位置における
支持部材13の内、外側対向片20.21間の対向姿勢
(寸法)を相違させればミラー11にねじりを生じさせ
、更に複雑な平行度出しを行なうことができる。
したがって、ミラー11のXテーブルlOに対する平行
度の調整は、調整ボルト17と22.23を締緩するだ
けでミラーを三次元的に変化調整することができ、その
作業ケ極めて簡単なものにできる。
度の調整は、調整ボルト17と22.23を締緩するだ
けでミラーを三次元的に変化調整することができ、その
作業ケ極めて簡単なものにできる。
ここで、支持部材12と13はその重ね合せIIN序を
逆にし、支持部材13をXテーブル10に固着し、支持
部材12にミラー11を取着てるようにしても同様なミ
ラー調整を行なうことができる。
逆にし、支持部材13をXテーブル10に固着し、支持
部材12にミラー11を取着てるようにしても同様なミ
ラー調整を行なうことができる。
また、各支持部材12.13のXテーブル10への取付
構造や相互の取付構造には他の手段、例えば溶接構造を
採用するようにしてもよい。
構造や相互の取付構造には他の手段、例えば溶接構造を
採用するようにしてもよい。
以上のように本発明のミラー取付構造によれば、断面略
U字状でボルト手段にてその対向片の対向姿勢を調整可
能な支持部材を夫々姿勢変化方向を異えて重なるように
配置した上でミラーをその最前面に固着し、各支持部材
の姿勢を夫々調整することによりミラーの姿勢を三次元
的に調整できるように構成しているのでXYテーブルの
移動方向に対するミラーの平行度を極めて簡単な作業で
高精度に行なうことができるという効果を奏する。
U字状でボルト手段にてその対向片の対向姿勢を調整可
能な支持部材を夫々姿勢変化方向を異えて重なるように
配置した上でミラーをその最前面に固着し、各支持部材
の姿勢を夫々調整することによりミラーの姿勢を三次元
的に調整できるように構成しているのでXYテーブルの
移動方向に対するミラーの平行度を極めて簡単な作業で
高精度に行なうことができるという効果を奏する。
第1図はXYテーブルのレーザ測長機の平面図、第2図
は本発明のミラー取付構造の要部斜視図、第3凶はその
平面図、第4図は正面図である。 10・・・Xテーブル(XYテーブル)、11・・ミラ
ー、12.13・・支持部材、15.16・・・対向片
、17・・・調整ボルト、20.21・・・対向片、2
2.23・・・調整ボルト。 代理人 弁理士 薄 1)利 箪・−′1′ (7) ・・i・、・1−・ノ5−1−一 第 1 図 ′b \ 。 \
は本発明のミラー取付構造の要部斜視図、第3凶はその
平面図、第4図は正面図である。 10・・・Xテーブル(XYテーブル)、11・・ミラ
ー、12.13・・支持部材、15.16・・・対向片
、17・・・調整ボルト、20.21・・・対向片、2
2.23・・・調整ボルト。 代理人 弁理士 薄 1)利 箪・−′1′ (7) ・・i・、・1−・ノ5−1−一 第 1 図 ′b \ 。 \
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 レーザ測長機の一部を構成するミラーを、XY移
動方向のいずれかあるいは夫々に平行に取付けてなるX
Yテーブルにおいて、前記ミラーとXYテーブルとの間
には断面略U字状でボルト手段等にてその対向片の対向
姿勢を調整可能な一対の支持部材を介装し、かつこれら
各支持部材は前記対向姿勢の変化方向が夫々異なるよう
にして重ねてなることを特徴とするXYテーブルのミラ
ー取付構造。 2、一方の支持部材は対向片の対向姿勢を平面方向に変
化でき、他方の支持部材は対向片の対向姿勢を立面方向
に変化できるように構成してなる特許請求の範囲第1項
記載のXYテーブルのミラー取付構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP893182A JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Xyテ−ブルのミラ−取付構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP893182A JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Xyテ−ブルのミラ−取付構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58127107A true JPS58127107A (ja) | 1983-07-28 |
Family
ID=11706402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP893182A Pending JPS58127107A (ja) | 1982-01-25 | 1982-01-25 | Xyテ−ブルのミラ−取付構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58127107A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3408702A4 (en) * | 2016-01-27 | 2019-10-16 | Bio-rad Laboratories, Inc. | HIGH PRECISION LASER GUIDANCE WITH LOW CROSS COUPLING |
-
1982
- 1982-01-25 JP JP893182A patent/JPS58127107A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3408702A4 (en) * | 2016-01-27 | 2019-10-16 | Bio-rad Laboratories, Inc. | HIGH PRECISION LASER GUIDANCE WITH LOW CROSS COUPLING |
US10663690B2 (en) | 2016-01-27 | 2020-05-26 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
US11391911B2 (en) | 2016-01-27 | 2022-07-19 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
US11982870B2 (en) | 2016-01-27 | 2024-05-14 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | High precision and low cross-coupling laser steering |
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