JP2594868Y2 - ガイド光ミラーホルダ - Google Patents

ガイド光ミラーホルダ

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JP2594868Y2
JP2594868Y2 JP1993035814U JP3581493U JP2594868Y2 JP 2594868 Y2 JP2594868 Y2 JP 2594868Y2 JP 1993035814 U JP1993035814 U JP 1993035814U JP 3581493 U JP3581493 U JP 3581493U JP 2594868 Y2 JP2594868 Y2 JP 2594868Y2
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彰 上杉
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Amada Miyachi Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、ガイド光ミラーホルダ
に係り、特に光学機器の光軸合せ用に照射されるガイド
光の光路を調整するガイド光ミラーを姿勢制御自在に支
持するガイド光ミラーホルダに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、光学機器の組立時や保守、点検
時等に行なわれる光軸合せにおいては、例えばレーザ装
置より可視光等からなるビーム状のガイド光を照射し、
このガイド光に光学機器の構成各部の光軸を合致させて
全体の光軸合せを行なっている。この場合に、ガイド光
の光路を光学機器を設置すべき所定位置に予め合致させ
るために、重量の大きい前記レーザ装置は固定的に配設
し、ガイド光ミラーホルダに支持されている軽量なガイ
ド光ミラーを姿勢制御することにより反射されるガイド
光の光路を移動させて調整している。
【0003】この光軸合せを図4に示す光学機器の1種
であるYAGレーザ加工機1により説明する。
【0004】光学機器の1種であるYAGレーザ加工機
1においては、全反射ミラー2と出力ミラー3との間に
YAGロッド4を設け、励起ランプ5からの光により前
記YAGロッド4内の原子を励起させ、その後出力ミラ
ー3を通してレーザ光Laを発射させ、更にこのレーザ
光Laを分岐ミラー6および入射ユニット7を通して複
数に分岐出力可能にされている。各入射ユニット7から
は光ファイバ8および出射ユニット9を順に通して被加
工物10にレーザ光Laを照射できるようにされてい
る。YAGロッド4と全反射ミラー2および出力ミラー
3との間には、それぞれ安全保持用のシャッタ11が配
設されている。出力ミラー3と分岐ミラー6との間に
は、出力状態をチェックするためのパワーモニタ12が
配設されている。
【0005】このように形成されているYAGレーザ加
工機1の光学系の光軸合せを行なうために、光軸合せ用
のHe−Neレーザ等のレーザ発生装置13からビーム
状のガイド光Lbを照射し、2個のガイド光ミラー1
4、14を用いてガイド光Lbの光路を前記YAGレー
ザ加工機1の光学系を設置する所定位置に合致させるよ
うにしている。その後、このガイド光Lbの光路に前記
YAGレーザ加工機1の光学系の構成各部の光軸を合致
させてから、構成各部をYAGレーザ加工機1の本体の
所定箇所に固着させている。
【0006】前記ガイド光ミラー14は、図5および図
6に示すガイド光ミラーホルダ15に支持されている。
すなわち、このガイド光ミラーホルダ15においては、
略L字形のホルダ本体16の立壁部16aにガイド光ミ
ラー14を姿勢制御自在に支持するように形成されてい
る。このガイド光ミラー14は略正方形状に形成されて
おり、同じく略正方形状に形成されているミラー支持板
17の前面側に接着等により固着されている。ミラー支
持板17の背面側には、2本の引張ばね18、18の一
端分がそれぞれ止めねじ19をもって固着されており、
各引張ばね18の中間部は立壁部16aに穿設された透
孔20を貫通し、他端のフック部18aを止めピン21
をもって立壁部16aの背面側に係止されており、これ
によりガイド光ミラー14およびミラー支持板17が立
壁部16aに連結される。立壁部16aの前面とミラー
支持板17の背面との間には、ガイド光ミラー14の1
つの頂点(図6において左下位置)に合せて支点ボール
22が介装されている。そして、ガイド光ミラー14の
支点ボール22が配設されている頂点の両隣の頂点位置
に合せて、前記立壁部16aに前記ミラー支持板17に
向けて2本の位置調整ねじ23a、23bが貫通螺入さ
れている。両方の位置調整ねじ23a、23bの先端は
半球状に形成されており、一方の位置調整ねじ23aは
ミラー支持板17の平坦状の背面に当接され、他方の位
置調整ねじ23bはミラー支持板17に形成したV型溝
24に当接させられている。また、ガイド光ミラーホル
ダ15はホルダ本体16の水平部16bをもって所定位
置に固着される。
【0007】このように形成されているガイド光ミラー
ホルダ15によるガイド光Lbの光路の調整は、2本の
位置調整ねじ23a、23bの螺入量を調整することに
より行なわれる。すなわち、引張ばね18の弾力により
支点ボール22および2本の位置調整ねじ23a、23
bに押圧されているミラー支持板17に対して、両位置
調整ねじ23a、23bの螺入量を変化させると、ミラ
ー支持板17は支点ボール22を支点として姿勢を変化
させられ、ガイド光Lbのガイド光ミラー14に対する
入射角および反射角を変化させられ、ガイド光Lbの光
路を図においてX軸方向、Y軸方向に変化させる。
【0008】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来のガイド光ミラーホルダ15においては、ガイド
光ミラー14の姿勢を変化させる支点となる支点ボール
22が当該ガイド光ミラー14の4辺の頂点部分に配設
されており、しかもガイド光Lbの入反射点は前記支点
から離れているガイド光ミラー14の鏡面のほぼ中心部
であるために、X軸方向およびY軸方向のいずれか一方
を変化させるために両位置調整ねじ23a、23bのい
ずれか一方の螺入量を調整すると、必然的にX軸方向お
よびY軸方向がともに変化し、ガイド光ミラー14の鏡
面におけるガイド光Lbの入反射点の移動量も大きいた
めに、常にX軸方向およびY軸方向の両方を調整しなけ
ればならないという不都合があった。そのために調整作
業が極めて繁雑となり、特にガイド光ミラーホルダ15
を複数設置した場合には、調整に非常に長時間を要する
という不都合があった。更に、前記従来例においては、
2本の引張ばね18のフック部18aに止めピン21を
差込む作業が、引張ばね18を引張しながら行なわなけ
ればならず、極めて面倒なものである。
【0009】本考案はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、ガイド光の光路を直交する2軸方向の1軸方向
のみに対しても精度良く変化させることができ、光路調
整が極めて容易となり、組立も容易であるガイド光ミラ
ーホルダを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本考案のガイド光ミラーホルダは、ガイド光ミラーを
姿勢制御自在に支持するガイド光ミラーホルダにおい
て、ホルダ本体に球面滑り軸受を介して支持軸を装着
し、前記ガイド光ミラーの鏡面をこの支持軸と直交させ
るとともに、鏡面の中心を支持軸の軸心と合致させるよ
うに前記ガイド光ミラーを支持するミラー支持板を前記
支持軸に取付け、前記鏡面の中心を通る直交2方向の位
置にそれぞれ前記ガイド光ミラーを前記支持軸と平行な
方向に往復移動せしめる位置調整機構を設け、前記ミラ
ー支持板とホルダ本体との間で、前記支持軸に対して前
記2つの位置調整機構を通る直線と対向する位置に、前
記位置調整機構を前記ミラー支持板と常に当接させる弾
力を付与する1つのバネを介装してなることを特徴とす
る。
【0011】
【作用】本考案によれば、ガイド光ミラーはその鏡面の
中心を支点として角度の変更調整が可能となり、その鏡
面の中心点部分に入反射されるガイド光の光路を直交す
る2軸方向の1軸方向のみに対して精度良く変化させる
ことができる。
【0012】
【実施例】以下、本考案の実施例を図1から図3につい
て説明する。
【0013】図1から図3は本考案の1実施例を示し、
従来と同一部分には同一符号を付してある。
【0014】本実施例のガイド光ミラーホルダ25にお
いては、略L字形のホルダ本体26の立壁部26aにガ
イド光ミラー14を姿勢制御自在に支持するように形成
されている。この立壁部26aの上部の幅方向中心に穿
設された軸受装着孔27内には、球面滑り軸受28が環
状の固定部28aをもって嵌挿され、固定用ねじ29に
より固着されている。この球面滑り軸受28の環状の可
動部28bには、ガイド光ミラー14を支持する支持軸
となる支持ボルト30が先端部を立壁部26aの前面に
向けて貫通固着されている。この支持ボルト30の先端
部には、ガイド光ミラー14が前面に固着されているミ
ラー支持板31が前記ガイド光ミラー14の鏡面の中心
を支持ボルト30の軸心と合致させて固着されている。
これにより、ガイド光ミラー14の鏡面と支持ボルト3
0の軸心とは直交状態とされ、ミラー支持板31は立壁
部26aの前面から所定間隔だけ離間して支持される。
支持ボルト30のミラー支持板31と立壁部26aとの
間にはスペーサ32が嵌挿されている。また、前記ガイ
ド光ミラー14の鏡面の中心を通る直交2方向の位置、
すなわち本実施例においては図3における上側のX軸方
向および右側のY軸方向の位置に、それぞれ前記ガイド
光ミラー14を前記支持ボルト30と平行な方向に往復
移動せしめる位置調整機構を形成する2本の位置調整ね
じ33a、33bが、前記立壁部26aに前記ミラー支
持板31に向けて貫通螺入されている。両方の位置調整
ねじ33a、33bの先端は半球状に形成されており、
一方の位置調整ねじ33aはミラー支持板31の平坦状
の背面に当接され、他方の位置調整ねじ33bはミラー
支持板31に形成したV型溝34に当接させられてい
る。そして、ミラー支持板31と立壁部26aとの間の
支持ボルト30の左斜め下部分には、ミラー支持板31
を常に両方の位置調整ねじ33a、33bに当接させる
弾力を付与する圧縮ばね35が介装されている。また、
ガイド光ミラーホルダ25はホルダ本体26の水平部2
6bをもって所定位置に固着される。
【0015】次に、本実施例の作用を説明する。
【0016】このように形成されているガイド光ミラー
ホルダ25は、レーザ発生装置13から照射されるガイ
ド光Lbがガイド光ミラー14の鏡面の中心部で入反射
する位置に設置される。
【0017】そして、ガイド光Lbの光路の調整は、2
本の位置調整ねじ33a、33bの螺入量を調整するこ
とにより行なわれる。すなわち、圧縮ばね35の弾力に
より2本の位置調整ねじ33a、33bに押圧されてい
るミラー支持板31に対して、両位置調整ねじ33a、
33bの螺入量を変化させると、ミラー支持板31は球
面滑り軸受28を支点として姿勢を変化させられ、ガイ
ド光Lbのガイド光ミラー14に対する入射角および反
射角を変化させられ、ガイド光Lbの光路を図において
X軸方向、Y軸方向に変化させる。
【0018】特に、本実施例においては、ガイド光ミラ
ー14の鏡面の中心と球面滑り軸受28および支持ボル
ト30中心とを合致させており、しかもガイド光Lbを
ガイド光ミラー14の鏡面の中心に入反射させるもので
あるために、両位置調整ねじ33a、33bのいずれか
一方の螺入量を変化させると、ガイド光Lbの光路をX
軸方向およびY軸方向のいずれか一方に限定して変化さ
せることができる。特に、前記ガイド光Lbの光路の調
整時における角度変化量を小さく抑えるようにすること
により、一層精度の良い1方向の光路調整を行なうこと
ができる。
【0019】従って、ガイド光Lbの光路の調整作業を
極めて容易に行なうことができ、しかもガイド光ミラー
を複数用いる場合においても同様に光路の調整作業を極
めて容易に行なうことができる。
【0020】更に、本考案においては、従来例に比べて
圧縮ばね35を用いているために、組立作業が非常に容
易となる。
【0021】なお、本考案は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【0022】
【考案の効果】このように本考案のガイド光ミラーホル
ダは構成され作用するものであるから、ガイド光ミラー
はその鏡面の中心を支点として角度の変更調整が可能と
なり、その鏡面の中心点部分に入反射されるガイド光の
光路を直交する2軸方向の1軸方向のみに対しても精度
良く変化させることができ、しかも光路調整が極めて容
易となり、組立も容易となる等の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案のガイド光ミラーホルダの1実施例を示
す分解斜視図
【図2】本考案のガイド光ミラーホルダの正面図
【図3】図2の左側面図
【図4】YAGレーザ加工機における光学系の概要を示
す構成図
【図5】従来のガイド光ミラーホルダを示す分解斜視図
【図6】従来のガイド光ミラーホルダを示す図3と同様
の図
【符号の説明】
14 ガイド光ミラー 25 ガイド光ミラーホルダ 26 ホルダ本体 28 球面滑り軸受 30 支持ボルト 33a、33b 位置調整ねじ 35 圧縮ばね

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガイド光ミラーを姿勢制御自在に支持す
    るガイド光ミラーホルダにおいて、 ホルダ本体に球面滑り軸受を介して支持軸を装着し、 前記ガイド光ミラーの鏡面をこの支持軸と直交させると
    ともに、鏡面の中心を支持軸の軸心と合致させるように
    前記ガイド光ミラーを支持するミラー支持板を前記支持
    軸に取付け、 前記鏡面の中心を通る直交2方向の位置にそれぞれ前記
    ガイド光ミラーを前記支持軸と平行な方向に往復移動せ
    しめる位置調整機構を設け 前記ミラー支持板とホルダ本体との間で、前記支持軸に
    対して前記2つの位置調整機構を通る直線と対向する位
    置に、前記位置調整機構を前記ミラー支持板と常に当接
    させる弾力を付与する1つのバネを介装してなる ことを
    特徴とするガイド光ミラーホルダ。
JP1993035814U 1993-06-30 1993-06-30 ガイド光ミラーホルダ Expired - Lifetime JP2594868Y2 (ja)

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KR102330173B1 (ko) * 2019-03-29 2021-11-26 엘케이제작소 주식회사 Cnc 레이저 절단기용 얼라이먼트 조절기
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